JP2019117697A - 透過電子顕微鏡用グリッド、圧縮試験用治具および分析ユニット - Google Patents

Abstract

【課題】ＴＥＭ内における圧縮試験において荷重の負荷方向と微小試験片の軸方向とを平行に容易に近づけることができかつ圧縮試験後にＴＥＭ用の２軸傾斜ホルダーに適切に取り付けることが可能なＴＥＭ用グリッド、そのグリッドを支持する冶具、およびそれらを備えた分析ユニットを提供する。【解決手段】分析ユニット１０は、グリッド１２および治具１４を備える。グリッド１２は、試料が固定される試料固定部４０と、治具１４の位置決め部２６が嵌め込まれる嵌合部４２ａ，４２ｂとを備える。嵌合部４２ａ，４２ｂに位置決め部２６が嵌め込まれることによって、治具１４の第１支持面２２ａまたは第２支持面３０ａのうち位置決め部が形成されている面に平行な方向におけるグリッド１２の揺動が規制される。【選択図】図２

Description

本発明は、透過電子顕微鏡用のグリッド、そのグリッドを支持する圧縮試験用の治具、およびそれらを備えた分析ユニットに関する。

従来、種々の材料の観察のために、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ：Transmission Electron Microscope）が利用されている。ＴＥＭによって材料を観察するための試料は、例えば、特許文献１に開示されているように、集束イオンビーム（ＦＩＢ：Focused Ion Beam）を利用して作製することができる。

ＦＩＢを利用してＴＥＭ用試料を作製する際には、例えば、まず、観察対象の材料から、ＦＩＢ加工装置によって、所定の大きさ（数μｍ〜数十μｍ四方で、厚さ数μｍ）の板材を切り出す。次に、切り出した板材を、ＴＥＭ用のグリッド（試料台）に接着する。その後、ＴＥＭ用グリッドに接着された板材のうち観察対象となる部分を、ＦＩＢ加工装置によって薄膜化する。これにより、ＴＥＭ用試料が完成する。

特開２０１０−１４６９５７号

近年、材料の機械的特性をより詳細に調査するために、ＴＥＭ内において、微小試験片に対して圧縮試験が行われている。この圧縮試験では、例えば、圧縮試験時に微小試験片に生じるすべりの挙動等を分析することができる。

上記のような圧縮試験において利用される微小試験片も、上述の試料と同様に作製される。具体的には、まず、試験対象の材料から、ＦＩＢ加工装置によって、所定の大きさの板材を切り出す。次に、切り出した板材を、ＴＥＭ用のグリッドに接着する。その後、ＴＥＭ用グリッドに接着された板材の一部をＦＩＢ加工装置で加工することによって、板材の上記一部に、約５０ｎｍ〜数十μｍの長さを有する柱状の微小試験片を形成する。これにより、微小試験片を有する試料が完成する。

ＴＥＭ内において圧縮試験を行う際には、上記のようにして微小試験片が形成された板材（試料）が接着されたＴＥＭ用グリッドを、作業者が、カーボンペーストまたはシルバーペースト等を用いて圧縮試験用の冶具に接着する。そして、ＴＥＭ用グリッドが接着された冶具を圧縮試験用のホルダーに取り付けた後、そのホルダーをＴＥＭ内に設置し、微小試験片に対して圧縮試験が行われる。

ところで、圧縮試験によって材料の機械的特性を調査する際には、微小試験片の曲げの影響をできるだけ小さくして、圧縮荷重と変位との関係（荷重−変位曲線）を得ることが重要である。このためには、圧子から微小試験片への荷重の負荷方向と、微小試験片の軸方向とを、できるだけ平行に近づける必要がある。しかしながら、従来、ＴＥＭ用グリッドは、作業者がカーボンペースト等を用いて圧縮試験用の冶具に接着しているので、荷重の負荷方向と微小試験片の軸方向とを平行に近づけることは容易ではなかった。このため、ＴＥＭ内における圧縮試験では、微小試験片の曲げの影響を十分に低減することが難しかった。

