JP2019105615A - 空間精度補正方法、及び空間精度補正装置 - Google Patents
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Abstract
Description
非特許文献1に記載の方法は、追尾式レーザ干渉計を用いて、マルチラテレーション法により空間精度補正を行う方法である。
また、特許文献1に記載の方法は、CMMのZスピンドルの先端に取り付けたレトロリフレクタの位置を4カ所以上変え、それぞれにおけるレトロリフレクタの位置をCMMにより測定する。また、これと同時に、CMMの測定範囲内やその近傍に配置した追尾式レーザ干渉計により、レトロリフレクタまでの距離の変化を測定する。そして、これらの測定値から、マルチラテレーション法により追尾式レーザ干渉計の回転中心の位置と、追尾式レーザ干渉計の回転中心からレトロリフレクタまでの絶対距離を求める。
図4は、位置決め機械(本例ではCMM10を例示)の空間精度補正方法を行うための空間精度補正装置を示す図である。図4において、空間精度補正装置90は、空間精度補正の対象となるCMM10と、追尾式レーザ干渉計20と、PC99とを用いる。
また、追尾式レーザ干渉計20の回転中心Mは、マルチラテレーション法を使用するため、少なくとも4か所以上の異なる位置に変更して測定を実施する。
そして、全ての測定点Xに対する測定が終了した後、測定した測定データ(XCMM,d)からCMMの補正パラメータを算出する。この補正パラメータの算出では、例えば非特許文献1と同様に、下記式(1)及び式(2)に、数千点の測定点Xで測定した測定データを代入して、数千個の式(1)及び式(2)の連立方程式を作成し、最小二乗法を用いて解くことで、CMM10の補正パラメータBαを求める。
Bαは、B−スプライン関数で表されたCMM10の補正パラメータの行列であって、Bは、B−スプライン関数の基底関数の行列、αは基底関数の係数の行列である。
Hは、補正パラメータBαを測定値XCMMの誤差δpに変換する行列であり、補正対象のCMM10の機械的な構造やスタイラスオフセットの情報からなる既知の行列である。
また、式(2)の左辺と右辺はそれぞれCMM10の測定値XCMM、追尾式レーザ干渉計の測長値dにより表した、回転中心Mからレトロリフレクタ105までの距離を表す。
上述のように、xm,ym,zmはそれぞれプリセットにより測定された回転中心Mの座標のx,y,z成分である。
Fdは測長値dのプリセット値の補正定数(以降、第一補正定数Fdと称す)であり、fxm,fym,fzmはそれぞれ回転中心Mの座標の補正定数Fm(以降、第二補正定数Fmと称す)のx,y、z成分である。
第一補正定数Fdと、第二補正定数Fmは、いずれも未知数であり、追尾式レーザ干渉計の回転中心Mの位置を変更する毎、およびスタイラスオフセットを変更する毎にそれぞれ異なる補正定数を与える。これらの補正定数は、式(1)および(2)の連立方程式を解く際に補正パラメータBαと合わせて求めることができる。
以上のようにして求めた補正パラメータBαを用いることで補正対象のCMM10の空間精度を補正することができる。
本発明では、上記発明と同様の効果を奏することができ、例えば温度ドリフトによって、測定中に徐々に基準点座標のずれが漸増するような場合でも、基準点座標の位置ずれ、および測長値を測定ライン毎に補正することで、測長値の誤差の重畳を抑制することができ、精度の高い補正パラメータの算出が可能となる。
図1は、本実施形態の空間精度補正装置1の概略構成を示す図である。この空間精度補正装置1は、CMM10と、追尾式レーザ干渉計20と、制御装置30と、を備える。
図1において、CMM10及び追尾式レーザ干渉計20は、図4に示した従来の構成と同一である。
