JP2019105614A - 空間精度補正方法、及び空間精度補正装置 - Google Patents
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Abstract
Description
非特許文献1に記載の方法は、追尾式レーザ干渉計を用いて、マルチラテレーション法により空間精度補正を行う方法である。
また、特許文献1に記載の方法は、CMMのZスピンドルの先端に取り付けたレトロリフレクタの位置を4カ所以上変え、それぞれにおけるレトロリフレクタの位置をCMMにより測定する。また、これと同時に、CMMの測定範囲内やその近傍に配置した追尾式レーザ干渉計により、レトロリフレクタまでの距離の変化を測定する。そして、これらの測定値から、マルチラテレーション法により追尾式レーザ干渉計の回転中心の位置と、追尾式レーザ干渉計の回転中心からレトロリフレクタまでの絶対距離を求める。
図7は、位置決め機械(本例ではCMM10を例示)の空間精度補正方法を行うための空間精度補正装置を示す図である。図7において、空間精度補正装置90は、空間精度補正の対象となるCMM10と、追尾式レーザ干渉計20と、PC99とを用いる。
また、追尾式レーザ干渉計20の回転中心Mは、マルチラテレーション法を使用するため、少なくとも4か所以上の異なる位置に変更して測定を実施する。
そして、全ての測定点Xに対する測定が終了した後、測定した測定データ(XCMM,d)からCMMの補正パラメータを算出する。この補正パラメータの算出では、例えば非特許文献1と同様に、下記式(1)及び式(2)に、数千点の測定点Xで測定した測定データを代入して、数千個の式(1)及び式(2)の連立方程式を作成し、最小二乗法を用いて解くことで、CMM10の補正パラメータBαを求める。
Bαは、B−スプライン関数で表されたCMM10の補正パラメータの行列であって、Bは、B−スプライン関数の基底関数の行列、αは基底関数の係数の行列である。
Hは、補正パラメータBαを測定値XCMMの誤差δpに変換する行列であり、補正対象のCMM10の機械的な構造やスタイラスオフセットの情報からなる既知の行列である。
また、式(2)の左辺と右辺はそれぞれCMM10の測定値XCMM、追尾式レーザ干渉計の測長値dにより表した、回転中心Mからレトロリフレクタ105までの距離を表す。
上述のように、xm,ym,zmはそれぞれプリセットにより測定された回転中心Mの座標のx,y,z成分である。
Fdは測長値dのプリセット値の補正定数(以降、第一補正定数Fdと称す)であり、fxm,fym,fzmはそれぞれ回転中心Mの座標の補正定数Fm(以降、第二補正定数Fmと称す)のx,y、z成分である。
第一補正定数Fdと、第二補正定数Fmは、いずれも未知数であり、追尾式レーザ干渉計の回転中心Mの位置を変更する毎、およびスタイラスオフセットを変更する毎にそれぞれ異なる補正定数を与える。これらの補正定数は、式(1)および(2)の連立方程式を解く際に補正パラメータBαと合わせて求めることができる。
以上のようにして求めた補正パラメータBαを用いることで補正対象のCMM10の空間精度を補正することができる。
本発明では、複数の測定点に対する測定値及び測長値を測定した後、測定を行った少なくとも1点の測定点に対して繰り返し測定を実施する。そして、繰り返し測定を実施した測定点の繰り返し誤差が、閾値以上であるか否かを判定し、閾値以上である場合に、複数の測定点に対する再測定を実施する。
繰り返し誤差が閾値以上である場合、レーザ干渉計の位置(基準点の位置)が、温度ドリフトや外的衝撃の影響によって移動した可能性があり、測長値に誤差が含まれている。この場合、当該繰り返し測定を行った測定点以降の測定点においても、誤差が含まれている可能性が高く、繰り返し測定前の測定値に基づいて補正パラメータを算出すると、精度の高い補正を実施することができない。
