JP2019089220A - ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性を向上させつつ小型化を図ることが可能なヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供する。【解決手段】ヘッドチップは、第１の方向に沿って設けられた複数の吐出溝と、複数の非吐出溝と、複数の非吐出溝内に形成された個別電極とを有するアクチュエータプレートと、複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、アクチュエータプレートを覆うカバープレートとを備え、第１の方向と直交する第２の方向に沿った端部領域に配置され、個別電極に対して電気的接続されている複数の個別配線を配線基板に対して電気的接続させるための配線接続部を有している。この配線接続部内における複数の個別配線は、所定の障害物を避けるようにして第２の方向と交差する斜め方向に延在する屈曲部を有している。配線接続部における複数の個別配線と配線基板との接続領域は、屈曲部を含む領域となっている。【選択図】図８

Description

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関する。

液体噴射記録装置の１つとして、記録紙等の被記録媒体にインク（液体）を吐出（噴射）して画像や文字等の記録を行う、インクジェット方式の記録装置が提供されている（例えば特許文献１参照）。この方式の液体噴射記録装置では、インクタンクからインクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）へインクを供給し、このインクジェットヘッドのノズル孔から被記録媒体に対してインクを吐出することで、画像や文字等の記録が行われるようになっている。また、このようなインクジェットヘッドには、インクを吐出するヘッドチップが設けられている。

米国特許第９５６６７８６号明細書

このようなヘッドチップ等では一般に、信頼性を向上させることや、チップサイズの小型化を図ることが求められている。信頼性を向上させつつ小型化を図ることが可能なヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供することが望ましい。

本開示の一実施の形態に係るヘッドチップは、第１の方向に沿って並設された複数の吐出溝と、上記第１の方向に沿って並設された複数の非吐出溝と、複数の非吐出溝内にそれぞれ形成された個別電極とを有するアクチュエータプレートと、複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、アクチュエータプレートを覆うカバープレートとを備えたものである。このカバープレートは、上記第１の方向と直交する第２の方向に沿った端部領域に配置され、個別電極に対して電気的接続されている複数の個別配線をヘッドチップの外部の配線基板に対して電気的接続させるための配線接続部を有している。この配線接続部内における複数の個別配線は、所定の障害物を避けるようにして上記第２の方向と交差する斜め方向に延在する屈曲部を有している。配線接続部における複数の個別配線と配線基板との接続領域は、屈曲部を含む領域となっている。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、上記本開示の一実施の形態に係るヘッドチップを備えたものである。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置は、上記本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドと、液体を収容する収容部とを備えたものである。

本開示の一実施の形態に係るヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置によれば、信頼性を向上させつつ小型化を図ることが可能となる。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。 図１に示した液体噴射ヘッドの要部構成例を表す模式底面図である。 図２に示したヘッドチップにおけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面構成例を表す模式図である。 図３に示したカバープレートの上面構成例を表す模式図である。 図２に示したＶ−Ｖ線に沿ったヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 図２に示したＶＩ−ＶＩ線に沿ったヘッドチップの断面構成例を表す模式図である。 図４に示したカバープレートの底面構成例を表す模式図である。 図７に示した配線接続部の平面構成例を表す模式図である。 図７に示した配線接続部同士の境界付近の平面構成例を表す模式図である。 実施の形態に係るアライメントマークの平面構成例を表す模式図である。 図１０に示したフレキシブルプリント基板上のアライメントマークの平面構成例を表す模式図である。 比較例１に係る配線接続部の平面構成例を表す模式図である。 比較例２に係るアライメントマークの平面構成例を表す模式図である。 実施の形態に係る他のアライメントマークの平面構成例を表す模式図である。 変形例に係る配線接続部の平面構成例を表す模式図である。

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（配線接続部での接続領域が屈曲部とストレート部との双方を含む例）
２．変形例（配線接続部での接続領域が屈曲部のみを含む例）
３．その他の変形例

＜１．実施の形態＞
［プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。このプリンタ１は、後述するインク９を利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。

プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、循環機構５と、走査機構６とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

ここで、プリンタ１は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応し、インクジェットヘッド４（後述するインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。また、インク９は、本開示における「液体」の一具体例に対応している。

搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２はそれぞれ、Ｙ軸方向（記録紙Ｐの幅方向）に沿って延設されている。駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（Ｚ−Ｘ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等によって構成されている。

（インクタンク３）
インクタンク３は、インク９を内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｂ）の４色のインク９を個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインク９を収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインク９を収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインク９を収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインク９を収容するインクタンク３Ｂとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂはそれぞれ、収容するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクタンク３と総称して説明する。また、このインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）は、本開示における「収容部」の一具体例に対応している。

（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズル（ノズル孔Ｈ１，Ｈ２）から記録紙Ｐに対して液滴状のインク９を噴射（吐出）して、画像や文字等の記録を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４としても、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂにそれぞれ収容されている４色のインク９を個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｂとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂはそれぞれ、利用するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成については、後述する（図２〜図６）。

（循環機構５）
循環機構５は、インクタンク３内とインクジェットヘッド４内との間でインク９を循環させるための機構である。この循環機構５は、例えば、インク９を循環させるための流路である循環流路５０と、一対の送液ポンプ５２ａ，５２ｂとを含んで構成されている。

循環流路５０は、図１に示したように、インクタンク３から送液ポンプ５２ａを介してインクジェットヘッド４へと至る部分である流路５０ａと、インクジェットヘッド４から送液ポンプ５２ｂを介してインクタンク３へと至る部分である流路５０ｂとを有している。言い換えると、流路５０ａは、インクタンク３からインクジェットヘッド４へと向かって、インク９が流れる流路である。また、流路５０ｂは、インクジェットヘッド４からインクタンク３へと向かって、インク９が流れる流路である。なお、これらの流路５０ａ，５０ｂ（インク９の供給チューブ）はそれぞれ、可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。

（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。この走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、これらのガイドレール６１ａ，６１ｂに移動可能に支持されたキャリッジ６２と、このキャリッジ６２をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構６３と、を有している。また、駆動機構６３は、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置された一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、これらのプーリ６３１ａ，６３１ｂ間に巻回された無端ベルト６３２と、プーリ６３１ａを回転駆動させる駆動モータ６３３と、を有している。

プーリ６３１ａ，６３１ｂはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って、各ガイドレール６１ａ，６１ｂにおける両端付近に対応する領域に配置されている。無端ベルト６３２には、キャリッジ６２が連結されている。このキャリッジ６２上には、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂが、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成されるようになっている。

［インクジェットヘッド４の詳細構成］
次に、図１に加えて図２〜図６を参照して、インクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）の詳細構成例について説明する。

図２は、ノズルプレート４１１（後出）を取り外した状態におけるインクジェットヘッド４の要部構成例を、模式的に底面図（Ｘ−Ｙ底面図）で表したものである。図３は、図２に示したＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例（Ｚ−Ｘ断面構成例）を、模式的に表したものである。図４は、図３に示したカバープレート４１３（後出）の上面構成例（Ｘ−Ｙ上面構成例）を、模式的に表したものである。図５は、図２に示したＶ−Ｖ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例を模式的に表したものであり、後述するヘッドチップ４１における吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ（吐出溝）付近の断面構成例に対応している。また、図６は、図２に示したＶＩ−ＶＩ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例を模式的に表したものであり、後述するヘッドチップ４１におけるダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ（非吐出溝）付近の断面構成例に対応している。

本実施の形態のインクジェットヘッド４は、後述するヘッドチップ４１における複数のチャネル（複数のチャネルＣ１および複数のチャネルＣ２）の延在方向（後述する斜め方向）の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドである。また、このインクジェットヘッド４は、前述した循環機構５（循環流路５０）を用いることで、インクタンク３との間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドである。