すなわち、CMM10は、本発明の位置決め機械に相当し、測定プローブ101、測定プローブ101が固定されるZスピンドル102、Zスピンドル102をX方向に移動可能に保持するXガイド103、及びXガイド103が固定されてY方向に移動可能となるコラム104、を備える。また、CMM10は、図示略のY移動機構、X移動機構、Z移動機構、及び各種スケールを備え、移動体である測定プローブ101を所定の空間座標の位置に移動させて位置決めし、かつ位置決めした測定プローブ101の空間座標を測定値XCMMとして測定する。本実施形態では、Y移動機構、X移動機構、及びZ移動機構を制御することで、測定プローブ101及び当該測定プローブが固定されるZスピンドル102がXYZ方向に移動し、本発明の移動体を構成する。
また、移動体を構成する測定プローブ101の先端位置には、追尾式レーザ干渉計20からのレーザ光を反射させるレトロリフレクタ105が装着されている。レトロリフレクタ105は、測定プローブ101を取り外してZスピンドル102の先端位置に装着してもよい。
この追尾式レーザ干渉計20は、図示は省略するが、例えばレーザ光を出射するレーザ光源と、レーザ光を測定光と参照光とに分離する光分離手段と、レトロリフレクタ105により反射されたレーザ光(戻り光)と参照光と合成した干渉光を受光する受光手段と、測定光(レーザ光)の出射方向を制御する2軸回転機構とを有する。そして、追尾式レーザ干渉計は、レトロリフレクタ105により反射された戻り光の光軸と出射光の光軸とが一致するように、2軸回転機構を制御することで、レトロリフレクタ105を追尾する。より詳細には、2軸回転機構は、レーザの出射方向をZ軸と平行な垂直軸を中心に回転させて、レーザの出射方向を水平方向に走査する水平回転機構と、垂直軸に直交する水平軸を中心に回転させて、レーザの出射方向をZ方向に走査するZ回転機構とを有する。そして、垂直軸と水平軸の交点が追尾式レーザ干渉計20の回転中心Mであり、本発明の基準点となる。
この追尾式レーザ干渉計20は、レトロリフレクタ105からの戻り光と、参照光との干渉を利用して、2軸回転機構の回転中心Mから、レトロリフレクタ105までの距離を測長する。追尾式レーザ干渉計20により測長された距離を測長値dとする。
なお、測定制御手段31、測定結果取得手段32、及び補正値算出手段33の詳細な処理については後述する。
次に、空間精度補正装置1による、CMM10の空間座標を補正するための補正パラメータを算出する空間精度補正方法(空間精度補正処理)について説明する。
本実施形態の空間精度補正処理では、追尾式レーザ干渉計20の回転中心Mの位置(追尾式レーザ干渉計20の設置位置)、及びスタイラスオフセット(Zスピンドルに対するレトロリフレクタ105の相対位置)を変更し、複数の測定点Xに対する測定値XCMM及び測長値dを取得して、補正パラメータBαを算出する。
ここで、本実施形態において、スタイラスオフセットを示す変数をn(nは1からnmaxまでの整数であり、初期値はn=1)とし、追尾式レーザ干渉計20の回転中心Mの位置を示す変数をm(mは1からmmaxまでの整数であり、初期値はm=1)として説明する。
本実施形態の空間精度補正処理では、先ず、追尾式レーザ干渉計20の回転中心Mの位置を第mの設置位置にセットする(ステップS1)。また、スタイラスオフセットを第nのオフセットパターンの位置にセットする(ステップS2)。ステップS1及びステップS2では、例えば操作者が、レトロリフレクタ105の装着位置や追尾式レーザ干渉計20の設置位置を手動により変更してもよく、レトロリフレクタ105の装着位置や追尾式レーザ干渉計20の設置位置が自動で変更されてもよい。例えば、測定プローブ101として電動でスタイラスの向きを変更できるモータライズドプローブを用い、制御装置30の制御によって、レトロリフレクタ105のZスピンドル102に対する相対位置を移動させてもよい。また、追尾式レーザ干渉計20をXYZ方向に対して移動可能な可動アームに保持させ、制御装置30の制御により可動アームを制御して追尾式レーザ干渉計20の設置位置を所定位置にセットしてもよい。
この後、制御装置30は、複数の測定点Xに対する測定値XCMM及び測長値dの測定処理(測定工程)を実施する(ステップS3)。
