JP2019160840A - 半導体光集積素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
DFBレーザと、EA変調器と、SOAとが同一基板上にモノリシック集積され、光出射方向に、前記DFBレーザ、前記EA変調器、および前記SOAの順に配置された半導体光集積素子であって、
複数の前記半導体光集積素子が、光軸方向を揃えて光出射方向に直交する方向に一次元配列して、隣接する前記半導体光集積素子が同一の劈開端面を光出射面として共有する半導体バーを形成しており、
前記半導体バーの前記各半導体光集積素子は、前記SOAの電極と前記DFBレーザの電極を電気的に接続する接続配線部を有しており、
前記接続配線部は、前記半導体バーにおいて隣接する半導体光集積素子との境界線を跨いで形成されている
ことを特徴とする半導体光集積素子。
前記DFBレーザ、前記EA変調器、および前記SOAは、一括で形成されたメサストライプ構造で形成され、
前記メサストライプ構造の側壁は、一括成長されたp型およびn型の半導体層により埋め込まれた埋め込みヘテロ構造を有するように形成されている
ことを特徴とする発明の構成1記載の半導体光集積素子。
前記SOAの長さが150μm以上あるように形成されている
ことを特徴とする発明の構成1または2に記載の半導体光集積素子。
DFBレーザと、EA変調器と、SOAとが同一基板上にモノリシック集積され、光出射方向に、前記DFBレーザ、前記EA変調器、および前記SOAの順に配置された半導体光集積素子を、光軸方向を揃えて複数二次元配列して半導体ウエハを形成するステップと、
前記半導体ウエハを光出射方向に直交する面で劈開して、複数の前記半導体光集積素子が光出射方向に直交する方向に一次元配列して、隣接する前記半導体光集積素子が同一の劈開端面を光出射面として共有する半導体バーを形成するステップと、
前記半導体バーの状態において前記各半導体光集積素子を検査するステップと、
検査後に前記半導体バーの前記各半導体光集積素子を、隣接する半導体光集積素子との境界線で切断することにより、前記SOAと前記DFBレーザを電気的に分離するステップとから構成されており、
前記半導体ウエハを形成するステップにおいて、前記各半導体光集積素子には、隣接する半導体光集積素子との境界線を跨いで前記SOAと前記DFBレーザを電気的に接続する接続配線部が形成される
ことを特徴とする半導体光集積素子の製造方法。
前記検査するステップにおいて、前記接続配線部を介して前記SOAと前記DFBレーザを同時に通電駆動して検査する、
ことを特徴とする発明の構成4記載の半導体光集積素子の製造方法。
11a、31a、41a、51a、7a 活性層
11b 回折格子
12、32、42、52、62、82 EA変調器(EAM)
12a、32a、42a、52a 光吸収層
33、43、53、63、83 SOA
33a、43a、53a 活性層
41c、43c、51c、53c、51c、53c、7c、81c、83c 電極
513d、613d、813d 接続配線部
70 n−InP基板
77 メサ構造
71 p−InP層
72 n−InP層
73 p−InPクラッド層
7e 絶縁膜
Claims (5)
- DFBレーザと、EA変調器と、SOAとが同一基板上にモノリシック集積され、光出射方向に、前記DFBレーザ、前記EA変調器、および前記SOAの順に配置された半導体光集積素子であって、
複数の前記半導体光集積素子が、光軸方向を揃えて光出射方向に直交する方向に一次元配列して、隣接する前記半導体光集積素子が同一の劈開端面を光出射面として共有する半導体バーを形成しており、
前記半導体バーの前記各半導体光集積素子は、前記SOAの電極と前記DFBレーザの電極を電気的に接続する接続配線部を有しており、
前記接続配線部は、前記半導体バーにおいて隣接する半導体光集積素子との境界線を跨いで形成されている
ことを特徴とする半導体光集積素子。 - 前記DFBレーザ、前記EA変調器、および前記SOAは、一括で形成されたメサストライプ構造で形成され、
前記メサストライプ構造の側壁は、一括成長されたp型およびn型の半導体層により埋め込まれた埋め込みヘテロ構造を有するように形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の半導体光集積素子。 - 前記SOAの長さが150μm以上あるように形成されている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体光集積素子。 - DFBレーザと、EA変調器と、SOAとが同一基板上にモノリシック集積され、光出射方向に、前記DFBレーザ、前記EA変調器、および前記SOAの順に配置された半導体光集積素子を、光軸方向を揃えて複数二次元配列して半導体ウエハを形成するステップと、
前記半導体ウエハを光出射方向に直交する面で劈開して、複数の前記半導体光集積素子が光出射方向に直交する方向に一次元配列して、隣接する前記半導体光集積素子が同一の劈開端面を光出射面として共有する半導体バーを形成するステップと、
前記半導体バーの状態において前記各半導体光集積素子を検査するステップと、
検査後に前記半導体バーの前記各半導体光集積素子を、隣接する半導体光集積素子との境界線で切断することにより、前記SOAと前記DFBレーザを電気的に分離するステップとから構成されており、
前記半導体ウエハを形成するステップにおいて、前記各半導体光集積素子には、隣接する半導体光集積素子との境界線を跨いで前記SOAと前記DFBレーザを電気的に接続する接続配線部が形成される
ことを特徴とする半導体光集積素子の製造方法。 - 前記検査するステップにおいて、前記接続配線部を介して前記SOAと前記DFBレーザを同時に通電駆動して検査する、
ことを特徴とする請求項4記載の半導体光集積素子の製造方法。
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