これに対して、本発明では、繰り返し誤差が閾値以上である場合に、複数の測定点に対する測定を再度実施する。これにより、各測定点に対する適正な測長値が得られることになり、精度の高い補正パラメータを算出することができる。
本発明では、パラメータ算出工程において、各測定点に対するレーザ干渉計の基準点の座標に測定ラインによってそれぞれ異なる第二補正定数を与え、測長値に測定ラインによってそれぞれ異なる第一補正定数を与える。この場合、例えば、上述した式(1)及び式(2)に、各測定点に対する測定値及び測長値を代入して連立方程式を立てて、その連立方程式を解くことで、第一補正定数及び第二補正定数の最適な値と、補正パラメータBαとを同時に求めることができる。
この場合、例えば、測定中において、レーザ干渉計の基準点(例えば、特許文献1に記載のような追尾式レーザ干渉計では回転中心M)の位置ずれが漸増するような場合であっても、各測定ラインに対してそれぞれ異なる第一補正定数及び第二補正定数を与えることで、その影響を抑制でき、高精度に補正パラメータを算出できる。
本発明では、繰り返し測定を実施する際に、最初に測定を実施した測定点を繰り返し測定の対象の測定点として含む。複数の測定点の測定中に、温度ドリフトや外的衝撃の影響によってレーザ干渉計の位置(基準点)がずれた場合、最初に測定した測定点での繰り返し測定の測長値が、必ず繰り返し測定前の測長値と異なる値となる。したがって、最初に測定を実施した測定点を繰り返し測定の対象とすることで、複数の測定点に対する再測定を実施すべきか否かを容易かつ迅速に判定することができる。
本発明では、繰り返し測定を実施する際に、複数の測定点の直近の測定順と逆順で測定を実施する。これにより、例えば温度ドリフト等により、測長値が漸増又は漸減する場合に、例えば、直近の各測定点での測長値と、繰り返し測定での各測定点での測長値との最小自乗値を求めることで、温度ドリフトによる影響をキャンセルすることができる。
また、繰り返し測定中に温度ドリフトが生じている場合、直近の測定点と同じ方向に各測定点を移動させて測長値を得る場合に対して、逆順に測定点を移動させて測長値を得る場合の方が、繰り返し誤差が大きくなる。例えば、測定点X1から測定点XKaを順番に測定を行い、繰り返し測定において、測定点XKaから測定点X1の順に測定を行うと、温度ドリフトが生じている場合に、X1における直近の測長値と、繰り返し測定での測長値との差(繰り返し誤差)が大きくなる。したがって、各測定点に対する再測定を実施するか否かの判定、つまり、測長値に回転中心Mの変位による誤差が含まれるか否かの判定を適切に実施でき、精度の高い空間精度補正を実施することができる。
本発明では、本測定に先立って予備測定工程を実施して、各測定点に対する測長値を繰り返し測定しておく。そして、その繰り返し測定における繰り返し誤差の標準偏差に基づいて閾値を設定する(例えば、標準偏差の3倍の値を閾値とする)。
この場合、予め設定された閾値を用いる場合に比べて、測定環境に応じた最適な閾値を設定することができる。
本発明では、上記発明と同様に、繰り返し誤差が閾値以上である場合に、複数の測定点に対する測定を再度実施する。これにより、各測定点に対する適正な測長値が得られることになり、精度の高い補正パラメータを算出することができる。
以下、本発明に係る第一実施形態の空間精度補正装置について説明する。
図1は、本実施形態の空間精度補正装置1の概略構成を示す図である。この空間精度補正装置1は、CMM10と、追尾式レーザ干渉計20と、制御装置30と、を備える。
図1において、CMM10及び追尾式レーザ干渉計20は、図7に示した従来の構成と同一である。
