JP2019130674A - 流路部材および液体吐出装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】鉛直方向に沿って配置されたフィルターにおいて、フィルターからの気泡の流出を抑制する。【解決手段】流路部材は、液体を流通させるための流通流路と、流通流路内に水平方向と交差するように配置され、気泡を捕集するためのフィルター部とを備える。フィルター部は、最も上流側に配置された第1フィルター41と、第1フィルターよりも下流側に配置され、第1フィルターよりもろ過性能の高い第2フィルター42とを含む複数のフィルターを有する。【選択図】図2

Description

本発明は、流路部材および液体吐出装置に関する。
例えば、特許文献1には、液体が流通する内部流路の途中に、液体に混入した気泡や異物を捕集するためのフィルターが鉛直方向に沿って設けられた流路部材を有する液体噴射装置が開示されている。
特開2017−136822号公報
しかし、流路部材に鉛直方向に沿ったフィルターが設けられた場合には、フィルターの上流側と接する液面の高さが変動することに伴って、フィルターの目の中に気泡が取り残されて、その気泡がフィルターを通過してしまうおそれがある。気泡がフィルターを通過してノズルへと流れると、ノズルからの液体の吐出不良が生じる可能性がある。そこで、気泡が通過しにくいフィルターを有する流路部材が求められていた。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
(1)本発明の一形態によれば、流路部材が提供される。この流路部材は、液体を流通させるための流通流路と;前記流通流路内に水平方向と交差するように配置され、気泡を捕集するためのフィルター部と;を備える。前記フィルター部は、最も上流側に配置された第1フィルターと、前記第1フィルターよりも下流側に配置され、前記第1フィルターよりもろ過性能の高い第2フィルターと、を含む複数のフィルターを有する。
この形態の流路部材によれば、第1フィルターの目の中に気泡が形成されても、気泡の大きさは第2フィルターを通過しない大きさに抑制される。このため、気泡がフィルター部を通過することを抑制できる。
(2)上記形態の流路部材において、前記第1フィルターは、規則的に配列されたフィルターの目を有し、前記第2フィルターは、不規則に構成されたフィルターの目を有してもよい。
この形態の流路部材によれば、それぞれのフィルターの目の位置が一致しにくくなるため、気泡がフィルター部を通過することをより抑制できる。
(3)上記形態の流路部材において、前記第1フィルターおよび前記第2フィルターは、それぞれ、規則的に配列されたフィルターの目を有してもよい。
この形態の流路部材によれば、第1フィルターと第2フィルターとのろ過性能を容易に調整することができる。
(4)上記形態の流路部材において、前記第1フィルターにおけるフィルターの目のピッチは、前記第2フィルターにおけるフィルターの目のピッチの倍数とは異なってもよい。
この形態の流路部材によれば、それぞれのフィルターの目の位置をずらすことができ、気泡がフィルター部を通過することをより抑制できる。
(5)上記形態の流路部材において、前記第1フィルターは、前記第2フィルターよりも高い撥液性を有してもよい。
この形態の流路部材によれば、第2フィルターが第1フィルターよりも高い撥液性を有する場合に比べて、フィルター部の流路抵抗を小さくすることができるとともに、第2フィルターの目の中に気泡の発生原因となるメニスカスの形成を抑制できる。
(6)上記形態の流路部材において、前記流通流路は、前記流通流路の内周面に溝状の凹部を有し、前記フィルター部は、前記フィルター部の外周縁が前記凹部に嵌め合わされることによって支持されてもよい。
この形態の流路部材によれば、フィルターの有効断面を確保しつつ、フィルター部を流通流路内に固定することができる。
(7)上記形態の流路部材において、前記凹部には、前記外周縁とともに弾性部材が嵌め合わされてもよい。
この形態の流路部材によれば、フィルター部の外周縁が弾性部材によって支持されるため、フィルター部の外周縁のシール性を向上させることができる。
