JP2019145190A - ヘッドジンバルアッセンブリおよびこれを備える磁気ディスク装置 - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性の向上したヘッドジンバルアッセンブリおよび磁気ディスク装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、ヘッドジンバルアッセンブリは、サスペンションと、ジンバル部を介してサスペンションに支持された磁気ヘッドと、を備えている。磁気ヘッドは、スライダ３１と、スライダに設けられたヘッド部３３とを有している。スライダは、空気支持面４０と、一対の側面４２ｃと、リーディング側端面４２ａと、トレーリング側端面４２ｂとを有している。スライダは、リーディング側ステップ部とトレーリング側ステップ部との間に形成され、空気支持面および一対の側面に開口した深溝５０と、深溝の底面にそれぞれ形成された少なくとも一対の捕獲溝７０と、を有している。捕獲溝は、それぞれ一対の側面に沿って、かつ、一対の側面から隙間を置いて設けられている。【選択図】図３

Description

この発明の実施形態は、ヘッドジンバルアッセンブリおよびこれを備える磁気ディスク装置に関する。

磁気ディスク装置として、例えば、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、回転自在に設けられた磁気ディスクと、ヘッドジンバルアッセンブリと、を備えている。ヘッドジンバルアッセンブリは、ジンバル部を有するサスペンションと、ジンバル部に支持された磁気ヘッドと、を有している。
磁気ヘッドは、スライダ、およびスライダに設けられたヘッド部を有している。ヘッド部は、リード用の再生素子、ライト用の記録素子を含んで構成されている。スライダは、磁気ディスクの記録面と対向する対向面（エアベアリングサーフェース：ＡＢＳ）を有している。ＡＢＳは、上流側と下流側に１つ以上の正圧発生面を有し、下流側に少なくとも１対の負圧発生溝を有している。また、ＡＢＳは、流入側の圧力発生面と流出側の圧力発生面との間に圧力発生面よりも低い溝部を有し、この溝部はスライダのサイド部まで同一面で構成されている。

ディスクドライブの動作時、回転する磁気ディスクとスライダとの間に空気流が発生し、スライダのＡＢＳには、空気流体潤滑の原理により、スライダを磁気ディスク記録面から浮上させる力（正圧）が作用する。この浮上力とヘッド荷重とを釣り合わせることにより、スライダは磁気ディスク記録面と隙間を保って浮上する。

ディスクドライブは高度の清浄度に保たれているが、微量ながらドライブ内に塵、埃等のコンタミネーションが存在する。潤滑油等の液状コンタミネーションは、主にＡＢＳの溝部に溜まり、スライダのサイド部へ流れる。サイド部に達した液状コンタミネーションは、磁気ヘッドの下流側へ流れ、最終的に磁気ディスク上へ落下する。その結果、磁気ヘッドと磁気ディスクと間の隙間が変動し、磁気ヘッドあるいは磁気ディスクに悪影響を及ぼす場合がある。

特開２００９−１１０６１８号公報 特開２００９−１１６０６２号公報 米国特許第７，００５，１２７号明細書 米国特許出願公開第２０１０／１０３５６０号明細書 米国特許第８，２０３，８０５号明細書

この発明の実施形態の課題は、コンタミネーションによる障害を低減し、信頼性の向上したヘッドジンバルアッセンブリおよび磁気ディスク装置を提供することにある。

実施形態によれば、ヘッドジンバルアッセンブリは、サスペンションと、前記サスペンションに設けられたジンバル部と、前記ジンバル部に支持された磁気ヘッドと、を備えている。前記磁気ヘッドは、一対の側縁を有する空気支持面と、前記空気支持面の一対の側縁に沿った一対の側面と、リーディング側端面と、トレーリング側端面とを有するスライダと、前記スライダに設けられデータの記録再生を行うヘッド部と、を備えている。前記スライダは、前記空気支持面のリーディング側端部に設けられたリーディング側ステップ部と、前記空気支持面のトレーリング側端部に設けられ、前記ヘッド部を内蔵するトレーリング側ステップ部と、前記リーディング側ステップ部とトレーリング側ステップ部との間に形成され、前記空気支持面および前記一対の側面に開口した深溝と、前記深溝の底面にそれぞれ形成された少なくとも一対の捕獲溝と、を有し、前記一対の捕獲溝は、それぞれ前記一対の側面に沿って、かつ、前記一対の側面から隙間を置いて設けられている。