すなわち、CMM10は、本発明の位置決め機械に相当し、測定プローブ101、測定プローブ101が固定されるZスピンドル102、Zスピンドル102をX方向に移動可能に保持するXガイド103、及びXガイド103が固定されてY方向に移動可能となるコラム104、を備える。また、CMM10は、図示略のY移動機構、X移動機構、Z移動機構、及び各種スケールを備え、移動体である測定プローブ101を所定の空間座標の位置に移動させて位置決めし、かつ位置決めした測定プローブ101の空間座標を測定値XCMMとして測定する。本実施形態では、Y移動機構、X移動機構、及びZ移動機構を制御することで、測定プローブ101及び当該測定プローブが固定されるZスピンドル102がXYZ方向に移動し、本発明の移動体を構成する。
また、移動体を構成する測定プローブ101の先端には、追尾式レーザ干渉計20からのレーザ光を反射させるレトロリフレクタ105が装着されている。レトロリフレクタ105は、測定プローブ101を取り外してZスピンドル102の先端位置に装着してもよい。
この追尾式レーザ干渉計20は、図示は省略するが、例えばレーザ光を出射するレーザ光源と、レーザ光を測定光と参照光とに分離する光分離手段と、レトロリフレクタ105により反射されたレーザ光(戻り光)と参照光と合成した干渉光を受光する受光手段と、測定光(レーザ光)の出射方向を制御する2軸回転機構とを有する。そして、追尾式レーザ干渉計は、レトロリフレクタ105により反射された戻り光の光軸と出射光の光軸とが一致するように、2軸回転機構を制御することで、レトロリフレクタ105を追尾する。より詳細には、2軸回転機構は、レーザの出射方向をZ軸と平行な垂直軸を中心に回転させて、レーザの出射方向を水平方向に走査する水平回転機構と、垂直軸に直交する水平軸を中心に回転させて、レーザの出射方向をZ方向に走査するZ回転機構とを有する。そして、垂直軸と水平軸の交点が追尾式レーザ干渉計20の回転中心Mであり、本発明の基準点となる。
この追尾式レーザ干渉計20は、レトロリフレクタ105からの戻り光と、参照光との干渉を利用して、2軸回転機構の回転中心Mから、レトロリフレクタ105までの距離を測長する。追尾式レーザ干渉計20により測長された距離を測長値dとする。
補正値算出手段34は、測定結果取得手段32により取得された測定値XCMM及び測長値dに基づいて補正パラメータBαを算出する。
なお、測定点制御手段31、測定結果取得手段32、誤差判定手段33、及び補正値算出手段34の詳細な処理については後述する。
次に、空間精度補正装置1による、CMM10の空間座標を補正するための補正パラメータを算出する空間精度補正方法(空間精度補正処理)について説明する。
本実施形態の空間精度補正処理では、追尾式レーザ干渉計20の回転中心Mの位置(追尾式レーザ干渉計20の設置位置)、及びスタイラスオフセット(Zスピンドルに対するレトロリフレクタ105の相対位置)を変更し、複数の測定点Xに対する測定値XCMM及び測長値dを取得して、補正パラメータBαを算出する。
ここで、本実施形態において、スタイラスオフセットを示す変数をn(nは1からnmaxまでの整数であり、初期値はn=1)とし、追尾式レーザ干渉計20の回転中心Mの位置を示す変数をm(mは1からmmaxまでの整数であり、初期値はm=1)として説明する。
本実施形態の空間精度補正処理では、先ず、追尾式レーザ干渉計20の設置位置(回転中心Mの位置)を第mの設置位置にセットする(ステップS1)。また、スタイラスオフセット(レトロリフレクタ105の位置)を第nのオフセットパターンの位置にセットする(ステップS2)。ステップS1及びステップS2では、例えば操作者が、レトロリフレクタ105の装着位置や追尾式レーザ干渉計20の設置位置を手動により変更してもよく、レトロリフレクタ105の位置や追尾式レーザ干渉計20の設置位置が自動で変更されてもよい。例えば、測定プローブ101として電動でスタイラスの向きを変更できるモータライズドプローブを用い、制御装置30の制御によって、レトロリフレクタ105のZスピンドル102に対する相対位置を移動させてもよい。また、追尾式レーザ干渉計20をXYZ方向に対して移動可能な可動アームに保持させ、制御装置30の制御により可動アームを制御して追尾式レーザ干渉計20の設置位置を所定位置にセットしてもよい。
