JP2019112274A - 台座、SiC単結晶の製造装置および製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[SiC単結晶の製造装置と台座の構成]
図1は、本発明の第一実施形態に係る、昇華法による結晶成長中のシードの台座を備えた、SiC単結晶の製造装置100の縦断面図である。SiC単結晶の製造装置100は、少なくとも、坩堝101と、坩堝101内の一端側に配されたシード(種結晶)Sの台座102と、坩堝101の外壁を囲むコイル103とを備え、坩堝101内の他の一端側に、原料Gが収容されるように構成されている。SiC単結晶の製造装置100は、さらに、台座102から原料Gに向けて拡径するテーパーガイド104を備えていてもよい。
本実施形態の台座102を用いたSiC単結晶の製造方法について説明する。
図4(a)〜(d)は、それぞれ、本発明の第二実施形態に係る台座112、122、132、142の平面図である。
図5は、第二実施形態の変形例に係る台座152の平面図である。図4(a)〜(d)では、重なる第一部材の数が、重なる方向によらず一定となっている例を示しているが、図5では、重なる第一部材の数152Aの数が、重なる一部の方向において、他の方向と異なっている。このように、第一部材152Aは、重なり方向Lと垂直な方向における一方の側からの平面視において、中央部に対して非対称な形状であってもよい。第一部材152Aが非対称に配置された台座は、格子面の変形が非対称である場合に、それを矯正する為に有効である。
第一実施形態の台座102を用い、昇華法によってSiC単結晶を製造した。種結晶は直径150mmのものを用いた。その為、台座は直径150mmの円柱状とした。台座102としては、厚さt1が2mmの黒鉛板(第一部材)を重なりの方向Lに3枚重ね(A1〜A3)、それぞれ接着したものを用いた。黒鉛板の幅は、重なり方向Lで同じ幅とした。中央の第一部材A2の黒鉛は、熱膨張率が、両外側の第一部材A1とA3の黒鉛の熱膨張率よりも小さい材質のものを使用した。使用した黒鉛材料としては、室温の線膨張率の差で1×10−6/Kのものを選択した。第一部材102Aの重なり方向Lと垂直な方向における一方の側、他方の側に、それぞれ厚さ2mmの黒鉛板(第二部材、第三部材)を接着した。シードを台座に張り付ける際、第一部材の重なりの方向は、シードの状態でマイナス方向の反りの大きかった<1−100>方向に合わせた。
101・・・坩堝
102、112、122、132、142、152・・・台座
102A、102A1、102A2、102A3、102A4、102A5・・・第一部材
112A、122A、132A、142A、152A・・・第一部材
102a・・・台座の表面
103・・・コイル
104・・・テーパーガイド
105・・・第二部材
106・・・第三部材
B・・・インゴット
D1、D2・・・熱膨張係数の傾斜方向
G・・・原料
L・・・重なり方向
S・・・シード
t1・・・第一部材の厚さ
t2・・・第二部材の厚さ
t3・・・第三部材の厚さ
Claims (14)
- 結晶成長中のシードの台座であって、
一方の側からの平面視において、
所定の位置から複数の方向に熱膨張係数の異なる複数の第一部材が重なった部分を有し、重なり方向において前記所定の位置から遠ざかるにつれて、前記第一部材の熱膨張係数が単調に変化していることを特徴とする台座。 - 複数の前記第一部材が、前記所定の位置から互いに反対の二方向に重なった部分を有することを特徴とする請求項1に記載の台座。
- 複数の前記第一部材が、前記所定の位置から放射状に広がる複数の方向に重なった部分を有することを特徴とする請求項1に記載の台座。
- 重なる前記第一部材の数が、重なる方向によらず一定であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の台座。
- 重なる前記第一部材の数が、重なる一部の方向において他の方向と異なることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の台座。
- 複数の前記第一部材が、前記一方の側からの平面視において、いずれも前記所定の位置を囲む円形状を有していることを特徴とする請求項3または4のいずれかに記載の台座。
- 前記重なり方向において、前記所定の位置から遠ざかるにつれて、前記第一部材の熱膨張係数が単調に増加していることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の台座。
- 前記重なり方向において、前記所定の位置から遠ざかるにつれて、前記第一部材の熱膨張係数が単調に減少していることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の台座。
- 前記複数の第一部材の前記一方の側が、第二部材で覆われていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の台座。
- 前記重なり方向と垂直な方向において、前記第二部材の厚さが、前記第一部材の厚さの1倍以下であることを特徴とする請求項9に記載の台座。
- 前記複数の第一部材の前記一方の側と反対に位置する側が、第三部材で覆われていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の台座。
- 前記重なり方向と垂直な方向において、前記第三部材の厚さが、前記第一部材の厚さの1倍以下であることを特徴とする請求項11に記載の台座。
- 請求項1〜12のいずれか一項に記載の台座を、前記一方の側がシード成長面側となるように備えていることを特徴とするSiC単結晶の製造装置。
- 請求項13に記載のSiC単結晶の製造装置を用いて、SiC単結晶を製造することを特徴とするSiC単結晶の製造方法。
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