また、上述したように、ＴＥＭ内において微小試験片に対して圧縮試験を行うことによって、圧縮試験時に微小試験片に生じる影響を分析することはできるが、圧縮試験用のホルダーでは、ＴＥＭ内において微小試験片を所望の角度で傾斜させることができない。このため、圧縮試験によって微小試験片に生じる影響をＴＥＭによって詳細に分析することはできない。圧縮試験によって微小試験片に生じる影響を詳細に分析するためには、ＴＥＭ用グリッドを２軸傾斜ホルダーに取り付けて、圧縮試験後の微小試験片をＴＥＭ内において所望の角度で傾斜させて、観察を行う必要がある。しかしながら、上記のように、ＴＥＭ用グリッドは、ペーストによって冶具に接着されるので、圧縮試験後のＴＥＭ用グリッドを２軸傾斜ホルダーに取り付けるためには、ＴＥＭ用グリッドを治具から引き剥がす必要がある。この際、ＴＥＭ用グリッドが変形したり、ＴＥＭ用グリッドにペーストが付着したままになったりする。このため、治具から引き剥がしたＴＥＭ用グリッドを２軸傾斜ホルダーに適切に取り付けることは難しい。

以上のように、従来、同一の試料を、圧縮試験の前後においてＴＥＭによって詳細に分析することは難しかった。

本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、ＴＥＭ内における圧縮試験において荷重の負荷方向と微小試験片の軸方向とを平行に容易に近づけることができかつ圧縮試験後にＴＥＭ用の２軸傾斜ホルダーに適切に取り付けることが可能なＴＥＭ用グリッド、そのグリッドを支持する冶具、およびそれらを備えた分析ユニットを提供することを目的としている。

ＴＥＭ用グリッドを圧縮試験用治具に取り付ける方法として、従来、ペーストを用いる方法以外の方法は検討されていなかった。これは、ＴＥＭ用グリッドの寸法が小さく（数ｍｍ程度の長さおよび幅）、ペーストを用いて取り付けることが、作業効率の観点から優れていたからである。この点に関して、本発明者らは、作業効率が多少低下し、さらに部品点数が増加するというデメリットはあるが、ペーストではなく、機械的な構成によって、ＴＥＭ用グリッドを圧縮試験用治具に取り付けることを試みた。

具体的には、本発明者らは、圧縮試験用治具を少なくとも２つの部材によって構成し、少なくとも一つの部材に位置決め用の突起部を設け、さらに、その突起部を嵌め込むための嵌合部をＴＥＭ用グリッドに設けた。そして、治具の突起部をＴＥＭ用グリッドの嵌合部に嵌め込んだ状態で、上記２つの部材によってＴＥＭ用グリッドを挟み、ねじ等の締結具によって２つの部材を締め付けて、ＴＥＭ用グリッドを圧縮試験用治具に固定した。

上記のように圧縮試験用治具およびＴＥＭ用グリッドを構成する場合、位置決め用の突起部および嵌合部を適切に形成することによって、圧縮試験において荷重の負荷方向と微小試験片の軸方向とを平行に容易に近づけることができた。また、締結具によってＴＥＭ用グリッドが圧縮試験用治具に取り付けられているので、ＴＥＭ用グリッドを圧縮試験用治具から取り外す際に、ＴＥＭ用グリッドが変形することを抑制でき、さらに、ＴＥＭ用グリッドにペーストが付着することがない。これらの結果、圧縮試験において荷重の負荷方向と微小試験片の軸方向とを平行に容易に近づけることができかつ圧縮試験後にＴＥＭ用グリッドをＴＥＭ用の２軸傾斜ホルダーに適切に取り付けることが可能となった。

本発明は、上記の知見に基づいて完成したものであり、下記のグリッド、治具および分析ユニットを要旨とする。

（１）圧縮試験用の治具に取り付け可能な透過電子顕微鏡用のグリッドであって、
前記治具は、平面状の第１支持面を有する第１部材と、平面状の第２支持面を有する第２部材とを有し、
前記第１支持面および前記第２支持面のうちの少なくとも一方には、前記第１支持面または前記第２支持面から突出する位置決め部が設けられ、
前記第１部材と前記第２部材とは、前記グリッドを前記第１支持面と前記第２支持面とで挟んだ状態で締結具を用いて互いに固定され、
前記グリッドは、
試料が固定される試料固定部と、
前記治具の前記位置決め部が嵌め込まれる嵌合部と、を備え、
前記嵌合部に前記位置決め部が嵌め込まれることによって、前記第１支持面または前記第２支持面のうち前記位置決め部が形成されている面に平行な方向における前記グリッドの揺動が規制されるように、前記嵌合部が構成されている、グリッド。