(8)上記形態の流路部材において、前記複数のフィルターは、密着していてもよい。
この形態の流路部材によれば、フィルター相互間もフィルターの目としての機能を果たし、気泡がフィルター部を通過することをより抑制できる。
(9)上記形態の流路部材において、前記フィルター部は、前記水平方向に対して傾斜しており、前記第1フィルターは、前記第2フィルターに対して重力方向上側に位置してもよい。
この形態の流路部材によれば、第1フィルターに付着した気泡を、効率的に重力方向上側に逃がすことができる。
(10)上記形態の流路部材において、前記流通流路は、前記フィルター部よりも上流側における重力方向上側に開口部を有し、前記開口部には、気体透過膜が設けられてもよい。
この形態の流路部材によれば、フィルター部によって捕集された気泡を、気体透過膜を介して流通流路外へと放出させることができる。
(11)本発明の第2の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、液体供給源から供給された液体を吐出させるためのノズルと;前記液体供給源から前記ノズルへ、前記液体を流通させるための流通流路と;前記流通流路内に水平方向と交差するように配置され、気泡を捕集するためのフィルター部と;を備える。前記フィルター部は、最も上流側に配置された第1フィルターと、前記第1フィルターよりも下流側に配置され、前記第1フィルターよりもろ過性能の高い第2フィルターと、を含む複数のフィルターを有する。
この形態の液体吐出装置によれば、フィルター部よりも下流側への気泡の流出を抑制できる。このため、気泡がノズルへと流れることによって、ノズルに吐出不良が生じることを抑制できる。
(12)上記形態の液体吐出装置は、前記流通流路における前記フィルター部よりも上流側に設けられ、前記液体を加圧供給するための加圧部を備えてもよい。
この形態の液体吐出装置によれば、フィルター部よりも上流側からの加圧供給のオンオフに伴って、気泡が縮小や膨張をした場合であっても、フィルター部によって、ノズルへの気泡の流出を抑制できる。
本発明は、上述した流路部材以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、液体吐出装置、液体吐出ユニット、気泡除去フィルター等の形態で実現することができる。
第1実施形態における液体吐出装置の概略構成を示す説明図。 第1実施形態におけるフィルター室の構成を示す説明図。 フィルター部に捕集された気泡の挙動を示す第1の説明図。 フィルター部に捕集された気泡の挙動を示す第2の説明図。 フィルター部に捕集された気泡の挙動を示す第3の説明図。 フィルター部に捕集された気泡の挙動を示す第4の説明図。
A.第1実施形態
図1は、第1実施形態における液体吐出装置5の概略を示す説明図である。本実施形態での液体吐出装置5は、液体供給源10から供給されたインク(液体)を吐出させるためのノズル25を有する液体噴射ヘッド20と、液体供給源10と液体噴射ヘッド20との間に接続され、液体供給源10から供給されたインクを液体噴射ヘッド20に流通させる流路部材30とを備えるインクジェットプリンターとして構成されている。流路部材30は、液体噴射ヘッド20に対して、着脱可能に接続されている。液体噴射ヘッド20と、流路部材30とを合わせて、「液体噴射ユニット」と呼ぶこともある。
液体供給源10は、インクの供給源である。本実施形態での液体供給源10は、液体吐出装置5に対して着脱可能に構成されたインクカートリッジである。インクは、顔料インクであっても、染料インクであってもよい。液体吐出装置5は、液体供給源10が液体噴射ヘッド20上にないオフキャリッジタイプのプリンターであっても、液体供給源10が液体噴射ヘッド20上にあるオンキャリッジタイプのプリンターであってもよい。液体吐出装置5は、インクカートリッジからインクを吸引して加圧供給する加圧部15を備えている。加圧部15としては、例えば、ポンプを用いることができる。尚、液体吐出装置5は、加圧部15を備えていなくてもよい。この場合、例えば、液体供給源10から水頭差によってインクが供給される。また、本実施形態では、液体供給源10は、液体吐出装置5に対して着脱可能に構成されているが、液体吐出装置5に対して固定されたタンクとして構成されてもよい。この場合、タンクには、インクが収容されたボトルから適宜インクが補充される。
