JP2012093105A - レーザ光の光軸方向の測定方法、長さ測定システム、および位置決め精度の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ干渉計104と再帰反射体106とハンドリング装置102を有する測定システム100を用いる。レーザ干渉計104は、測定光を再帰反射体106に照射し、その反射光と参照光との干渉光強度を検出する。ハンドリング装置102は、再帰反射体106を測定位置まで移動して位置座標情報を検出する。まず、レーザ干渉計104が干渉光を検出でき、かつ同一平面上に存在しない少なくとも4つの測定位置piを選ぶ。再帰反射体106を各測定位置piに移動させて、その位置座標情報を検出する。レーザ干渉計104が再帰反射体106までの距離の変化量を測定する。各測定位置の位置座標情報と各距離の変化量に基づき測定光のベクトル情報 a を算出する。
【選択図】 図5
Description
位置決め装置は、例えば直交3軸移動手段(X、Y、Zの各軸移動手段)を備え、3次元空間内の目標位置にプローブ等を位置決めする装置を示す。この位置決め装置は、プローブなどの位置の3次元座標情報を検出できる。例えば、位置決め装置を用いて接触式プローブをワーク表面の2つの測定点に位置決めし、各点の座標情報を取得すれば、2点間の長さを測定できる。
このような位置決め装置では、定期的な位置決め精度のキャリブレーションが重要となる。一般的なブロックゲージを使った検査は、位置決め装置でブロックゲージの長さを測定し、その測定値をブロックゲージの基準長さと比較することによって、両者の差が所定値以下になるまで、キャリブレーションと検査を繰り返す。しかし、特別なスキルのある検査員が必要になるなど、検査コストが過大になり、採用できない。
検査コストを抑えるため、レーザ干渉計を利用した位置決め装置の検査が行われるようになっている(特許文献1参照)。
レーザ干渉計は、離れた位置のターゲットをレーザ光で照射し、ターゲットからの反射光を受光する。そして、ターゲットが移動した際に、レーザ干渉計からターゲットまでの距離の変化量を反射光と参照光の干渉を利用して測定することができる。例えば、図1(A)のようにレーザ干渉計22を位置決め装置10のテーブル上に載置して、ターゲット(再帰反射体30)をプローブの保持具などに取付ける。
レーザ干渉計22は、マイケルソン型干渉計の構成を有する。光源301からのレーザ光をビームスプリッタ302で測定光と参照光とに分割する。測定光はレーザ干渉計22から離れた位置のターゲットに向けて照射される。ターゲットには再帰反射体30を用いる。レーザ干渉計22は、再帰反射体30からの反射光を受光して、反射光と参照光との干渉光の強度を検出する検出器(PD)306を有する。例えば、ターゲットが測定光の光軸方向に沿って移動すると、反射光と参照光の光路差が変わるため干渉光強度が周期的に変化する。この変化をカウントすることにより、ターゲットの移動量を測定できる。
まず、図1(A)のように測定光のおおよそ光軸上にあると思われる点p1の近傍で、ターゲットを任意の方向に移動させながらレーザ干渉計22で検出される干渉光強度が最大となる位置を探す。次に、同じ光軸上の離れた別の点p2近傍で同様に干渉光強度が最大となる位置を探す。その得られた2点の座標値に基づき光軸方向の情報を計算する。
図3(A)、(B)に、再帰反射体32、34の中心軸に平行なレーザ光が入射した場合に、反射光がどのような光路で返されるかを示す。入射光が再帰反射体の中心軸から外れている場合には、反射光の光路は、再帰反射体の中心軸を軸として入射光の光路を反転させた位置になる。入射光の光路が再帰反射体の中心軸と平行でない場合も、反射光の光路は入射光の光路に平行になる。つまり、入射側から再帰反射体を見た場合、再帰反射体は入射光をその中心(コーナーポイントGおよび中心点H)に対して点対称となる位置から返すという性質を有する。
再帰反射体30での入射光と反射光の光路中心のずれが大きいと、重なり度合いが小さくなって干渉光強度が小さくなる。入射光と反射光の光路中心のずれが小さいと、重なり度合いが大きくなって干渉光強度が大きくなる。
図1(A)に示す方法では、反射光と測定光が一致する位置で干渉光強度が最大となることを利用して、ターゲットを測定光の光軸上に正確に位置決めし、その位置の座標情報を読み取りっている。このようにして光軸上の2箇所の座標情報を得て、2箇所の座標情報に基づいて、光軸方向の情報を取得する。
