JP2019120504A - ガス状不純物濃度検出ユニット及びガス状不純物濃度検出方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 試料ガス中に含まれるガス状不純物成分の濃度を検出するガス状不純物濃度検出ユニットにおいて、あらかじめ設定した第1の波長を有する第1測定光及び前記第1の波長とは異なるあらかじめ設定した第2の波長を有する第2測定光の吸収状態が特定のガスとの接触によってそれぞれ変化する感応剤を光透過性及びガス透過性を有する基材に固定化した検知素子と、該検知素子を備えた試料ガス通路と、該試料ガス通路の一方から試料ガス通路内に前記第1測定光を照射する第1光源及び前記第2測定光を照射する第2光源と、試料ガス通路の他方で前記検知素子を透過した第1測定光及び第2測定光の受光状態をそれぞれ第1計測電圧及び第2計測電圧に変換する受光部と、該受光部で変換した第1計測電圧と第2計測電圧との差又は商を算出し、算出した差又は商に基づいて前記第1計測電圧又は前記第2計測電圧から算出したガス状不純物成分の濃度を補正する演算部とを備えていることを特徴とするガス状不純物濃度検出ユニット。
- 前記第1測定光及び前記第2測定光は、波長が200〜800nmの範囲の光であることを特徴とする請求項1記載のガス状不純物濃度検出ユニット。
- 前記ガス状不純物成分が水分であり、前記感応剤は、金属イオン及び該金属イオンに配位結合する有機配位子からなる多孔性金属錯体であることを特徴とする請求項1又は2記載のガス状不純物濃度検出ユニット。
- 前記多孔性金属錯体は、銅ベンゼン−1,3,5−トリカルボキシレートであることを特徴とする請求項3記載のガス状不純物濃度検出ユニット。
- 試料ガス中に含まれるガス状不純物成分の濃度を検出する方法において、あらかじめ設定した第1の波長を有する第1測定光及び前記第1の波長とは異なるあらかじめ設定した第2の波長を有する第2測定光の吸収状態が特定のガスとの接触によってそれぞれ変化する感応剤を光透過性及びガス透過性を有する基材に固定化した検知素子を備えた試料ガス通路内に試料ガスを流通させるとともに、前記試料ガス通路の一方から試料ガス通路内に前記第1測定光及び前記第2測定光を照射し、前記試料ガス通路の他方で前記検知素子を透過した第1測定光及び第2測定光を受光して各受光状態をそれぞれ第1計測電圧及び第2計測電圧に変換し、第1計測電圧と第2計測電圧との差又は商を算出し、算出した差又は商に基づいて前記第1計測電圧又は前記第2計測電圧から算出したガス状不純物成分の濃度を補正することを特徴とするガス状不純物濃度検出方法。
- 前記第1測定光及び前記第2測定光は、波長が200〜800nmの範囲の光であることを特徴とする請求項5記載のガス状不純物濃度検出方法。
- 前記ガス状不純物成分が水分であり、前記感応剤は、金属イオン及び該金属イオンに配位結合する有機配位子からなる多孔性金属錯体であることを特徴とする請求項5又は6記載のガス状不純物濃度検出方法。
- 前記多孔性金属錯体は、銅ベンゼン−1,3,5−トリカルボキシレートであることを特徴とする請求項7記載のガス状不純物濃度検出方法。
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