ステップS3の測定処理では、従来の空間精度補正処理と同様に、先ず、追尾式レーザ干渉計20の回転中心Mの位置と、回転中心Mからレトロリフレクタ105までの絶対距離とを設定するプリセットを行う(ステップS11)。このステップS11では、例えば特許文献1や非特許文献1の記載と同様、マルチラテレーション法を用いて、回転中心Mの座標及び回転中心Mからレトロリフレクタ105までの絶対距離を算出し、追尾式レーザ干渉計20による測長値dが、回転中心Mからレトロリフレクタ105までの絶対距離となるようにプリセットを行う。
これには、制御装置30は、先ず、測定ラインを示す変数aを初期化(a=1)し(ステップS12)、次いで、各測定ラインに属する測定点Xを示す変数Aを初期化(A=1)する(ステップS13)。なお、変数aは、1からamaxまでの整数であり、測定ラインLaはa番目の測定ラインLを指す。また、変数Aは、1からKaまでの整数であり、測定点XAは、測定ラインにおけるA番目に測定する測定点Xを指す。なお、測定ラインLに含まれる測定点Xの数Kaは、各測定ラインLにおいてそれぞれ異なる値であってもよく、同一の値であってもよい。
また、測定結果取得手段32は、CMM10及び追尾式レーザ干渉計20により、測定ラインLaにおける測定点XAを測定させ、CMM10により測定される測定値XCMM、及び追尾式レーザ干渉計20により測定される測長値dを、それぞれ取得する(ステップS15)。
このステップS15では、CMM10と追尾式レーザ干渉計20とを同期させて、測定値XCMMと測長値dとを同時に取得してもよく、レトロリフレクタ105を測定点XAに対応する位置で停止させて、CMM10による測定と、追尾式レーザ干渉計20による測定とを順に行ってもよい。
ステップS16において、Noと判定された場合、変数Aに1を加算し(ステップS17)、ステップS14に戻る。つまり、測定ラインLaに属するA=1からA=KaまでのKa点の測定点Xを順次測定する。
したがって、本実施形態では、測定ラインL1から測定ラインLamaxまでの測定ラインLaが順に測定され、各測定ラインLaの測定において、当該測定ラインLaに属するKa個の測定点Xが、測定点X1から測定点XKaまで順に測定される。
ここで、ステップS8において、補正値算出手段33は、各測定点Xの測長値dに、第一補正定数Fdaを与え(加算し)、回転中心Mの座標に第一補正定数Fdaとは異なる第二補正定数FMaを与えて(加算して)、補正パラメータBαを算出する。ここで、第一補正定数Fda及び第二補正定数FMaの添え字「a」は、測定ラインを示す変数である。すなわち、本実施形態では、第一補正定数Fda及び第二補正定数FMaは、測定ライン毎にそれぞれ異なる定数となる。例えば、測定ラインL1では、各測定点Xの測長値dに第一補正定数Fd1が与えられ、回転中心Mに第二補正定数FM1が与えられる。一方、測定ラインL2では、各測定点Xの測長値dに第一補正定数Fd2が与えられ、回転中心Mに第二補正定数FM2が与えられる。
Hは、補正パラメータBαを測定値XCMMの誤差δpに変換する行列であり、補正対象のCMM10の機械的な構造やスタイラスオフセット情報からなる既知の行列である。
また、式(3)の左辺と右辺はそれぞれCMM10の測定値XCMM、追尾式レーザ干渉計の測長値dにより表した、回転中心Mからレトロリフレクタ105までの距離を表す。
この際、補正値算出手段33は、補正パラメータBαと同時に、第一補正定数Fdaと第二補正定数FMaの最適解も算出する。すなわち、各測定ラインでの測定点Xでの測定中に生じた回転中心Mの位置のずれ量や、これによって測長値dに重畳される誤差が同時に算出されることになる。
本実施形態では、補正値算出手段33は、測定ラインLa毎に、測長値dに対して第一補正定数Fdaを与え、回転中心Mの座標に第二補正定数FMaを与えて、補正パラメータBαを算出する。
なお、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない範囲での変形等は本発明に含まれるものである。
