JP2019076817A - 紫外線照射装置および紫外線照射方法 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、基板としては、G8サイズ以上の大型のガラス基板が用いられる。ここで、G8サイズとは、2160mm×2460mmの基板サイズを意味する。
加えて、基板の外周部を走査する露光装置の場合、基板が大型になるほど露光に時間がかかる。
加えて、基板に塗布されたレジスト材料の外周部を紫外線で硬化させることによって、大型の基板を用いたり、塗布後に基板を移動させたりする場合であっても、レジスト材料の基板からの液だれを抑制することができる。
加えて、基板の外周部のみ追加で露光することにより、外周部のレジスト残渣の除去等を行う用途(通常の周辺露光の用途)にも使用することができる。加えて、大型基板を移動中に露光できることにより、タクトタイムの短縮を図ることができる。
ところで、基板に紫外線を照射する場合、メタルハライドランプ又は水銀ランプを用いることが考えられる。しかしながら、メタルハライドランプ又は水銀ランプの場合、点灯後ランプが安定するまで数十分程度かかり、ランプの寿命も短いため、点灯および消灯を連続的に行うことができない可能性がある。
一方、メタルハライドランプ又は水銀ランプを用いて基板の外周部への紫外線照射を行う場合、ランプの点灯状態を維持することが考えられる。しかしながら、ランプの点灯状態を維持することは、寿命を確保する上で好ましくない。
これに対し、この構成によれば、紫外線LED素子を含むことで、メタルハライドランプ又は水銀ランプを用いた場合と比較して、点灯後すぐに安定させ、かつ、寿命を長くすることができるため、点灯および消灯を瞬時に連続して行うことができる。加えて、検知部の検知結果に基づいて照射部を制御することで、基板と照射部との相対位置を加味して紫外線LED素子の点灯および消灯を制御することができる。したがって、基板の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
この構成によれば、照射部が定位置にある状態で基板を搬送することができるため、照射部を移動させるための余分な駆動システムを必要とせず、基板と照射部との相対移動をシンプルに行うことができる。
この構成によれば、相対移動方向および相対移動方向に直交する方向に沿って並べられた複数の紫外線LED素子の点灯および消灯を選択的に制御することができる。したがって、複数の紫外線LED素子の点灯状態を維持する場合と比較して、基板の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。例えば、基板と照射部との相対移動を1回だけ行う(1回だけ照射部の下方に基板を通過させる)ことで、基板のすべての端部を1回で露光することができるため、効率的である。
ところで、照射部の照射領域が基板と照射部との相対移動方向に直交する方向における移動部の長さよりも小さいと、基板の外周部への紫外線照射を行う際に基板と照射部との相対移動を複数回行う必要がある。これに対し、この構成によれば、照射部の照射領域が基板と前記照射部との相対移動方向に直交する方向における移動部の長さよりも大きいことで、基板の外周部への紫外線照射を行う際に基板と照射部との相対移動を1回行えば足りる。したがって、基板の外周部への紫外線照射を更に省エネルギーで効率的に行うことができる。
この構成によれば、第一照射ユニットおよび第二照射ユニットごとに紫外線LED素子の点灯および消灯を制御することができる。したがって、照射部全体として紫外線LED素子の点灯および消灯を制御する場合と比較して、基板の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
ところで、照射部の照射領域が基板と照射部との相対移動方向に直交する方向に延在する直線部のみ有する場合、基板と照射部との相対移動方向に直交する方向における端部において、紫外線LED素子の設置領域を十分に確保することができない可能性がある。
