JP2019098357A - レーザ加工装置およびレーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】加工対象物に形成される貫通穴を従来よりも小径化させる。【解決手段】加工対象物に炭酸ガスレーザビームを照射して微細な穴空け加工を行うレーザ加工装置が、レーザビームを出射するレーザ光源と、レーザ光源から出射されたレーザビームの光路上に互いに直列に位置して、各々入力された超音波の周波数に応じた角度に高速でかつ互いに直角な平面内でそのレーザビームを偏向させる二個のAODと、互いに直角な軸線周りに回動するように組み合わされて、AODから出射されたレーザビームをそれぞれ偏向させる二枚のガルバノミラーと、AODとガルバノミラーとの間に位置し、AODから出射されたレーザビームのビーム径を拡大してそのレーザビームをガルバノミラーに入射する光学系と、ガルバノミラーから出射されたレーザビームを加工対象物に垂直に入射し、その加工対象物の位置で収束させるfθレンズと、を具えている。【選択図】図1
Description
本発明は、プリント配線板の層間絶縁層となる加工対象物に炭酸ガスレーザビームを照射して微細な穴空け加工を行うレーザ加工装置およびレーザ加工方法に関する。
近年のプリント配線板の技術分野では、電子回路の高密度化の要求に応じるために、コア基板上や支持板上に複数層のビルドアップ層を積層することで多層プリント配線板を形成することが提案されている。
ビルドアップ層は通常、層間絶縁層とその上の導体回路層とで構成されており、多層プリント配線板では、コア基板とビルドアップ層との導体回路層間や、ビルドアップ層同士の導体回路層間を電気的に接続するため、層間絶縁層に貫通穴が形成され、その貫通穴内にメッキ等によってバイアホール導体が設けられている。
このバイアホール導体用の貫通穴は極めて小径かつ多数であり、その形成には、従来はドリルが用いられていたが、近年では電子回路のさらなる高密度化の要求に対し、例えば特許文献1に記載されたようなレーザ加工装置による炭酸ガスレーザビームの照射が用いられるようになっている。
この従来のレーザ加工装置は、各々入力された超音波の周波数に応じた角度にレーザビームを高速でかつ所定平面内で偏向させる二個のAOD(音響光学偏向器)をそれらの所定平面が互いに直角になるように組み合わせてレーザ光源からのレーザビームの光路上に置くことで、層間絶縁層となる加工対象物の微小範囲内をレーザビームによって高速で走査するとともに、それらのAODの近傍に二枚のガルバノミラーを互いに直角な軸線周りに回動するように組み合わせて配置することで、その微小範囲を加工対象物の面内でずらしてその微小範囲より大きい所定範囲内を走査し、さらに、加工対象物を支持するX−Yテーブルで加工対象物をガルバノミラーに対し移動させることで、その所定範囲を加工対象物の面内でずらして加工対象物の穴空け加工範囲全体を走査する。
そしてこの走査に伴い、AODを出てガルバノミラーで偏向されたレーザビームをガルバノミラーと加工対象物との間に配置したfθレンズによって加工対象物に垂直に入射しかつその加工対象物の位置で収束させることで、極めて小径かつ多数の貫通穴の、加工対象物の穴空け加工範囲全体に亘る微細な穴空け加工を短時間で行い、穴空け加工の高スループット化を図っている。
ところで、貫通穴を小径化するにはガルバノミラーに入射されるレーザビームのビーム径を大きくするのが通常であるところ、高スループット化を目的とした上記従来のレーザ加工装置では、ガルバノミラーの高速駆動のために小さいガルバノミラーを用い、AODの近傍にガルバノミラーを配置し、しかもガルバノミラーに入射されるレーザビームのビーム径を制限しているので、ガルバノミラーに入射されるレーザビームのビーム径を拡大することが困難であり、貫通穴のさらなる小径化が困難であった。
本発明のレーザ加工装置は、プリント配線板の層間絶縁層等とされる加工対象物に炭酸ガスレーザビームを照射して微細な穴空け加工を行うものであって、
炭酸ガスレーザのレーザビームを出射するレーザ光源と、
レーザ光源から出射されたレーザビームの光路上に互いに直列に位置して、各々入力された超音波の周波数に応じた角度に高速でかつ互いに直角な平面内でそのレーザビームを偏向させる二個のAOD(音響光学偏向器)と、
互いに直角な軸線周りに回動するように組み合わされて、AODから出射されたレーザビームをそれぞれ偏向させる二枚のガルバノミラーと、