例えば、上記実施形態において、位置決め機械としてCMM10を例示したが、これに限定されない。位置決め機械としては、上述したように、移動体を所定の空間座標に移動させて位置決めする機械であれば、如何なるものをも対象とすることができる。例えば、位置決め機械は、対象物の切削や研磨等を行う加工工具を移動体とし、加工工具を所定の座標位置に移動させる工作機械であってもよい。また、移動体として、対象物を把持する把持アームを有し、把持した対象物を所定位置に搬送する搬送ロボットであってもよい。
例えば、ステップS11におけるプリセットの後、各測定点に対する測定開始までの間に発生した回転中心Mの変位のみを補正する場合、全ての測定ラインLa毎に与える第一補正定数Fdaを同一とし、回転中心Mに与える第二補正定数FMaを同一にしてもよい。
また、複数の測定点を順次測定する際に、所定時間内に測定可能な測定点で、測定ラインLaを分割してもよい。つまり、測定開始から所定の第1時間t内に測定される複数の測定点Xが測定ラインL1に属する測定点Xとなり、第1時間tから第2時間2tまでに測定される測定点Xが測定ラインL2に属する測定点Xとなる。
また、この場合、測定ラインLaの時間間隔は、一定でなくてもよい。例えば、測定開始から第1時間t1内に測定される測定点Xを測定ラインL1に属する測定点Xとし、第1時間t1から第2時間t2まで(t1≠t2−t1)に測定される測定点Xを測定ラインL2に属する測定点Xとしてもよい。
ただし、測定点Xを移動させる度に、レーザ干渉計により距離を測長する測長方向を変更する必要がある。したがって、この場合、レーザ干渉計の測長方向上(直線上)に複数の測定点を設定して、各測定点にレトロリフレクタ105を移動させた際の測定値XCMM及び測長値dを測定することが好ましい。また、測長方向を複数方向に変化させ、かつ、各測長方向に対して複数の測定点Xを設定することが好ましい。
Claims (2)
- 所定の空間座標に移動体を移動させるとともに、前記移動体にレトロリフレクタが装着された位置決め機械と、基準点を有し、前記基準点から前記レトロリフレクタまでの距離を測長するレーザ干渉計と、を有し、前記位置決め機械の空間精度補正を、前記レーザ干渉計により測長された測長値と、前記位置決め機械により測定される前記レトロリフレクタの空間座標の測定値とを用いて行う空間精度補正方法であって、
複数の測定点を複数の測定ラインに分割して、前記移動体を複数の測定点に移動させて、前記測定ライン毎に各々の前記測定点における前記測長値及び前記測定値を取得する測定工程と、
前記測定値と、前記測長値と、前記基準点の座標と、に基づいて補正パラメータを算出するパラメータ算出工程と、を含み、
前記パラメータ算出工程は、前記測定ライン毎に前記測長値に第一補正定数を与え、前記測定ライン毎に前記基準点の座標に前記第一補正定数とは異なる第二補正定数を与えて、前記補正パラメータを算出する
ことを特徴とする空間精度補正方法。 - 所定の空間座標に移動体を移動させるとともに、前記移動体にレトロリフレクタが装着され、前記レトロリフレクタの空間座標の測定値を測定可能な位置決め機械と、
基準点を有し、前記基準点から前記レトロリフレクタまでの距離である測長値を測長するレーザ干渉計と、
前記位置決め機械及び前記レーザ干渉計に接続された制御装置と、を備え、
前記制御装置は、複数の測定点を複数の測定ラインに分割して、前記移動体を複数の測定点に移動させて、各々の前記測定点における前記測長値及び前記測定値を取得する測定制御手段と、
前前記測定値と、前記測長値と、前記基準点の座標と、に基づいて補正パラメータを算出するパラメータ算出する補正値算出手段と、を含み、
前記補正値算出手段は、前記測定ライン毎に前記測長値に第一補正定数を与え、前記測定ライン毎に前記基準点の座標に前記第一補正定数とは異なる第二補正定数を与えて、前記補正パラメータを算出する
ことを特徴とする空間精度補正装置。
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