この構成によれば、照射部の照射領域が基板と照射部との相対移動方向に直交する方向に延在するI字状をなしていることで、基板と照射部との相対移動方向に直交する方向における両端部において、基板と照射部との相対移動方向に紫外線LED素子の設置領域を確保することができる。したがって、照射部の照射領域が基板と照射部との相対移動方向に直交する方向に延在する直線部のみ有する場合と比較して、基板の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
この構成によれば、基板と照射部との相対移動方向に直交する方向において検知部がローラの外方に配置される場合と比較して、紫外線照射装置の小型化を図ることができる。
この構成によれば、第一センサおよび第二センサの検知結果に基づいて、基板と照射部との相対移動方向における相対移動速度を求めることができる。
この構成によれば、基板先端照射制御、基板両端照射制御、基板後端照射制御および消灯制御のそれぞれごとに、基板と照射部との相対位置を加味して照射部の点灯および消灯を制御することができる。したがって、基板の照射制御を一括して行う場合と比較して、基板の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
この構成によれば、照射部からの紫外線の積算光量を加味して紫外線LED素子の点灯および消灯を制御したり、基板と照射部との相対移動を制御したりすることができる。したがって、基板の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
この構成によれば、基板の表面の高さを加味して紫外線LED素子の点灯および消灯を制御したり、基板と照射部との相対移動を制御したりすることができる。したがって、基板の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
加えて、基板に塗布されたレジスト材料の外周部を紫外線で硬化させることによって、大型の基板を用いたり、塗布後に基板を移動させたりする場合であっても、レジスト材料の基板からの液だれを抑制することができる。
加えて、基板の外周部のみ追加で露光することにより、外周部のレジスト残渣の除去等を行う用途(通常の周辺露光の用途)にも使用することができる。加えて、大型基板を移動中に露光できることにより、タクトタイムの短縮を図ることができる。
加えて、紫外線LED素子を含むことで、メタルハライドランプ又は水銀ランプを用いた場合と比較して、点灯後すぐに安定させ、かつ、寿命を長くすることができるため、点灯および消灯を瞬時に連続して行うことができる。加えて、検知部の検知結果に基づいて照射部を制御することで、基板と照射部との相対位置を加味して紫外線LED素子の点灯および消灯を制御することができる。したがって、基板の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
この方法によれば、照射部が定位置にある状態で基板を搬送することができるため、照射部を移動させるための余分な工程を必要とせず、基板と照射部との相対移動をシンプルに行うことができる。
この方法によれば、基板先端照射制御工程、基板両端照射制御工程、基板後端照射制御工程および消灯制御工程のそれぞれごとに、基板と照射部との相対位置を加味して照射部の点灯および消灯を制御することができる。したがって、基板の照射制御を一括して行う場合と比較して、基板の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
この方法によれば、照射部からの紫外線の積算光量を加味して紫外線LED素子の点灯および消灯を制御したり、基板と照射部との相対移動を制御したりすることができる。したがって、基板の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
この方法によれば、基板の表面の高さを加味して紫外線LED素子の点灯および消灯を制御したり、基板と照射部との相対移動を制御したりすることができる。したがって、基板の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
図1は本実施形態に係るパターン形成装置1を示す上面図である。