AODとガルバノミラーとの間に位置し、AODから出射されたレーザビームのビーム径を拡大してそのレーザビームをガルバノミラーに入射する光学系と、
ガルバノミラーから出射されたレーザビームを加工対象物に垂直に入射し、その加工対象物の位置で収束させるfθレンズと、
を具えている。
炭酸ガスレーザのレーザビームを出射するレーザ光源と、
レーザ光源から出射されたレーザビームの光路上に互いに直列に位置して、各々入力された超音波の周波数に応じた角度に高速でかつ互いに直角な平面内でそのレーザビームを偏向させる二個のAOD(音響光学偏向器)と、
互いに直角な軸線周りに回動するように組み合わされて、AODから出射されたレーザビームをそれぞれ偏向させる二枚のガルバノミラーと、
AODとガルバノミラーとの間に位置し、AODから出射されたレーザビームのビーム径を拡大してそのレーザビームをガルバノミラーに入射する光学系と、
ガルバノミラーから出射されたレーザビームを加工対象物に垂直に入射し、その加工対象物の位置で収束させるfθレンズと、
を具えている。
本発明のレーザ加工方法は、
加工対象物に炭酸ガスレーザビームを照射して微細な穴空け加工を行う方法であって、
レーザ光源により、炭酸ガスレーザのレーザビームを出射することと、
レーザ光源から出射されたレーザビームの光路上に互いに直列に位置し、各々入力された超音波の周波数に応じた角度に高速でかつ互いに直角な平面内でそのレーザビームを偏向させる二個のAODにより、そのレーザ光源から出射されたレーザビームを偏向させることと、
光学系により、AODから出射されたレーザビームをそのビーム径を拡大してガルバノミラーに入射することと、
互いに直角な軸線周りに回動するように組み合わされて、光学系によりビーム径が拡大されたレーザビームをそれぞれ偏向させる二枚のガルバノミラーにより、そのレーザビームを偏向させることと、
ガルバノミラーから出射されたレーザビームをfθレンズにより、加工対象物に垂直に入射し、その加工対象物の位置で収束させることと、
を含んでいる。
加工対象物に炭酸ガスレーザビームを照射して微細な穴空け加工を行う方法であって、
レーザ光源により、炭酸ガスレーザのレーザビームを出射することと、
レーザ光源から出射されたレーザビームの光路上に互いに直列に位置し、各々入力された超音波の周波数に応じた角度に高速でかつ互いに直角な平面内でそのレーザビームを偏向させる二個のAODにより、そのレーザ光源から出射されたレーザビームを偏向させることと、
光学系により、AODから出射されたレーザビームをそのビーム径を拡大してガルバノミラーに入射することと、
互いに直角な軸線周りに回動するように組み合わされて、光学系によりビーム径が拡大されたレーザビームをそれぞれ偏向させる二枚のガルバノミラーにより、そのレーザビームを偏向させることと、
ガルバノミラーから出射されたレーザビームをfθレンズにより、加工対象物に垂直に入射し、その加工対象物の位置で収束させることと、
を含んでいる。
本発明の実施形態によれば、レーザ光源から出射されてAODで偏向された炭酸ガスレーザのレーザビームが、AODとガルバノミラーとの間に位置する光学系によってビーム径を拡大されてガルバノミラーに入射され、ガルバノミラーで偏向されて出射されたそのレーザビームが、fθレンズによって加工対象物に垂直に入射されて、その加工対象物の位置で収束する。これにより、加工対象物に形成される貫通穴が従来よりもさらに小径化し、電子回路のさらなる高密度化に対応することが可能になる。
以下、図面を参照して本発明に係るレーザ加工装置およびレーザ加工方法の実施形態について説明する。図1は、本発明の一実施形態のレーザ加工装置の構成を示す説明図である。この実施形態のレーザ加工装置は、プリント配線板の層間絶縁層とされる平板状の加工対象物Wに炭酸ガスレーザビームBを照射して微細な穴空け加工を行うものであって、炭酸ガスレーザのレーザビームBを出射するレーザ光源としての既知のレーザ発振器1と、レーザ発振器1から出射されたレーザビームBの光路上に互いに直列に位置して、各々入力された超音波の周波数に応じた角度に高速でかつ互いに直角な平面内でそのレーザビームBを偏向させる既知の二個のAOD(音響光学偏向器)2,3と、レーザ発振器1から遠い側のAOD3から出射されたレーザビームBを順次に偏向させる既知の二枚のガルバノミラー4,5と、を具えている。