（２）前記位置決め部は、１以上の突起を含み、前記１以上の突起はそれぞれ、前記第１支持面および前記第２支持面のうちのいずれか一方に設けられ、
前記嵌合部は、前記突起が挿通される貫通孔を含む、上記（１）のグリッド。

（３）前記位置決め部は、１以上の突起を含み、前記１以上の突起はそれぞれ、前記第１支持面および前記第２支持面のうちのいずれか一方に設けられ、
前記嵌合部は、前記突起が嵌るように前記グリッドの外周縁に形成された凹部を含む、上記（１）または（２）のグリッド。

（４）上記（１）から（３）のいずれかのグリッドが取り付けられる圧縮試験用の治具であって、
平面状の第１支持面を有する第１部材と、
平面状の第２支持面を有する第２部材とを有し、
前記第１支持面および前記第２支持面のうちの少なくとも一方には、前記第１支持面または前記第２支持面から突出し、かつ前記グリッドの前記嵌合部に嵌め込まれる位置決め部が設けられ、
前記第１部材と前記第２部材とは、前記グリッドを前記第１支持面と前記第２支持面とで挟んだ状態で締結具を用いて互いに固定される、治具。

（５）上記（１）から（３）のいずれかに記載のグリッドと、上記（４）に記載の圧縮試験用の治具とを備えた、分析ユニット。

本発明によれば、ＴＥＭ内における圧縮試験において荷重の負荷方向と微小試験片の軸方向とを平行に容易に近づけることができ、かつ圧縮試験後にＴＥＭ用グリッドを２軸傾斜ホルダーに適切に取り付けることが可能になる。

図１は、本発明の一実施形態に係るグリッドおよび治具を備えた分析ユニットを示す概略図である。 図２は、本発明の一実施形態に係るグリッドおよび治具を備えた分析ユニットを示す概略図である。 図３は、治具を示す分解図である。 図４は、グリッドを示す図である。 図５は、グリッドの変形例を示す図である。

以下、本発明の実施の形態に係るグリッド、治具および分析ユニットについて図面を参照しつつ説明する。

図１および図２は、本発明の一実施形態に係るグリッドおよび治具を備えた分析ユニットを示す概略図である。なお、図１においては、圧縮試験機（インデンテーション装置）のホルダーに固定された状態の分析ユニットを示している。また、図２（ａ）は、分析ユニットの正面図であり、図２（ｂ）は、分析ユニットの側面図である。なお、図２（ａ）には、図１の分析ユニットを反対側から見た図を示している。

図１および図２を参照して、分析ユニット１０は、グリッド１２および治具１４を備える。グリッド１２は、例えば、モリブデンからなり、治具１４は、例えば、銅合金からなる。本実施形態では、治具１４は、圧縮試験用の治具である。図１を参照して、治具１４は、締結具１６によって、圧縮試験機のホルダー１００に固定されている。本実施形態では、締結具１６は、ねじである。なお、図１においては、ホルダー１００の一部のみを示している。ホルダー１００としては、公知の種々のインデンテーション装置のホルダーを利用できるので、詳細な説明は省略する。また、グリッド１２および治具１４の材料は上述の材料に限定されず、公知のグリッドと同様の材料および公知の治具と同様の材料を用いることができる。

図３は治具１４を示す分解図であり、図４はグリッド１２を示す図である。なお、図３および図４において、（ａ）は正面図であり、（ｂ）は側面図である。

図２および図３を参照して、治具１４は、第１部材２０と、第２部材３０とを有する。図３を参照して、第１部材２０は、長尺状の板状部２２、ならびに板状部２２から板状部２２の厚み方向における一方側に突出する係止部２４および位置決め部２６を有する。詳細な説明は省略するが、本実施形態では、係止部２４は、治具１４をホルダー１００（図１参照）に取り付ける際に、ホルダー１００に係止される部分である。すなわち、係止部２４は、治具１４をホルダー１００に取り付ける際に、治具１４の位置決めのために用いられる部分である。

図２および図３を参照して、板状部２２は、平面状の第１支持面２２ａを有する。第１支持面２２ａおよび後述の第２支持面３０ａは、治具１４にグリッド１２を取り付ける際に、グリッド１２を挟み込むための面である。本実施形態では、第１支持面２２ａは、板状部２２の厚み方向における一方側に設けられ、かつ板状部２２の長手方向において係止部２４の一方側に設けられる。