液体噴射ヘッド20は、供給針21と、ヘッド流路22と、リザーバー23と、圧力室24と、ノズル25とを備えており、この順にインクが流れる。供給針21は、流路部材30の流通流路31に挿入されており、流通流路31からヘッド流路22内へとインクを導入する。供給針21と流通流路31との間は、インクが漏れないようにシールされている。供給針21に代えて、流路部材30と液体噴射ヘッド20との間で、それぞれに設けられたフィルター同士が接触すること等によって、インクの接点が確保されていてもよい。ヘッド流路22に導入されたインクは、リザーバー23に流れる。リザーバー23は、圧力室24に連通しており、圧力室24に供給されるインクを一旦貯留する。
圧力室24は、ノズル25と連通している。また、圧力室24には、ピエゾアクチュエーター26が設けられている。ピエゾアクチュエーター26の駆動によって圧力室24の容積が縮小され、圧力室24内の圧力が、ノズル25内のインクのメニスカス耐圧を超えると、ノズル25からインクが吐出される。一方、ピエゾアクチュエーター26の駆動によって圧力室24の容積が拡大され、圧力室24内が負圧になるとリザーバー23からインクが供給される。尚、このとき、リザーバー23の圧力も低下するため、リザーバー23にはヘッド流路22側からインクが供給される。尚、液体噴射ヘッド20は、上述のピエゾ方式に限らず、例えば、サーマル方式でもよい。
流路部材30は、流通流路31と、フィルター部40とを備えている。流通流路31は、インクを流通させるための流路である。フィルター部40は、インクに含まれる気泡や異物を捕集するためのフィルターである。流通流路31は、上流側から、上流側流通流路32と、フィルター室33と、下流側流通流路36とを有し、インクがこの順に流れる。フィルター部40は、フィルター室33内に設けられている。フィルター室33は、フィルター部40を境界にして、上流側フィルター室34と、下流側フィルター室35とに分けられる。本実施形態では、上流側フィルター室34から下流側フィルター室35へ向かって、水平方向に沿ってインクが流通する。また、上流側フィルター室34の重力方向上側には、開口部38が設けられており、開口部38には、気体透過膜50が設けられている。気体透過膜50は、空気等の気体は透過させるが、インク等の液体は透過させない膜であり、上流側フィルター室34内に溜まった空気を上流側フィルター室34外へと放出させる。尚、開口部38および気体透過膜50は、下流側フィルター室35の重力方向上側に設けられてもよい。
図2は、フィルター室33の構成をより詳細に示す説明図である。フィルター部40は、最も上流側に配置された第1フィルター41と、第1フィルター41よりも下流側に配置され、第1フィルター41よりもろ過性能の高い第2フィルター42とを含む複数のフィルターを有する。本明細書において、「ろ過性能」とは、JIS B8356−8(フィルタエレメントのろ過性能試験)に準拠して測定された、ろ過前とろ過後とにおける異物(コンタミ粒子数)の比率(β値)によって表される、フィルターの特性を意味する。β値の高いフィルターが、ろ過性能の高いフィルターである。
フィルター部40は、フィルター室33内に水平方向と交差するように配置されている。本実施形態では、フィルター部40は、鉛直方向に沿って配置されている。尚、フィルター部40が、水平方向に対して傾斜しており、第1フィルター41は、第2フィルター42に対して重力方向上側に位置するように配置されていてもよい。この場合、第1フィルター41に付着した気泡を、上流側フィルター室34の重力方向上側に効率的に逃がすことができる。尚、フィルター室33が設けられておらず、水平方向にインクが流れる流通流路31内の任意の位置に、フィルター部40が設けられてもよい。