図２に示したように、インクジェットヘッド４は、ヘッドチップ４１および流路プレート４０を備えている。また、このインクジェットヘッド４には、制御機構（ヘッドチップ４１の動作を制御する機構）として、回路基板（不図示）と、後述するフレキシブルプリント基板（Flexible Printed Circuits：ＦＰＣ）４４１，４４２とが設けられている。

回路基板は、ヘッドチップ４１を駆動するための駆動回路（電気回路）を搭載する基板である。フレキシブルプリント基板４４１，４４２はそれぞれ、詳細は後述するが（図６，図７参照）、この回路基板上の駆動回路と、ヘッドチップ４１における後述する駆動電極Ｅｄとの間を、電気的に接続するための基板である。なお、このようなフレキシブルプリント基板４４１，４４２にはそれぞれ、後述する複数の引き出し電極がプリント配線されるようになっている。

ヘッドチップ４１は、図２に示したように、インク９をＺ軸方向に沿って噴射する部材であり、各種のプレートを用いて構成されている。具体的には図２に示したように、ヘッドチップ４１は、ノズルプレート（噴射孔プレート）４１１、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３を、主に備えている。これらのノズルプレート４１１、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３と、上記した流路プレート４０とはそれぞれ、例えば接着剤等を用いて互いに貼り合わされており、Ｚ軸方向に沿ってこの順に積層されている。なお、以下では、Ｚ軸方向に沿って流路プレート４０側（カバープレート４１３側）を上方と称すると共に、ノズルプレート４１１側を下方と称して説明する。

（ノズルプレート４１１）
ノズルプレート４１１は、例えば５０μｍ程度の厚みを有する、ポリイミド等のフィルム材からなり、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２の下面に接着されている。ただし、ノズルプレート４１１の構成材料は、ポリイミド等の樹脂材料には限られず、例えば金属材料であってもよい。また、図２に示したように、このノズルプレート４１１には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のノズル列（ノズル列Ａｎ１，Ａｎ２）が設けられている。これらのノズル列Ａｎ１，Ａｎ２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。このように、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）は、２列タイプのインクジェットヘッド（ヘッドチップ）となっている。

ノズル列Ａｎ１は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ１を有している。これらのノズル孔Ｈ１はそれぞれ、ノズルプレート４１１をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通しており、例えば図３および図５に示したように、後述するアクチュエータプレート４１２における吐出チャネルＣ１ｅ内に個別に連通している。具体的には図２に示したように、各ノズル孔Ｈ１は、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（後述する斜め方向）に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ１におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ１ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一（同一ピッチ）となっている。このようなノズル列Ａｎ１内のノズル孔Ｈ１からは、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ１ｅ内から供給されるインク９が吐出（噴射）されるようになっている。

ノズル列Ａｎ２も同様に、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ２を有している。これらのノズル孔Ｈ２もそれぞれ、ノズルプレート４１１をその厚み方向に沿って貫通しており、後述するアクチュエータプレート４１２における吐出チャネルＣ２ｅ内に個別に連通している。具体的には図２に示したように、各ノズル孔Ｈ２は、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（後述する斜め方向）に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ２におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ２ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一となっている。このようなノズル列Ａｎ２内のノズル孔Ｈ２からも、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ２ｅ内から供給されるインク９が吐出されるようになっている。

また、図２に示したように、ノズル列Ａｎ１における各ノズル孔Ｈ１と、ノズル列Ａｎ２における各ノズル孔Ｈ２とは、Ｘ軸方向に沿って互い違いとなるように配置されている。したがって、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、ノズル列Ａｎ１におけるノズル孔Ｈ１と、ノズル列Ａｎ２におけるノズル孔Ｈ２とが、千鳥状に配置されている。なお、このようなノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパ状の貫通孔となっている。

（アクチュエータプレート４１２）
アクチュエータプレート４１２は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料により構成されたプレートである。このアクチュエータプレート４１２は、図２に示したように、分極方向が互いに異なる２つの圧電基板を、厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って積層して構成されている（いわゆる、シェブロンタイプ）。ただし、アクチュエータプレート４１２の構成としては、このシェブロンタイプには限られない。すなわち、例えば、分極方向が厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って一方向に設定されている１つ（単一）の圧電基板によって、アクチュエータプレート４１２を構成するようにしてもよい（いわゆる、カンチレバータイプ）。

また、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のチャネル列（チャネル列４２１，４２２）が設けられている。これらのチャネル列４２１，４２２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。

このようなアクチュエータプレート４１２では、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿った中央部（チャネル列４２１，４２２の形成領域）に、インク９の吐出領域（噴射領域）が設けられている。一方、アクチュエータプレート４１２において、Ｘ軸方向に沿った両端部（チャネル列４２１，４２２の非形成領域）には、インク９の非吐出領域（非噴射領域）が設けられている。この非吐出領域は、上記した吐出領域に対して、Ｘ軸方向に沿った外側に位置している。なお、アクチュエータプレート４１２におけるＹ軸方向に沿った両端部はそれぞれ、図２に示したように、尾部４２０を構成している。

上記したチャネル列４２１は、図２および図３に示したように、複数のチャネルＣ１を有している。これらのチャネルＣ１は、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２内においてＹ軸方向から所定の角度（鋭角）を成す、斜め方向に沿って延在している。また、これらのチャネルＣ１は、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ１は、圧電体（アクチュエータプレート４１２）からなる駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている（図３参照）。

チャネル列４２２も同様に、図２に示したように、上記した斜め方向に沿って延在する複数のチャネルＣ２を有している。これらのチャネルＣ２は、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ２もまた、上記した駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている。

ここで、図２，図３，図５，図６に示したように、チャネルＣ１には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ１ｅ（吐出溝）と、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ１ｄ（非吐出溝）とが存在している。図２，図３に示したように、チャネル列４２１において、これらの吐出チャネルＣ１ｅとダミーチャネルＣ１ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート４１１におけるノズル孔Ｈ１と連通している一方、各ダミーチャネルＣ１ｄはノズル孔Ｈ１には連通しておらず、ノズルプレート４１１の上面によって下方から覆われている（図３，図５，図６参照）。

同様に、図２，図５，図６に示したように、チャネルＣ２には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ２ｅ（吐出溝）と、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ２ｄ（非吐出溝）とが存在している。図２に示したように、チャネル列４２２において、これらの吐出チャネルＣ２ｅとダミーチャネルＣ２ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ２ｅは、ノズルプレート４１１におけるノズル孔Ｈ２と連通している一方、各ダミーチャネルＣ２ｄはノズル孔Ｈ２には連通しておらず、ノズルプレート４１１の上面によって下方から覆われている（図５，図６参照）。

なお、このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅはそれぞれ、本開示における「吐出溝」の一具体例に対応している。また、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄはそれぞれ、本開示における「非吐出溝」の一具体例に対応している。

また、図２中のＶ−Ｖ線で示したように、チャネル列４２１における吐出チャネルＣ１ｅと、チャネル列４２２における吐出チャネルＣ２ｅとは、これら吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（前述した斜め方向）に沿って、一直線上に配置されている（図５参照）。同様に、図２中のＶＩ−ＶＩ線で示したように、チャネル列４２１におけるダミーチャネルＣ１ｄと、チャネル列４２２におけるダミーチャネルＣ２ｄとは、これらダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの延在方向（上記斜め方向）に沿って、一直線上に配置されている（図６参照）。

