JP2019067930A - 発光素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、従来の割断準備工程および割断工程において、ウエハは、ダイシングシートに支持されている(下記特許文献参照)。
本発明の一実施形態を、以下に図面を参照しながら説明する。ただし、以下に示す形態は、本発明の技術思想を具現化するための発光素子の製造方法を例示するものであって、本発明を以下に限定するものではない。また、実施形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対的配置などは、特定的な記載がない限り、本発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。なお、各図面が示す部材の大きさ、位置関係などは、説明を明確にするため誇張していることがある。また、以下の説明において、同一の名称、符号については同一もしくは同質の部材を示しており詳細説明を適宜省略する。
[第1実施形態]
図1A〜5に示すように、発光素子の製造方法は、ウエハ1を支持基板3に仮固定する工程(仮固定工程S101)と、ウエハ1に割断起点部11を形成する工程(割断起点部形成工程S102)と、ウエハ1を複数の発光素子4に個片化する工程(個片化工程S103)と、複数の発光素子4と両面テープ2とを支持基板3から剥離する工程(支持基板分離工程S104)と、複数の発光素子4を両面テープ2から剥離する工程(発光素子剥離工程S105)と、を含む。
以下、各工程について説明する。
仮固定工程S101は、図1Aおよび図1Bに示すように、基板と半導体層とを備えるウエハ1の半導体層側を常温からの加熱により損失正接が大きくなる両面テープ2によって支持基板3に仮固定する工程である。
これに対し、常温からの加熱により損失正接が大きくなる両面テープ2を用いると、割断起点部11を形成する際には、加熱される前なので両面テープ2が損失正接が小さい(弾性変形の挙動が支配的な)状態となるため割断起点部11を所定の深さに形成しやすい。一方、ウエハ1を割断する際には、加熱することによって両面テープ2が損失正接が大きい(粘性変形の挙動が支配的な)状態となるため、割断しやすくなる。
アクリル系粘着層21は、ウエハ1の半導体層に接着しやすく、また、耐衝撃性、耐水性、耐湿性などに優れる。熱発泡剤含有粘着層23は、加熱前(発泡前)は耐剥離性に優れ、加熱後(発泡後)は剥離が容易になるので、ウエハ1を支持基板3に仮固定しやすく、また、個片化後に、複数の発光素子4と両面テープ2とからなる発光素子載置テープ5(図3B参照)を支持基板3から剥離しやすい。
両面テープ2としては、例えば、ニッタ株式会社製のインテリマー(登録商標)テープが挙げられる。
割断起点部形成工程S102は、図2A、2Bに示すように、ウエハ1に、常温で複数の発光素子4に分割するための割断起点部11を形成する工程である。
割断起点部形成工程S102では、両面テープ2の損失正接が大きくならない温度(第1の温度)で割断起点部11を形成する。ここで第1の温度は、常温で、例えば、20℃であり、15〜25℃であればよい。第1の温度で割断起点部11を形成することで、前記したとおり、割断起点部11を所定の深さに形成しやすくなる。損失正接の具体的な数値としては、0.2以下である。
個片化工程S103は、図3Aおよび図3Bに示すように、両面テープ2を常温から加熱して、支持基板3上でウエハ1を複数の発光素子4に個片化する工程である。
個片化工程S103では、両面テープ2の損失正接が大きくなる温度(第2の温度)でウエハ1を複数の発光素子4に個片化する。ここで、第2の温度は、第1の温度よりも高い温度であり、例えば、40〜80℃である。第2の温度でウエハ1を個片化することで、前記したとおり、両面テープ2が粘性変形が支配的な状態となっているため、ブレードによる切断時の降下移動ができやすく、割断ブレードからの衝撃が緩和され割断起点部11に適度な力が与えられ、クラックの伸展を促して、ウエハ1を割断しやすくなる。
支持基板分離工程S104は、図3Cに示すように、複数の発光素子4と両面テープ2とからなる発光素子載置テープ5を支持基板3から剥離する工程である。
発光素子載置テープ5は支持基板3に仮固定された状態であるため、支持基板分離工程S104では、発光素子載置テープ5を支持基板3から容易に分離することができる。なお、前記したように、熱発泡剤含有粘着層23が支持基板3に接着された両面テープ2を用いることで、両面テープ2を加熱した後の支持基板分離工程S104において、発光素子載置テープ5を支持基板3から剥離しやすくなる。
発光素子剥離工程S105は、複数の発光素子4を両面テープ2から剥離する工程である。
発光素子剥離工程S105では、まず、図4Aに示すように、支持基板3から剥離した発光素子載置テープ5を検査・分類工程用のシート60に貼り替える。この際、発光素子4側を検査・分類工程用のシート60に仮固定する。次に、図4Bに示すように、両面テープ2を剥がすことで、複数の発光素子4を両面テープ2から剥離する。
検査・分類工程用のシート60は、基材上に設けられた粘着層61と、粘着層61の周縁に設けられたフレーム62とを備える。