本実施形態では、フィルター室33は、内周面に溝状の凹部37を有しており、フィルター部40の外周縁が凹部37に嵌め合わされることによって、フィルター部40は支持されている。凹部37には、フィルター部40の外周縁とともに弾性部材43が嵌め合わされている。本実施形態では、弾性部材43として、ゴム製のOリングが用いられている。また、本実施形態では、上流側フィルター室34と、下流側フィルター室35とが分割可能に構成されており、上流側フィルター室34と、下流側フィルター室35とは、それぞれの結合面に溝が形成されている。上流側フィルター室34に形成された溝と、下流側フィルター室35に形成された溝とが組み合わされて、凹部37を構成する。フィルター部40の外周縁の下流側の面は、弾性部材43によって支持されており、上流側の面は、凹部37によって支持されている。尚、フィルター部40の外周縁の下流側の面が凹部37によって支持され、上流側の面が弾性部材43によって支持されてもよいし、フィルター部40の外周縁の両側の面が弾性部材43によって支持されてもよい。また、凹部37に弾性部材43が嵌め合わされておらず、フィルター部40の外周縁の両側の面が凹部37によって支持されてもよい。フィルター室33の内周面に2つの突起が形成され、2つの突起の間が凹部37であってもよい。上流側フィルター室34と、下流側フィルター室35とが分割可能に構成されていなくてもよい。
本実施形態では、フィルター部40は、2枚のフィルターによって構成されており、第1フィルター41と第2フィルター42とは密着している。尚、フィルター部40は、3枚以上のフィルターによって構成されてもよい。この場合、第1フィルター41と第2フィルター42との間に他のフィルターが介在してもよいし、上流側から、第1フィルター41、第2フィルター42、他のフィルターの順に配列されてもよい。これらのフィルター同士は、密着していることが好ましいが、隙間が空いていてもよい。フィルター同士が密着することで、フィルター部40の固定が容易になるとともに、隙間が少なくなってフィルター間に留まる気泡数を低減することができる。また、フィルター同士は、ずれを抑制するために、一部が溶着や接着されることによって密着してもよい。
本実施形態では、第1フィルター41および第2フィルター42は、ステンレス鋼によって形成されたメッシュ状のフィルターであり、それぞれ、規則的に配列されたフィルターの目を有する。第1フィルター41としては、第2フィルター42よりも線径が太く、メッシュ数が少ないフィルターが用いられている。つまり、第1フィルター41の方がより目の粗いフィルターであり、第2フィルター42の方がより目の細かいフィルターである。また、第1フィルター41におけるフィルターの目のピッチは、第2フィルター42におけるフィルターの目のピッチの倍数とは異なる。第1フィルター41の目のピッチは、数百マイクロメートルであり、第2フィルター42の目のピッチは、数十マイクロメートルである。第1フィルター41および第2フィルター42には、同程度の線径のフィルターが用いられている。尚、第1フィルター41および第2フィルター42は、ステンレス鋼によって形成されていなくてもよく、ステンレス鋼以外の金属製であってもよいし、樹脂製やガラス製であってもよい。また、第1フィルター41および第2フィルター42は、メッシュ状でなくても、例えば、パンチングやエッチングや電鋳等によって、多数の孔が規則的に配列されるように形成されてもよい。第1フィルター41および第2フィルター42が金属製である場合、圧接しながら熱処理することによって、複数のフィルターが密着して積層されたフィルター部40を容易に作成することができる。
第1フィルター41は、規則的に配列されたフィルターの目を有し、第2フィルター42は、不規則に構成されたフィルターの目を有してもよい。この場合の第2フィルター42としては、例えば、メタルファイバーのように、フィルターの目が不規則に配列された不織布を用いることができる。また、第1フィルター41および第2フィルター42が、それぞれ、不規則に構成されたフィルターの目を有してもよい。例えば、第1フィルター41および第2フィルター42としては、不織布を用いることができる。この場合、それぞれのフィルターの目の位置を一致しにくくすることができる。また、不織布を用いることによって、フィルター同士をより密着させやすくすることができる。異なる種類のフィルターを用いることによって、インクの固形分等の軟質物質の通過を抑制できる。尚、第1フィルター41として金属製のメッシュ状のフィルターを用い、第2フィルター42としてメタルファイバーによるフィルターを用いた場合、圧接しながら熱処理することで、複数のフィルターが密着して積層されたフィルター部40を容易に作成することができるとともに、インクの固形分等の軟質異物の通過をより抑制できる。