図１は、実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の内部構造を示す平面図。 図２は、前記ＨＤＤの磁気ディスクとヘッドジンバルアッセンブリを拡大して示す側面図。 図３は、磁気ヘッドの空気支持面（ＡＢＳ）側を示す斜視図。 図４は、前記磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図。 図５は、図３の線Ｖ−Ｖに沿った磁気ヘッドの断面図。 図６は、図３の線ＶＩ−ＶＩに沿った磁気ヘッドの断面図。 図７は、前記磁気ヘッドの捕獲溝部分を概略的に示す平面図および断面図。 図８は、第２の実施形態に係るＨＤＤにおける磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図。 図９は、第３の実施形態に係るＨＤＤにおける磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図。 図１０は、第１変形例に係る磁気ヘッドの捕獲溝部分を概略的に示す平面図。 図１１は、第２変形例に係る磁気ヘッドの捕獲溝部分を概略的に示す平面図。 図１２は、第３変形例に係る磁気ヘッドの捕獲溝部分を概略的に示す平面図。

以下図面を参照しながら、実施形態に係る磁気ディスク装置ついて説明する。
なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更であって容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。

（第１の実施形態）
磁気ディスク装置の一例として、実施形態に係るハードディスクドライブ（ＨＤＤ）について詳細に説明する。図１は、第１の実施形態に係るＨＤＤの内部構造を示している。
図１に示すように、ＨＤＤは筐体１０を備えている。筐体１０は、上面の開口した矩形箱状のベース１２と、ベース１２の上端開口を閉塞する図示しないトップカバーと、を有している。ベース１２は、矩形状の底壁１２ａと、底壁１２ａの周縁に沿って立設された側壁１２ｂとを有している。
筐体１０内には、記録媒体としての１枚あるいは複数枚の磁気ディスク１６、および磁気ディスク１６を支持および回転させる駆動部としてのスピンドルモータ２３が設けられている。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ２３の図示しないハブに互いに同軸的に嵌合されているとともにクランプばね２７によりクランプされ、ハブに固定されている。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ２３により矢印Ａ方向に所定の速度で回転される。

筐体１０内に、磁気ディスク１６に対してデータのライト／リードを行なう複数の磁気ヘッド１７、これらの磁気ヘッド１７を磁気ディスク１６に対して移動可能に支持したキャリッジアッセンブリ２２が設けられている。筐体１０内に、キャリッジアッセンブリ２２を回動および位置決めするボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）２４、磁気ヘッド１７が磁気ディスク１６の最外周に移動した際、磁気ヘッド１７を磁気ディスク１６から離間したアンロード位置に保持するランプロード機構２５、ＨＤＤに衝撃等が作用した際、キャリッジアッセンブリ２２を退避位置に保持するラッチ機構２６、および変換コネクタ等を有する基板ユニット２１が設けられている。

ベース１２の底壁１２ａ外面には、図示しないプリント回路基板がねじ止めされている。プリント回路基板は、基板ユニット２１を介してＶＣＭ２４、および磁気ヘッド１７の動作を制御するとともに、スピンドルモータ１８の動作を制御する。

図２は、浮上状態の磁気ヘッドおよび磁気ディスクを模式的に示している。図１および図２に示すように、磁気ディスク１６は、例えば、直径約２．５インチ（６．３５ｃｍ）の円板状に形成された非磁性体からなる基板１０１を有している。基板１０１の両面には、下地層として軟磁気特性を示す材料からなる軟磁性層１０２と、その上層部に、磁気記録層１０３と、その上層部に保護膜層１０４とが順に積層されている。

キャリッジアッセンブリ２２は、複数本のアーム２８と、各アーム２８から延出するヘッドジンバルアッセンブリ３０と、を有している。各ヘッドジンバルアッセンブリ３０は、細長い板ばね状のサスペンション３４と、サスペンション３４上に設けられた配線部材としてのフレキシャ４１と、磁気ヘッド１７と、を有している。磁気ヘッド１７は、フレキシャ４１のジンバル部３６を介して、サスペンション３４の先端部に支持されている。