この後、制御装置30は、複数の測定点Xに対する測定値XCMM及び測長値dの測定処理(測定工程)を実施する(ステップS3)。
ステップS3の測定処理では、従来の空間精度補正処理と同様に、先ず、追尾式レーザ干渉計20の回転中心Mの位置と、回転中心Mからレトロリフレクタ105までの絶対距離とを設定するプリセットを行う(ステップS11)。このステップS11では、例えば特許文献1や非特許文献1の記載と同様、マルチラテレーション法を用いて、回転中心Mの座標及び回転中心Mからレトロリフレクタ105までの絶対距離を算出し、追尾式レーザ干渉計20による測長値dが、回転中心Mからレトロリフレクタ105までの絶対距離となるようにプリセットを行う。
これには、制御装置30は、先ず、測定ラインを示す変数aを初期化(a=1)し(ステップS12)、次いで、各測定ラインに属する測定点Xを示す変数Aを初期化(A=1)する(ステップS13)。なお、変数aは、1からamaxまでの整数であり、測定ラインLaはa番目の測定ラインLを指す。また、変数Aは、1からKaまでの整数であり、測定点XAは、測定ラインにおけるA番目に測定する測定点Xを指す。なお、測定ラインLに含まれる測定点Xの数Kaは、各測定ラインLにおいてそれぞれ異なる値であってもよく、同一の値であってもよい。
また、測定結果取得手段32は、CMM10及び追尾式レーザ干渉計20により、測定ラインLaにおける測定点XAを測定させ、CMM10により測定される測定値XCMM、及び追尾式レーザ干渉計20により測定される測長値dを、それぞれ取得する(ステップS15)。
このステップS15では、CMM10と追尾式レーザ干渉計20とを同期させて、測定値XCMMと測長値dとを同時に取得してもよく、レトロリフレクタ105を測定点XAに対応する位置で停止させて、CMM10による測定と、追尾式レーザ干渉計20による測定とを順に行ってもよい。
ステップS16において、Noと判定された場合、変数Aに1を加算し(ステップS17)、ステップS14に戻る。つまり、測定ラインLaに属するA=1からA=KaまでのKa点の測定点Xを順次測定する。例えば、図4の例では、測定ラインL1にK1個の測定点Xが属し、測定点X1、測定点X2、測定点X3、…測定点XK1−1、測定点XK1の順に測定値XCMMと測長値dとが測定される。
本実施形態では、繰り返し測定を実施する対象となる測定点XCaは、測定点X1である。つまり、測定点制御手段31は、測定ラインLaにおいて、最初に測定した測定点X1の位置にレトロリフレクタ105を移動させ、当該測定点X1に対して追尾式レーザ干渉計20による測定を実施させる。したがって、図4のように、測定ラインL1における測定点XK1の測定が終了すると、測定ラインL2の測定点X1の測定ではなく、測定ラインL1の測定点X1に対する測長値dが繰り返し測定される。
なお、ステップS19での繰り返し測定の測定回数としては、1回であってもよく、2回以上であってもよい。ステップS19での測定が1回の場合でも、ステップS15及びステップS19の測定により合計2回の測定点XCaに対する測定が実施されることになる。
具体的には、誤差判定手段33は、ステップS15の測定により得られた測長値d、及びステップS19の繰り返し測定により得られた少なくとも1つ以上の測長値dから、最大値dmax_Caと、最小値dmin_Caとを抽出する。そして、繰り返し誤差ΔdCa(=dmax_Ca−dmin_Ca)が、予め設定された閾値S以上であるか否かを判定する。
そして、ステップS6において、Yesと判定された場合、補正値算出手段34は、測定値XCMM及び測長値dを用いて補正パラメータを算出する(ステップS8:パラメータ算出工程)。
このステップS8では、制御装置30は、従来の空間精度補正方法と同様に、ステップS3の測定処理により測定された数千点の測定値XCMM(xCMM,yCMM,zCMM)及び測長値dを、次式(1)及び式(2)に代入して、数千点の式(1)及び式(2)の連立方程式を生成する。