図1に示すように、パターン形成装置1は、カセット搬出入部2、塗布現像処理部3及びシステム制御部4を備えている。システム制御部4は、パターン形成装置1の構成要素を統括的に制御する。
カセット搬出入部2は、カセット5の搬入及び搬出を行う。例えば、カセット5には、複数の基板6が収容されている。例えば、基板6としては、G8サイズを有する矩形状のガラス基板が用いられる。カセット搬出入部2は、カセット待機部7及び基板搬送機構8を備えている。
第一搬送機構8aは、カセット搬出入部2から塗布現像処理部3へ基板6を搬送する。
第二搬送機構8bは、塗布現像処理部3からカセット搬出入部2へ基板6を搬送する。
搬送アーム9は、Z軸回りの回転方向に移動可能である。これにより、カセット待機部7の方向または塗布現像処理部3の方向に搬送アーム9を向かせることができる。搬送アーム9は、伸縮動作によってカセット待機部7または塗布現像処理部3にアクセス可能とされている。
塗布現像処理部3は、基板6にレジスト塗布及び現像を含む一連の処理を施す。塗布現像処理部3は、洗浄ユニット10、塗布ユニット11、第一光照射ユニット12、プリベークユニット13、露光装置14、現像ユニット15、第二光照射ユニット16及びポストベークユニット17を備えている。
第一光照射ユニット12は、紫外線照射装置18と、基板搬送機構19と、を備えている。
基板搬送機構19は、紫外線照射装置18と塗布ユニット11との間、および紫外線照射装置18とプリベークユニット13との間で基板6の受け渡しを行う。例えば、第一光照射ユニット12における基板搬送機構19は、カセット搬出入部2における基板搬送機構8と同一の構成を有する。
図2は、紫外線照射装置18の上面図である。図3は、紫外線照射装置18の側面図である。図4は、紫外線照射装置18の正面図である。
図2に示すように、紫外線照射装置18は、照射部20、門型フレーム25、搬送機構30(移動部)、相対位置検知部40(検知部)、積算光量測定部41、表面高さ検知部42および制御部45を備えている。
搬送機構30は、基板6を搬送可能である。搬送機構30は、照射部20が定位置にある状態で基板6を搬送することによって、基板6と照射部20とを相対的に移動させる。以下、水平面内における基板6の搬送方向(基板6と照射部20との相対移動方向)を「第一方向V1」、水平面内において第一方向V1に直交する方向を「第二方向V2」ともいう。
動力伝達機構(不図示)は、駆動ローラ31aの回転動力を複数の従動ローラ31bに伝達する。例えば、動力伝達機構は、第1支持壁33aに内蔵されている。
図5は、照射部20の下面図である。
図5に示すように、照射部20は、複数の照射ユニット21を備えている。照射部20は、第一方向V1に隣接する第一照射ユニット21aおよび第二照射ユニット21bを備えている。以下、第一照射ユニット21aおよび第二照射ユニット21bのそれぞれを、単に「照射ユニット21」ともいう。
複数の照射ユニット21は、第一方向V1および第二方向V2のそれぞれに沿って並べられている。実施形態において、照射ユニット21は、基板6にi線等の紫外線を照射可能な複数の紫外線LED素子22(図6参照)を備える。
ここで、「紫外線」とは、波長範囲の下限が1nm程度、上限が可視光線の短波長端の光を意味する。実施形態において、紫外線LED素子22の波長帯を365nm程度に設定する。
図6に示すように、照射ユニット21は、格子状に配置された複数の紫外線LED素子22を備えている。複数の紫外線LED素子22は、矩形状の支持台23に載置されている。
ここで、「照射領域24」とは、上面視で、第二方向V2に沿って並べられた複数の紫外線LED素子22のうち第二方向V2の両端に位置する紫外線LED素子22を含む領域である。第二方向V2における照射領域24の長さL1は、上面視で、第二方向V2の両端に位置する紫外線LED素子22の配置間隔に相当する。
第二方向V2における搬送機構30の長さL2は、ローラ31の延在方向の長さである。第二方向V2における搬送機構30の長さL2は、上面視で、第二方向V2に間隔をあけて配置された一対の支持壁33の配置間隔に相当する。