図２に示すように、磁気ヘッド１７は浮上型のヘッドとして構成され、ほぼ直方体状に形成されたスライダ３１と、スライダ３１の流出端（トレーリング）側の端部に形成されたヘッド部３３とを有している。スライダ３１は、磁気ディスク１６の表面に対向する空気支持面（ＡＢＳ）４０を有している。磁気ヘッド１７は、磁気ディスク１６の回転によって磁気ディスク１６の表面とスライダ３１のＡＢＳ４０との間に生じる空気流Ｂにより浮上する。空気流Ｂの方向は、磁気ディスク１６の回転方向Ａと一致している。

次に、磁気ヘッド１７の構成について詳細に説明する。図３は磁気ヘッドのスライダを示す斜視図、図４はスライダのＡＢＳ側を示す平面図である。
図３および図４に示すように、磁気ヘッド１７のスライダ３１は、ほぼ直方体状に形成され、磁気ディスク１６の表面に対向する矩形状の空気支持面（ディスク対向面）（air bearing surface ：ＡＢＳ）４０、ＡＢＳ４０と直交して延びる流入側端面（リーディング側端面）４２ａ、ＡＢＳ４０と直交して延びる流出側端面（トレーリング側端面）４２ｂ、およびそれぞれＡＢＳ４０と直交して流入側端面４２ａと流出側端面４２ｂとの間を延びる一対の側面（サイド部）４２ｃを有している。

ＡＢＳ４０の長手方向を第１方向Ｘ、これと直交する幅方向を第２方向Ｙとする。一例では、スライダ４２は、第１方向Ｘの長さＬが１．２５ｍｍ以下、例えば、１．２３５ｍｍ、第２方向Ｙに沿った幅Ｗが１．０ｍｍ以下、例えば、０．７ｍｍ、厚さＴ１が０．２３〜０．３ｍｍに形成され、いわゆるフェムトスライダとして構成されている。

図５は図３の線Ｖ−Ｖに沿ったスライダの縦断面図、図６は図３の線ＶＩ−ＶＩに沿ったスライダの横断面図である。
図３ないし図５に示すように、ＡＢＳ４０の第１方向Ｘのほぼ中央部に、第２方向Ｙの全長に亘って延びる帯状の負圧発生溝（深溝）５０が形成されている。負圧発生溝５０は、平坦な底面を有し、スライダ３１の側面４２ｃに開口している。スライダ３１の厚さＴ１を、例えば０．２３ｍｍとした場合、負圧発生溝５０の深さは、１〜５μｍ、例えば３μｍに形成されている。負圧発生溝５０を設けることにより、ＨＤＤで実現される全てのヨー角において、ＡＢＳ４０中心部で負圧を発生させることができる。

ＡＢＳ４０のリーディング側端部に、ほぼ矩形状のリーディングステップ５２が形成されている。リーディングステップ５２は、負圧発生溝５０の底面に対して突出して設けられ、かつ、空気流Ｃに対して負圧発生溝５０の流入側に位置している。
磁気ヘッド１７のピッチ角を維持するため、リーディングステップ５２上には、空気膜によってスライダ３１を支えるリーディングパッド（流入側の圧力発生面）５３が突設されている。リーディングパッド５３は、流入側に向かって複数個所が開放するＭ字形状に形成されている。リーディングパッド５３の上面は、スライダ３１の最上面を構成し、ＡＢＳ４０の一部を構成している。リーディングステップ５２の流入端から僅かに流出側にずれた位置に、負圧発生溝５５が形成されている。

図３ないし図５に示すように、ＡＢＳ４０のほぼ中央部から流出側端面４２ｂに亘って、凹所からなる負圧キャビティ５４が形成されている。負圧キャビティ５４は、負圧発生溝５０の流出端側に位置し、流出側端面４２ｂに向かって開放している。負圧キャビティ５４は、負圧発生溝５０よりも浅く形成され、すなわち、負圧発生溝５０の底面よりも高い位置に形成されている。負圧キャビティ５４の深さは５００〜１５００ｎｍ、例えば１０００ｎｍに形成されている。負圧キャビティ５４を設けることにより、ＨＤＤで実現される全てのヨー角において、ＡＢＳ４０中心部で負圧を発生させることができる。