(1) これらの方法は、手動で行われるため手間がかかる。
(2) 光軸上の2点において、干渉光強度が最大となる位置を探索する事は難しく、自動化が容易では無い。
そのため、特許文献1では、図4に示すように、追尾機能を有するレーザ干渉計22を用いて、測定光の光軸方向の情報を取得している。このレーザ干渉計22は、測定光の光軸の仰角αおよび方位角βを変更でき、測定光を所定の点(レーザ干渉計22の回転中心点M)から任意の方向に出射できる。
例えば干渉光強度が常に最大となるように、測定光の照射方向を変化させることで、このレーザ干渉計22は測定光をターゲットの任意方向への移動に追従させることができる。
まず、位置決め装置10がターゲットを同一平面上に存在しない4つの位置pi(i=1〜4)に順次位置決めし、各位置の座標情報を取得する。この間、レーザ干渉計22がターゲットの移動を追尾し続けて、ターゲットから回転中心点Mまでの距離の変化量を測定する。
推定された回転中心点Mの位置座標を使って、回転中心点Mを通る直線を計算すれば、その直線情報を測定光の光軸方向の情報として用いることができる。
(1) 測定光の光軸方向が固定であるレーザ干渉計には適用できない。
(2) 測定光の光軸方向を変えることができるレーザ干渉計であっても、精度良く回転中心点を推定するためには、ターゲットを比較的広範囲において移動させてレーザ干渉計による追尾測定を行う必要がある。その理由は、式(2)の連立方程式が非線形であり計算条件が悪く、ターゲットの測定位置pi(i=1〜4)を狭い範囲に限定すると、光軸の推定精度が悪くなってしまうからである。
第一に、自動測定によりレーザ干渉計の光軸方向を測定できる方法およびを提供することにある。
第二に、ターゲットの位置決め範囲を従来よりも狭くして、レーザ干渉計の光軸方向を精度よく測定できる方法を提供することにある。
第三に、測定光の光軸方向が固定であるレーザ干渉計を用いても、レーザ干渉計の光軸方向を測定できる方法を提供することにある。
また、上記のレーザ干渉計の光軸方向を測定する方法を用いて位置決め装置の位置決め精度を検査する方法を提供することにある。
前記レーザ干渉計は、レーザ光を測定光と参照光に分割して、該測定光で外部のターゲットを照射し、ターゲットからの反射光と前記参照光との干渉光強度を検出する。
前記再帰反射体は、前記ターゲットとして用いられ前記レーザ干渉計からの測定光の入射方向によらないで該測定光と平行な反射光を前記レーザ干渉計に返す。
前記ハンドリング装置は、前記再帰反射体を支持して所定空間の任意の測定位置まで移動するとともに、該再帰反射体の位置座標情報を検出する。
すなわち、本発明に係るレーザ光の光軸方向の測定方法は、前記測定システムを用いて、前記レーザ干渉計の測定光の光軸方向を固定するステップと、
固定された測定光を前記再帰反射体が反射できる該再帰反射体の位置範囲から、前記レーザ干渉計が干渉光を検出でき、かつ、同一平面上に存在しない少なくとも4つの測定位置を選ぶステップと、
前記ハンドリング装置が前記再帰反射体を前記少なくとも4つの測定位置に移動させて、各測定位置の位置座標情報を検出するステップと、
前記再帰反射体が各測定位置間を移動する際に、前記レーザ干渉計が前記再帰反射体までの距離の変化量を測定するステップと、
前記ハンドリング装置で検出された各測定位置の位置座標情報、および前記レーザ干渉計で測定された各距離の変化量に基づいて、測定光の光軸方向を示すベクトル情報を算出するステップと、を備えることを特徴とする。
(数3)
mk = vk・a (k = 1,2,・・・n なお、nは3以上の整数)
ここで、
vk = [ vkx vky vkz ]
mk = Lk − L0
L0 はレーザ干渉計から初期位置までの距離を示し、
Lk はレーザ干渉計から初期位置を除く他の測定位置までの距離を示す。
ここで、前記レーザ干渉計は、追尾式レーザ干渉計であってもよい。また、前記ハンドリング装置は、工作機械や座標測定機などの産業用機械であることが好適である。
また、特許文献2のように追尾式レーザ干渉計からの測定光をミラーなどで反射させてから、その測定光をターゲットに入射させる方法で、ターゲットの移動量を測定する場合など、ターゲットを大きく動かす事が困難な場合でも、測定光の光軸方向を測定することが可能となる。
また、干渉光強度が最大となる位置を探索する工程を含まないため、測定光の光軸方向の測定作業を容易に自動化できる。
図5は、本発明の一実施形態に係る測定システム100の全体構成図である。