図2は、図1に示される実施形態のレーザ加工装置のレーザ発振器1の発振周波数とピークパワーとの関係を示す説明図である。従来のレーザ発振器の使い方では、発振周波数は図中符号Aで示す6KHzから10KHzの間とされ、ピークパワーは15000W程度とされている。これに対しこの実施形態のレーザ発振器1の使い方では、発振周波数は例えば150KHzから200KHzの間に調整され、ピークパワーは例えば1000Wから2000Wの間に調整される。これによりレーザ発振器1は、同じ時間の長さの間に従来のレーザ発振器の使用方法の20倍のパルス周期(パルス数)のパルス状のレーザビームBを出力することができる。
図3は、図1に示される実施形態のレーザ加工装置のAOD2,3の機能を示す説明図である。これらのAOD(音響光学偏向器)2,3は各々、炭酸ガスレーザビームを偏向させるのに適しているゲルマニウム結晶を用いており、発振器から高周波の電気信号を入力されると圧電素子によってその周波数の超音波を発生させて結晶内に伝播させ、入射されたレーザビームBをブラッグ回折現象により、その高周波の周波数に応じた角度に偏向させて出射することができる。すなわち、AOD2,3は各々、例えば中心周波数170MHzでは、レーザビームBの0次光(透過光)に対して1次回折光を10mrad(ラジアン)偏向させて走査中心光軸とし、その中心周波数±20MHzの範囲である150MHzから190MHzまでの周波数の間で1次回折光を2.5mrad偏向させて走査光軸とすることができる。
また、AOD2,3は各々、入射されたレーザビームBを上記ブラッグ回折現象によって高速で偏向させることができる。例えば、ガルバノミラー4,5ではレーザビームBの走査速度が2KHz程度であるのに対し、AOD2,3ではレーザビームBの走査速度が900KHz程度であり、ガルバノミラー4,5に対し概略450倍の速度でレーザビームBの走査光軸を偏向させることができる。
これらのAOD2,3は、レーザビームBの光路上に互いに直列に位置して、互いに直角な平面内、例えばAOD2は図1では左右方向に紙面と直交して延在する平面内、またAOD3は図1では左右方向に紙面と平行に延在する平面内で、入射されたレーザビームBをそれぞれ偏向させる。これによりAOD2,3は、図1では上下方向に紙面と直交して延在する平面上の微小範囲内でレーザビームBを移動させてその微小範囲内を走査することができる。
この実施形態のレーザ加工装置はまた、図1ではガルバノミラー4,5の下方に位置し、平板状の加工対象物Wを、例えば図1では左右方向に延在するX軸および、紙面と直交する方向に延在するY軸を含むX−Y平面に平行な姿勢で例えば負圧によって吸着支持するとともに、その支持した加工対象物WをX軸方向およびY軸方向へ移動させる既知の移動テーブル6と、上記二枚のうちのAOD3から遠い側のガルバノミラー5から出射されたレーザビームBを移動テーブル6上の加工対象物Wに垂直に入射させかつその加工対象物Wの位置で収束させる既知のfθレンズ7と、AOD3とAOD3に近い側のガルバノミラー4との間に位置してエキスパンダとして機能し、AOD3から出射されたレーザビームBのビーム径を拡大してそのレーザビームBをガルバノミラー4に入射させる光学系8と、を具えている。
図4は、図1に示される実施形態のレーザ加工装置の光学系8の機能を示す説明図である。光学系8は、図1および図4に示されるように、同一軸線上にそれぞれの焦点距離の位置Fを挟んで直列に配置された例えばF100(焦点距離100mm)のレンズ8aおよびF300(焦点距離300mm)のレンズ8bと、それらのレンズ8a,8bの焦点距離の位置Fに開口を持つ図示しないマスクとを有している。
AOD3から偏向されて出射された実質的に平行光線のレーザビームBは、F100のレンズ8aによってその焦点距離の位置Fで収束して、レーザビームBの断面形状を整えるマスクの開口を通過した後、3倍に拡径してF300のレンズ8bに入射し、レンズ8bにより実質的に平行光線に戻されてから、AOD3に近い側のガルバノミラー4とAOD3から遠い側のガルバノミラー5とを順次に経てfθレンズ7に入射される。そしてこのレーザビームBは、fθレンズ7から出射されて移動テーブル6上の加工対象物Wに垂直に入射され、その加工対象物Wの位置で収束してその加工対象物Wに貫通穴を形成する。加工対象物Wには、例えば味の素ファインテクノ株式会社製の層間樹脂フィルム(ABFフィルム)、商品名:ABF−92R等を用いることができる。
