JP2019132599A - 搬送物の応力測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は本発明の第1実施形態における搬送物の応力測定装置を示す全体外略図である。この応力測定装置は、X線回折装置10及びコンピュータ装置30から構成され、X線回折装置10は、搬送物1を一定方向に一定速度で搬送する搬送装置2の移動ステージの上方に搬送物1に対して適切な位置になるよう固定具16で固定されている。搬送物1の搬送速度は、具体的な例では0.5cm/秒〜10m/秒である。また、コンピュータ装置30はX線回折装置10と電力線及び信号線等でX線回折装置10と接続され、X線回折装置10の近傍に設置されている。なお、図1では省略されているが、コンピュータ装置30の近傍には、X線回折装置10に高電圧の電力を供給する高電圧電源が設置されており、X線回折装置10と電力線で接続されている。
上述した第1実施形態の搬送物の応力測定装置は、上述した効果を得ることはできるが、2次元撮像素子12は温度の影響を強く受けるため、温度変動が大きい環境下では平面残留応力を精度よく測定することが困難である。これに対し、本発明の第2実施形態における搬送物の応力測定装置は、温度の影響を強く受けることはないものである。
上述した第1実施形態および第2実施形態の搬送物の応力測定装置は、回折X線の像の形状を検出する機能、残留応力を計算する機能の特性及び搬送物1の搬送速度により、搬送物1の測定位置の間隔を小さくしていくと限界値があり、特に第2実施形態の搬送物の応力測定装置においては、この限界値が大きい。本発明の第3実施形態は、搬送物1の測定位置の間隔をこの限界値よりも小さくすることができるものである。
上述した第3実施形態は、X線回折装置の台数を増やすため、搬送物の応力測定装置のコストがUPする。本発明の第4実施形態は、第2実施形態の方式のX線回折装置1台におけるX線照射と次のX線照射との時間間隔を小さくして、搬送物の応力測定装置のコストUPを抑制することができるものである。
上述した第4実施形態は、イメージングプレート46と回折環の形状検出機能、消去機能とを2組にしたが、イメージングプレート46を3組にし、回折環の形状検出機能及び消去機能を別々にして、第2実施形態の方式のX線回折装置1台におけるX線照射と次のX線照射との時間間隔をさらに小さくしたものが、本発明の第5実施形態である。
上述した第1実施形態乃至第5実施形態は、搬送物1の平面残留応力を測定するものであるが、本発明の第6実施形態は3軸残留応力を測定するものである。
2 搬送装置
3 端検出センサ
10 X線回折装置
11 X線出射器
12 2次元撮像素子
13 テーブル
14 円柱状パイプ
15 シャッタ
16 固定具
20 X線制御回路
21 開閉制御回路
22 データ取出回路
30 コンピュータ装置
31 計算部
32 制御部
32−1,32−2,32−3 個別制御部
33 統括制御部
40 X線回折装置
41 移動機構
42 モータ
43 移動制御回路
44 テーブル
46 イメージングプレート
47 光ヘッド
48 光ヘッド制御回路
50 X線回折装置
51−1,51−2 光ヘッド移動機構
52−1,52−2 光ヘッド移動制御回路
60 X線回折装置
61 モータ
62 プレート
Claims (7)
- 一定の速度で搬送される1または複数の搬送物の残留応力を測定するための搬送物の応力測定装置であって、
前記搬送物に対して所定強度のX線を間欠的に照射するX線照射手段と、
前記X線照射手段からX線が照射されたとき、前記搬送物で発生する回折X線を撮像面にて受光し、前記撮像面に回折X線の像を形成するとともに回折X線の像の形状を検出する受光手段と、
前記受光手段にて検出された回折X線の像の形状に基づいて、前記搬送物の残留応力を計算する残留応力取得手段とを有することを特徴とする搬送物の応力測定装置。 - 前記X線照射手段及び前記受光手段は複数組設けられるとともに、それぞれの前記X線照射手段は異なる位置にX線が照射され、
それぞれの前記X線照射手段を制御して、それぞれの前記X線照射手段から照射されるX線が、前記搬送物の搬送方向の異なる位置に照射されるようにする照射制御手段を有し、
前記残留応力取得手段は、それぞれの前記受光手段で検出された回折X線の像の形状に基づいて、各X線が照射された位置での残留応力を求めるよう構成されていることを特徴とする請求項1に記載の搬送物の応力測定装置。 - 前記受光手段は、前記回折X線の像の形状として回折環の形状を検出するものであり、
前記残留応力取得手段は、前記受光手段で検出された前記回折環の形状に基づいて、cosα法により残留応力を計算するものであり、
前記受光手段は、
イメージングプレートと、
前記イメージングプレートにレーザ光を走査し、前記走査の位置及び前記レーザ光の照射点から発生する蛍光の強度を同じタイミングで検出することで回折環の形状を検出する回折環検出手段と、
前記イメージングプレートに形成された回折環を消去するための消去光を照射するとともに前記消去光を走査する回折環消去手段とから構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の搬送物の応力測定装置。 - 前記イメージングプレートは2組あり、
それぞれの組の前記イメージングプレートを、交互に回折X線が入射する位置まで移動させる移動手段と、
一方の組の前記イメージングプレートに回折環が形成されている間、前記回折環検出手段及び前記回折環消去手段を制御して、別の組の前記イメージングプレートに形成された回折環の形状検出及び消去を行う測定制御手段とを有することを特徴とする請求項3に記載の搬送物の応力測定装置。 - 前記イメージングプレートは3組あり、
それぞれの組の前記イメージングプレートを、順に回折X線が入射する位置まで移動させる移動手段と、
1つの組の前記イメージングプレートに回折環が形成されている間、前記回折環検出手段を制御して別の1つの組の前記イメージングプレートに形成された回折環の形状検出を行うとともに、前記回折環消去手段を制御して、別のもう1つの組の前記イメージングプレートに形成された回折環の消去を行う測定制御手段とを有することを特徴とする請求項3に記載の搬送物の応力測定装置。 - 前記受光手段は、前記回折X線の像の形状として回折環の形状を検出するものであり、
前記X線照射手段及び前記受光手段は複数組設けられるとともに、それぞれのX線照射手段から照射されるX線は、前記搬送物に対してそれぞれ異なった方向から照射され、
それぞれの前記X線照射手段を制御して、それぞれの前記X線照射手段から照射されるX線が、前記搬送物の同一の位置に照射されるようにする照射制御手段を有し、
前記残留応力取得手段は、それぞれの前記受光手段で検出された回折環の形状に基づいて、X線が照射された位置での3軸残留応力を求めるよう構成されていることを特徴とする請求項1に記載の搬送物の応力測定装置。 - 前記X線照射手段及び前記受光手段のそれぞれの組は、前記搬送物の搬送方向に沿って配置され、