測定システム100は、ハンドリング装置102と、レーザ干渉計104と、再帰反射体106と、測定制御手段200を備える。
測定制御手段200は、ハンドリング装置102に対して再帰反射体106を所望の位置に位置決めさせる指令を行う手段、ハンドリング装置102から再帰反射体106の位置座標情報Piを取得する手段、レーザ干渉計104から再帰反射体106までの距離の変化量を取得する手段、および、レーザ干渉計104からの干渉光強度に基づきレーザ干渉計が干渉光を取得できたかどうかを判定する手段を有する。
次に、測定システム100を用いて、レーザ干渉計104からの測定光の光軸方向120を測定する手順を説明する。
(1) Y軸テーブル108上にレーザ干渉計104を載置する。追尾型のレーザ干渉計104の場合、測定光の出射方向を所望の方向に向けて固定する。これによって、レーザ干渉計104からの測定光の光軸方向が測定中一定に保たれる。以上の手順を測定光の光軸方向を固定するステップと呼ぶ。
以上の手順をハンドリング装置が各測定位置の位置座標情報を検出するステップと呼ぶ。
なお、予め、レーザ干渉計104が干渉光を検出でき、かつ、同一平面上に存在しない少なくとも4つの測定位置pi (i = 0 , x1〜z2) を選択しておくステップを設けてもよい。そうすれば再帰反射体106をスムーズに各測定位置に位置決めできる。
図6に再帰反射体106を移動させた場合の反射光の光軸の変化を示す。再帰反射体を測定光の入射側から観察した場合、反射光は再帰反射体106の中心(コーナープリズム型であればコーナーポイントG)に対して点対称な位置から返ってくる。すると、図6に示すように、再帰反射体106の移動方向が出射光の進行方向に対して直角である場合、同図(A)で示す点A、B間を往復する光路長(AB)と、同図(B)で示す点C、D、E、Fの順番に進むレーザ光の光路長(CDEF)とが一致し、光路長に変化が生じない。
本発明で特徴的なことは、光軸が固定されたレーザ光に対して再帰反射体106を移動させた際には、レーザ干渉計104の測定値には再帰反射体106の移動量のうち、光軸方向の成分のみが影響するという特性に着目し、各測定位置の位置座標情報pi (i = 0、x1〜z2)に基づき測定位置間の移動量vk (k = x1,x2,・・・z2)を算出し、レーザ干渉計104で測定された各距離の変化量 mk が、測定位置間の移動量 vk をレーザ干渉計104の光軸方向に投影した値と等しいことを条件として上記の連立方程式を立てたことにある。
(1) この方法は、特許文献1に示されるようなレーザ干渉計の回転中心点の位置座標を推定した上で、測定光の光軸方向を取得する方法とは異なり、レーザ干渉計104の測定光の光軸を固定したままで、必要な測定を行うことができる。従って、レーザ干渉計104による測定時の誤差要因が少なくなり、単位ベクトルaで示す光軸方向の情報を精度良く測定できる。
(2) 特許文献1のように回転中心点を推定する場合には、解かなければならない連立方程式が非線形となるが、本実施形態では連立方程式が線形であるため計算が容易となる。従って、計算条件が良くなり、再帰反射体106の測定位置への位置決め範囲が狭くても、光軸方向のベクトル情報(a)の測定値を精度良く取得できる。
(4) 干渉光強度が最大となる位置を探索する工程を含まないため、測定光の光軸方向の測定作業を容易に自動化できる。
本実施形態の測定システム100を用いて取得された光軸方向の単位ベクトル情報 a を用いて、ハンドリング装置102により再帰反射体106を光軸方向に移動させれば、レーザ干渉計104により再帰反射体106の移動量を精度よく測定することができる。すなわち、本実施形態の測定システム100を用いて高精度の長さ測定システムを構築できる。
また、長さ測定システムを用いて測定される再帰反射体106の移動量と、ハンドリング装置102にて検出される再帰反射体106の移動前後の位置の座標情報に基づく再帰反射体の移動量と、を比較することにより、ハンドリング装置102の位置決め精度を検査することができる。
102 ハンドリング装置
104 レーザ干渉計
106 再帰反射体
a 測定光の光軸方向を示す単位ベクトル
mk レーザ干渉計から再帰反射体までの距離の変化量
pi 測定位置
vk 測定位置間の移動量
Claims (8)
- レーザ光を測定光と参照光に分割して、該測定光で外部のターゲットを照射し、ターゲットからの反射光と前記参照光との干渉光強度を検出するレーザ干渉計と、