この光学系8により、fθレンズ7に入射されるレーザビームBのビーム径は、レーザ発振器1から出射されるレーザビームBのビーム径の3倍に拡大されているので、fθレンズ7から出射されて加工対象物Wの位置で収束するレーザビームBは、従来よりもさらに小径化する。これにより、加工対象物Wに形成される貫通穴が従来よりもさらに小径化して、電子回路のさらなる高密度化に対応することが可能になる。レーザ発振器1から出射されるレーザビームBのビーム径を例えば3.5mmとすると、fθレンズ7に入射されるレーザビームBのビーム径はその3倍の10.5mmとなり、fθレンズ7から出射されて加工対象物Wの位置で収束するレーザビームBによって加工対象物Wに形成されるバイアホール導体用の貫通穴の径は50μmとなる。
一方、150MHzから190MHzまでの高周波を入力されるAOD2,3から出射されるレーザビームBは走査角度が上記のように2.5mradであるのに対し、光学系8によりビーム径を3倍にされてレンズ8bから出射されるレーザビームBは走査角度が1/3の0.83mradに減少し、レーザビームBがAOD2,3で偏向されて加工対象物W上を走査する微小範囲は、レーザビームBがガルバノミラー4,5で偏向されて加工対象物W上を走査する所定範囲である24mm角の1辺当たり概略1/28の0.84mm角となる。貫通穴は小径の50μmであるので、この微小範囲内に例えば5個形成することができる。
この実施形態のレーザ加工装置を用いて行うこの実施形態のレーザ加工方法では、AOD2,3によって偏向されるレーザビームBで上記微小範囲内を走査してその微小範囲内の複数の貫通穴の加工を行い、ガルバノミラー4,5によってその微小範囲を加工対象物Wの面内でずらしてその微小範囲より大きい所定範囲内を走査し、さらに、加工対象物Wを支持する移動テーブル6によって加工対象物Wをガルバノミラー4,5に対し移動させてその所定範囲を加工対象物Wの面内でずらし、加工対象物Wの穴空け加工範囲全体を走査することで、その穴空け加工範囲全体に亘りレーザビームBで貫通穴の加工を行う。
その際、レーザ発振器1から出射されてAOD2,3で偏向されたレーザビームBが、光学系8によってビーム径を拡大されてガルバノミラー4,5に入射されるので、加工対象物Wに形成される貫通穴が従来よりもさらに小径化し、電子回路のさらなる高密度化に対応することが可能になる。
図5は、図1に示される実施形態のレーザ加工装置の加工速度を従来のレーザ加工装置の加工速度と比較して示す説明図である。従来は、二台のレーザ加工装置の各々で、加工対象物としてのパネルNo.1およびパネルNo.2に二本のレーザビームBを照射して貫通穴を加工する際に、パネルNo.1に関しては、ビーム1について、ガルバノミラーを1.9KHzで動作させて、加工する所定範囲を500μ秒で移動させ、次いで250μ秒のインターバルをおいて、続く250μ秒の間に3ショットのレーザビームBで、その所定範囲に1穴の貫通穴を加工する、という工程を繰り返し、ビーム2についても、上記の各工程を概略500μ秒ずらして行う。また、パネルNo.2に関しても同様に、ビーム3について、ガルバノミラーを1.9KHzで動作させて、加工する所定範囲を500μ秒で移動させ、次いで250μ秒のインターバルをおいて、続く250μ秒の間に3ショットのレーザビームBで、その所定範囲に1穴の貫通穴を加工する、という工程を繰り返し、ビーム4についても、上記の各工程を概略500μ秒ずらして行う。これにより従来は、二台のレーザ加工装置で2,630μ秒の間に合計10穴の貫通穴の加工を行っている。
これに対し、この実施形態のレーザ加工装置では、パネルNo.3に二本のレーザビームBを照射して貫通穴を加工する際に、ビーム1について、ガルバノミラー4,5を2.4KHzで動作させて、加工する微小範囲の位置を400μ秒でずらし、次いで200μ秒のインターバルをおいて、続く200μ秒の間に、従来のレーザ加工装置のガルバノミラーの1.9KHzの動作速度の約450倍の900KHzで動作するAOD2,3によりその微小範囲内でレーザビームBを高速で移動させて、各穴につき3ショットで合計15ショットのレーザビームBで5穴の貫通穴をその微小範囲内の所定位置にそれぞれ加工する、という工程を繰り返し、ビーム2についても、上記の工程を概略400μ秒ずらして行う。これにより、従来の半分の一台のレーザ加工装置で従来の概略1/3の833μ秒の間に、従来と同じ合計10穴の貫通穴の加工を行っている。
