JP2016206065A - 追尾式レーザ干渉計を用いた空間位置測定方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レトロリフレクタ42、レーザ干渉測長計72、追尾用光学装置76、2軸回転機構80、角度検出器を有し、移動体22が移動すると、移動体22に取付けられたレトロリフレクタ42より戻り方向に反射されたレーザ光74の光軸の位置ずれを追尾用光学装置76の光位置検出器78で検出し、レーザ光軸の位置ずれが所定範囲内に収まるように2軸回転機構80を制御するようにされた追尾式レーザ干渉計40を用い、移動体22を複数の測定点に移動して、各測定点の位置を検出する際に、測定中における追尾式レーザ干渉計本体50の配設位置を検出し、配設位置が変化した時は、変化前後で追尾式レーザ干渉計本体50の配設位置が異なるデータとして扱う。
【選択図】図1
Description
32…定盤
38…Z軸スピンドル
40…追尾式レーザ干渉計
42…レトロリフレクタ
50…追尾式レーザ干渉計本体
70…光学測定装置
72…レーザ干渉(測長)計
74…レーザ光
76…追尾用光学装置
78…光位置検出器
80…2軸回転装置
81…ホルダ
90…ベース板
92…2次元スケール
94…データ処理装置
O…基準点
P1、P2、P3、P4、P5…配設位置
Claims (3)
- 移動体に取り付けられたレトロリフレクタ、該レトロリフレクタに向けてレーザ光を照射し、前記レトロリフレクタにより戻り方向に反射されたレーザ光の干渉を利用して前記レトロリフレクタ迄の距離を検出するレーザ干渉測長計、前記レーザ光の光軸の位置ずれを検出する光位置検出器を有する追尾用光学装置、前記レーザ光の出射方向を変えることができる、互いに直交する2軸回転機構、該2軸回転機構の各軸に配設された角度検出器を有し、前記移動体が移動すると、前記レトロリフレクタより戻り方向に反射された前記レーザ光の光軸の位置ずれを前記光位置検出器で検出し、レーザ光軸の位置ずれが所定範囲内に収まるように前記2軸回転機構を制御するようにされた追尾式レーザ干渉計を用い、前記移動体を複数の測定点に移動して、各測定点の位置を検出する際に、
測定中における追尾式レーザ干渉計本体の配設位置を検出し、
該配設位置が変化した時は、変化前後で前記追尾式レーザ干渉計本体の配設位置が異なるデータとして扱うことを特徴とする追尾式レーザ干渉計を用いた空間位置測定方法。 - 前記移動体が座標測定機のスピンドル先端であり、前記追尾式レーザ干渉計により前記座標測定機の空間補正パラメータを求めることを特徴とする請求項1に記載の追尾式レーザ干渉計を用いた空間位置測定方法。
- 移動体に取り付けられたレトロリフレクタ、該レトロリフレクタに向けてレーザ光を照射し、前記レトロリフレクタにより戻り方向に反射されたレーザ光の干渉を利用して前記レトロリフレクタ迄の距離を検出するレーザ干渉測長計、前記レーザ光の光軸の位置ずれを検出する光位置検出器を有する追尾用光学装置、前記レーザ光の出射方向を変えることができる、互いに直交する2軸回転機構、該2軸回転機構の各軸に配設された角度検出器を有し、前記移動体が移動すると、前記レトロリフレクタより戻り方向に反射された前記レーザ光の光軸の位置ずれを前記光位置検出器で検出し、レーザ光軸の位置ずれが所定範囲内に収まるように前記2軸回転機構を制御するようにされた追尾式レーザ干渉計と、
該追尾式レーザ干渉計の配設位置を検出する位置センサと、
該追尾式レーザ干渉計を用い、前記移動体を複数の測定点に移動して、各測定点の位置を検出する際に、測定中に前記位置センサで検出される追尾式レーザ干渉計本体の配設位置が変化した時は、変化前後で前記追尾式レーザ干渉計本体の配設位置が異なるデータとして扱うデータ処理手段と、
を備えたことを特徴とする追尾式レーザ干渉計を用いた空間位置測定装置。
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-
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- 2015-04-24 JP JP2015089603A patent/JP6550621B2/ja active Active
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JP6550621B2 (ja) | 2019-07-31 |
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