第1フィルター41は、テフロン(登録商標)によるめっき処理や、無電解ニッケルめっき処理が施されることによって、第2フィルター42よりも高い撥液性を有してもよい。「撥液性」とは、固体(フィルター)と液体(インク)との接触角が大きく、濡れにくい性質を指す。
図2に示すように、上流側フィルター室34内の液面の高さは種々の要因によって上下する。上流側フィルター室34内の液面の高さが上昇する例としては、液体吐出装置5のインクの充填によって、液面の高さは上昇する。上流側フィルター室34の天井面に設けられた気体透過膜50を介して空気が外部に放出されることによって、液面の高さは上昇する。インクとして脱気インクを用いた場合には、上流側フィルター室34内の空気が脱気インクに溶けることによって、液面の高さは上昇する。上流側フィルター室34内の液面の高さが下降する例としては、上流側から流れてきた気泡がフィルター部40によって捕集され、上流側フィルター室34内に溜まることによって、液面の高さは下降する。液体吐出装置5による印刷が行われて、インクが消費されることによって、液面の高さは下降する。他にも、液体吐出装置5がオンキャリッジタイプである場合には、キャリッジの駆動に伴って、上流側フィルター室34内の液面が上下に揺れることが挙げられる。
図3から図6は、フィルター部40に捕集された気泡の挙動を示す説明図である。図3から図6における上側が、重力方向上側である。図3に示すように、上流側から流れ込んできた気泡がフィルター部40にせき止められて集まったり、上流側フィルター室34の液面が下降した際に、液面より上に露出したフィルター表面に気泡が形成される等の要因により、第1フィルター41の上流側の面には、大きな気泡が付着している。第1フィルター41の目の中にメニスカスが形成されることによって、付着した気泡の一部は、第1フィルター41の目の中に入り込んでいる。図4に示すように、上流側フィルター室34内の液面の上昇に伴って、第1フィルター41の上流側の面に付着した気泡の多くは、上流側フィルター室34における重力方向上側へと移動する。実線は移動後の気泡の位置を表しており、破線は移動前の気泡の位置を表している。第1フィルター41の目の中に入り込んだ気泡の一部は、上流側フィルター室34内の液面の高さが上昇した際に、図5に示すように、小さな気泡となって第1フィルター41の目の中に残留することがある。この小さな気泡の大きさは、第1フィルター41の目の大きさと同程度である。フィルター部40が、第1フィルター41のみによって構成された場合には、例えば、インクの圧力が高まって気泡が縮小すること等によって、第1フィルター41を通過してしまう。つまり、第1フィルター41の目の大きさが小さい場合であっても、第1フィルター41の目の中にメニスカスが形成されるため、上流側フィルター室34の液面が上昇した後には、第1フィルター41の目の中に気泡が留まり、この気泡が下流側に流れやすい。しかし、本実施形態のフィルター部40には、第1フィルター41よりも下流側に、第1フィルター41よりも目の細かい第2フィルター42が配置されているため、図6に示すように、小さな気泡は第2フィルター42によってせき止められる。つまり、第2フィルター42よりも目の大きい第1フィルター41の目の中にメニスカスを形成させることによって、第1フィルター41の目の中に留まる気泡の大きさは、第2フィルター42の目よりも大きくなるため、第2フィルター42によって気泡の通過が抑制される。その後、小さな気泡は、第1フィルター41の目の中に留まるか、気体透過膜50を介して、上流側フィルター室34の外へ放出される。また、インクが脱気インクである場合には、気泡はインクに溶けて消滅する場合もある。
以上で説明した本実施形態の流路部材30によれば、第1フィルター41の目の中に小さな気泡が形成されても、気泡の大きさは第2フィルター42を通過しない大きさに抑制されるため、第1フィルター41よりも下流側の第2フィルター42によってせき止められる。このため、気泡がフィルター部40を通過することを抑制できる。