なお、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅはそれぞれ、図５に示したように、カバープレート４１３側（上方）からノズルプレート４１１側（下方）へ向けて吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有している。このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおける円弧状の側面はそれぞれ、例えば、ダイサーによる切削加工によって形成されるようになっている。

ここで、図３に示したように、上記した駆動壁Ｗｄにおける対向する内側面にはそれぞれ、上記した斜め方向に沿って延在する、駆動電極Ｅｄが設けられている。この駆動電極Ｅｄには、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに面する内側面に設けられた共通電極（コモン電極）Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに面する内側面に設けられた個別電極（アクティブ電極）Ｅｄａとが存在している。なお、このような駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）は、図３に示したように、駆動壁Ｗｄの内側面上において、深さ方向（Ｚ軸方向）の全体に亘って形成されている。

同一の吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）内で対向する一対の共通電極Ｅｄｃ同士は、共通端子（後述する共通配線Ｗｄｃ）において、互いに電気的に接続されている。また、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士は、互いに電気的に分離されている。一方、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士は、図示しない個別端子（後述する個別配線Ｗｄａ）において互いに電気的に接続され、各個別配線Ｗｄａは、前述した尾部４２０（後述する配線接続部４３）へ向けて引き回されるようになっている。

ここで、この尾部４２０においては、駆動電極Ｅｄと前述した回路基板との間を電気的に接続するための、前述したフレキシブルプリント基板４４１，４４２が実装されている。これらのフレキシブルプリント基板４４１，４４２に形成された配線パターンは、詳細は後述するが（図５〜図９参照）、後述する配線接続部４３において、上記した共通配線Ｗｄｃおよび個別配線Ｗｄａに対して電気的に接続されている。これにより、これらのフレキシブルプリント基板４４１，４４２を介して、上記した回路基板上の駆動回路から各駆動電極Ｅｄに対して、駆動電圧が印加されるようになっている。

（カバープレート４１３）
カバープレート４１３は、図３，図５，図６に示したように、アクチュエータプレート４１２における各チャネルＣ１，Ｃ２（各チャネル列４２１，４２２）を閉塞するように配置されている。具体的には、このカバープレート４１３は、アクチュエータプレート４１２の上面に接着されており、板状構造となっている。

カバープレート４１３には、図４〜図６に示したように、一対の入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２と、一対の出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２とが、それぞれ形成されている。これらの入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２はそれぞれ、Ｘ軸方向に沿って延在していると共に、所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。また、入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１はそれぞれ、アクチュエータプレート４１２におけるチャネル列４２１（複数のチャネルＣ１）に対応する領域に形成されている。一方、入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２はそれぞれ、アクチュエータプレート４１２におけるチャネル列４２２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に形成されている。

入口側共通インク室Ｒin１は、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図４〜図６参照）。この入口側共通インク室Ｒin１において、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４１３をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通する、供給スリットＳin１が形成されている（図４，図５参照）。同様に、入口側共通インク室Ｒin２は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図４〜図６参照）。この入口側共通インク室Ｒin２において、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、供給スリットＳin２が形成されている（図４，図５参照）。

出口側共通インク室Ｒout１は、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図４〜図６参照）。この出口側共通インク室Ｒout１において、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、排出スリットＳout１が形成されている（図４，図５参照）。同様に、出口側共通インク室Ｒout２は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図４〜図６参照）。この出口側共通インク室Ｒout２において、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、排出スリットＳout２が形成されている（図４，図５参照）。

ここで、供給スリットＳin１および排出スリットＳout１はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅとの間でインク９が流れる貫通孔であり、供給スリットＳin２および排出スリットＳout２はそれぞれ、吐出チャネルＣ２ｅとの間でインク９が流れる貫通孔である。詳細には図５中の破線の矢印で示したように、供給スリットＳin１，Ｓin２はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内にインク９を流入させるための貫通孔である。一方、排出スリットＳout１，Ｓout２はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内からインク９を流出させるための貫通孔である。

また、図４〜図６に示したように、カバープレート４１３には、壁部Ｗ１，Ｗ２が設けられている。壁部Ｗ１は、吐出チャネルＣ１ｅの上方を覆うようにして、入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１の間に配置されている。同様に、壁部Ｗ２は、吐出チャネルＣ２ｅの上方を覆うようにして、入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２の間に配置されている。

このようにして、入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１はそれぞれ、供給スリットＳin１および排出スリットＳout１を介して各吐出チャネルＣ１ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ１ｄには連通していない（図５，図６参照）。すなわち、各ダミーチャネルＣ１ｄは、これら入口側共通インク室Ｒin１および出口側共通インク室Ｒout１における底部によって、閉塞されるようになっている（図６参照）。

同様に、入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２はそれぞれ、供給スリットＳin２および排出スリットＳout２を介して各吐出チャネルＣ２ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ２ｄには連通していない（図５，図６参照）。すなわち、各ダミーチャネルＣ２ｄは、これら入口側共通インク室Ｒin２および出口側共通インク室Ｒout２における底部によって、閉塞されるようになっている（図６参照）。

（流路プレート４０）
流路プレート４０は、図３に示したように、カバープレート４１３の上面に配置されており、インク９が流れる所定の流路（不図示）を有している。また、このような流路プレート４０内の流路には、前述した循環機構５における流路５０ａ，５０ｂが接続されており、この流路に対するインク９の流入と、この流路からのインク９の流出とが、それぞれなされるようになっている。

［配線接続部４３等の構成］
次に、図４〜図６に加えて図７〜図１１を参照して、前述した個別配線Ｗｄａおよび共通配線Ｗｄｃを前述したフレキシブルプリント基板４４１，４４２に対して電気的接続させるための配線接続部４３（配線接続パターン構造）等の構成について、詳細に説明する。

ここで、図７は、図４に示したカバープレート４１３の底面構成例（Ｘ−Ｙ底面構成例）を、模式的に表したものである。図８は、図７に示した配線接続部４３の平面構成例（Ｘ−Ｙ平面構成例）を、模式的に表したものである。図９は、図７に示した配線接続部４３同士の境界付近の平面構成例（Ｘ−Ｙ平面構成例）を、模式的に表したものである。図１０は、本実施の形態に係るアライメントマーク（後述するＦＰＣ側アライメントマーク４４０およびＣＰ側アライメントマーク４５０）の平面構成例（Ｘ−Ｙ平面構成例）を、模式的に表したものである。図１１は、図１０に示したＦＰＣ側アライメントマーク４４０の平面構成例（Ｘ−Ｙ平面構成例）を、フレキシブルプリント基板４４１，４４２上にて模式的に表したものである。

本実施の形態のヘッドチップ４１では、まず、複数の吐出チャネルＣ１ｅ内にそれぞれ形成されている共通電極Ｅｄｃ同士が互いに電気的に接続され、前述した共通配線Ｗｄｃとして引き出されている（図４〜図６参照）。この共通配線Ｗｄｃは、詳細は後述するが、カバープレート４１３の底面上において、前述したフレキシブルプリント基板４４１上の引き出し電極に対して電気的に接続されている（図５中の符号Ｐ１１参照）。また、この共通配線Ｗｄｃは、カバープレート４１３を貫通する切り欠き部Ｈ０を介して、出口側共通インク室Ｒout１内から引き出されている（図４，図５参照）。なお、このようにしてカバープレート４１３を共通配線Ｗｄｃが貫通する（共通配線Ｗｄｃを導通させる）部分としては、切り欠き部Ｈ０の代わりに貫通孔であってもよい。