本実施形態では、第１支持面２２ａに位置決め部２６が設けられる。また、本実施形態では、位置決め部２６は、円柱状の複数（本実施形態では２つ）の突起２６ａ,２６ｂを含む。突起２６ａ,２６ｂはそれぞれ、第１支持面２２ａから板状部２２の厚み方向における一方側に向かって突出するように設けられている。

本実施形態では、板状部２２には、厚み方向に貫通する３つのねじ孔２８ａ，２８ｂ，２８ｃが形成されている。ねじ孔２８ａは、板状部２２の長手方向において、係止部２４の一方側に設けられ、ねじ孔２８ｂ，２８ｃは、板状部２２の長手方向において係止部２４の他方側に設けられている。本実施形態では、ねじ孔２８ａは、第１支持面２２ａにおいて開口するように形成されている。ねじ孔２８ａには、後述するように、締結具５０がねじ込まれる。ねじ孔２８ｂ，２８ｃには、治具１４をホルダー１００に固定するための締結具１６（図１参照）が差し込まれる。

図２および図３を参照して、第２部材３０は、長尺状かつ板状に形成されている。第２部材３０は、平面状の第２支持面３０ａを有する。上述したように、第２支持面３０ａは、治具１４にグリッド１２を取り付ける際に、グリッド１２を挟み込むための面である。本実施形態では、第２支持面３０ａは、第２部材３０の厚み方向における一方側に設けられる。また、第２部材３０には、第１部材２０の位置決め部２６が嵌め込まれる嵌合部３２が設けられている。本実施形態では、嵌合部３２は、正面視において円形状を有する複数（本実施形態では２つ）の貫通孔３２ａ,３２ｂを含む。本実施形態では、後述するように、貫通孔３２ａ,３２ｂには、第１部材２０の突起２６ａ,２６ｂが差し込まれる。

図３を参照して、第２部材３０の長手方向における中央部には、厚み方向に貫通する貫通孔３４が形成されている。貫通孔３４には、後述するように、締結具５０が差し込まれる。

図４を参照して、グリッド１２は、板状に形成されている。図示は省略するが、グリッド１２は、ＴＥＭの構造解析用の２軸傾斜ホルダーに取り付けられるグリッドである。なお、ＴＥＭおよび２軸傾斜ホルダーについては、公知の種々のＴＥＭおよび２軸傾斜ホルダーを利用できるので、詳細な説明は省略する。

グリッド１２には、試料固定部４０、嵌合部４２、および貫通孔４４が形成されている。本実施形態では、試料固定部４０は、正面視においてグリッド１２の外方に向かって突出する複数の突出部４０ａ,４０ｂを含む。後述するように、突出部４０ａ,４０ｂにはそれぞれ、試料６０（図１参照）が固定される。なお、試料固定部４０の構成としては、公知の種々のグリッドの試料固定部と同様の構成を採用できるので、詳細な説明は省略する。また、詳細な説明は省略するが、グリッド１２の嵌合部４２および貫通孔４４以外の構成についても、公知の種々のグリッドの構成を採用できる。

図２〜図４を参照して、嵌合部４２には、第１部材２０の位置決め部２６が嵌め込まれる。本実施形態では、嵌合部４２は、正面視において円形状を有する複数（本実施形態で２つ）の貫通孔４２ａ，４２ｂを含む。後述するように、貫通孔４２ａ，４２ｂには、第１部材２０の突起２６ａ,２６ｂが差し込まれる。貫通孔４４は、貫通孔４２ａと貫通孔４２ｂとの間に形成されている。貫通孔４４には、後述するように、締結具５０が差し込まれる。

第１部材２０および第２部材３０は、グリッド１２を第１支持面２２ａと第２支持面３０ａとで挟んだ状態で、締結具５０（本実施形態では、ねじ）を用いて互いに固定される。具体的には、グリッド１２の貫通孔４２ａ，４２ｂおよび第２部材３０の貫通孔３２ａ,３２ｂに第１部材２０の突起２６ａ,２６ｂを差し込みつつ、第１部材２０と第２部材３０とによってグリッド１２を挟み込む。その状態で、締結具５０を、第２部材３０の貫通孔３４およびグリッド１２の貫通孔４４に差し込みつつ、第１部材２０のねじ孔２８ａにねじ込むことによって、治具１４にグリッド１２を固定することができる。

