JP2019126197A - 電源装置、レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Q=C×ΔV
となる。したがって、充電電流ICHGの時間積分値が電荷量Qと一致するように、オン時間TONを規定すればよい。
TCYC≧TEXC+TON+TOFF …(1)
TCYC≧TON+TOFF …(2)
レーザ光源102の出力エネルギーが設計値からずれると、バンクコンデンサ202の電圧のドロップ量ΔVが設計値からずれる。このとき、予め規定しておいたオン時間TONでメイン充電を行うと、充電による直流電圧VDCの回復量と、放電によるドロップ量ΔVが不平衡となり、直流電圧VDCがドリフトする。
TON=TON_FIX+ΔTON
1回のメイン充電の後、バンクコンデンサ202の直流電圧VDCが、仕様電圧範囲VTGTから逸脱することも起こりうる。これは、可変オン時間制御を導入した場合であっても、バンクコンデンサ202の直流電圧VDCのドロップ量ΔVが急激に変動したり、入力電圧VINが急激に変動するような状況で発生する。直流電圧VDCが仕様電圧範囲VTGTから逸脱している間は、上位コントローラ106によりレーザのショットが禁止されるため、生産性が低下する。
なお、サブ充放電が発生した動作サイクルの次の動作サイクルにおいて、メイン充電におけるローサイドトランジスタM1の補正オン時間ΔT[i+1]として、直前のサブ充放電のオン時間TON_FINEを用いるとよい。これは、PIDコントローラ226の積分項の値を、TON_FINEで置き換えることで実現してもよい。図10は、サブ充放電のオン時間TON_FINEのメイン充電への反映を説明する図である。
続いてレーザ装置100の用途を説明する。図12は、レーザ装置100を備えるレーザ加工装置300を示す図ある。レーザ加工装置300は、対象物302にレーザパルス304を照射し、対象物302を加工する。対象物302の種類は特に限定されず、また加工の種類も、穴空け(ドリル)、切断などが例示されるが、その限りではない。
102 レーザ光源
104 高周波電源
106 上位コントローラ
200 電源装置
202 バンクコンデンサ
210 充電電源
212 スイッチングコンバータ
220 コンバータコントローラ
226 PIDコントローラ
240 サブ充放電コントローラ
L1 リアクトル
M1 ローサイドトランジスタ
M2 ハイサイドトランジスタ
300 レーザ加工装置
310 光学系
320 制御装置
330 ステージ
Claims (6)
- 間欠動作する負荷が接続されるバンクコンデンサと、
スイッチングコンバータを含み、前記バンクコンデンサを充電する充電電源と、
を備え、
前記充電電源は、前記負荷の動作開始をトリガとして、前記スイッチングコンバータのローサイドトランジスタを1回、ターンオンするメイン充電を行うことを特徴とする電源装置。 - 前記ローサイドトランジスタのオン時間は、前記負荷の動作サイクルごとに更新されることを特徴とする請求項1に記載の電源装置。
- 前記ローサイドトランジスタのオン時間は、固定オン時間と補正オン時間の和であり、ある動作サイクルにおける前記補正オン時間は、それより前の動作サイクルにおける前記バンクコンデンサの電圧と目標電圧の誤差に応じて調節されることを特徴とする請求項2に記載の電源装置。
- 前記充電電源は、前記メイン充電の結果、前記バンクコンデンサの電圧が仕様電圧範囲から外れたときに、サブ充放電を行うことを特徴とする請求項3に記載の電源装置。
- 前記メイン充電における前記ローサイドトランジスタの前記補正オン時間は、PI(比例・積分)制御またはPID(比例・積分・微分)制御により調節され、
前記サブ充放電が発生した動作サイクルの次の動作サイクルにおいて、前記メイン充電における前記ローサイドトランジスタの前記補正オン時間として、前の動作サイクルの前記サブ充放電の前記オン時間を用いることを特徴とする請求項4に記載の電源装置。 - レーザ光源と、
前記レーザ光源に、交番電圧を間欠的に供給する高周波電源と、
請求項1から5のいずれかに記載の電源装置と、
を備えることを特徴とするレーザ装置。
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