また、本実施形態では、第1フィルター41および第2フィルター42は、それぞれ、規則的に配列されたフィルターの目を有するメッシュ状のフィルターによって構成されている。このため、第1フィルター41と第2フィルター42とのろ過性能を容易に調整することができる。
また、本実施形態では、第1フィルター41におけるフィルターの目のピッチは、第2フィルター42におけるフィルターの目のピッチの倍数とは異なる。このため、それぞれのフィルターの目の位置をずらすことができ、気泡がフィルター部40を通過することをより抑制できる。
また、本実施形態では、第1フィルター41と第2フィルター42とが、密着している。このため、フィルター相互間もフィルターの目としての機能を果たし、気泡がフィルター部40を通過することをより抑制できる。
また、本実施形態では、目の粗い第1フィルター41が、目の細かい第2フィルター42よりも高い撥液性を有する。このため、第2フィルター42の方が第1フィルター41よりも高い撥液性を有する場合に比べて、フィルター部40の流路抵抗を小さくすることができるとともに、第2フィルター42の目の中に小さな気泡の発生原因となるメニスカスの形成を抑制できる。
また、本実施形態では、上流側フィルター室34の重力方向上側には、開口部38が形成されており、開口部38には、気体透過膜50が設けられている。このため、フィルター部40によって捕集された気泡を、気体透過膜50を介して上流側フィルター室34外へと放出させることができる。
また、本実施形態では、フィルター室33は内周面に溝状の凹部37を有し、フィルター部40は、フィルター部40の外周縁が凹部37に嵌め合わされることによって支持されている。このため、フィルターの有効断面を確保しつつ、フィルター部40をフィルター室33内に固定することができる。また、接着や溶着によってフィルター部40をフィルター室33の内周面に固着しないため、流路部材30を容易に組み立てることができる。
また、本実施形態では、凹部37には、フィルター部40の外周縁とともに弾性部材43が嵌め合わされており、フィルター部40の外周縁の下流側の面が、弾性部材43によって支持されている。このため、フィルター部40の外周縁のシール性を向上させることができる。また、第2フィルター42よりも線径が太くて剛性が高い、第1フィルター41の外周縁の面が凹部37によって支持されるため、第2フィルターの外周縁の面が凹部37によって支持される場合よりも耐久性を確保することができる。
また、例えば、液体噴射ヘッド20へのインクの初期充填時や、加圧によってノズル25から液体を排出させる液体噴射ヘッド20のメンテナンス時のように、フィルター部40よりも上流側からの加圧のオンオフが行われる場合には、加圧のオンオフによってフィルターの目の中に残留した気泡に収縮や膨張や流動が生じやすく、単層のフィルターでは、気泡が通過してしまいやすい。しかし、本実施形態のフィルター部40は、第1フィルター41および第2フィルター42を含む多層のフィルターであるため、フィルター部40よりも上流側からの加圧のオンオフが行われる場合であっても、効果的に気泡の通過を抑制できる。
また、上流側フィルター室34に気泡を放出するための開口部38が設けられていない場合には、例えば、インクの初期充填時に、上流側フィルター室34内の上側に空気が溜まり、初期充填後の脱泡もしくは吐出動作によって徐々に液面が上昇していくため、液面の上昇に伴ってフィルターの目の中に気泡が残留しやすく、単層のフィルターでは、気泡が通過してしまいやすい。しかし、本実施形態のフィルター部40は、第1フィルター41および第2フィルター42を含む多層のフィルターであるため、フィルター部40よりも上流側からの加圧のオンオフが行われる場合であっても、効果的に気泡の通過を抑制できる。
本発明は、インクを吐出する液体吐出装置に限らず、インク以外の他の液体を吐出する任意の液体吐出装置にも適用することができる。
本発明は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