また、BαはB-スプライン関数で表されたCMM10の補正パラメータの行列であって、BはB-スプライン関数の基底関数の行列、αは基底関数の係数の行列である。
Hは、補正パラメータBαをCMM10の誤差δpに変換する行列であり、補正対象のCMM10の機械的な構造やスタイラスオフセットの情報からなる。ここで、CMM10の機械的な構造に対する情報は、個々のCMM10により予め設定された値となり、スタイラスオフセットは、測定時に設定する変数nに対するオフセットパターンにより予め設定された値となる。
また、式(2)の左辺と右辺はそれぞれCMM10の測定値XCMM、追尾式レーザ干渉計の測長値dにより表した、回転中心Mからレトロリフレクタ105までの距離を表す。
xm,ym,zmはそれぞれプリセットにより測定された回転中心Mの座標のx,y,z成分である。第一補正定数Fdは測長値dのプリセット値の補正定数である。fxm、fym、fzmは、それぞれ第二補正定数FMのx成分、y成分、z成分である。第二補正定数FMは回転中心Mの座標の補正定数である。
第一補正定数Fdと第二補正定数FMはいずれも未知数であり、回転中心Mの位置を変更する毎、およびスタイラスオフセットを変更する毎に、それぞれ異なる補正定数を与える。これらの補正定数は、式(1)および(2)の連立方程式を解く際に補正パラメータBαと合わせて求めることができる。
したがって、補正値算出手段34は、生成した連立方程式を、例えば最小二乗法を用いて解くことで、CMM10の補正パラメータBαを算出することができる。
本実施形態の空間精度補正装置1は、位置決め機械であるCMM10と、CMM10による測定範囲又はその近傍に配置される追尾式レーザ干渉計20と、CMM10及び追尾式レーザ干渉計20と通信可能に接続された制御装置30とを備える。そして、制御装置30は、CMM10の空間座標を補正する空間精度補正処理において、CMM10の測定プローブ101の先端位置に設けられたレトロリフレクタ105を、複数の測定点Xに順次移動させて、各測定点XにおけるCMM10による測定値XCMMと、追尾式レーザ干渉計20による測長値dとを測定する測定工程を実施する。この際、制御装置30は、複数の測定点Xを複数の測定ラインLa(a=1〜amax)に分割し、測定ラインLaに属する各測定点Xに対する測定が終了した後に、当該測定ラインLaに属する測定点Xのうちの所定の測定点XCaの測長値dを繰り返し測定する。そして、測定点XCaに対する繰り返し測定を行った際の繰り返し誤差ΔdCaが、閾値S以上であるか否かを判定して、閾値S以上である場合に、測定ラインLaに属する各測定点Xの測定値XCMM及び測長値dを再測定する。
これにより、追尾式レーザ干渉計20の位置が、温度ドリフトや外的衝撃の影響によって移動した場合にはΔdCa≧Sとなるので、各測定点Xに対する再測定が実施される。したがって、各測定点Xに対する適正な測定値XCMM及び測長値dを得ることができ、空間精度補正における補正パラメータBαを精度よく算出することができる。
ステップS14及びステップS15で、測定ラインLaの各測定点Xの測定値XCMM及び測長値dを順次測定している最中に、温度ドリフトや外的衝撃の影響によって追尾式レーザ干渉計20の位置がずれる場合がある。このような場合では、最初に測定した測定点X1の繰り返し測定に必ず、位置ずれによる繰り返し誤差が含まれることになる。よって、この測定点X1に対する繰り返し測定を行うことで、温度ドリフトや外的衝撃等による追尾式レーザ干渉計20の位置ずれが生じたか否かを、容易かつ迅速に判定することできる。
次に、第二実施形態について説明する。なお、以降の説明にあたり、既に説明した事項については、同一の符号を付し、その説明を省略又は簡略化する。
