JP2019129275A - アンダーフィル材、半導体パッケージ及び半導体パッケージの製造方法 - Google Patents
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- Epoxy Resins (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Description
例えば、特許文献1にはビスフェノール型エポキシ樹脂にアミノフェノールエポキシ樹脂を特定量配合することで良好な注入性と封止後のフィレットクラックの抑制を達成したアンダーフィル材が記載されている。
<1>エポキシ樹脂と、硬化剤と、無機充填剤とを含み、前記エポキシ樹脂が下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物を含む、アンダーフィル材。
本開示において「〜」を用いて示された数値範囲には、「〜」の前後に記載される数値がそれぞれ最小値及び最大値として含まれる。
本開示中に段階的に記載されている数値範囲において、一つの数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本開示において各成分は該当する物質を複数種含んでいてもよい。組成物中に各成分に該当する物質が複数種存在する場合、各成分の含有率又は含有量は、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数種の物質の合計の含有率又は含有量を意味する。
本開示において各成分に該当する粒子は複数種含んでいてもよい。組成物中に各成分に該当する粒子が複数種存在する場合、各成分の粒子径は、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数種の粒子の混合物についての値を意味する。
本開示のアンダーフィル材は、エポキシ樹脂と、硬化剤と、無機充填剤とを含み、前記エポキシ樹脂が下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物(以下、特定エポキシ化合物ともいう)を含む。
さらに、特定エポキシ化合物を含むアンダーフィル材は他の反応性希釈剤を用いる場合に比べて硬化物の熱膨張率の上昇を抑えつつ粘度を低減できるため、無機充填剤の増量に対応しやすいという利点もある
エポキシ樹脂は、一般式(1)で表される特定エポキシ化合物を含むものであれば、特に制限されない。エポキシ樹脂に含まれる特定エポキシ化合物は、1種のみでも2種以上であってもよい。
硬化剤の種類は特に制限されず、アンダーフィル材の所望の特性等に応じて選択できる。例えば、アミン硬化剤、フェノール硬化剤、酸無水物硬化剤、ポリメルカプタン硬化剤、ポリアミノアミド硬化剤、イソシアネート硬化剤、ブロックイソシアネート硬化剤等が挙げられる。硬化剤は、1種を単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。
無機充填剤の種類は、特に制限されない。具体的には、シリカ、アルミナ、炭酸カルシウム、ケイ酸ジルコニウム、ケイ酸カルシウム、窒化珪素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ベリリア、ジルコニア、ジルコン、フォステライト、ステアタイト、スピネル、ムライト、チタニア、タルク、クレー、マイカ等の無機材料が挙げられる。また、難燃効果を有する無機充填剤を用いてもよい。難燃効果を有する無機充填剤としては、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、マグネシウムと亜鉛の複合水酸化物等の複合金属水酸化物、硼酸亜鉛などが挙げられる。
アンダーフィル材は、上述の成分に加えて、硬化促進剤、応力緩和剤、カップリング剤、着色剤等の各種添加剤を含んでもよい。アンダーフィル材は、以下に例示する添加剤以外にも必要に応じて当技術分野で周知の各種添加剤を含んでもよい。
アンダーフィル材は、硬化促進剤を含んでもよい。硬化促進剤の種類は特に制限されず、エポキシ樹脂及び硬化剤の種類、アンダーフィル材の所望の特性等に応じて選択できる。
アンダーフィル材は、応力緩和剤を含んでもよい。応力緩和剤としては、熱可塑性エラストマー、NR(天然ゴム)、NBR(アクリロニトリル−ブタジエンゴム)、アクリルゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム等の粒子などが挙げられる。応力緩和材剤は、1種を単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。
アンダーフィル材は、カップリング剤を含んでもよい。カップリング剤としては、エポキシシラン、フェニルシラン、メルカプトシラン、アミノシラン、フェニルアミノシラン、アルキルシラン、ウレイドシラン、ビニルシラン等のシラン化合物、チタン化合物、アルミニウムキレート化合物、アルミニウム/ジルコニウム化合物などが挙げられる。これらの中でもシラン化合物(シランカップリング剤)が好ましい。カップリング剤は、1種を単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。