5…液体吐出装置、10…液体供給源、15…加圧部、20…液体噴射ヘッド、21…供給針、22…ヘッド流路、23…リザーバー、24…圧力室、25…ノズル、26…ピエゾアクチュエーター、30…流路部材、31…流通流路、32…上流側流通流路、33…フィルター室、34…上流側フィルター室、35…下流側フィルター室、36…下流側流通流路、37…凹部、38…開口部、40…フィルター部、41…第1フィルター、42…第2フィルター、43…弾性部材、50…気体透過膜。

Claims (12)

  1. 流路部材であって、
    液体を流通させるための流通流路と、
    前記流通流路内に水平方向と交差するように配置され、気泡を捕集するためのフィルター部と、
    を備え、
    前記フィルター部は、最も上流側に配置された第1フィルターと、前記第1フィルターよりも下流側に配置され、前記第1フィルターよりもろ過性能の高い第2フィルターと、を含む複数のフィルターを有する、
    流路部材。
  2. 請求項1に記載の流路部材であって、
    前記第1フィルターは、規則的に配列されたフィルターの目を有し、
    前記第2フィルターは、不規則に構成されたフィルターの目を有する、
    流路部材。
  3. 請求項1に記載の流路部材であって、
    前記第1フィルターおよび前記第2フィルターは、それぞれ、規則的に配列されたフィルターの目を有する、
    流路部材。
  4. 請求項3に記載の流路部材であって、
    前記第1フィルターにおけるフィルターの目のピッチは、前記第2フィルターにおけるフィルターの目のピッチの倍数とは異なる、
    流路部材。
  5. 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の流路部材であって、
    前記第1フィルターは、前記第2フィルターよりも高い撥液性を有する、
    流路部材。
  6. 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の流路部材であって、
    前記流通流路は、前記流通流路の内周面に溝状の凹部を有し、
    前記フィルター部は、前記フィルター部の外周縁が前記凹部に嵌め合わされることによって支持される、
    流路部材。
  7. 請求項6に記載の流路部材であって、
    前記凹部には、前記外周縁とともに弾性部材が嵌め合わされる、
    流路部材。
  8. 請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の流路部材であって、
    前記複数のフィルターは、密着している、
    流路部材。
  9. 請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の流路部材であって、
    前記フィルター部は、前記水平方向に対して傾斜しており、
    前記第1フィルターは、前記第2フィルターに対して重力方向上側に位置する、
    流路部材。
  10. 請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の流路部材であって、
    前記流通流路は、前記フィルター部よりも上流側における重力方向上側に開口部を有し、
    前記開口部には、気体透過膜が設けられている、
    流路部材。
  11. 液体吐出装置であって、
    液体供給源から供給された液体を吐出させるためのノズルと、
    前記液体供給源から前記ノズルへ、前記液体を流通させるための流通流路と、
    前記流通流路内に水平方向と交差するように配置され、気泡を捕集するためのフィルター部と、
    を備え、
    前記フィルター部は、最も上流側に配置された第1フィルターと、前記第1フィルターよりも下流側に配置され、前記第1フィルターよりもろ過性能の高い第2フィルターと、を含む複数のフィルターを有する、
    液体吐出装置。
  12. 請求項11に記載の液体吐出装置であって、
    前記流通流路における前記フィルター部よりも上流側に設けられ、前記流通流路内に前記液体を加圧供給するための加圧部を備える、
    液体吐出装置。
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