ＡＢＳ４０において負圧キャビティ５４を囲うようにリブ状の中間ステップ５６、一対のサイドステップ５８、および一対のスカート６０が形成されている。中間ステップ５６は、負圧発生溝５０と負圧キャビティ５４との間に位置し、第２方向Ｙに沿ってＡＢＳ４０の両側縁間を延びている。中間ステップ５６は、負圧キャビティ５４の底面に対して突出して設けられ、かつ、空気流Ｃに対して負圧キャビティ５４の流入側に位置している。
一対のサイドステップ５８は、ＡＢＳ４０の各側縁に沿って形成され、中間ステップ５６からＡＢＳ４０の流出端側に延出している。これらのサイドステップ５８は負圧キャビティ５４の底面に対して突出している。

一対のスカート６０はＡＢＳ４０の各側縁（側面４２ｃ）に沿って形成され、それぞれ第１方向Ｘに沿ってサイドステップ５８からＡＢＳ４０の流出側端面４２ｂ近傍まで延びている。各スカート６０は、負圧キャビティ５４の底面に対して突出して設けられ、かつ、サイドステップ５８よりも低く形成されている。
中間ステップ５６、一対のサイドステップ５８、および一対のスカート６０は、全体として、上流側が閉塞され、下流側に向かって開放したほぼＵ字形状に形成されている。そして、中間ステップ５６、一対のサイドステップ５８、および一対のスカート６０により負圧キャビティ５４が規定されている。

図３ないし図６に示すように、スライダ３１は、空気流Ｃの方向に対して、ＡＢＳ４０の流出側端部に形成されたトレーリングステップ６２を有している。トレーリングステップ６２は、負圧キャビティ５４の底面に対して突出して形成され、その突出高さは、リーディングステップ５２と同一の高さに形成されている。トレーリングステップ６２は、ＡＢＳ４０の第２方向Ｙのほぼ中央に位置している。トレーリングステップ６２の上面には、空気膜によってスライダ３１を支えるトレーリングパッド（流出側の圧力発生面）６３が突設されている。

トレーリングパッド６３は、トレーリングステップ６２の流出側端面、ここでは、スライダ３１の流出側端面４２ｂから流入側に隙間を置いて設けられている。トレーリングパッド６３は、リーディングパッド５３、中間ステップ５６、サイドステップ５８と同一高さレベルに形成され、スライダ３１の最上面となりＡＢＳ４０の一部を構成している。

磁気ヘッド１７のヘッド部３３は、磁気ディスク１６に対して情報の記録再生を行う記録素子６５および再生素子６６を有している。これら記録素子６５および再生素子６６は、空気流Ｃの方向に対して、スライダ３１の下流側端部内、ここでは、トレーリングステップ６２内に埋め込まれている。記録素子６５および再生素子６６の先端部は、トレーリングパッド６３の位置でＡＢＳ４０に露出している。

スライダ３１のＡＢＳ４０は、第１方向Ｘに沿って、中間ステップ５６からトレーリングステップ５８まで延びる細長い一対のセンターレール６８を有している。一対のセンターレール６８は、スライダ３１の中心軸線Ｄの両側に位置し、第２方向Ｙに隙間を置いて、互いに対向している。センターレール６８は、負圧キャビティ５４の底面からの高さが、中間ステップ５６およびトレーリングパッド６３の高さと同一に形成されている。一対のセンターレール６２間に、空気流をトレーリングステップ６２およびトレーリングパッド６３に導くガイド溝７６が形成されている。このガイド溝７６は、中心軸線Ｄに沿って形成され、負圧発生溝５０を通り、更に、リーディングステップ５２まで延びている。