実施形態において、第二方向V2における照射領域24の長さL1は、第二方向V2における搬送機構30の長さL2よりも長い(L1>L2)。
図4に示すように、門型フレーム25は、搬送機構30を第二方向V2に跨ぐように門型に形成されている。門型フレーム25は、照射部20を支持する。門型フレーム25は、Z方向に延びる一対の門柱部25aと、一対の門柱部25aの間を連結するように第二方向V2に延びる連結梁部25bと、を備えている。
図2の上面視で、相対位置検知部40は、隣り合う2つのローラ31の間の隙間31hに配置されている。図3に示すように、相対位置検知部40は、ローラ31の下方に配置されている。相対位置検知部40は、基板6と照射部20との相対位置を検知可能である。相対位置検知部40は、第一方向V1に間隔をあけて配置された第一センサ40aおよび第二センサ40bを備えている。例えば、第一センサ40aおよび第二センサ40bは、光電センサ、超音波センサなどの非接触センサを用いてもよい。
例えば、第一センサ40aは、第一方向V1における基板6の先端(以下単に「基板先端」ともいう。)の位置を検知する。ここで、基板先端は、基板6の搬送方向における下流端に相当する。第一センサ40aの検知結果は、基板先端の位置の検知信号として、制御部45に出力される。
例えば、第二センサ40bは、第一センサ40aが基板先端の位置を検知した後、基板先端の位置を検知する。第二センサ40bの検知結果は、基板先端の位置の検知信号として、制御部45に出力される。
制御部45は、第一センサ40aおよび第二センサ40bの検知結果に基づいて、基板6の搬送速度を算出する。
図3に示すように、積算光量測定部41は、照射部20の下方に配置されている。図2の上面視で、積算光量測定部41は、照射部20の照射領域24と重なる位置に配置されている。積算光量測定部41は、照射部20からの紫外線の積算光量を測定可能である。
ここで、積算光量は、紫外線硬化樹脂(レジスト材料)を硬化させるのに必要な紫外線量(紫外線の照射量)を意味する。積算光量をA、紫外線強度をB、硬化時間をCとしたとき、A=B×Cの関係を有する。
例えば、積算光量測定部41としては、紫外線の積算光量を測定する紫外線積算光量計が用いられる。
図3に示すように、表面高さ検知部42は、搬送機構30の上方に配置されている。図2の上面視で、表面高さ検知部42は、照射部20の照射領域24を避けた位置に配置されている。表面高さ検知部42は、不図示のフレームに取り付けられている。表面高さ検知部42は、基板6の表面の高さ(以下単に「基板表面高さ」ともいう。)を検知可能である。
ここで、基板表面高さは、基板6の基準面からのZ方向における変位量に相当する。
制御部45は、紫外線照射装置18の構成要素を統括制御する。
制御部45は、相対位置検知部40の検知結果に基づいて、基板6の外周部に紫外線が照射されるように照射部20を制御する。
例えば、積算光量が光量閾値よりも大きいとき、制御部45は、以下の(1)および(2)の少なくとも一方の制御を行う。
(1)照射部20を制御して紫外線強度を基準強度よりも低くする。
(2)搬送機構30を制御して基板6の搬送速度を基準速度よりも速くする。
例えば、積算光量が光量閾値よりも小さいとき、制御部45は、以下の(3)および(4)の少なくとも一方の制御を行う。
(3)照射部20を制御して紫外線強度を基準強度よりも高くする。
(4)搬送機構30を制御して基板6の搬送速度を基準速度よりも遅くする。
例えば、基板表面高さが高さ閾値よりも大きいとき、制御部45は、前記積算光量が光量閾値よりも小さいときと同様の制御(3)、(4)を行う。
例えば、基板表面高さが高さ閾値よりも小さいとき、制御部45は、前記積算光量が光量閾値よりも大きいときと同様の制御(1)、(2)を行う。
図1に示すように、第二光照射ユニット16は、紫外線照射装置48と、基板搬送機構49と、を備えている。
第二光照射ユニット16における基板搬送機構49は、紫外線照射装置48と現像ユニット15との間、および紫外線照射装置48とポストベークユニット17との間で基板6の受け渡しを行う。例えば、第二光照射ユニット16における紫外線照射装置48および基板搬送機構49は、第一光照射ユニット12における紫外線照射装置18および基板搬送機構19と同一の構成を有する。
