JP2019117922A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 44
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 2
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 claims 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 claims 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 claims 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 1
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2017-0180325 | 2017-12-26 | ||
| KR1020170180325A KR102010158B1 (ko) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | 성막장치, 성막방법 및 이를 사용한 유기 el 표시 장치의 제조방법 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019117922A JP2019117922A (ja) | 2019-07-18 |
| JP2019117922A5 true JP2019117922A5 (enExample) | 2021-02-04 |
| JP7120545B2 JP7120545B2 (ja) | 2022-08-17 |
Family
ID=67023186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018160255A Active JP7120545B2 (ja) | 2017-12-26 | 2018-08-29 | 成膜装置、成膜方法及びこれを用いる有機ｅｌ表示装置の製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7120545B2 (enExample) |
| KR (1) | KR102010158B1 (enExample) |
| CN (1) | CN109957774A (enExample) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101933807B1 (ko) * | 2017-11-29 | 2018-12-28 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막장치 및 이를 사용한 유기 el 표시장치의 제조방법 |
| JP7057337B2 (ja) * | 2019-10-29 | 2022-04-19 | キヤノントッキ株式会社 | 基板剥離装置、基板処理装置、及び基板剥離方法 |
| JP7057335B2 (ja) * | 2019-10-29 | 2022-04-19 | キヤノントッキ株式会社 | 基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 |
| CN113005398B (zh) * | 2019-12-20 | 2023-04-07 | 佳能特机株式会社 | 成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法 |
| JP7299202B2 (ja) * | 2020-09-30 | 2023-06-27 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置、基板吸着方法、及び電子デバイスの製造方法 |
| JP7744140B2 (ja) | 2021-02-26 | 2025-09-25 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05343507A (ja) * | 1992-06-10 | 1993-12-24 | Fujitsu Ltd | 静電吸着方法 |
| JP2000243816A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-08 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 基板チャック装置 |
| JP4184771B2 (ja) * | 2002-11-27 | 2008-11-19 | 株式会社アルバック | アライメント装置、成膜装置 |
| WO2005091683A1 (en) * | 2004-03-22 | 2005-09-29 | Doosan Dnd Co., Ltd. | Substrate depositing method and organic material depositing apparatus |
| WO2010106958A1 (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-23 | 株式会社アルバック | 位置合わせ方法、蒸着方法 |
| JP2014120740A (ja) * | 2012-12-19 | 2014-06-30 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置、及び基板の張り付け又は剥離方法 |
| CN107111972B (zh) * | 2014-10-28 | 2020-04-28 | 株式会社半导体能源研究所 | 功能面板、功能面板的制造方法、模块、数据处理装置 |
| SG11201710300SA (en) * | 2015-06-12 | 2018-01-30 | Ulvac Inc | Substrate holding device, film deposition device, and substrate holding method |
| KR102490641B1 (ko) * | 2015-11-25 | 2023-01-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 장치 및 증착 방법 |
| KR101944197B1 (ko) * | 2017-11-29 | 2019-01-30 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막장치, 성막방법 및 이를 사용한 유기 el 표시 장치의 제조방법 |
| KR101933807B1 (ko) * | 2017-11-29 | 2018-12-28 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 성막장치 및 이를 사용한 유기 el 표시장치의 제조방법 |
-
2017
- 2017-12-26 KR KR1020170180325A patent/KR102010158B1/ko active Active
-
2018
- 2018-08-29 JP JP2018160255A patent/JP7120545B2/ja active Active
- 2018-08-31 CN CN201811009948.8A patent/CN109957774A/zh active Pending
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