上述したリーディングステップ５２は、スライダ３１の流入側のステップ部を構成し、また、中間ステップ５６、サイドステップ５８、およびトレーリングステップ６２は、スライダ３１の流出側のステップ部を構成している。そして、負圧発生溝５０は、流入側ステップ部と流出側ステップ部との間に設けられている。
本実施形態では、負圧発生溝５０の底面に一対の捕獲溝（最深溝）７０が形成されている。一対の捕獲溝７０は、スライダ３１の両側面４２ｃの近傍にそれぞれ設けられている。各捕獲溝７０は、空気流Ｂに対して下流側となるトレーリング側のステップ部（ここではサイドステップ５８）から流入側（リーディング側）のステップ部５２、５３に向かって、第１方向Ｘに延在している。一例では、捕獲溝７０は、一定の幅Ｗ１を有する細長い矩形状あるいはストライプ状に形成されている。すなわち、捕獲溝７０は、側面４２ｃとほぼ平行に延在する一側縁７１ａと、この一側縁７１ａと間隔を置いて平行に延在する他側縁７２ｂとを有している。各捕獲溝７０は、側面４２ｃに隣接して、かつ、側面４２ｃから僅かな間隔Ｗ２を置いて配置されている。一例では、捕獲溝７０は、流入側のステップ部５２、５３から所定距離、離間している。更に、捕獲溝７０の幅Ｗ１は、サイドステップ５８の幅よりも狭く形成されている。これにより、少なくとも捕獲溝７０の第２方向Ｙの両側は、負圧発生溝５０の底面で挟まれている。本実施形態では、サイドステップ５８側を除いて、捕獲溝７０の周囲は、負圧発生溝５０の底面で囲まれている。一例では、捕獲溝７０の深さｄ２は、例えば、１μｍ程度に形成されている。捕獲溝７０の幅Ｗ１は、例えば、３０μｍ程度に形成されている。捕獲溝７０の側縁７１ａとスライダ３１の側面（側縁）４２ｃとの間隔Ｗ２は、例えば、１０μｍ程度に形成されている。

以上のように構成されたヘッドジンバルアッセンブリ３０の磁気ヘッド１７によれば、ＡＢＳ４０の負圧発生溝５０の底面に、少なくとも一対の捕獲溝７０が設けられている。そのため、図７に模式的に示すように、磁気ヘッド１７（スライダ３１）の中央部に付着した潤滑剤あるいは液状コンタミネーションは、負圧発生溝５０内を下流側、すなわち、側面４２ｃ側に流れる過程で、捕獲溝７０に捕獲され、捕獲溝７０内に溜められる。従って、磁気ヘッド１７に付着した潤滑剤あるいは液状コンタミネーションが、スライダ３１の側面４２ｃから磁気ヘッド流出側に流れ、磁気ディスク１６上に落下することを防止できる。これにより、コンタミネーションに起因する磁気ヘッド１７および磁気ディスク１６の障害、特性劣化を抑制し、磁気ディスク装置の信頼性を向上することが可能となる。
以上のことから、第１の実施形態によれば、コンタミネーションによる障害を低減し、信頼性の向上したヘッドジンバルアッセンブリおよび磁気ディスク装置が得られる。
なお、捕獲溝７０の形状、幅、長さ、深さ等の寸法は、本実施形態に限定されることなく、種々選択可能である。

次に、他の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッドについて説明する。なお、以下に説明する他の実施形態において、前述した第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略し、第１の実施形態と異なる部分を中心に詳しく説明する。

（第２の実施形態）
図８は第２の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図である。
図８に示すように、第２の実施形態によれば、スライダ３１の負圧発生溝５０の底面に設けられた捕獲溝７０は、負圧発生溝５０の全幅に亘って延在している。すなわち、一対の捕獲溝７０は、スライダ３１の両側面４２ｃの近傍に設けられている。各捕獲溝７０は、空気流Ｂに対して下流側となる流出側のステップ部（ここではサイドステップ５８）から流入側のステップ部５２、５３まで、第１方向Ｘに延在している。一例では、捕獲溝７０は、一定の幅を有する細長い矩形状あるいはストライプ状に形成されている。各捕獲溝７０は、側面４２ｃに隣接して、かつ、側面４２ｃから僅かな隙間を置いて配置されている。捕獲溝７０の幅は、サイドステップ５８の幅よりも狭く形成されている。これにより、捕獲溝７０の第２方向Ｙの両側は、負圧発生溝５０の底面で挟まれている。
磁気ヘッド１７の他の構成は、前述した第１の実施形態における磁気ヘッド１７と同一である。