次に、本実施形態に係る紫外線照射方法の一例を説明する。本実施形態では、上記の紫外線照射装置18を用いて基板6に紫外線を照射する。紫外線照射装置18の各部で行われる動作は、制御部45によって制御される。
図7においては、紫外線照射装置18の構成要素のうち、照射部20以外の構成要素の図示を省略する。
照射工程では、基板6に紫外線を照射する。
移動工程では、基板6と照射部20とを相対的に移動させる。移動工程では、基板6を搬送する。移動工程では、照射部20は定位置にある。
検知工程では、基板6と照射部20との相対位置を検知する。検知工程では、照射部20が定位置にある状態で、第一方向V1における基板6の位置を検知する。
制御工程では、検知部の検知結果に基づいて、基板6の外周部に紫外線が照射されるように照射部20を制御する。
例えば、基板先端照射制御工程では、相対位置検知部40(図2参照)の検知結果に基づいて、基板先端部が照射部20の鉛直下方にあると判定した場合、複数の紫外線LED素子22(図6参照)を全体的に点灯させる。
基板先端照射制御工程の後、基板両端照射制御工程に進む。
例えば、基板両端照射制御工程では、相対位置検知部40(図2参照)の検知結果に基づいて、基板両端部が照射部20の鉛直下方にあると判定した場合、複数の紫外線LED素子22(図6参照)のうち第二方向V2における照射部20の中央部に位置するものを消灯させ、第二方向V2における照射部20の両端部に位置するものを点灯させる。例えば、上面視で直交部24b(図5参照)と基板両端部とが重なる場合、基板両端照射制御工程では、複数の紫外線LED素子22(図6参照)のうち直交部24b(図5参照)に位置するもののみを点灯させる。
基板両端照射制御工程の後、基板後端照射制御工程に進む。
例えば、基板後端照射制御工程では、相対位置検知部40(図2参照)の検知結果に基づいて、基板後端部が照射部20の鉛直下方にあると判定した場合、複数の紫外線LED素子22(図6参照)を全体的に点灯させる。
基板後端照射制御工程の後、消灯制御工程に進む。
例えば、消灯制御工程では、相対位置検知部40(図2参照)の検知結果に基づいて、基板6全体が照射部20の鉛直下方に無いと判定した場合、複数の紫外線LED素子22(図6参照)を全体的に消灯させる。
積算光量測定工程では、照射部20からの紫外線の積算光量を測定する。
制御工程では、積算光量の測定結果に基づいて、照射部20および搬送機構30を制御する。
例えば、積算光量が光量閾値よりも大きいとき、制御工程では、以下の(1)および(2)の少なくとも一方の制御を行う。
(1)照射部20を制御して紫外線強度を基準強度よりも低くする。
(2)搬送機構30を制御して基板6の搬送速度を基準速度よりも速くする。
例えば、積算光量が光量閾値よりも小さいとき、制御工程では、以下の(3)および(4)の少なくとも一方の制御を行う。
(3)照射部20を制御して紫外線強度を基準強度よりも高くする。
(4)搬送機構30を制御して基板6の搬送速度を基準速度よりも遅くする。
例えば、積算光量測定工程は、少なくとも照射工程の間、常時行われる。
制御工程では、基板表面高さの検知結果に基づいて、照射部20および搬送機構30を制御する。
例えば、基板表面高さが高さ閾値よりも大きいとき、制御工程では、前記積算光量が光量閾値よりも小さいときと同様の制御(3)、(4)を行う。
例えば、基板表面高さが高さ閾値よりも小さいとき、制御工程では、前記積算光量が光量閾値よりも大きいときと同様の制御(1)、(2)を行う。
加えて、基板6に塗布されたレジスト材料の外周部を紫外線で硬化させることによって、大型の基板6を用いたり、塗布後に基板6を移動させたりする場合であっても、レジスト材料の基板6からの液だれを抑制することができる。
加えて、基板6の外周部のみ追加で露光することにより、外周部のレジスト残渣の除去等を行う用途(通常の周辺露光の用途)にも使用することができる。加えて、大型基板を移動中に露光できることにより、タクトタイムの短縮を図ることができる。
