JP7465149B2 - レーザモジュール及びファイバレーザ装置 - Google Patents
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Description
2 増幅用光ファイバ
3 光共振器
4A,4B 励起光源
5A,5B 光コンバイナ
6 デリバリファイバ
7 レーザ出力部
8A,8B 光ファイバ
9A 高反射部
9B 低反射部
10,110,210 レーザモジュール
12 筐体
12A 底面
12B 内側側面
14 光ファイバ
16 ファイバ保持部
20 第1のレーザ生成部
21,31 台座
22A~22F,32A~32F 段部
23,33 サブマウント
24A~24F,34A~34F 半導体レーザ素子
25,35 ファースト軸コリメートレンズ
26,36 スロー軸コリメートレンズ
27 (第1の)ミラー
30 第2のレーザ生成部
37 (第2の)ミラー
41 波長板
42 補助ミラー(第3のミラー)
42A 光学薄膜
43 ビームスプリッタ
43A 光学薄膜
44 波長安定化素子
45 ファースト軸集光レンズ
46 スロー軸集光レンズ
137 (第2の)ミラー
137A 光学薄膜
142 補助ミラー(第3のミラー)
142A 光学薄膜
227 (第1の)ミラー
227A 光学薄膜
LA~LF,LA’~LF’,MA~MF,MA’~MF’,NA~NF レーザ光
P 出力レーザ光
R 戻り光
Claims (8)
- 光ファイバと、
第1のレーザ光を出射する少なくとも1つの第1の半導体レーザ素子と、前記少なくとも1つの第1の半導体レーザ素子に対応して配置され、前記少なくとも1つの第1の半導体レーザ素子から出射された前記第1のレーザ光を反射する少なくとも1つの第1のミラーとを含む第1のレーザ生成部と、
第2のレーザ光を出射する少なくとも1つの第2の半導体レーザ素子と、前記少なくとも1つの第2の半導体レーザ素子に対応して配置され、前記少なくとも1つの第2の半導体レーザ素子から出射された前記第2のレーザ光を反射する少なくとも1つの第2のミラーとを含む第2のレーザ生成部と、
前記第1のレーザ光及び前記第2のレーザ光を集光して前記光ファイバに結合させる少なくとも1つの集光レンズと、
前記第2のレーザ生成部の前記少なくとも1つの第2のミラーにより反射された前記第2のレーザ光を反射する第3のミラーと、
前記第1のレーザ光と前記第2のレーザ光とを合成して前記少なくとも1つの集光レンズに向ける光合成部と、
前記第1のレーザ生成部、前記第2のレーザ生成部、前記少なくとも1つの集光レンズ、前記第3のミラー、及び前記光合成部を内部に収容する筐体と
を備え、
前記光合成部は、前記第1のレーザ生成部の前記少なくとも1つの第1のミラーで反射した前記第1のレーザ光を反射するとともに、前記第3のミラーで反射した前記第2のレーザ光を透過させて前記第1のレーザ光と前記第2のレーザ光とを合成するように構成され、
前記第2のレーザ生成部の前記少なくとも1つの第2のミラー及び前記第3のミラーの少なくとも一方は、前記第1のレーザ光の波長及び前記第2のレーザ光の波長のいずれとも異なる波長を有する第3のレーザ光を透過するように構成され、
前記第2のレーザ生成部の前記少なくとも1つの第2のミラー及び前記第3のミラーの少なくとも一方を透過した前記第3のレーザ光が当たる前記筐体の内側側面の領域には、前記第3のレーザ光に対する反射率が前記筐体よりも高い薄膜が形成される、
レーザモジュール。 - 前記第3のミラーは、前記第3のレーザ光を反射するように構成され、
前記第2のレーザ生成部の前記少なくとも1つの第2のミラーは、前記第3のレーザ光を透過するように構成される、
請求項1に記載のレーザモジュール。 - 前記薄膜は、金めっき膜又はアルミニウム膜である、請求項1又は2に記載のレーザモジュール。
- 前記第1のレーザ生成部の前記第1のミラーは、前記第3のレーザ光を透過するように構成される、
請求項1から3のいずれか一項に記載のレーザモジュール。 - 光ファイバと、
第1のレーザ光を出射する少なくとも1つの第1の半導体レーザ素子と、前記少なくとも1つの第1の半導体レーザ素子に対応して配置され、前記少なくとも1つの第1の半導体レーザ素子から出射された前記第1のレーザ光を反射する少なくとも1つの第1のミラーとを含む第1のレーザ生成部と、
第2のレーザ光を出射する少なくとも1つの第2の半導体レーザ素子と、前記少なくとも1つの第2の半導体レーザ素子に対応して配置され、前記少なくとも1つの第2の半導体レーザ素子から出射された前記第2のレーザ光を反射する少なくとも1つの第2のミラーとを含む第2のレーザ生成部と、
前記第1のレーザ光及び前記第2のレーザ光を集光して前記光ファイバに結合させる少なくとも1つの集光レンズと、
前記第2のレーザ生成部の前記少なくとも1つの第2のミラーにより反射された前記第2のレーザ光を反射する第3のミラーと、
前記第1のレーザ光と前記第2のレーザ光とを合成して前記少なくとも1つの集光レンズに向ける光合成部と、
前記第1のレーザ生成部、前記第2のレーザ生成部、前記少なくとも1つの集光レンズ、前記第3のミラー、及び前記光合成部を内部に収容する筐体と
を備え、
前記光合成部は、前記第3のミラーで反射した前記第2のレーザ光を反射するとともに、前記第1のレーザ生成部の前記少なくとも1つの第1のミラーで反射した前記第1のレーザ光を透過させて前記第1のレーザ光及び前記第2のレーザ光を集光レンズに向けるように構成され、
前記第1のレーザ生成部の前記少なくとも1つの第1のミラーは、前記第1のレーザ光の波長及び前記第2のレーザ光の波長のいずれとも異なる波長を有する第3のレーザ光を透過するように構成され、
前記第1のレーザ生成部の前記少なくとも1つの第1のミラーを透過した前記第3のレーザ光が当たる前記筐体の内側側面の領域には、前記第3のレーザ光に対する反射率が前記筐体よりも高い薄膜が形成される、
レーザモジュール。 - 前記薄膜は、金めっき膜又はアルミニウム膜である、請求項5に記載のレーザモジュール。
- 前記第3のレーザ光は、1060nmから1100nmの範囲の波長を有する、請求項1から6のいずれか一項に記載のレーザモジュール。
- 請求項1から7のいずれか一項に記載のレーザモジュールを含む励起光源と、
前記レーザモジュールの前記光ファイバと光学的に接続され、希土類元素イオンが添加されたコアを有する増幅用光ファイバと
を備える、ファイバレーザ装置。
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