JP2019083179A - 試料ホルダ - Google Patents
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Description
(1)試料台に開けられた穴にネジを通して試料ホルダに固定しているため、試料台が振動の影響を受ける。
(2)試料台が対称的な形状を有しているので、極薄膜試料を試料台に載せた後、試料が見えにくく、試料の表面と断面との内、観察面がどちらを向いているかが分らなくなることがあった。そのため、ルーペあるいは光学顕微鏡などを用いて試料の位置を確認する必要がある。
前記ブロック部を上面に保持するホルダ部であって、前記上面に前記ブロック部の第1の底面部を嵌合保持する第1の有底穴及び前記ブロック部の第2の底面を嵌合保持する第2の有底穴を有する前記ホルダ部とを備え、
前記第1の有底穴に前記ブロック部の第1の底面を嵌合保持した状態と、前記第2の有底穴に前記ブロック部の第2の底面を嵌合保持した状態とで、前記ブロック部に保持された試料の試料面が前記試料ホルダ部の上面となす角度が異なるように構成されていることを特徴とする。
図1は、イオンビーム加工装置に用いる試料ホルダのブロック部1を示した図1(a)と、ブロック部1を格納するホルダ部2を示した図1(b)である。
グリッド17を挿入した後、固定ビス9を絞め、台座部7と押圧片8との隙間の間隔を狭くしていき、グリッド17を挟み込むようにして保持する。このとき、グリッド17は、ホルダ部2の底面3からグリッド17の先端までの高さがDになるように、保持される。試料固定部13には、グリッド17が所定の位置に保持されやすくなるように、グリッドの形状と同じ溝を設けても良い。グリッド17は、ホルダ部2の上面19と垂直になり、中心軸18上に配置される。この中心軸18は、ホルダ部2がイオンビーム加工装置内に配置されたときにイオンビームが照射される軸であり、図4(a)の状態で、イオンビーム加工装置にセットすることにより、中心軸18に沿ったイオンビームの照射による試料の加工を行うことができる。図5は、試料の表面22側から照射されたイオンビーム21によって、薄肉化された試料20の断面23を示している。
<変形例1>
図6から図8を用いて変形例を説明する。前述の実施例と同一の構成要素には、同一符号が付されている。
<変形例2>
実施例と変形例1とで用いたホルダ部2には、いずれもブロック部1を90度置き換えて格納できる穴が形成されていたが、図9に示すように、試料の位置が中心軸18上かつ試料ホルダの上面19に来るような深さ持ち、試料を中心軸18に対し45度で保持することができる穴26をさらに設けても良い。また、試料を中心軸18に対し45度で保持する穴26以外にも、試料を中心軸18に対し0度から90度までの任意の角度で保持することができる穴を複数設けても良い。
Claims (6)
- 試料を固定する試料固定部を有し、互いに異なる方向を向いた第1及び第2の底面部を有するブロック部と、
前記ブロック部を上面に保持するホルダ部であって、前記上面に前記ブロック部の第1の底面部を嵌合保持する第1の有底穴及び前記ブロック部の第2の底面を嵌合保持する第2の有底穴を有する前記ホルダ部とを備え、
前記第1の有底穴に前記ブロック部の第1の底面を嵌合保持した状態と、前記第2の有底穴に前記ブロック部の第2の底面を嵌合保持した状態とで、前記ブロック部に保持された試料の試料面が前記試料ホルダ部の上面となす角度が異なるように構成されていることを特徴とする荷電粒子線装置用試料ホルダ。 - 前記試料ホルダは、試料を固定した前記ブロック部を前記第1、第2の有底穴のいずれで保持した状態であっても、前記試料が前記ホルダ部の上面から同じ高さに配置されるように構成されていることを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置用試料ホルダ。
- 前記試料ホルダは、試料を固定した前記ブロック部を前記第1、第2の有底穴のいずれで保持した状態であっても、前記試料ホルダが荷電粒子線装置の試料室に配置された際に、荷電粒子線が通る基準軸上の所定の位置に前記試料が配置されるように構成されていることを特徴とする請求項1記載の荷電粒子線装置用試料ホルダ。
- 前記第1及び第2の有底穴のいずれか一方は、他方の有底穴の底面の一部をくぼませることにより形成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の荷電粒子線装置用試料ホルダ。
- 前記第1及び第2の有底穴は、前記ホルダ部上面に隣り合って形成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の荷電粒子線装置用試料ホルダ。
- 前記試料固定部は、試料を受け止める台座部と前記台座部へ試料を押圧する押圧片とにより試料を前記ブロック部に固定する請求項1乃至5のいずれかに記載の荷電粒子線装置用試料ホルダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017211503A JP6931589B2 (ja) | 2017-11-01 | 2017-11-01 | 試料ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2017211503A JP6931589B2 (ja) | 2017-11-01 | 2017-11-01 | 試料ホルダ |
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JP2019083179A true JP2019083179A (ja) | 2019-05-30 |
JP6931589B2 JP6931589B2 (ja) | 2021-09-08 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7514886B2 (ja) | 2022-07-15 | 2024-07-11 | 日本電子株式会社 | 試料加工用ホルダ及び試料加工方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57112456U (ja) * | 1980-12-29 | 1982-07-12 | ||
JPH03135701A (ja) * | 1989-10-20 | 1991-06-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップ交換装置 |
JPH097536A (ja) * | 1995-06-23 | 1997-01-10 | Nec Corp | 試料固定具 |
JP2000021343A (ja) * | 1998-07-02 | 2000-01-21 | Seiko Instruments Inc | 集束イオンビーム加工用試料ホルダー及びそれを用いた集束イオンビーム加工装置 |
US6246060B1 (en) * | 1998-11-20 | 2001-06-12 | Agere Systems Guardian Corp. | Apparatus for holding and aligning a scanning electron microscope sample |
JP2002319362A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡用90°変換試料台 |
JP2004177268A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 試料固定器具 |
JP2008027602A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Fujifilm Corp | ホルダ装置及び加工観察方法 |
JP2013527435A (ja) * | 2010-04-11 | 2013-06-27 | ガタン インコーポレイテッド | イオンビーム試料準備装置及び方法 |
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- 2017-11-01 JP JP2017211503A patent/JP6931589B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57112456U (ja) * | 1980-12-29 | 1982-07-12 | ||
JPH03135701A (ja) * | 1989-10-20 | 1991-06-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップ交換装置 |
JPH097536A (ja) * | 1995-06-23 | 1997-01-10 | Nec Corp | 試料固定具 |
JP2000021343A (ja) * | 1998-07-02 | 2000-01-21 | Seiko Instruments Inc | 集束イオンビーム加工用試料ホルダー及びそれを用いた集束イオンビーム加工装置 |
US6246060B1 (en) * | 1998-11-20 | 2001-06-12 | Agere Systems Guardian Corp. | Apparatus for holding and aligning a scanning electron microscope sample |
JP2002319362A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡用90°変換試料台 |
JP2004177268A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 試料固定器具 |
JP2008027602A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Fujifilm Corp | ホルダ装置及び加工観察方法 |
JP2013527435A (ja) * | 2010-04-11 | 2013-06-27 | ガタン インコーポレイテッド | イオンビーム試料準備装置及び方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7514886B2 (ja) | 2022-07-15 | 2024-07-11 | 日本電子株式会社 | 試料加工用ホルダ及び試料加工方法 |
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