上述した第一実施形態では、ステップS8のパラメータ算出工程において、ステップS3で得られた測定値XCMM及び測長値dの値を、式(1)及び式(2)に代入し、最小二乗法を用いることで補正パラメータを算出した。このとき、測長値dの補正定数である第一補正定数Fdと、回転中心Mの座標の補正定数である第二補正定数FMは、回転中心Mの位置を変更した場合、およびスタイラスオフセットを変更した場合に、それぞれ異なる補正定数を与えた。
これに対して、第二実施形態では、回転中心Mの位置を変更した場合、スタイラスオフセットを変更した場合に加えて、測定ラインLaを変更した場合にも、第一補正定数Fdと第二補正定数FMにそれぞれ異なる補正定数を与えて補正パラメータを算出する点で上記第一実施形態と相違する。
そこで、第二実施形態では、測定ラインLa毎に、回転中心Mの位置に対して第二補正定数FMaを与える。また、測定ラインLa毎に、測定ラインLaに属する各測定点Xの測長値dに対して第一補正定数Fdaを与える。これらの第一補正定数Fda及び第二補正定数FMaは、測定ラインLa毎にそれぞれ異なる値(定数)が設定される。
次に、第三実施形態について説明する。
上述した第一実施形態では、ステップS19において繰り返し測定を実施する対象の測定点XCaを、測定ラインLaにおける最初の測定点X1とした。これに対して、第三実施形態では、測定点XCaとして、測定ラインLaに属する複数の測定点Xを測定する点で上記第一実施形態と相違する。
具体的には、本実施形態では、繰り返し測定を実施する測定点XCaは、測定ラインLaに含まれる全ての測定点Xであり、その測定方法を直近の測定点の測定方向とは逆方向に測定する。
例えば、図5に示す例では、測定ラインLaに、Ka個の測定点Xが属している。この場合、ステップS15において、測定点X1、測定点X2、測定点X3、…測定点XKaの順、つまり、図5に示す矢印(i)、(ii)、(iii)、…(iv)の順で、測定点数Ka個の測定点Xに対する測定が実施される。
一方、ステップS19における繰り返し測定では、ステップS15の測定順とは逆方向に、測定点XKa、測定点XKa−1、測定点XKa−3、…測定点X1の順に、つまり、図5に示す矢印(v)、(vi)、…(vii)、(viii)の順で測定を実施する。なお、複数回の繰り返し測定を実施する場合は、逆方向の測定、順方向の測定を交互に実施する。
そして、誤差判定手段33は、複数の測定点XCa(本実施形態では、測定ラインLaに属する全ての測定点X)のそれぞれに対する繰り返し誤差ΔdCaを算出し、そのうち1つでも閾値S以上となる繰り返し誤差ΔdCaがある場合に、再測定を実施させる。
また、繰り返し測定の際に、直近の測定順とは逆方向の測定順で各測定点を測定することで、温度ドリフトの影響を効果的に抑制することができる。つまり、複数の測定点Xの測定中や繰り返し測定中において温度ドリフトが発生している場合、各測定点Xの繰り返し測定により得られた測定値にも誤差重畳されてしまう。
これに対して、順方向での各測定点Xの測定と、逆方向での各測定点Xの測定を交互に行えば、例えばその最小自乗値を算出することで、温度ドリフトの影響を略キャンセルすることができ、温度ドリフトがない場合に近い測長値を得ることができる。なお、この場合でも、多少のオフセット誤差が残るが、上述した第二実施形態のように、測定ラインLa毎に補正定数FMa,Fdaを与えることで、当該オフセット誤差を低減させることができる。
上記第一実施形態において、誤差判定手段33は、予め設定された閾値Sを用いて、繰り返し誤差ΔdCaがΔdCa≧Sとなるか否かを判定した。これに対して、本実施形態では、予備測定の結果に応じて閾値Sを変更する点で第一実施形態と相違する。
この閾値設定手段35は、各測定点Xに対する測長値dの予備測定を行った際の測定結果に基づいて、閾値Sを設定する。
この予備測定では、レトロリフレクタ105を、任意の測定ラインLaに属する各測定点X(X1〜XKa)に順に移動させて、各測定点Xに対する測長値dを測定し、さらに、当該測定ラインLaの各測定点Xに対してもう一度繰り返し測定を実施する。