ところで、基板6に紫外線を照射する場合、メタルハライドランプ又は水銀ランプを用いることが考えられる。しかしながら、メタルハライドランプ又は水銀ランプの場合、点灯後ランプが安定するまで数十分程度かかり、ランプの寿命も短いため、点灯および消灯を連続的に行うことができない可能性がある。
一方、メタルハライドランプ又は水銀ランプを用いて基板6の外周部への紫外線照射を行う場合、ランプの点灯状態を維持することが考えられる。しかしながら、ランプの点灯状態を維持することは、寿命を確保する上で好ましくない。
これに対し、この構成によれば、紫外線LED素子22を含むことで、メタルハライドランプ又は水銀ランプを用いた場合と比較して、点灯後すぐに安定させ、かつ、寿命を長くすることができるため、点灯および消灯を瞬時に連続して行うことができる。加えて、相対位置検知部40の検知結果に基づいて照射部20を制御することで、基板6と照射部20との相対位置を加味して紫外線LED素子22の点灯および消灯を制御することができる。したがって、基板6の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
加えて、第二光照射ユニット16における紫外線照射装置48および基板搬送機構49は、第一光照射ユニット12における紫外線照射装置18および基板搬送機構19と同一の構成を有することで、第一光照射ユニット12と同じユニットで第二光照射ユニット16の作業を行うことができ、同様の効果を奏する。
この構成によれば、第一方向V1および第二方向V2のそれぞれに沿って並べられた複数の紫外線LED素子22の点灯および消灯を選択的に制御することができる。したがって、複数の紫外線LED素子22の点灯状態を維持する場合と比較して、基板6の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。例えば、基板6と照射部20との相対移動を1回だけ行う(1回だけ照射部20の下方に基板6を通過させる)ことで、基板6のすべての端部を1回で露光することができるため、効率的である。
ところで、照射部20の照射領域24が第二方向V2における移動部の長さよりも小さいと、基板6の外周部への紫外線照射を行う際に基板6と照射部20との相対移動を複数回行う必要がある。これに対し、この構成によれば、照射部20の照射領域24が第二方向V2における搬送機構30の長さL2よりも大きいことで、基板6の外周部への紫外線照射を行う際に基板6と照射部20との相対移動を1回行えば足りる。したがって、基板6の外周部への紫外線照射を更に省エネルギーで効率的に行うことができる。
ところで、照射部20の照射領域24が第二方向V2に延在する直線部24aのみ有する場合、第二方向V2における端部において、紫外線LED素子22の設置領域を十分に確保することができない可能性がある。これに対し、この構成によれば、照射部20の照射領域24が第二方向V2に延在するI字状をなしていることで、第二方向V2における両端部において、第一方向V1に紫外線LED素子22の設置領域を確保することができる。したがって、照射部20の照射領域24が第二方向V2に延在する直線部24aのみ有する場合と比較して、基板6の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
この構成によれば、基板先端照射制御、基板両端照射制御、基板後端照射制御および消灯制御のそれぞれごとに、基板6と照射部20との相対位置を加味して照射部20の点灯および消灯を制御することができる。したがって、基板6の照射制御を一括して行う場合と比較して、基板6の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
この構成によれば、照射部20からの紫外線の積算光量を加味して紫外線LED素子22の点灯および消灯を制御したり、基板6と照射部20との相対移動を制御したりすることができる。したがって、基板6の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
この構成によれば、基板表面の高さを加味して紫外線LED素子22の点灯および消灯を制御したり、基板6と照射部20との相対移動を制御したりすることができる。したがって、基板6の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