上記のように構成された第２の実施形態によれば、捕獲溝７０を設けることにより、磁気ヘッド１７に付着した潤滑剤あるいは液状コンタミネーションが、スライダ３１の側面４２ｃから磁気ヘッド流出側に流れ、磁気ディスク１６上に落下することを防止できる。また、捕獲溝７０を負圧発生溝５０の全幅に亘って形成することにより、潤滑剤あるいは液状コンタミネーションを一層確実に捕獲し、流出を防止することが可能となる。

（第３の実施形態）
図９は第３の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッドのＡＢＳ側を示す平面図である。
図９に示すように、第３の実施形態によれば、スライダ３１の負圧発生溝５０の底面の両側部に、複数本ずつ捕獲溝７０が設けられている。一例では、２本ずつ２対の捕獲溝７０ａ、７０ｂが設けられている。各側面４２ｃ側において、２本の捕獲溝７０ａ、７０ｂは、スライダ３１の側面４２ｃに隣接して設けられている。２本の捕獲溝７０ａ、７０ｂは、互いに平行に、かつ、間隔を置いて並んでいる。各捕獲溝７０ａ、７０ｂは、空気流Ｂに対して下流側となる流出側のステップ部（ここではサイドステップ５８）から流入側のステップ部５２、５３まで、第１方向Ｘに延在している。捕獲溝７０ａ、７０ｂは、それぞれ一定の幅を有する細長い矩形状あるいはストライプ状に形成されている。２本の捕獲溝７０ａ、７０ｂの内、側面４２ｃ側に位置する捕獲溝７０ａは、側面４２ｃに隣接して、かつ、側面４２ｃから僅かな隙間を置いて配置されている。捕獲溝７０ａ、７０ｂの幅は、サイドステップ５８の幅よりも狭く形成されている。これにより、各捕獲溝７０ａ、７０ｂの第２方向Ｙの両側は、負圧発生溝５０の底面で挟まれている。
磁気ヘッド１７の他の構成は、前述した第１の実施形態における磁気ヘッド１７と同一である。

上記のように構成された第３の実施形態においても、前述した第１の実施形態と同様の作用効果が得られる。また、捕獲溝を複数本とすることにより、磁気ヘッド１７に付着した潤滑剤あるいは液状コンタミネーションを一層確実に捕獲し、流出を防止することが可能となる。
なお、捕獲溝７０の本数は、一方の側面４２ｃ側のみ複数本とし、他方の側面側を単数本としてもよい。また、各側面側において、捕獲溝７０は、２本に限らず、３本以上とすることも可能である。

以下に、複数の変形例について説明する。
図１０に示す第１変形例のように、捕獲溝７０は、負圧発生溝５０の底面において、上流側のステップ部５３から下流側のステップ部５８の近傍まで延在するように形成されていてもよい。
図１１に示す第２変形例のように、捕獲溝７０は、連続した溝に限らず、間欠的に形成された溝、すなわち、長手方向の複数個所で、分断された、溝により構成してもよい。
捕獲溝７０は、一定幅の直線状の溝に限定されない。図１２に示す第３変形例のように、捕獲溝７０は、他側縁７１ｂの少なくとも一部が湾曲した形状、あるいは、幅が不均一な形状としてもよい。

なお、本発明の種々の実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
例えば、磁気ヘッドのスライダは、フェムトスライダに限らず、ピコスライダ、ペムトスライダ、あるいは、より寸法の大きなスライダにも適用可能である。スライダにおける、トレーリングステップ、トレーリングパッド、その他の部分の形状、寸法等は、必要に応じて変更可能である。ディスクドライブにおいて、磁気ディスクは、２．５インチに限らず、他の大きさの磁気ディスクとしてもよい。磁気ディスクは２枚に限らず、１枚あるいは３枚以上としてもよく、ヘッドジンバルアッセンブリの数も磁気ディスクの設置枚数に応じて増減すればよい。ヘッドジンバルアッセンブリに用いる材料および寸法は、実施形態に限定されることなく、必要に応じて種々変更可能である。