前記照射制御手段はそれぞれの前記X線照射手段から照射されるX線が、異なったタイミングで照射されるとともに、前記搬送物の同一の位置に照射されるようにすることを特徴とする請求項6に記載の搬送物の応力測定装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110542507A (zh) * | 2019-10-16 | 2019-12-06 | 丹东浩元仪器有限公司 | 一种x射线应力测定仪检测装置的检测方法 |
WO2024082185A1 (zh) * | 2022-10-19 | 2024-04-25 | 中车工业研究院有限公司 | 芯片封装应力检测装置及检测方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4394775A1 (fr) * | 2022-12-27 | 2024-07-03 | Lionel Uzzan | Dispositif et procédé d'effacement de données automatisé |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5141661A (en) * | 1974-10-07 | 1976-04-08 | Hitachi Ltd | Atsuenban no keijoseigyosochi |
JPH0371008A (ja) * | 1989-08-09 | 1991-03-26 | Kawasaki Steel Corp | 金属帯の反り検出方法及び検出装置 |
JPH07311164A (ja) * | 1994-05-17 | 1995-11-28 | Kobe Steel Ltd | 金属板の回折x線分布の測定方法とその測定装置 |
JP2002282941A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-10-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 形状矯正設備、形状矯正方法、残留応力評価装置、及び、残留応力評価方法 |
US20030012334A1 (en) * | 2001-06-19 | 2003-01-16 | Kurtz David S. | Method and apparatus for rapid grain size analysis of polycrystalline materials |
JP2005339253A (ja) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | コンテンツ表示システム |
JP2007501395A (ja) * | 2003-08-04 | 2007-01-25 | エックス−レイ オプティカル システムズ インコーポレーテッド | 角度位置を固定したX線源及びX線検出器を使用するin−situX線回折システム |
JP5339253B2 (ja) * | 2009-07-24 | 2013-11-13 | 国立大学法人金沢大学 | X線応力測定方法 |
JP2014013203A (ja) * | 2012-07-04 | 2014-01-23 | Kanazawa Univ | X線応力測定方法 |
JP2014190899A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Pulstec Industrial Co Ltd | X線回折測定装置及びx線回折測定システム |
JP2017187352A (ja) * | 2016-04-04 | 2017-10-12 | 新日鐵住金株式会社 | X線残留応力測定方法及びx線残留応力測定システム |
-
2018
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5141661A (en) * | 1974-10-07 | 1976-04-08 | Hitachi Ltd | Atsuenban no keijoseigyosochi |
JPH0371008A (ja) * | 1989-08-09 | 1991-03-26 | Kawasaki Steel Corp | 金属帯の反り検出方法及び検出装置 |
JPH07311164A (ja) * | 1994-05-17 | 1995-11-28 | Kobe Steel Ltd | 金属板の回折x線分布の測定方法とその測定装置 |
JP2002282941A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-10-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 形状矯正設備、形状矯正方法、残留応力評価装置、及び、残留応力評価方法 |
US20030012334A1 (en) * | 2001-06-19 | 2003-01-16 | Kurtz David S. | Method and apparatus for rapid grain size analysis of polycrystalline materials |
JP2007501395A (ja) * | 2003-08-04 | 2007-01-25 | エックス−レイ オプティカル システムズ インコーポレーテッド | 角度位置を固定したX線源及びX線検出器を使用するin−situX線回折システム |
JP2005339253A (ja) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | コンテンツ表示システム |
JP5339253B2 (ja) * | 2009-07-24 | 2013-11-13 | 国立大学法人金沢大学 | X線応力測定方法 |
JP2014013203A (ja) * | 2012-07-04 | 2014-01-23 | Kanazawa Univ | X線応力測定方法 |
JP2014190899A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Pulstec Industrial Co Ltd | X線回折測定装置及びx線回折測定システム |
JP2017187352A (ja) * | 2016-04-04 | 2017-10-12 | 新日鐵住金株式会社 | X線残留応力測定方法及びx線残留応力測定システム |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110542507A (zh) * | 2019-10-16 | 2019-12-06 | 丹东浩元仪器有限公司 | 一种x射线应力测定仪检测装置的检测方法 |
CN110542507B (zh) * | 2019-10-16 | 2021-07-27 | 丹东浩元仪器有限公司 | 一种x射线应力测定仪检测装置的检测方法 |
WO2024082185A1 (zh) * | 2022-10-19 | 2024-04-25 | 中车工业研究院有限公司 | 芯片封装应力检测装置及检测方法 |
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