アンダーフィル材は、着色剤を含んでもよい。着色剤としては、カーボンブラック、有機染料、有機顔料、鉛丹、ベンガラ等が挙げられる。着色剤は、1種を単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。
アンダーフィル材は、種々の実装技術に用いることができる。特に、フリップチップ型実装技術に用いるアンダーフィル材として好適に用いることができる。例えば、バンプ等で接合された半導体素子と基板の間の隙間を充填する用途に好適に用いることができる。
本開示の半導体パッケージは、基板と、前記基板上に配置された半導体素子と、前記半導体素子を封止している上述したアンダーフィル材の硬化物と、を備える。
本開示の半導体パッケージの製造方法は、基板と、前記基板上に配置された半導体素子との間の空隙を上述したアンダーフィル材で充填する工程と、前記アンダーフィル材を硬化する工程と、を有する。
表1に示す成分を表1に示す量(質量部)にて混合し、アンダーフィル材を調製した。各成分の詳細は下記のとおりである。
エポキシ樹脂2…トリグリシジル−p−アミノフェノール、エポキシ当量:95g/eq、商品名「jER 630」、三菱ケミカル株式会社
エポキシ樹脂3…1,6−ビス(グリシジルオキシ)ナフタレン、エポキシ当量:143g/eq、商品名「エピクロン HP−4023D」、DIC株式会社
比較例エポキシ化合物1…1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、エポキシ当量:102g/eq、商品名「SR−14BJ」、阪本薬品工業株式会社
比較例エポキシ化合物2…トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、エポキシ当量:120、商品名「エポトート ZX−1542」、新日鉄住金化学株式会社
硬化剤2…3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、商品名「カヤハード A−A」、活性水素当量:63g/eq、日本化薬株式会社
アンダーフィル材をレオメーター(ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン株式会社製の「AR2000」)を用い、40mmのパラレルプレートにて、せん断速度:32.5/secの条件で測定した値を110℃での粘度とした。
アンダーフィル材を直径8mm、長さ20mmの円柱状に150℃で2時間加熱成形して得られた硬化物の寸法の変化を、TMA(熱機械分析装置)としてティーエーインスツルメント社の「TA4000SA」を用い、昇温速度3℃/min、測定温度範囲0〜250℃で測定し、10℃〜30℃の直線の勾配を熱膨張係数(ppm/℃)とした。
以上より、エポキシ樹脂として特定エポキシ化合物を配合することで、アンダーフィル材の硬化物の熱膨張率の上昇を抑えつつ充填時の粘度を低減できることがわかった。
Claims (7)
- エポキシ樹脂と、硬化剤と、無機充填剤とを含み、前記エポキシ樹脂が下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物を含む、アンダーフィル材。
〔一般式(1)において、nは1又は2であり、mは2〜4の整数である。R1及びR2はそれぞれ独立に水素原子又は炭素数6以下の炭化水素基であり、同じ炭素原子に結合するR1及びR2の少なくとも一方は炭素数6以下の炭化水素基である。〕 - 前記エポキシ化合物は、下記一般式(2)で表される構造を有するエポキシ化合物である、請求項1に記載のアンダーフィル材。
〔一般式(2)において、R1及びR2はそれぞれ独立に水素原子又は炭素数6以下の炭化水素基であり、R1及びR2の少なくとも一方は炭素数6以下の炭化水素基である。p及びqはそれぞれ独立に1又は2である。〕 - 前記一般式(2)においてR1及びR2がそれぞれメチル基であり、p及びqがそれぞれ1である、請求項2に記載のアンダーフィル材。
- 前記無機充填剤の含有率が前記アンダーフィル材全体の50質量%以上である、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のアンダーフィル材。
- 前記硬化剤はアミン硬化剤を含む、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のアンダーフィル材。
- 基板と、前記基板上に配置された半導体素子と、前記半導体素子を封止している請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のアンダーフィル材の硬化物と、を備える、半導体パッケージ。
- 基板と、前記基板上に配置された半導体素子との間の空隙を請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のアンダーフィル材で充填する工程と、前記アンダーフィル材を硬化する工程と、を有する、半導体パッケージの製造方法。
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