図6は、図1に示される実施形態のレーザ加工装置のAOD2,3の走査範囲と穴加工数との関係を示す説明図である。図示のようにこの実施形態のレーザ加工装置では、加工対象物Wの穴空け加工範囲全体を多数に分割した所定範囲の各々についてさらに分割した例えば0.84mm角の微小範囲の各々に5穴ずつ貫通穴を加工することができる。
本発明は、上記実施形態に限定されず、請求の範囲の記載から逸脱しない範囲で種々の変更、修正が可能である。例えば、実施形態のレーザ加工装置およびレーザ加工方法では移動テーブル6が加工対象物Wを移動させることで穴空け加工範囲全体に亘り所定範囲を相対的に移動させて走査しているが、これに代えて移動しないテーブルを加工対象物Wの固定に用い、レーザ発振器1からfθレンズ7までの構成を移動させることで穴空け加工範囲全体に亘り所定範囲を移動させて走査するようにしても良く、あるいはレーザ発振器1からfθレンズ7までの構成を移動させるとともにその移動方向と直交する方向に移動テーブル6を移動させるようにしても良い。
また例えば、実施形態のレーザ加工装置およびレーザ加工方法ではプリント配線板の層間絶縁層とされる平板状の加工対象物Wに貫通穴を加工しているが、加工対象物Wはこれに限られず、例えばフレキシブルプリント基板等を構成する樹脂絶縁層であっても良い。
1 レーザ発振器
2,3 AOD(音響光学偏向器)
4,5 ガルバノミラー
6 移動テーブル
7 fθレンズ
8 光学系
8a,8b レンズ
2,3 AOD(音響光学偏向器)
4,5 ガルバノミラー
6 移動テーブル
7 fθレンズ
8 光学系
8a,8b レンズ
Claims (4)
- 加工対象物に炭酸ガスレーザビームを照射して微細な穴空け加工を行うレーザ加工装置であって、
炭酸ガスレーザのレーザビームを出射するレーザ光源と、
レーザ光源から出射されたレーザビームの光路上に互いに直列に位置して、各々入力された超音波の周波数に応じた角度に高速でかつ互いに直角な平面内でそのレーザビームを偏向させる二個のAODと、
互いに直角な軸線周りに回動するように組み合わされて、AODから出射されたレーザビームをそれぞれ偏向させる二枚のガルバノミラーと、
AODとガルバノミラーとの間に位置し、AODから出射されたレーザビームのビーム径を拡大してそのレーザビームをガルバノミラーに入射する光学系と、
ガルバノミラーから出射されたレーザビームを加工対象物に垂直に入射し、その加工対象物の位置で収束させるfθレンズと、
を具えている。 - 請求項1に記載のレーザ加工装置であって、
前記レーザ光源は、発振周波数が200KHzに至るレーザ発振器である。 - 請求項1に記載のレーザ加工装置であって、
前記AODはゲルマニウム結晶を用いたものである。 - 加工対象物に炭酸ガスレーザビームを照射して微細な穴空け加工を行うレーザ加工方法であって、
レーザ光源により、炭酸ガスレーザのレーザビームを出射することと、
レーザ光源から出射されたレーザビームの光路上に互いに直列に位置し、各々入力された超音波の周波数に応じた角度に高速でかつ互いに直角な平面内でそのレーザビームを偏向させる二個のAODにより、そのレーザ光源から出射されたレーザビームを偏向させることと、
光学系により、AODから出射されたレーザビームをそのビーム径を拡大してガルバノミラーに入射することと、
互いに直角な軸線周りに回動するように組み合わされて、光学系によりビーム径が拡大されたレーザビームをそれぞれ偏向させる二枚のガルバノミラーにより、そのレーザビームを偏向させることと、
ガルバノミラーから出射されたレーザビームをfθレンズにより、加工対象物に垂直に入射し、その加工対象物の位置で収束させることと、
を含んでいる。
Priority Applications (1)
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JP2017230232A JP2019098357A (ja) | 2017-11-30 | 2017-11-30 | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
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