加えて、基板6に塗布されたレジスト材料の外周部を紫外線で硬化させることによって、大型の基板6を用いたり、塗布後に基板6を移動させたりする場合であっても、レジスト材料の基板6からの液だれを抑制することができる。
加えて、基板6の外周部のみ追加で露光することにより、外周部のレジスト残渣の除去等を行う用途(通常の周辺露光の用途)にも使用することができる。加えて、大型基板を移動中に露光できることにより、タクトタイムの短縮を図ることができる。
加えて、紫外線LED素子22を含むことで、メタルハライドランプ又は水銀ランプを用いた場合と比較して、点灯後すぐに安定させ、かつ、寿命を長くすることができるため、点灯および消灯を瞬時に連続して行うことができる。加えて、相対位置検知部40の検知結果に基づいて照射部20を制御することで、基板6と照射部20との相対位置を加味して紫外線LED素子22の点灯および消灯を制御することができる。したがって、基板6の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
加えて、第二光照射ユニット16における紫外線照射装置48および基板搬送機構49は、第一光照射ユニット12における紫外線照射装置18および基板搬送機構19と同一の構成を有することで、第一光照射ユニット12と同じユニットで第二光照射ユニット16の作業を行うことができ、同様の効果を奏する。
この方法によれば、基板先端照射制御工程、基板両端照射制御工程、基板後端照射制御工程および消灯制御工程のそれぞれごとに、基板6と照射部20との相対位置を加味して照射部20の点灯および消灯を制御することができる。したがって、基板6の照射制御を一括して行う場合と比較して、基板6の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
この方法によれば、照射部20からの紫外線の積算光量を加味して紫外線LED素子22の点灯および消灯を制御したり、基板6と照射部20との相対移動を制御したりすることができる。したがって、基板6の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
この方法によれば、基板6の表面の高さを加味して紫外線LED素子22の点灯および消灯を制御したり、基板6と照射部20との相対移動を制御したりすることができる。したがって、基板6の外周部への紫外線照射を省エネルギーで効率的に行うことができる。
例えば、上記実施形態においては、基板6を第一方向V1に搬送可能な搬送機構30を備えた例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、照射部20を第一方向V1に移動可能な移動機構を備えていてもよい。例えば、基板6が定位置にある状態で、照射部20を第一方向V1に移動させてもよい。すなわち、基板6と照射部20とを第一方向V1に相対的に移動可能な移動部を備えていればよい。
Claims (16)
- 基板に紫外線を照射可能な紫外線LED素子を含む照射部と、
前記基板と前記照射部とを相対的に移動可能な移動部と、
前記基板と前記照射部との相対位置を検知可能な検知部と、
前記検知部の検知結果に基づいて、前記基板の外周部に前記紫外線が照射されるように前記照射部を制御する制御部と、を含む
紫外線照射装置。 - 前記移動部は、前記基板を搬送可能である
請求項1に記載の紫外線照射装置。 - 前記照射部は、前記基板と前記照射部との相対移動方向に沿って並べられるとともに、前記相対移動方向に直交する方向に沿って並べられた複数の前記紫外線LED素子を含む
請求項1または2に記載の紫外線照射装置。 - 前記照射部の照射領域は、前記基板と前記照射部との相対移動方向に直交する方向における前記移動部の長さよりも大きい
請求項1から3の何れか一項に記載の紫外線照射装置。 - 前記照射部は、前記基板と前記照射部との相対移動方向に隣接する第一照射ユニットおよび第二照射ユニットを含む
請求項1から4の何れか一項に記載の紫外線照射装置。 - 前記照射部の照射領域は、前記基板と前記照射部との相対移動方向に直交する方向に延在するI字状をなしている