１０…筐体、１２…ベース、１６…磁気ディスク、１７…磁気ヘッド、
３１…スライダ、３０…ヘッドジンバルアッセンブリ、３３…ヘッド部、
４０…空気支持面（ＡＢＳ）、４２ｃ…側面、５０…負圧発生溝、
５２…リーディングステップ、５６…中間ステップ、６２…トレーリングステップ、
７０、７０ａ、７０ｂ…捕獲溝

Claims (12)

1. サスペンションと、前記サスペンションに設けられたジンバル部と、前記ジンバル部に支持された磁気ヘッドと、を備えるヘッドジンバルアッセンブリであって、
   前記磁気ヘッドは、
   一対の側縁を有する空気支持面と、前記空気支持面の一対の側縁に沿った一対の側面と、リーディング側端面と、トレーリング側端面とを有するスライダと、
   前記スライダに設けられデータの記録再生を行うヘッド部と、を備え、
   前記スライダは、前記空気支持面のリーディング側端部に設けられたリーディング側ステップ部と、前記空気支持面のトレーリング側端部に設けられ、前記ヘッド部を内蔵するトレーリング側ステップ部と、前記リーディング側ステップ部とトレーリング側ステップ部との間に形成され、前記空気支持面および前記一対の側面に開口した深溝と、前記深溝の底面にそれぞれ形成された少なくとも一対の捕獲溝と、を有し、前記一対の捕獲溝は、それぞれ前記一対の側面に沿って、かつ、前記一対の側面から隙間を置いて設けられているヘッドジンバルアッセンブリ。
2. 前記捕獲溝は、前記トレーリング側ステップ部から前記リーディング側ステップ部に向かって延在している請求項１に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
3. 前記捕獲溝は、前記リーディング側ステップ部から前記トレーリング側ステップ部に向かって延在している請求項１に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
4. 前記捕獲溝は、前記トレーリング側ステップ部から前記リーディング側ステップ部まで延在している請求項１に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
5. 前記捕獲溝は、前記トレーリング側ステップ部から前記リーディング側ステップ部まで間欠的に延在している請求項１に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
6. 前記捕獲溝は、前記スライダの側面と平行に延在する一側縁と、前記一側縁と間隔を置いて対向する他側縁と、を有している請求項１に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
7. 前記他側縁は、前記一側縁と平行に延在している請求項６に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
8. 前記他側縁は、少なくとも一部が湾曲して延在している請求項６に記載のヘッドジンバルアッセンブリ。
9. 回転自在に設けられたディスク状の記録媒体と、
   サスペンションと、前記サスペンションに設けられたジンバル部と、前記ジンバル部に支持された磁気ヘッドと、を有するヘッドジンバルアッセンブリと、を備え、
   前記磁気ヘッドは、一対の側縁を有する空気支持面と、前記空気支持面の一対の側縁に沿った一対の側面と、リーディング側端面と、トレーリング側端面とを有するスライダと、前記スライダに設けられデータの記録再生を行うヘッド部と、を備え、
   前記スライダは、前記空気支持面のリーディング側端部に設けられたリーディング側ステップ部と、前記空気支持面のトレーリング側端部に設けられ、前記ヘッド部を内蔵するトレーリング側ステップ部と、前記リーディング側ステップ部とトレーリング側ステップ部との間に形成され、前記空気支持面および前記一対の側面に開口した深溝と、前記深溝の底面にそれぞれ形成された少なくとも一対の捕獲溝と、を有し、前記一対の捕獲溝は、それぞれ前記一対の側面に沿って、かつ、前記一対の側面から隙間を置いて設けられている磁気ディスク装置。
10. 前記捕獲溝は、前記トレーリング側ステップ部から前記リーディング側ステップ部に向かって延在している請求項９に記載の磁気ディスク装置。
11. 前記捕獲溝は、前記リーディング側ステップ部から前記トレーリング側ステップ部に向かって延在している請求項９に記載の磁気ディスク装置。
12. 前記捕獲溝は、前記トレーリング側ステップ部から前記リーディング側ステップ部まで延在している請求項９に記載の磁気ディスク装置。

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