同様に、このヘッドチップ４１では、複数の吐出チャネルＣ２ｅ内にそれぞれ形成されている共通電極Ｅｄｃ同士が互いに電気的に接続され、共通配線Ｗｄｃとして引き出されている（図４〜図６参照）。この共通配線Ｗｄｃは、詳細は後述するが、カバープレート４１３の底面上において、前述したフレキシブルプリント基板４４２上の引き出し電極に対して電気的に接続されている（図５中の符号Ｐ１２参照）。また、この共通配線Ｗｄｃは、カバープレート４１３を貫通する切り欠き部Ｈ０を介して、出口側共通インク室Ｒout２内から引き出されている（図４，図５参照）。なお、この部分についても同様にして、カバープレート４１３を共通配線Ｗｄｃが貫通する部分としては、切り欠き部Ｈ０の代わりに貫通孔であってもよい。

また、本実施の形態のヘッドチップ４１では、複数のダミーチャネルＣ１ｄ内にそれぞれ形成されている個別電極Ｅｄａについても、以下詳述するようにして、個別に電気的接続されている。すなわち、各個別電極Ｅｄａは、まず、前述したようにして、個別配線Ｗｄａに対して個別に電気的接続される。また、これらの各個別配線Ｗｄａは、前述したようにして引き回されることで、カバープレート４１３の底面上において、フレキシブルプリント基板４４１上の引き出し電極に対して、個別に電気的接続されている（図５中の符号Ｐ１１参照）。一方、複数のダミーチャネルＣ２ｄ内にそれぞれ形成されている個別電極Ｅｄａについても、上記したダミーチャネルＣ１ｄ内の個別電極Ｅｄａと同様にして、前述した個別配線Ｗｄａを介して、カバープレート４１３の底面上において、フレキシブルプリント基板４４２上の引き出し電極に対して、個別に電気的接続されている（図５中の符号Ｐ１２参照）。なお、このような個別電極Ｅｄａから個別配線Ｗｄａへの電気的接続の際には、１つの吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を画成する一対の駆動壁Ｗｄに配置された一対の駆動電極Ｅｄごとに、個別配線Ｗｄａに接続されている。換言すると、前述したように、１つの吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士が、１つの個別配線Ｗｄａにおいて互いに電気的に接続されている。つまり、このような一対の個別電極Ｅｄａ同士は、アクチュエータプレート４１２上で共通化されるようになっている。

ここで、本実施の形態のカバープレート４１３の底面には、このようにして引き回された複数の個別配線Ｗｄａおよび共通配線Ｗｄｃをそれぞれ、フレキシブルプリント基板４４１，４４２に対して電気的接続させるための配線接続部４３が設けられている（図７〜図９参照）。具体的には、上記したカバープレート４１３の底面上における、フレキシブルプリント基板４４１，４４２上の引き出し電極との接続領域に、このような配線接続部４３が配置されている。詳細には、図７に示したように、カバープレート４１３の底面上において、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの並び方向（長手方向，Ｘ軸方向）と直交する、Ｙ軸方向（短手方向）に沿った両端部領域にそれぞれ、配線接続部４３が配置されている。

Ｙ軸方向に沿った一方の端部領域には、チャネルＣ１（Ｃ１ｅ，Ｃ１ｄ）に対応する複数の個別配線Ｗｄａおよび共通配線Ｗｄｃをそれぞれ、フレキシブルプリント基板４４１に対して電気的接続させるための複数の配線接続部４３が、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。また、Ｙ軸方向に沿った他方の端部領域には、チャネルＣ２（Ｃ２ｅ，Ｃ２ｄ）に対応する複数の個別配線Ｗｄａおよび共通配線Ｗｄｃをそれぞれ、フレキシブルプリント基板４４２に対して電気的接続させるための複数の配線接続部４３が、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。

このような各配線接続部４３内では、図８，図９に示したように、まず、前述した切り欠き部Ｈ０（または貫通孔）が、Ｘ軸方向に沿った中央付近に配置されている。この切り欠き部Ｈ０の内側面には、共通配線Ｗｄｃが形成されている（図５参照）。また、各配線接続部４３内では、Ｘ軸方向に沿って切り欠き部Ｈ０（共通配線Ｗｄｃ）の両側にそれぞれ、複数の個別配線Ｗｄａが並んで配置されている。なお、各配線接続部４３内において、これらの共通配線Ｗｄｃおよび複数の個別配線Ｗｄａはそれぞれ、所定の間隔を隔てて配置されており、互いに電気的に非接続となっている。

ここで、図８，図９に示したように、各配線接続部４３内における複数の個別配線Ｗｄａはそれぞれ、Ｙ軸方向（前述した短手方向）に沿って延在する、ストレート部Ｐｓを有している。このストレート部Ｐｓは、各個別配線Ｗｄａの先端側（カバープレート４１３における短手方向に沿った端部側）に位置しており、詳細は後述するが、静電容量測定領域Ａｍｃとしても機能する部分である。また、各配線接続部４３内における複数の個別配線Ｗｄａはそれぞれ、障害物となる切り欠き部Ｈ０（共通配線Ｗｄｃ）を避けるようにして、Ｘ軸方向およびＹ軸方向と交差する斜め方向に延在する、屈曲部Ｐｂを有している。この屈曲部Ｐｂは、ストレート部Ｐｓと繋がっていると共に、ストレート部Ｐｓの基端側に配置されている。

また、各配線接続部４３内では、中央付近に位置する切り欠き部Ｈ０（共通配線Ｗｄｃ）から各個別配線Ｗｄａまでの距離（Ｘ軸方向に沿った距離）が大きくなるのに従って、各個別配線Ｗｄａにおける上記斜め方向が成す屈曲角θが、徐々に小さくなっている（図８，図９参照）。換言すると、Ｘ軸方向に沿って隣り合う配線接続部４３間の境界地点Ｌｂ（図９参照）から、各配線接続部４３内の切り欠き部Ｈ０（共通配線Ｗｄｃ）までの距離（Ｘ軸方向に沿った距離）が大きくなるのに従って、各個別配線Ｗｄａにおける屈曲角θが、徐々に大きくなっている。なお、この屈曲角θは、ここでは、Ｙ軸方向（各ストレート部Ｐｓの延在方向）に対して上記斜め方向（各個別配線Ｗｄａの延在方向）が成す角度（鋭角）として定義されている。

ここで、図８，図９に示したように、各配線接続部４３内において、複数の個別配線Ｗｄａとフレキシブルプリント基板４４１，４４２との接続領域Ａｆｐｃは、各個別配線Ｗｄａにおける屈曲部Ｐｂを含む領域となっている。詳細には、本実施の形態の配線接続部４３では、この接続領域Ａｆｐｃは、各個別配線Ｗｄａにおける屈曲部Ｐｂとストレート部Ｐｓ（静電容量測定領域Ａｍｃ）との双方を含む領域となっている。なお、図８，図９において、接続領域Ａａｃは、各個別配線Ｗｄａについてのアクチュエータプレート４１２側との接続領域を示している。また、共通配線Ｗｄｃおよび個別配線Ｗｄａにそれぞれ対応するように、フレキシブルプリント基板４４１，４４２上に引き出し電極が形成されており、この引き出し電極と共通配線Ｗｄｃおよび個別配線Ｗｄａとが、それぞれ接続されるようになっている。