本実施形態では、上記のように、嵌合部４２（貫通孔４２ａ，４２ｂ）に位置決め部２６（突起２６ａ,２６ｂ）が嵌め込まれることによって、板状部２２の第１支持面２２ａに平行な方向におけるグリッド１２の揺動を規制することができる。

本実施形態に係る分析ユニット１０を用いる場合、例えば、以下のようにして材料の分析を行うことができる。まず、分析ユニット１０および分析対象の材料（図示せず）を、ＦＩＢ加工装置（図示せず）内に設置する。なお、公知の種々のＦＩＢ加工装置を用いることができるので、ＦＩＢ加工装置の詳細な説明は省略する。次に、ＦＩＢ加工装置によって、分析対象の材料から、所定の寸法（例えば、４０μｍ×２０μｍ×３μｍ）の板材（図示せず）を切り出す。そして、切り出した板材を、例えば、プラチナ蒸着によって、分析ユニット１０の試料固定部４０（図２参照）に接着する。試料固定部４０に固定された板材の一部をＦＩＢ加工装置によって加工することにより、図１に示すように、複数の柱状の微小試験片６０ａを形成する。これにより、ＴＥＭ用の試料６０が完成する。なお、本実施形態では、微小試験片６０ａは、例えば、直径が５０ｎｍ〜８００ｎｍの円柱形状を有する。微小試験片６０ａの長さは、例えば、直径の３倍程度に設定される。

次に、試料６０が固定された状態の分析ユニット１０を、ＦＩＢ加工装置から取り出し、グリッド１２を治具１４から取り外す。取り外したグリッド１２を、ＴＥＭの構造解析用２軸傾斜ホルダーに取り付け、微小試験片６０ａのミクロ組織をＴＥＭによって分析する。

次に、グリッド１２を２軸傾斜ホルダーから取り外し、治具１４に再度取り付ける。さらに、図１に示すように、治具１４をホルダー１００に取り付ける。治具１４（分析ユニット１０）が取り付けられたホルダー１００をＴＥＭに設置し、ホルダー１００に設けられた圧子１０２によって微小試験片６０ａに圧縮荷重を付与して圧縮試験を行う。圧縮試験を行った後、治具１４からグリッド１２を取り外す。そして、取り外したグリッド１２を、再度、ＴＥＭの構造解析用２軸傾斜ホルダーに取り付け、微小試験片６０ａのミクロ組織をＴＥＭによって分析する。

このようにして、本実施形態に係る分析ユニット１０を用いることによって、圧縮試験後においても、グリッド１２を、２軸傾斜ホルダーに取り付けることが可能になる。これにより、同一の微小試験片６０ａを、圧縮試験の前後においてＴＥＭによって詳細に分析することができる。

また、本実施形態では、圧縮試験用の治具１４にグリッド１２を固定した状態で、ＦＩＢ加工装置によって微小試験片６０ａを形成することができる。これにより、図１に示すように、圧子１０２から微小試験片６０ａへの荷重の負荷方向Ｘ１と、微小試験片６０ａの軸方向Ｘ２とを、容易に平行に近づけることができる。その結果、圧縮試験において、微小試験片６０ａの曲げの影響をできるだけ小さくして、圧縮荷重と変位との関係（荷重−変位曲線）を得ることが可能となる。

なお、上述の実施形態では、グリッド１２の嵌合部４２が円形状の貫通孔４２ａ，４２ｂによって構成され、治具１４の位置決め部２６が円柱状の突起２６ａ,２６ｂによって形成される場合について説明したが、グリッドの嵌合部および治具の位置決め部の構成は上述の例に限定されない。グリッドの嵌合部および治具の位置決め部は、グリッドの嵌合部に治具の位置決め部が嵌め込まれることによって、治具の第１支持面または第２支持面のうち位置決め部が形成されている面に平行な方向におけるグリッドの揺動を規制できるように構成されていればよい。したがって、例えば、図５（ａ）に示すグリッド１２ａのように、嵌合部４６が、矩形の貫通孔４６ａ，４６ｂを含んでもよく、図５（ｂ）に示すグリッド１２ｂのように、嵌合部４７が、Ｌ字状の貫通孔４７ａを含んでもよい。また、図示は省略するが、嵌合部が、多角形の貫通孔を含んでもよい。さらに、図５（ｃ）に示すグリッド１２ｃのように、嵌合部４８が、グリッド１２ｃの外周縁に形成された凹部４８ａ，４８ｂを含んでもよい。なお、詳細な説明は省略するが、位置決め部は、嵌合部に嵌るように適宜形成すればよい。

