JP2019134125A - 半導体レーザモジュール及びレーザ発振器 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の一実施形態としてのレーザ発振器について、図面を参照して説明する。図1は、本発明の一実施形態としてのレーザ発振器を示す概略構成図である。本実施形態のレーザ発振器1は、複数個(図示の例では3個)の半導体レーザモジュール10(11,12,13)を有する。これらの半導体レーザモジュール10(11,12,13)から光ファイバ20(21,22,23)を通して、共振器又はコンバイナ30(共振器,コンバイナ)にレーザ光が供給される。
図2は、図1のレーザ発振器の半導体レーザモジュールを示す概略平面図である。半導体レーザモジュール10は、その筐体2の中に、半導体レーザ素子3(31,32,33)、レンズ4(41,42,43)、ミラー5(5a,5b,5c)、及びレンズ6を備える。
第1面51は、レーザ光R1を反射し、可視光を透過する面である。第1面51におけるレーザ光R1の反射率は、レーザ出力量に大きく影響するために高いことが好ましく、例えば99.5%以上であり、好ましくは99.8%以上である。
図3の説明に戻って第2面52を説明する。第2面52は、レーザ光R1を透過し、可視光を反射する面である。第2面52におけるレーザ光R1の透過率は、例えば95%以上であり、好ましくは98%以上である。第2面52におけるレーザ光R1の透過率は、レーザ光R1の第2面52における反射成分を減衰させるために、それほど高くなくてもよい。
本実施形態によれば、例えば、以下の効果が奏される。
実施形態の半導体レーザモジュール10は、レーザ光R1を反射し、可視光を透過する第1面51と、レーザ光R1を透過し、可視光を反射する第2面52とを有するミラー5と、ミラー5の第1面51に照射されるレーザ光R1を発光する半導体レーザ素子3と、備える。そのため、ミラー5の傷及び工数を低減させることができる半導体レーザモジュール10及びレーザ発振器1を提供することができる。以下、詳述する。
図6Aは、変形例1に係るレーザ発振器の半導体レーザモジュール10が有するミラー5Pの概略断面図である。この半導体レーザモジュール10においては、ミラー5に代えてミラー5Pが用いられている。ミラー5Pの第2面52は、球面又はシリンドリカル面である(図6A中では、第2面52が曲面で示されている)。
図6Bは、変形例2に係るレーザ発振器の半導体レーザモジュール10が有するミラー5Qの概略断面図である。この半導体レーザモジュール10においては、ミラー5に代えてミラー5Qが用いられている。ミラー5Qでは、変形例1のミラー5Pの第2面52に相当する部分にコーティングが行われて、表面粗さが粗いコーティング層57が形成され、このコーティング層57の表面が第2面52とされる。
図7は、変形例3に係るレーザ発振器の半導体レーザモジュール10が有するミラー5Rの概略断面図である。この半導体レーザモジュール10においては、ミラー5に代えてミラー5Rが用いられている。第1面51と第2面52との間の距離t(ミラー5Rの厚さ)は、第1面51の幅Lの半分よりも長い。
図8は、変形例4に係るレーザ発振器の半導体レーザモジュール10が有するミラー5Sの概略断面図である。半導体レーザモジュール10においては、ミラー5に代えてミラー5Sが用いられてもよい。ミラー5Sの第2面52は、切り込み部52xを有する。切り込み部52xは、凹部でもある。なお、凹部は、断面視逆三角形に限らず、断面視で四角形又は半円形であってもよい。
3,31,32,33 半導体レーザ素子
5,5a,5b,5c ミラー
5P,5Q,5R,5S ミラー
10 半導体レーザモジュール
20 光ファイバ
51 第1面
52 第2面
52x 切り込み部
L 幅
R1 レーザ光
R2 戻り光
t 距離
Claims (7)
- レーザ光を反射し、可視光を透過する第1面と、レーザ光を透過し、可視光を反射する第2面とを有するミラーと、
前記ミラーの前記第1面に照射されるレーザ光を発光する半導体レーザ素子と、
を備える半導体レーザモジュール。 - 前記第1面及び前記第2面は、前記半導体レーザ素子により照射される前記レーザ光よりも波長が長い光を透過する、
請求項1に記載の半導体レーザモジュール。 - 前記第2面の表面粗さは前記第1面の表面粗さよりも粗い、
請求項1又は2に記載の半導体レーザモジュール。 - 前記第2面は球面又はシリンドリカル面である、
請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体レーザモジュール。 - 前記第1面と前記第2面との間の距離は、前記第1面の幅の半分よりも長い、
請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体レーザモジュール。 - 前記第2面は切り込み部を有する、
請求項1から5のいずれか1項に記載の半導体レーザモジュール。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の半導体レーザモジュールを備えるレーザ発振器。
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