また、本実施の形態では、このようなヘッドチップ４１（カバープレート４１３上の配線接続部４３）における複数の個別配線Ｗｄａと、フレキシブルプリント基板４４１，４４２上の引き出し電極との位置合わせを行うための、アライメントマークが設けられている。具体的には、カバープレート４１３上には、Ｘ軸方向に沿った端部領域（この例では図７に示したように、カバープレート４１３の底面上の四隅付近の領域）に、ＣＰ（Cover Plate）側アライメントマーク４５０が設けられている。このＣＰ側アライメントマーク４５０は、矩形における角部が面取りされた形状（図１０中の破線の矢印参照）を有しており、例えば図１０に示したように、長手方向（Ｘ軸方向）および短手方向（Ｙ軸方向）を有する八角形状となっている。一方、例えば図１０，図１１に示したように、フレキシブルプリント基板４４１，４４２上（この例では図１１に示したように、２つの隅付近の領域）にはそれぞれ、十字状を有するＦＰＣ側アライメントマーク４４０が設けられている。

このようなカバープレート４１３上のＣＰ側アライメントマーク４５０と、フレキシブルプリント基板４４１，４４２上のＦＰＣ側アライメントマーク４４０とを利用して、本実施の形態では、例えば図１０に示したようにして、位置合わせが行われる。すなわち、まず、ＣＰ側アライメントマーク４５０内に、ＦＰＣ側アライメントマーク４４０における十字状の中心部分が入るようにして、位置合わせが行われる。また、それとともに、この位置合わせは、ＣＰ側アライメントマーク４５０におけるＸ軸方向に平行な辺（辺Ｌｘ１，Ｌｘ２）およびＹ軸方向に平行な辺（辺Ｌｙ１，Ｌｙ２）がそれぞれ、ＦＰＣ側アライメントマーク４４０における十字状の４つの線状部分４４０ａ，４４０ｂ，４４０ｃ，４４０ｄをこれらの幅方向に通過するように、カバープレート４１３とフレキシブルプリント基板４４１，４４２とを重ねることによって行われる。

ここで、Ｘ軸方向は、本開示における「第１の方向」の一具体例に対応し、Ｙ軸方向は、本開示における「第２の方向（第１の方向と直交する方向）」の一具体例に対応している。また、フレキシブルプリント基板４４１，４４２はそれぞれ、本開示における「配線基板」の一具体例に対応し、切り欠き部Ｈ０（および前述した貫通孔）は、本開示における「障害物」の一具体例に対応している。また、ＣＰ側アライメントマーク４５０は、本開示における「第１アライメントマーク」の一具体例に対応し、ＦＰＣ側アライメントマーク４４０は、本開示における「第２アライメントマーク」の一具体例に対応している。

［動作および作用・効果］
（Ａ．プリンタ１の基本動作）
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインク９が十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインク９は、循環機構５を介してインクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。

このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２と間に、記録紙Ｐが搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構６３における駆動モータ６３３が、プーリ６３１ａ，６３１ｂをそれぞれ回転させることで、無端ベルト６３２を動作させる。これにより、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂにガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）によって、４色のインク９を記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。

（Ｂ．インクジェットヘッド４における詳細動作）
次いで、図１〜図６を参照して、インクジェットヘッド４における詳細動作（インク９の噴射動作）について説明する。すなわち、本実施の形態のインクジェットヘッド４（サイドシュートタイプ）では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインク９の噴射動作が行われる。

まず、上記したキャリッジ６２（図１参照）の往復移動が開始されると、前述した回路基板上の駆動回路は、前述したフレキシブルプリント基板４４１，４４２を介して、インクジェットヘッド４内の駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）に対し、駆動電圧を印加する。具体的には、この駆動回路は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを画成する一対の駆動壁Ｗｄに配置された各駆動電極Ｅｄに対し、駆動電圧を印加する。これにより、これら一対の駆動壁Ｗｄがそれぞれ、その吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに隣接するダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ側へ、突出するように変形する（図３参照）。

ここで、前述したように、アクチュエータプレート４１２では、分極方向が厚み方向に沿って異なっている（前述した２つの圧電基板が積層されている）と共に、駆動電極Ｅｄが、駆動壁Ｗｄにおける内側面上の深さ方向の全体に亘って形成されている。このため、上記した駆動回路によって駆動電圧を印加することで、駆動壁Ｗｄにおける深さ方向の中間位置を中心として、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形することになる。そして、このような駆動壁Ｗｄの屈曲変形により、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形する。ちなみに、アクチュエータプレート４１２の構成が、このようなシェブロンタイプではなく、前述したカンチレバータイプである場合には、以下のようにして、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形する。すなわち、このカンチレバータイプの場合、駆動電極Ｅｄが深さ方向の上半分まで斜め蒸着によって取り付けられることになるため、この駆動電極Ｅｄが形成されている部分のみに駆動力が及ぶことによって、駆動壁Ｗｄが（駆動電極Ｅｄの深さ方向端部において）屈曲変形する。その結果、この場合においても、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形するため、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ，Ｃ３ｅ，Ｃ４ｅがあたかも膨らむように変形することになる。

このように、一対の駆動壁Ｗｄでの圧電厚み滑り効果による屈曲変形によって、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大する。そして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大することにより、入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２内に貯留されたインク９が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されることになる（図５参照）。

次いで、このようにして吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されたインク９は、圧力波となって吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内部に伝播する。そして、ノズルプレート４１１のノズル孔Ｈ１，Ｈ２にこの圧力波が到達したタイミングで、駆動電極Ｅｄに印加される駆動電圧が、０（ゼロ）Ｖとなる。これにより、上記した屈曲変形の状態から駆動壁Ｗｄが復元する結果、一旦増大した吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が、再び元に戻ることになる（図３参照）。

このようにして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が元に戻ると、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内部の圧力が増加し、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９が加圧される。その結果、液滴状のインク９が、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２を通って外部へと（記録紙Ｐへ向けて）吐出される（図３，図５参照）。このようにしてインクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作（吐出動作）がなされ、その結果、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作が行われることになる。

特に、本実施の形態のノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、前述したように、出口に向かうに従って漸次縮径するテーパ状の断面となっているため（図３，図５参照）、インク９を高速度で真っ直ぐに（直進性良く）吐出することができる。よって、高画質な記録を行うことが可能となる。

（Ｃ．インク９の循環動作）
続いて、図１，図５を参照して、循環機構５によるインク９の循環動作について、詳細に説明する。

図１に示したように、このプリンタ１では、送液ポンプ５２ａによって、インクタンク３内から流路５０ａ内へと、インク９が送液される。また、送液ポンプ５２ｂによって、流路５０ｂ内を流れるインク９が、インクタンク３内へと送液される。

この際に、インクジェットヘッド４内では、インクタンク３内から流路５０ａを介して流れるインク９が、流路プレート４０の流路を通過して、入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２へと流入する（図２参照）。これらの入口側共通インク室Ｒin１，Ｒin２へと供給されたインク９は、供給スリットＳin１，Ｓin２を介して、アクチュエータプレート４１２における各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へと供給される（図５参照）。

また、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９は、排出スリットＳout１，Ｓout２を介して、各出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２内へと流入する（図５参照）。これらの出口側共通インク室Ｒout１，Ｒout２へ供給されたインク９は、流路プレート４０の流路を介して流路５０ｂへと排出されることで、インクジェットヘッド４内から流出される（図２参照）。そして、流路５０ｂへと排出されたインク９は、インクタンク３内へと戻されることになる。このようにして、循環機構５によるインク９の循環動作がなされる。

ここで、循環式ではないインクジェットヘッドでは、乾燥性の高いインクを使用した場合、ノズル孔の近傍でのインクの乾燥に起因して、インクの局所的な高粘度化や固化が生じる結果、インク不吐出の不良が発生するおそれがある。これに対して、本実施の形態のインクジェットヘッド４（循環式のインクジェットヘッド）では、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の近傍に常に新鮮なインク９が供給されることから、上記したようなインク不吐出の不良が回避されることになる。