上述の実施形態では、第１支持面２２ａに位置決め部２６が設けられる場合について説明したが、第２支持面から突出するように位置決め部が設けられてもよく、第１支持面および第２支持面の両方に位置決め部が設けられてもよい。なお、第２支持面に位置決め部が設けられる場合には、第１部材に、第２支持面に設けられた位置決め部が嵌め込まれる嵌合部が形成される。

上述の実施形態では、ねじからなる締結具５０を用いて第１部材２０と第２部材３０とを互いに固定する場合について説明したが、公知の他の締結具を用いて第１部材と第２部材とを互いに固定してもよい。

本発明によれば、ＴＥＭ内における圧縮試験において荷重の負荷方向と微小試験片の軸方向とを平行に容易に近づけることができ、かつ圧縮試験後にＴＥＭ用グリッドを２軸傾斜ホルダーに適切に取り付けることが可能になる。

１０ 分析ユニット
１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ グリッド
１４ 治具
１６ 締結具
２０ 第１部材
２２ 板状部
２２ａ 第１支持面
２４ 係止部
２６ 位置決め部
２６ａ，２６ｂ 突起部
２８ａ，２８ｂ，２８ｃ ねじ孔
３０ 第２部材
３０ａ 第２支持面
３２ 嵌合部
３２ａ，３２ｂ 貫通孔
３４ 貫通孔
４０ 試料固定部
４０ａ，４０ｂ 突出部
４２，４６，４７，４８ 嵌合部
４２ａ，４２ｂ 貫通孔
４６ａ，４６ｂ 貫通孔
４７ａ 貫通孔
４８ａ，４８ｂ 凹部
４４ 貫通孔
５０ 締結具
６０ 試料
６０ａ 微小試験片
１００ ホルダー
１０２ 圧子

Claims (5)

1. 圧縮試験用の治具に取り付け可能な透過電子顕微鏡用のグリッドであって、
   前記治具は、平面状の第１支持面を有する第１部材と、平面状の第２支持面を有する第２部材とを有し、
   前記第１支持面および前記第２支持面のうちの少なくとも一方には、前記第１支持面または前記第２支持面から突出する位置決め部が設けられ、
   前記第１部材と前記第２部材とは、前記グリッドを前記第１支持面と前記第２支持面とで挟んだ状態で締結具を用いて互いに固定され、
   前記グリッドは、
   試料が固定される試料固定部と、
   前記治具の前記位置決め部が嵌め込まれる嵌合部と、を備え、
   前記嵌合部に前記位置決め部が嵌め込まれることによって、前記第１支持面または前記第２支持面のうち前記位置決め部が形成されている面に平行な方向における前記グリッドの揺動が規制されるように、前記嵌合部が構成されている、グリッド。
2. 前記位置決め部は、１以上の突起を含み、前記１以上の突起はそれぞれ、前記第１支持面および前記第２支持面のうちのいずれか一方に設けられ、
   前記嵌合部は、前記突起が挿通される貫通孔を含む、請求項１に記載のグリッド。
3. 前記位置決め部は、１以上の突起を含み、前記１以上の突起はそれぞれ、前記第１支持面および前記第２支持面のうちのいずれか一方に設けられ、
   前記嵌合部は、前記突起が嵌るように前記グリッドの外周縁に形成された凹部を含む、請求項１または２に記載のグリッド。
4. 請求項１から３のいずれかに記載のグリッドが取り付けられる圧縮試験用の治具であって、
   平面状の第１支持面を有する第１部材と、
   平面状の第２支持面を有する第２部材とを有し、
   前記第１支持面および前記第２支持面のうちの少なくとも一方には、前記第１支持面または前記第２支持面から突出し、かつ前記グリッドの前記嵌合部に嵌め込まれる位置決め部が設けられ、
   前記第１部材と前記第２部材とは、前記グリッドを前記第１支持面と前記第２支持面とで挟んだ状態で締結具を用いて互いに固定される、治具。
5. 請求項１から３のいずれかに記載のグリッドと、請求項４に記載の圧縮試験用の治具とを備えた、分析ユニット。
   
   

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