この後、閾値設定手段35は、各測定点Xに対する繰り返し誤差Δdを算出し、例えば、その繰り返し誤差Δdの標準偏差の3倍の値を閾値Sとして設定する。
さらに、上記予備測定では、各測定点Xに対して、最初の測定と、1回の繰り返し測定とを実施する(2個の測長値dを取得する)例を示すが、より多くの繰り返し測定を実施して、3個以上の測長値dから算出される繰り返し誤差ΔdCaに基づいて閾値Sを設定してもよい。
すなわち、閾値Sとして予め設定された値を用いる場合、例えば、CMM10や追尾式レーザ干渉計20の個体差や使用環境に対して閾値Sが小さすぎる場合や大きすぎる場合がある。閾値Sが小さすぎる場合、ステップS12からステップS20の処理を複数回繰り返しても繰り返し誤差ΔdCaが閾値S以下とならない場合があり、この場合、空間精度補正処理に要する時間が長くなる。一方、閾値Sが大きすぎる場合、測長値dに含まれる誤差が大きくなり、精度の高い空間精度補正処理が困難となる。
これに対して、本実施形態では、各測定点Xの予備測定を行い、閾値設定手段35が予備測定の結果に基づいて、CMM10や追尾式レーザ干渉計20の個体差や使用環境に応じた最適な閾値Sを設定することができる。したがって、上記のような予め設定された閾値Sを用いる場合の不都合を改善でき、迅速かつ精度の高い空間精度補正処理を実施できる。
なお、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない範囲での変形等は本発明に含まれるものである。
例えば、第一実施形態から第四実施形態において、位置決め機械としてCMM10を例示したが、これに限定されない。位置決め機械としては、上述したように、移動体を所定の空間座標に移動させて位置決めする機械であれば、如何なるものをも対象とすることができる。例えば、位置決め機械は、対象物の切削や研磨等を行う加工工具を移動体とし、加工工具を所定の座標位置に移動させる工作機械であってもよい。また、移動体として、対象物を把持する把持アームを有し、把持した対象物を所定位置に搬送する搬送ロボットであってもよい。
例えば、所定数(例えば2つ)の測定ラインLaに対する測定が終了する毎に、当該所定数の測定ラインLaに含まれる測定点Xを繰り返し測定してもよい。
また、測定ラインLaに関係なく、全ての測定点Xを測定した後、全測定点Xのうちの少なくとも1つの測定点(例えば、最も最初に測定した測定点X1)に対して繰り返し測定を実施してもよい。
また、複数の測定点を順次測定する際に、所定時間内に測定可能な測定点で、測定ラインLaを分割してもよい。つまり、測定開始から所定の第1時間t内に測定される複数の測定点Xが測定ラインL1に属する測定点Xとなり、第1時間tから第2時間2tまでに測定される測定点Xが測定ラインL2に属する測定点Xとなる。
また、この場合、測定ラインLaの時間間隔は、一定でなくてもよい。例えば、測定開始から第1時間t1内に測定される測定点Xを測定ラインL1に属する測定点Xとし、第1時間t1から第2時間t2まで(t1≠t2−t1)に測定される測定点Xを測定ラインL2に属する測定点Xとしてもよい。
また、第一実施形態において、測定点X1に加え、その他の測定点Xを繰り返し対象の測定点XCaとしてもよい。例えば、ステップS13からステップS17において、各測定点Xに対する測定値XCMM及び測長値dを順次測定する際に、奇数番目に測定した測定点Xを繰り返し測定の対象としてもよい。
ただし、測定点Xを移動させる度に、レーザ干渉計により距離を測長する測長方向を変更する必要がある。したがって、この場合、レーザ干渉計の測長方向上(直線上)に複数の測定点を設定して、各測定点にレトロリフレクタ105を移動させた際の測定値XCMM及び測長値dを測定することが好ましい。また、測長方向を複数方向に変化させ、かつ、各測長方向に対して複数の測定点Xを設定することが好ましい。