（Ｄ．作用・効果）
次に、本実施の形態のヘッドチップ４１、インクジェットヘッド４およびプリンタ１における作用および効果について、比較例（比較例１，２）と比較しつつ詳細に説明する。

（比較例１）
図１２は、比較例１に係るヘッドチップにおけるカバープレートに設けられた、配線接続部（配線接続部１０３）の平面構成例（Ｘ−Ｙ平面構成例）を、模式的に表したものである。この比較例１の配線接続部１０３は、図８，図９に示した本実施の形態の配線接続部４３において、前述した接続領域Ａｆｐｃの構成を異ならせたものに対応している。すなわち、配線接続部４３では前述したように、接続領域Ａｆｐｃに各個別配線Ｗｄａの屈曲部Ｐｂが含まれているのに対し、配線接続部１０３では図１２に示したように、接続領域Ａｆｐｃが、各個別配線Ｗｄａのストレート部Ｐｓのみで構成されている。

このような比較例１の配線接続部１０３では、接続領域Ａｆｐｃ内における各個別配線Ｗｄａの面積が小さくなり、各個別配線Ｗｄａにおける接続抵抗が増加してしまうことから、比較例１のヘッドチップでは、信頼性が低下してしまうことになる。また、接続抵抗を小さくしようとした場合、各個別配線Ｗｄａの面積を大きくするには、ストレート部Ｐｓの長さを長くする必要があることから、その場合、接続領域ＡｆｐｃにおけるＹ軸方向の長さも長くなる。その結果、この比較例１では、チップサイズの大型化（ヘッドチップの短手方向の長さの増長化）を招いてしまう。これらのことから、この比較例１のヘッドチップでは、信頼性を向上させつつ小型化を図ることが困難であると言える。

（本実施の形態）
これに対して本実施の形態のヘッドチップ４１では、図８，図９に示したように、カバープレート４１３の配線接続部４３において、複数の個別配線Ｗｄａとフレキシブルプリント基板４４１，４４２との接続領域Ａｆｐｃに、各個別配線Ｗｄａの屈曲部Ｐｂが含まれている。

これにより本実施の形態では、例えば、そのような接続領域Ａｆｐｃが各個別配線Ｗｄａのストレート部Ｐｓのみで構成されている場合（例えば上記比較例１）と比べ、以下のようになる。すなわち、まず、各個別配線Ｗｄａの屈曲部Ｐｂは、障害物となる切り欠き部Ｈ０（共通配線Ｗｄｃ）を避けるようにして、前述した斜め方向に延在している（図８，図９参照）。このため、本実施の形態の配線接続部４３では、接続領域Ａｆｐｃ内における各個別配線Ｗｄａの面積が、上記比較例１の配線接続部１０３の場合と比べて増加し、各個別配線Ｗｄａにおける接続抵抗が低減する。また、このようにして各個別配線Ｗｄａにおける接続抵抗が低減することから、上記比較例１の場合とは異なり、接続抵抗を小さくすることを目的として、接続領域ＡｆｐｃにおけるＹ軸方向の長さを長くする必要もないため、接続領域ＡｆｐｃにおけるＹ軸方向の長さが、短くて済むようになる。これらのことから、本実施の形態では上記比較例１と比べ、ヘッドチップ４１の信頼性を向上させつつ、チップサイズの小型化を図る（ヘッドチップ４１の短手方向（Ｙ軸方向）の長さを短くする）ことが可能となる。

また、特に本実施の形態では、図８，図９に示したように、カバープレート４１３の配線接続部４３における接続領域Ａｆｐｃが、各個別配線Ｗｄａにおける屈曲部Ｐｂとストレート部Ｐｓ（静電容量測定領域Ａｍｃ）との双方を含む領域となっている。このようにして、屈曲部Ｐｂに加えてストレート部Ｐｓも接続領域Ａｆｐｃに含まれていることから、例えば、このストレート部Ｐｓを静電容量測定領域Ａｍｃとしても利用することで、以下のような静電容量値の測定作業が、容易となる。具体的には、この静電容量値の測定作業は、一般に、２つのプローブのうちの一方を１つの個別配線Ｗｄａに当てると共に、他方のプローブを共通配線Ｗｄｃ当てた状態で行われる。このため、例えば屈曲部Ｐｂを静電容量測定領域Ａｍｃとしても利用した場合、これらの個別配線Ｗｄａおよび共通配線Ｗｄｃに対する各プローブの当接位置の位置合わせが、難しくなってしまう。これは、２つのプローブ間の距離が、屈曲部Ｐｂの奥行き方向（Ｙ軸方向）によって、異なることとなってしまうからである。これに対して、本実施の形態では、ストレート部Ｐｓを静電容量測定領域Ａｍｃとして利用することから、各ストレート部Ｐｓ同士が平行配置であるため、２つのプローブ間の距離（対象となる個別配線Ｗｄａと共通配線Ｗｄｃとの距離）が、Ｙ軸方向によって変化することがない。このようにして本実施の形態では、複数の個別配線Ｗｄａと共通配線Ｗｄｃとの間の静電容量値の測定作業が容易となるため、個別電極Ｅｄａや個別配線Ｗｄａ、共通電極Ｅｄｃ、共通配線Ｗｄｃにおける断線や短絡の確認や、ヘッドチップ４１からのインク９の吐出速度の事前把握などを、簡易に行うことができる。よって、本実施の形態では、利便性を向上させることも可能となる。

更に、本実施の形態では、各配線接続部４３内において、切り欠き部Ｈ０（共通配線Ｗｄｃ）から各個別配線Ｗｄａまでの距離が大きくなるのに従って、各個別配線Ｗｄａにおける前述した屈曲角θが、徐々に小さくなっている（図８，図９参照）。これにより、接続領域Ａｆｐｃ内において複数の個別配線Ｗｄａを配置する際の面積効率が、最も高くなることから、接続領域Ａｆｐｃ内での接続抵抗が、更に低減される。また、隣り合う個別配線Ｗｄａ間での接続面積の変化が、Ｘ軸方向に沿って漸増または漸減となることから、個別配線Ｗｄａごとの接続抵抗のばらつきも、低減される。よって、本実施の形態では、ヘッドチップ４１の信頼性を更に向上させることが可能となる。

加えて、本実施の形態では、各配線接続部４３内において各屈曲部Ｐｂが避けている対象としての障害物が、各配線接続部４３内において共通配線Ｗｄｃを挿通するための、切り欠き部Ｈ０（または貫通孔）となっている。これにより、各配線接続部４３内での共通配線Ｗｄｃの引き回しが容易となると共に、このような切り欠き部Ｈ０等の周りに共通配線Ｗｄｃを配置することで、共通配線Ｗｄｃの面積が増加するため、共通配線Ｗｄｃの配線抵抗が低減される。よって、本実施の形態では、チップサイズの更なる小型化を図る（ヘッドチップ４１の短手方向の長さを更に短くする）ことが可能となると共に、ヘッドチップ４１の信頼性を更に向上させることが可能となる。

また、本実施の形態では、配線接続部４３における複数の個別配線Ｗｄａと、フレキシブルプリント基板４４１，４４２上の引き出し電極との位置合わせを行うための、ＦＰＣ側アライメントマーク４４０およびＣＰ側アライメントマーク４５０が設けられている。具体的には、カバープレート４１３上には、矩形における角部が面取りされた形状を有するＣＰ側アライメントマーク４５０が設けられ、フレキシブルプリント基板４４１，４４２上にはそれぞれ、十字状を有するＦＰＣ側アライメントマーク４４０が設けられている（図１０，図１１参照）。このような形状同士のＦＰＣ側アライメントマーク４４０およびＣＰ側アライメントマーク４５０を組み合わせて用いて、配線接続部４３における複数の個別配線Ｗｄａと、フレキシブルプリント基板４４１，４４２上の引き出し電極との位置合わせを行うことで、本実施の形態では下記比較例２の場合と比べ、以下のことが言える。

