JP2019089046A - 塗工装置の制御方法 - Google Patents
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Description
制御部が、塗り終わり時に、負圧動作期間を吸い戻し動作期間にラップさせ、成膜層の端部を、ノズルの方に引っ張る力と塗布方向に引っ張る力をバランスさせることにより、液切れを良くし、かつ、成膜層の端部における膜厚の減少を抑制することができる。
説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略、及び簡略化がなされている。各図面において、同一の要素には同一の符号が付されており、必要に応じて重複説明は省略されている。なお、図中に示した右手系xyz座標は、構成要素の位置関係を説明するための便宜的なものである。
まず、図1を参照して本実施の形態にかかる塗工装置1の概略構成について説明する。図1は、塗工装置1の概略構成を示す模式図である。図1に示すように、塗工装置1は、塗工液貯留部2と、ディスペンサー3と、スタティックミキサー5と、ノズル10と、ステージ20と、を備えている。
図2は、ノズル10の吐出口10a付近の領域(図1の破線Aで囲った領域)を拡大した模式図である。なお、図2において、ノズル10および後述する減圧チャンバー11については、構造を分かりやすくするため断面で示している。図3は、図2の矢印Bの方向から見た矢視図である。図2および図3に示すように、ノズル10には減圧チャンバー11が設けられている。
図4、図5は、ワーク50への塗工液の塗り終わり時に行うサックバックで生じうる問題点について説明する模式図である。なお、図4、図5には、既存の塗工装置における図2に対応する部分、すなわち、ノズル10の吐出口10a近傍を示している。
まず、実験条件について説明する。本実験に用いた塗工装置の構成は図1から図3に示した塗工装置1の構成と基本的に同じである。圧力計15にはマノメータを用いた。また、本実験では、冷却器のダミーテストピースとしてアルミニウム板を使用した。
2/a≦t≦10/a
を満たすようにすることで、成膜層60の端部における、塗り終わり領域の長さを短くし、かつ、塗り終わり領域の膜厚の減少を良好に抑制することができる。
本実験に用いた塗工装置の構成は、上述した、負圧動作期間の長さtとノズル10における塗工液の吐出量aとの関係に評価した実験と同じである。また、本実験でも、冷却器のダミーテストピースとしてアルミニウム板を使用した。塗布条件も基本的に上述の実験と同じで、塗布幅が60[mm]、塗布速度が0.75[m/min]である。ノズル10における塗工液の吐出量aは5.7[cc]とし、サックバック量bは、大きさが吐出量aの半分、すなわち−2.85[cc]とした。
2 塗工液貯留部
2a 第1塗工液貯留部
2b 第2塗工液貯留部
3 ディスペンサー
3a 第1ディスペンサー
3b 第2ディスペンサー
5 スタティックミキサー
10 ノズル
10a 吐出口
11 減圧チャンバー
11a 内部空間
12 制御部
13 真空ポンプ
14 流量調節弁
15 圧力計
16 配管
20 ステージ
30 上流側空間
50 ワーク
60 成膜層
70 駆動機構
70b サーボモータ
Claims (5)
- 所定の高粘度の塗工液をノズルから吐出させてワークに塗布するとともに、前記ワークへの前記塗工液の塗り終わり時に前記ノズルの吐出口に付着した前記塗工液の吸い戻しを行うことが可能な塗工装置の制御方法であって、
前記塗工装置は、前記塗り終わり時に、前記ノズルの吐出口近傍における塗布方向の上流側空間を大気圧に対して負圧にするための減圧チャンバーを備え、
前記塗り終わり時に前記上流側空間を大気圧に対して負圧にする負圧動作期間が、前記塗工液の吸い戻しを行う吸い戻し動作期間とラップするようにする、塗工装置の制御方法。 - 前記負圧動作期間中、前記上流側空間が大気圧に対して所定の負圧に維持されるようにする、請求項1に記載の塗工装置の制御方法。
- 前記負圧動作期間の長さtと前記ノズルにおける前記塗工液の吐出量aとの関係が、
2/a≦t≦10/a
を満たすようにする、請求項1または2に記載の塗工装置の制御方法。 - 前記吸い戻し動作期間中、前記負圧動作により前記上流側空間が大気圧に対して所定の負圧に維持される請求項1〜3のいずれか一項に記載の塗工装置の制御方法。
- 所定の高粘度の塗工液をノズルから吐出させてワークに塗布するとともに、前記ワークへの前記塗工液の塗り終わり時に前記ノズルの突出口吐出口に付着した前記塗工液の吸い戻しを行うことが可能な塗工装置であって、
前記塗り終わり時に、前記ノズルの突出口吐出口近傍における塗布方向の上流側空間を大気圧に対して負圧にするための減圧チャンバーと、
前記塗り終わり時に前記上流側空間を大気圧に対して負圧にする負圧動作期間が、前記塗工液の吸い戻しを行う吸い戻し動作期間とラップするようにする制御部と、をさらに備える、塗工装置。
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CN114457989A (zh) * | 2020-11-09 | 2022-05-10 | 广东博智林机器人有限公司 | 刮涂机构的控制方法、装置、涂覆机器人及存储介质 |
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CN114457989B (zh) * | 2020-11-09 | 2024-01-30 | 广东博智林机器人有限公司 | 刮涂机构的控制方法、装置、涂覆机器人及存储介质 |
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