JP2019082376A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2019082376A5
JP2019082376A5 JP2017209385A JP2017209385A JP2019082376A5 JP 2019082376 A5 JP2019082376 A5 JP 2019082376A5 JP 2017209385 A JP2017209385 A JP 2017209385A JP 2017209385 A JP2017209385 A JP 2017209385A JP 2019082376 A5 JP2019082376 A5 JP 2019082376A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
encoder scale
scale according
region
base material
encoder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017209385A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2019082376A (ja
JP6958237B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2017209385A priority Critical patent/JP6958237B2/ja
Priority claimed from JP2017209385A external-priority patent/JP6958237B2/ja
Priority to CN201811264212.5A priority patent/CN109724635B/zh
Priority to US16/173,023 priority patent/US10955265B2/en
Publication of JP2019082376A publication Critical patent/JP2019082376A/ja
Publication of JP2019082376A5 publication Critical patent/JP2019082376A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6958237B2 publication Critical patent/JP6958237B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2017209385A 2017-10-30 2017-10-30 エンコーダースケール、エンコーダースケールの製造方法、エンコーダー、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター Expired - Fee Related JP6958237B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017209385A JP6958237B2 (ja) 2017-10-30 2017-10-30 エンコーダースケール、エンコーダースケールの製造方法、エンコーダー、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター
CN201811264212.5A CN109724635B (zh) 2017-10-30 2018-10-26 编码器标尺、编码器标尺的制造方法以及编码器
US16/173,023 US10955265B2 (en) 2017-10-30 2018-10-29 Encoder scale, manufacturing method for encoder scale, and encoder

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017209385A JP6958237B2 (ja) 2017-10-30 2017-10-30 エンコーダースケール、エンコーダースケールの製造方法、エンコーダー、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2019082376A JP2019082376A (ja) 2019-05-30
JP2019082376A5 true JP2019082376A5 (enExample) 2020-12-10
JP6958237B2 JP6958237B2 (ja) 2021-11-02

Family

ID=66242839

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017209385A Expired - Fee Related JP6958237B2 (ja) 2017-10-30 2017-10-30 エンコーダースケール、エンコーダースケールの製造方法、エンコーダー、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクター

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10955265B2 (enExample)
JP (1) JP6958237B2 (enExample)
CN (1) CN109724635B (enExample)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3399284B1 (de) * 2017-05-03 2019-07-10 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Sensoreinheit zur positionsmessung
JP7565179B2 (ja) * 2020-09-14 2024-10-10 株式会社ミツトヨ スケール
WO2022097399A1 (ja) * 2020-11-06 2022-05-12 パナソニックIpマネジメント株式会社 エンコーダ
WO2023035476A1 (zh) * 2021-09-09 2023-03-16 深圳市汇顶科技股份有限公司 光学编码器及电子设备

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04211202A (ja) * 1990-03-19 1992-08-03 Canon Inc 反射型回折格子および該回折格子を用いた装置
US5916735A (en) * 1996-11-21 1999-06-29 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for manufacturing fine pattern
DE19937023A1 (de) * 1999-08-05 2001-02-08 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Reflexions-Maßverkörperung und Verfahren zur Herstellung einer Reflexions-Maßverkörperung
DE10150099A1 (de) * 2001-10-11 2003-04-17 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes, sowie derart hergestellter Maßstab und eine Positionsmesseinrichtung
US20040175843A1 (en) * 2003-03-04 2004-09-09 Roitman Daniel B. Near-field and far-field encoding and shaping of microbeads for bioassays
EP2187177A4 (en) * 2007-09-05 2012-12-26 Nikon Corp REFLECTOR PLATE FOR AN OPTICAL CODING DEVICE, METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF, AND OPTICAL CODING DEVICE
JP5562152B2 (ja) * 2010-07-12 2014-07-30 Dmg森精機株式会社 回折格子
KR101856231B1 (ko) * 2011-12-19 2018-05-10 엘지이노텍 주식회사 나노패턴을 구비한 투명기판 및 그 제조방법
JP5420715B2 (ja) * 2012-05-28 2014-02-19 オリンパス株式会社 反射型光学式エンコーダー
JP6079122B2 (ja) * 2012-10-12 2017-02-15 日立金属株式会社 光基板、光基板の製造方法、及び光モジュール構造
JP6253929B2 (ja) * 2013-09-11 2017-12-27 株式会社オプトニクス精密 反射型エンコーダ装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2019082376A5 (enExample)
US20200018986A1 (en) Optical apparatus
JP2014225669A5 (ja) 基板ホルダ、リソグラフィ装置、及び基板ホルダの製造方法
JP2015088521A5 (enExample)
TW201801203A (zh) 使用器件晶片之電子器件的製造方法及其製造裝置
JP2011181937A5 (enExample)
JP2016174148A5 (enExample)
JP2011520638A5 (enExample)
JP2014229883A5 (enExample)
TW201633384A (zh) 用於製造半導體晶片之方法以及用於定位切割部件之方法
CN103839923B (zh) 一种对位标记的制作方法及基板
JP2019220720A5 (enExample)
JP2009545878A5 (enExample)
JP2014157364A5 (ja) 透過型マスクブランク、透過型マスク及び半導体装置の製造方法
CN106574998A (zh) 曲面衍射光栅的模型的制造方法、曲面衍射光栅的制造方法、曲面衍射光栅以及光学装置
JP2007173084A5 (enExample)
JP2009076227A (ja) マスクの製造方法及びマスク
CN110391165B (zh) 转移载板与晶粒载板
JP2013028104A5 (enExample)
JP2012056093A5 (enExample)
TW201944512A (zh) 轉移載板與晶粒載板
JP2015212720A5 (enExample)
JP2016213215A (ja) テンプレート基板、テンプレート基板作製方法、パターン形成方法
CN102338991A (zh) 一种激光位移传感器控制的预对准方法
JP2009111423A5 (ja) GaN結晶基板およびその製造方法