図１３は、比較例２に係るＣＰ側アライメントマーク２０５の平面構成例（Ｘ−Ｙ平面構成例）を、本実施の形態のＦＰＣ側アライメントマーク４４０とともに、模式的に表したものである。なお、この比較例２のＣＰ側アライメントマーク２０５は、比較例２に係るカバープレート２０３上に設けられたものであり、上記した本実施の形態のＣＰ側アライメントマーク４５０とは異なり、（角部が面取りされていない）矩形状となっている。

上記した本実施の形態のＣＰ側アライメントマーク４５０を用いて、上記した位置合わせを行った場合、この比較例２のＣＰ側アライメントマーク２０５を用いて上記した位置合わせを行った場合と比べ、以下のようになる。すなわち、比較例２のＣＰ側アライメントマーク２０５と比較して、本実施の形態のＣＰ側アライメントマーク４５０では、前述したＸ軸方向の辺Ｌｘ１，Ｌｘ２およびＹ軸方向の辺Ｌｙ１，Ｌｙ２の長さがそれぞれ、短くなっている（図１０，図１３参照）。したがって、前述した方法にて位置合わせを行うことで、位置合わせの際の斜めずれ（Ｘ軸方向およびＹ軸方向と交差する斜め方向への位置ずれ）を防止し易くなると共に、十字方向（左右方向および上下方向：Ｘ軸方向およびＹ軸方向）への位置合わせ作業が、容易となる。よって、本実施の形態では、ヘッドチップ４１の信頼性の更なる向上を図ることが可能となると共に、インクジェットヘッド４の組み立てを容易にすることも可能となる。

また、特に本実施の形態では、このようなＣＰ側アライメントマーク４５０が、長手方向（Ｘ軸方向）および短手方向（Ｙ軸方向）を有する、八角形状となっている。これにより本実施の形態では、貼り合わせマージンを有する方向（この例ではＸ軸方向）を、長手方向に設定することが可能となるため、上記した位置合わせの際の斜めずれが、更に防止し易くなる。その結果、本実施の形態では、ヘッドチップ４１の信頼性を、より一層向上させることが可能となる。

なお、図１４は、本実施の形態に係る他のアライメントマーク（ＣＰ側アライメントマーク４５０Ａ）の平面構成例（Ｘ−Ｙ平面構成例）を、上記した本実施の形態のＦＰＣ側アライメントマーク４４０とともに、模式的に表したものである。なお、このＣＰ側アライメントマーク４５０Ａは、本実施の形態に係る他のカバープレート（カバープレート４１３Ａ）上に設けられており、長手方向（Ｘ軸方向）および短手方向（Ｙ軸方向）を有する、十二角形状となっている。このように、カバープレート４１３上に設けるアライメントマークの形状としては、矩形における角部が面取りされた形状なのであれば、八角形状（図１０）や十二角形状（図１４）には限られず、他の形状としてもよい。

＜２．変形例＞
続いて、上記実施の形態の変形例について説明する。なお、実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。

図１５は、変形例に係るヘッドチップにおけるカバープレートに設けられた、配線接続部（配線接続部４３Ｂ）の平面構成例（Ｘ−Ｙ平面構成例）を、模式的に表したものである。本変形例の配線接続部４３Ｂは、図８，図９に示した実施の形態の配線接続部４３において、前述した接続領域Ａｆｐｃの構成を異ならせたものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている。

具体的には、実施の形態の配線接続部４３では、接続領域Ａｆｐｃに、各個別配線Ｗｄａの屈曲部Ｐｂおよびストレート部Ｐｓの双方が含まれている。これに対して、本変形例の配線接続部４３Ｂでは、接続領域Ａｆｐｃに、各個別配線Ｗｄａの屈曲部Ｐｂのみが含まれている。具体的には、この配線接続部４３Ｂ内の各個別配線Ｗｄａは、ストレート部Ｐｓを有さずに屈曲部Ｐｂのみを有しており、この屈曲部Ｐｂが接続領域Ａｆｐｃを構成するようになっている。

このような構成の配線接続部４３Ｂを備えた本変形例のヘッドチップにおいても、基本的には実施の形態のヘッドチップ４１と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。ただし、上記実施の形態のように、接続領域Ａｆｐｃにストレート部Ｐｓも含んでいたほうが、前述した静電容量値の測定作業の点もふまえると、望ましいと言える。

なお、本変形例の配線接続部４３Ｂ内とは異なり、以下のようにしてもよい。すなわち、例えば、配線接続部内の各個別配線Ｗｄａが、ストレート部Ｐｓおよび屈曲部Ｐｂの双方を有している場合において、屈曲部Ｐｂのみが接続領域Ａｆｐｃを構成する（ストレート部Ｐｓは接続領域Ａｆｐｃを構成しない）ようにしてもよい。

＜３．その他の変形例＞
以上、実施の形態および変形例をいくつか挙げて本開示を説明したが、本開示はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。

例えば、上記実施の形態等では、プリンタ、インクジェットヘッドおよびヘッドチップにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。また、上記実施の形態等で説明した各種パラメータの値や範囲、大小関係等についても、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の値や範囲、大小関係等であってもよい。

具体的には、例えば、上記実施の形態等では、２列タイプの（２列のノズル列Ａｎ１，Ａｎ２を有する）インクジェットヘッド４を挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、１列タイプ（１列のノズル列を有する）のインクジェットヘッドや、３列以上（例えば３列や４列など）の複数例タイプ（３列以上のノズル列を有する）インクジェットヘッドであってもよい。

また、例えば、上記実施の形態等では、各吐出チャネル（吐出溝）および各ダミーチャネル（非吐出溝）がそれぞれ、アクチュエータプレート４１２内で斜め方向に沿って延在している場合について説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、各吐出チャネルおよび各ダミーチャネルがそれぞれ、アクチュエータプレート４１２内でＹ軸方向に沿って延在するようにしてもよい。

更に、例えば、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の断面形状については、上記実施の形態等で説明したような円形状には限られず、例えば、楕円形状や、三角形状等の多角形状、星型形状などであってもよい。

また、例えば、本開示における「障害物」としては、上記実施の形態等で説明した切り欠き部Ｈ０や貫通孔には限られず、他のものであってもよい。すなわち、例えば、上記実施の形態等で説明した目的以外で用いられる切り欠きや穴、電装部品など、あるいは、個別配線Ｗｄａおよび共通配線Ｗｄｃとは異なる目的で用いられる電極や配線、アライメントを含む様々な目的のマークなどが、本開示における「障害物」であってもよい。

加えて、上記実施の形態等では、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（上記斜め方向）の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドの例について説明したが、この例には限られない。すなわち、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向に沿ってインク９を吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッドにおいて、本開示を適用するようにしてもよい。

また、上記実施の形態等では、主に、インクタンクとインクジェットヘッドとの間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドを例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、インク９を循環させずに利用する、非循環式のインクジェットヘッドにおいて、本開示を適用するようにしてもよい。

更に、上記実施の形態等で説明した一連の処理は、ハードウェア（回路）で行われるようにしてもよいし、ソフトウェア（プログラム）で行われるようにしてもよい。ソフトウェアで行われるようにした場合、そのソフトウェアは、各機能をコンピュータにより実行させるためのプログラム群で構成される。各プログラムは、例えば、上記コンピュータに予め組み込まれて用いられてもよいし、ネットワークや記録媒体から上記コンピュータにインストールして用いられてもよい。