Claims (7)
- 所定の空間座標に移動体を移動させるとともに、前記移動体にレトロリフレクタが装着された位置決め機械と、基準点を有し、前記基準点から前記レトロリフレクタまでの距離を測長するレーザ干渉計と、を有し、前記位置決め機械の空間精度補正を、前記レーザ干渉計により測長された測長値と、前記位置決め機械により測定される前記レトロリフレクタの空間座標の測定値とを用いて行う空間精度補正方法であって、
前記レトロリフレクタを複数の測定点に順に移動させて、各々の前記測定点における前記測長値及び前記測定値を取得する測定工程を含み、
前記測定工程において、複数の前記測定点の各々に対する前記測長値及び前記測定値の測定を実施した後、測定された複数の前記測定点のうちの少なくとも1つに対して、少なくとも1回以上の繰り返し測定を実施し、前記繰り返し測定された前記測定点に対する前記測長値の前記繰り返し測定における誤差が、所定の閾値以上である場合に、複数の前記測定点を再測定する
ことを特徴とする空間精度補正方法。 - 請求項1に記載の空間精度補正方法において、
前記測定工程は、複数の前記測定点を複数の測定ラインに分割し、各前記測定ラインに属する全ての前記測定点における前記測長値及び前記測定値の測定が終了した後に、当該測定ラインに属する前記測定点の少なくとも1つに対し、少なくとも1回以上の前記繰り返し測定を実施する
ことを特徴とする空間精度補正方法。 - 請求項2に記載の空間精度補正方法において、
前記測定値と、前記測長値と、前記レーザ干渉計の前記基準点の座標と、に基づいて、前記位置決め機械の空間精度補正の補正パラメータを算出するパラメータ算出工程を含み、
前記パラメータ算出工程において、前記測定ライン毎に、前記測長値に第一補正定数を与え、前記基準点の座標に第二補正定数を与えて前記補正パラメータを算出する
ことを特徴とする空間精度補正方法。 - 請求項2又は請求項3に記載の空間精度補正方法において、
前記繰り返し測定を実施する少なくとも1つ以上の前記測定点は、前記測定ラインにおいて最初の測定された前記測定点を含む
ことを特徴とする空間精度補正方法。 - 請求項2又は請求項3に記載の空間精度補正方法において、
前記繰り返し測定において、直近に測定した複数の前記測定点の測定順と逆の順番で、複数の前記測定点を測定する
ことを特徴とする空間精度補正方法。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の空間精度補正方法において、
前記測定工程を実施する前に、複数の前記測定点に対して複数回の前記繰り返し測定を実施する予備測定工程を含み、
前記閾値は、前記予備測定工程での複数の前記測定点の前記繰り返し測定における誤差の標準偏差に基づいて算出される
ことを特徴とする空間精度補正方法。 - 所定の空間座標に移動体を移動させるとともに、前記移動体にレトロリフレクタが装着され、前記レトロリフレクタの空間座標の測定値を測定可能な位置決め機械と、
基準点を有し、前記基準点から前記レトロリフレクタまでの距離である測長値を測長するレーザ干渉計と、
前記位置決め機械及び前記レーザ干渉計に接続された制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記レトロリフレクタを複数の測定点に順に移動させて、各々の前記測定点で測定される前記測長値及び前記測定値を取得し、複数の前記測定点の各々に対する前記測長値及び前記測定値の測定を実施した後、測定された複数の前記測定点のうちの少なくとも1つに対して、少なくとも1回以上の繰り返し測定を実施し、前記繰り返し測定された前記測定点に対する前記測長値の前記繰り返し測定における誤差が、所定の閾値以上である場合に、複数の前記測定点を再測定する
ことを特徴とする空間精度補正装置。
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