前記ターゲットとして用いられ前記レーザ干渉計からの測定光の入射方向によらないで該測定光と平行な反射光を前記レーザ干渉計に返す再帰反射体と、
前記再帰反射体を支持して所定空間の任意の測定位置まで移動するとともに、該再帰反射体の位置座標情報を検出するハンドリング装置と、
を有し、前記ハンドリング装置が前記ターゲットを移動させた際の、前記レーザ干渉計からターゲットまでの距離の変化量を前記干渉光強度の変化に基づいて測定する測定システムを用いて、
前記レーザ干渉計の測定光の光軸方向を固定するステップと、
固定された測定光を前記再帰反射体が反射できる該再帰反射体の位置範囲から、前記レーザ干渉計が干渉光を検出でき、かつ、同一平面上に存在しない少なくとも4つの測定位置を選ぶステップと、
前記ハンドリング装置が前記再帰反射体を前記少なくとも4つの測定位置に移動させて、各測定位置の位置座標情報を検出するステップと、
前記再帰反射体が各測定位置間を移動する際に、前記レーザ干渉計が前記再帰反射体までの距離の変化量を測定するステップと、
前記ハンドリング装置で検出された各測定位置の位置座標情報、および前記レーザ干渉計で測定された各距離の変化量に基づいて、測定光の光軸方向を示すベクトル情報を算出するステップと、を備えることを特徴とするレーザ光の光軸方向の測定方法。 - 請求項1記載の方法において、
前記測定光の光軸方向を示すベクトル情報を算出するステップでは、
前記各測定位置の位置座標情報に基づき測定位置間の移動量を算出し、
前記レーザ干渉計で測定された各距離の変化量が、前記測定位置間の移動量を前記レーザ干渉計の光軸方向に投影した値と等しいことを条件として立式した連立方程式を解いて、前記ベクトル情報を算出することを特徴とするレーザ光の光軸方向の測定方法。 - 請求項1または2記載の方法において、
前記測定光の光軸方向を示すベクトル情報を算出するステップでは、
前記各測定位置の位置座標情報に基づいて、各測定位置の中の初期位置から他の各測定位置までの移動量( vk )を算出し、
前記測定光の光軸方向を示す単位ベクトル情報を a = [ ax ay az ] として、前記移動量( vk )と前記各距離の変化量( mk )に基づき次式の連立方程式を解くことにより前記単位ベクトル情報 a を算出することを特徴とするレーザ光の光軸方向の測定方法。
(数1)
mk = vk・a (k = 1,2,・・・n nは3以上の整数)
ここで、
vk = [ vkx vky vkz ]
mk = Lk − L0
L0 はレーザ干渉計から初期位置までの距離を示し、
Lk はレーザ干渉計から初期位置を除く他の測定位置までの距離を示す。 - 請求項1から3のいずれかに記載の方法において、
前記少なくとも4つの測定位置を選ぶステップでは、前記干渉光強度の検出位置にて前記反射光のビームスポットと前記参照光のビームスポットとが少なくとも重なるように、前記再帰反射体の各測定位置を選ぶことを特徴とするレーザ光の光軸方向の測定方法。 - 請求項1から4のいずれかに記載の方法において、前記レーザ干渉計が、追尾式レーザ干渉計であることを特徴とするレーザ光の光軸方向の測定方法。
- 請求項1から5のいずれかに記載の方法において、前記ハンドリング装置が、工作機械や座標測定機などの産業用機械であることを特徴とするレーザ光の光軸方向の測定方法。
- レーザ光を測定光と参照光に分割して、該測定光で外部のターゲットを照射し、ターゲットからの反射光と前記参照光との干渉光強度を検出するレーザ干渉計と、
前記ターゲットとして用いられ前記レーザ干渉計からの測定光の入射方向によらないで該測定光と平行な反射光を前記レーザ干渉計に返す再帰反射体と、
前記再帰反射体を支持して所定空間の任意の測定位置まで移動するとともに、該再帰反射体の位置座標情報を検出するハンドリング装置と、を備え、
請求項1に記載の方法で測定された測定光の光軸方向に、前記ハンドリング装置により前記再帰反射体を移動させて、該移動量をレーザ干渉計にて測定することを特徴とする長さ測定システム - 請求項7記載の長さ測定システムを用いて測定される前記再帰反射体の移動量と、前記ハンドリング装置にて検出される再帰反射体の移動前後の位置の座標情報に基づく前記再帰反射体の移動量と、を比較することにより、前記ハンドリング装置の位置決め精度を検査することを特徴とする位置決め精度の検査方法。
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