加えて、上記実施の形態等では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「ヘッドチップ」および「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「ヘッドチップ」および「液体噴射ヘッド」を適用するようにしてもよい。

加えて、これまでに説明した各種の例を、任意の組み合わせで適用させるようにしてもよい。

なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。

また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
液体を噴射するヘッドチップであって、
第１の方向に沿って並設された複数の吐出溝と、前記第１の方向に沿って並設された複数の非吐出溝と、前記複数の非吐出溝内にそれぞれ形成された個別電極とを有するアクチュエータプレートと、
前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、
前記アクチュエータプレートを覆うカバープレートと
を備え、
前記カバープレートは、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿った端部領域に配置され、前記個別電極に対して電気的接続されている複数の個別配線を前記ヘッドチップの外部の配線基板に対して電気的接続させるための配線接続部を有しており、
前記配線接続部内における前記複数の個別配線は、所定の障害物を避けるようにして前記第２の方向と交差する斜め方向に延在する屈曲部を有しており、
前記配線接続部における前記複数の個別配線と前記配線基板との接続領域は、前記屈曲部を含む領域である
ヘッドチップ。
（２）
前記配線接続部内における前記複数の個別配線が、前記第２の方向に沿って延在するストレート部を更に有しており、
前記配線接続部における前記接続領域が、前記屈曲部と前記ストレート部との双方を含む領域である
上記（１）に記載のヘッドチップ。
（３）
前記配線接続部内において、前記第１の方向に沿って前記障害物の両側にそれぞれ、前記個別配線が複数配置されており、
前記配線接続部内では、前記障害物から前記個別配線までの前記第１の方向に沿った距離が大きくなるのに従って、前記第２の方向に対して前記斜め方向が成す鋭角からなる屈曲角が、徐々に小さくなっている
上記（１）または（２）に記載のヘッドチップ。
（４）
前記複数の個別配線と前記配線基板との位置合わせを行うためのアライメントマークとして、
前記カバープレートにおける前記第１の方向に沿った端部領域に配置され、矩形における角部が面取りされた形状を有する第１アライメントマークと、
前記配線基板上に配置され、十字形状を有する第２アライメントマークと
が設けられている
上記（１）ないし（３）のいずれかに記載のヘッドチップ。
（５）
前記第１アライメントマークが、長手方向を有する八角形状である
上記（４）に記載のヘッドチップ。
（６）
前記複数の吐出溝内にはそれぞれ、共通電極が形成されていると共に、
前記共通電極に対して共通配線が電気的に接続されており、
前記障害物が、前記配線接続部内において前記共通配線を導通させるための貫通孔または切り欠き部である
上記（１）ないし（５）のいずれかに記載のヘッドチップ。
（７）
上記（１）ないし（６）のいずれかに記載のヘッドチップを備えた
液体噴射ヘッド。
（８）
上記（７）に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。

１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）…インクジェットヘッド、４０…流路プレート、４１…ヘッドチップ、４１１…ノズルプレート、４１２…アクチュエータプレート、４１３，４１３Ａ…カバープレート、４２１，４２２…チャネル列、４３，４３Ｂ…配線接続部、４４０…ＦＰＣ側アライメントマーク、４４０ａ，４４０ｂ，４４０ｃ，４４０ｄ…線状部分、４５０，４５０Ａ…ＣＰ側アライメントマーク、４４１，４４２…フレキシブルプリント基板、５…循環機構、５０…循環流路、５０ａ，５０ｂ…流路（供給チューブ）、５２ａ，５２ｂ…送液ポンプ、６…走査機構、６１ａ，６１ｂ…ガイドレール、６２…キャリッジ、６３…駆動機構、６３１ａ，６３１ｂ…プーリ、６３２…無端ベルト、６３３…駆動モータ、９…インク、Ｐ…記録紙、ｄ…搬送方向、Ｈ１，Ｈ２…ノズル孔、Ａｎ１，Ａｎ２…ノズル列、Ｃ１，Ｃ２…チャネル、Ｃ１ｅ，Ｃ２ｅ…吐出チャネル、Ｃ１ｄ，Ｃ２ｄ…ダミーチャネル、Ｗｄ…駆動壁、Ｅｄ…駆動電極、Ｅｄｃ…共通電極（コモン電極）、Ｅｄａ…個別電極（アクティブ電極）、Ｗｄｃ…共通配線、Ｗｄａ…個別配線、Ｒin１，Ｒin２…入口側共通インク室、Ｒout１，Ｒout２…出口側共通インク室、Ｓin１，Ｓin２…供給スリット、Ｓout１，Ｓout２…排出スリット、Ｗ１，Ｗ２…壁部、Ｈ０…切り欠き部、Ｐｓ…ストレート部、Ｐｂ…屈曲部、Ａｆｐｃ，Ａａｃ…接続領域、Ａｍｃ…静電容量測定領域、Ｌｂ…境界地点、Ｌｘ１，Ｌｘ２，Ｌｙ１，Ｌｙ２…辺。

Claims (8)

1. 液体を噴射するヘッドチップであって、
   第１の方向に沿って並設された複数の吐出溝と、前記第１の方向に沿って並設された複数の非吐出溝と、前記複数の非吐出溝内にそれぞれ形成された個別電極とを有するアクチュエータプレートと、
   前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、
   前記アクチュエータプレートを覆うカバープレートと
   を備え、
   前記カバープレートは、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿った端部領域に配置され、前記個別電極に対して電気的接続されている複数の個別配線を前記ヘッドチップの外部の配線基板に対して電気的接続させるための配線接続部を有しており、
   前記配線接続部内における前記複数の個別配線は、所定の障害物を避けるようにして前記第２の方向と交差する斜め方向に延在する屈曲部を有しており、
   前記配線接続部における前記複数の個別配線と前記配線基板との接続領域は、前記屈曲部を含む領域である
   ヘッドチップ。
2. 前記配線接続部内における前記複数の個別配線が、前記第２の方向に沿って延在するストレート部を更に有しており、
   前記配線接続部における前記接続領域が、前記屈曲部と前記ストレート部との双方を含む領域である
   請求項１に記載のヘッドチップ。
3. 前記配線接続部内において、前記第１の方向に沿って前記障害物の両側にそれぞれ、前記個別配線が複数配置されており、
   前記配線接続部内では、前記障害物から前記個別配線までの前記第１の方向に沿った距離が大きくなるのに従って、前記第２の方向に対して前記斜め方向が成す鋭角からなる屈曲角が、徐々に小さくなっている
   請求項１または請求項２に記載のヘッドチップ。
4. 前記複数の個別配線と前記配線基板との位置合わせを行うためのアライメントマークとして、
   前記カバープレートにおける前記第１の方向に沿った端部領域に配置され、矩形における角部が面取りされた形状を有する第１アライメントマークと、
   前記配線基板上に配置され、十字形状を有する第２アライメントマークと
   が設けられている
   請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のヘッドチップ。
5. 前記第１アライメントマークが、長手方向を有する八角形状である
   請求項４に記載のヘッドチップ。
6. 前記複数の吐出溝内にはそれぞれ、共通電極が形成されていると共に、
   前記共通電極に対して共通配線が電気的に接続されており、
   前記障害物が、前記配線接続部内において前記共通配線を導通させるための貫通孔または切り欠き部である
   請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のヘッドチップ。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のヘッドチップを備えた
   液体噴射ヘッド。
8. 請求項７に記載の液体噴射ヘッドと、
   前記液体を収容する収容部と
   を備えた液体噴射記録装置。

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