請求項1から5の何れか一項に記載の紫外線照射装置。 - 前記移動部は、前記基板と前記照射部との相対移動方向に隙間をあけて配列された複数のローラを含み、
前記検知部は、隣り合う2つの前記ローラの間の前記隙間に配置されている
請求項1から6の何れか一項に記載の紫外線照射装置。 - 前記検知部は、前記基板と前記照射部との相対移動方向に間隔をあけて配置された第一センサおよび第二センサを含む
請求項1から7の何れか一項に記載の紫外線照射装置。 - 前記制御部は、
前記基板と前記照射部との相対移動方向における前記基板の先端部が前記照射部の照射領域に重なる場合、前記照射部を全体的に点灯させる基板先端照射制御と、
前記基板先端照射制御の後、前記基板の先端部が前記照射領域から外れ、前記相対移動方向に直交する方向における前記基板の両端部が前記照射領域に重なる場合、前記照射部のうち前記基板の両端部から外れる部分を消灯させ、前記照射部のうち前記基板の両端部と重なる部分を点灯させる基板両端照射制御と、
前記基板両端照射制御の後、前記相対移動方向における前記基板の後端部が前記照射領域に重なる場合、前記照射部を全体的に点灯させる基板後端照射制御と、
前記基板後端照射制御の後、前記基板の後端部が前記照射領域から外れた場合、前記照射部を全体的に消灯させる消灯制御と、を行う
請求項1から8の何れか一項に記載の紫外線照射装置。 - 前記照射部からの紫外線の積算光量を測定可能な積算光量測定部を更に含み、
前記制御部は、前記積算光量測定部の測定結果に基づいて、前記照射部および前記移動部の少なくとも一方を制御する
請求項1から9の何れか一項に記載の紫外線照射装置。 - 前記基板の表面の高さを検知可能な表面高さ検知部を更に含み、
前記制御部は、前記表面高さ検知部の検知結果に基づいて、前記照射部および前記移動部の少なくとも一方を制御する
請求項1から10の何れか一項に記載の紫外線照射装置。 - 基板に紫外線を照射可能な紫外線LED素子を含む照射部と、
前記基板と前記照射部とを相対的に移動可能な移動部と、
前記基板と前記照射部との相対位置を検知可能な検知部と、を用いた紫外線照射方法であって、
前記基板に紫外線を照射する照射工程と、
前記基板と前記照射部とを相対的に移動させる移動工程と、
前記基板と前記照射部との相対位置を検知する検知工程と、
前記検知部の検知結果に基づいて、前記基板の外周部に前記紫外線が照射されるように前記照射部を制御する制御工程と、を含む
紫外線照射方法。 - 前記移動工程では、前記基板を搬送する
請求項12に記載の紫外線照射方法。 - 前記制御工程は、
前記基板と前記照射部との相対移動方向における前記基板の先端部が前記照射部の照射領域に重なる場合、前記照射部を全体的に点灯させる基板先端照射制御工程と、
前記基板先端照射制御工程の後、前記基板の先端部が前記照射領域から外れ、前記相対移動方向に直交する方向における前記基板の両端部が前記照射領域に重なる場合、前記照射部のうち前記基板の両端部から外れる部分を消灯させ、前記照射部のうち前記基板の両端部と重なる部分を点灯させる基板両端照射制御工程と、
前記基板両端照射制御工程の後、前記相対移動方向における前記基板の後端部が前記照射領域に重なる場合、前記照射部を全体的に点灯させる基板後端照射制御工程と、
前記基板後端照射制御工程の後、前記基板の後端部が前記照射領域から外れた場合、前記照射部を全体的に消灯させる消灯制御工程と、を含む
請求項12または13に記載の紫外線照射方法。 - 前記照射部からの紫外線の積算光量を測定する積算光量測定工程を更に含み、
前記制御工程では、前記積算光量の測定結果に基づいて、前記照射部および前記移動部の少なくとも一方を制御する
請求項12から14の何れか一項に記載の紫外線照射方法。 - 前記基板の表面の高さを検知する表面高さ検知工程を更に含み、
前記制御工程では、前記基板の表面の高さの検知結果に基づいて、前記照射部および前記移動部の少なくとも一方を制御する
請求項12から15の何れか一項に記載の紫外線照射方法。
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