なお、発光素子の製造方法は、ウエハ1の基板を研削することを含むようにしてもよい。以下、第2実施形態について説明する。
第2実施形態は、図7および図8に示すように、仮固定工程S101の後であって、割断起点部形成工程S102の前に、ウエハ1の基板を研削によって薄層化する工程(研削工程S201)を含む。基板の研削は、研削機70を用いて行うことができる。なお、研削の後に、さらに基板を研磨する工程を行ってもよい。
また、従来の技術では、ダイシングシートにウエハを貼り付け、このダイシングシートを真空吸着テーブルに固定して研削・研磨を行う方法が用いられている。しかし、この方法では、加工負荷が大きくウエハが変形しやすいため、基板を薄層化するすると割れが生じやすくなる。また、研削・研磨の際にウエハに割れが生じた場合、真空吸着を解放した時に割れが生じた部位(割れ部)が広がり、この部位が開口してしまう(割れ部の幅が大きくなる)。これにより、ウエハを新しいダイシングシートに貼り替える必要が生じる。また、この際、ウエハの分割処理が必要となり、場合によっては、ウエハの多くの部分を廃棄する必要がある。
これに対し、本実施形態では、ウエハ1を支持基板3に仮固定しているため、厚いウエハ1を良好に研削・研磨することができ、また、ウエハ1の鏡面研磨を行いやすく、量産性が向上する。
従来のダイシングシートを用いた技術では、研削を行う際の加工熱の影響でダイシングシートの温度が高くなり損失正接が大きくなる。そのため、ウエハの割れを生じることなく、基板を薄層化することが難しい。これに対し、本実施形態では、両面テープ2を冷却しながら基板を研削することで、両面テープ2の損失正接が大きくならない。そのため、両面テープ2が研削に適した硬さであるので、安定して研削しやすくなり、ウエハ1の割れの発生を抑制することができる。
両面テープ2の冷却は、例えば、冷気を発生することができる冷却機構に支持基板3を接続したり、冷却機構からの冷気を支持基板3に吹き付けたりすることで支持基板3を冷却することで行うことができる。このようにして支持基板3を冷却することで、支持基板3からの冷気を支持基板3を通して間接的に両面テープ2に伝え、両面テープ2を冷却することができる。
また、例えば、冷却機能を有する真空吸着テーブルを使用し、真空吸着テーブルを冷却して真空吸着テーブルからの冷気を支持基板3を通して間接的に両面テープ2に伝えることで、両面テープ2を冷却することができる。
前記した実施形態では、ウエハ1を複数の発光素子4に個片化した後、発光素子載置テープ5を支持基板3から剥離し、検査・分類工程用のシート60に貼り替えてから、不良の発光素子4を選別して除去することとした。しかしながら、不良の発光素子4を選別する工程は、支持基板3上で行うこととしてもよい。すなわち、図9に示すように、個片化工程S103の後、支持基板分離工程S104の前に、選別工程S202を行ってもよい。
選別工程S202では、予め不良の発光素子4を支持基板3上で選別して、不良の発光素子4を確認しておく。そして、発光素子載置テープ5を支持基板3から剥離した後、予め選別して確認しておいた不良の発光素子4を使用しないようにすることで、結果的に不良の発光素子4を除去することとなる。そのため、検査・分類工程用のシート60に貼り替える必要がなく、工程を簡略化することができる。なお、不良の発光素子4の選別は、発光素子4の映像から画像処理により行うことや、目視により行うなど、従来と同じ方法により行うことができる。
また、ウエハの反りが大きい場合、ダイシングシートにウエハを貼り付ける従来の技術では、製造途中に割れが生じた場合、割れ部が広がりやすい。割れ部が広がると、前記したとおり、種々の問題を生じる。すなわち、ウエハの貼り替えが必要となったり、ウエハの廃棄面積が大きくなったり、ウエハを個片化する際にダイスエッジの傷やブレードの欠けが生じるなどの不具合が生じたりする。その他、ウエハに割断起点部を形成する前に割れ部が広がると、割断起点部の形成が行えなくなる場合がある。特に、CMP(Chemical Mechanical Polishing(化学的機械的研磨))処理や、成膜処理を施したウエハは、反りが大きくなり、割れ部が広がりやすい。
2 両面テープ
3 支持基板
4 発光素子
5 発光素子載置テープ
11 割断起点部
21 アクリル系粘着層
22 基材フィルム
23 熱発泡剤含有粘着層
40 レーザ光
50 ブレード
60 検査・分類工程用のシート
61 粘着層
62 フレーム
70 研削機
A 割断したウエハの一部
Claims (7)
- 基板と半導体層とを備えるウエハの前記半導体層側を常温からの加熱により損失正接が大きくなる両面テープによって支持基板に仮固定する工程と、
前記ウエハに、常温で複数の発光素子に分割するための割断起点部を形成する工程と、
前記両面テープを加熱して、前記支持基板上で前記ウエハを複数の発光素子に個片化する工程と、を含む発光素子の製造方法。 - 前記支持基板に仮固定する工程の後であって、前記ウエハに割断起点部を形成する工程の前に、前記基板を研削によって薄層化する工程を含む請求項1に記載の発光素子の製造方法。
- 前記基板を薄層化する工程は、前記両面テープを冷却しながら前記基板を研削することを特徴とする請求項2に記載の発光素子の製造方法。
- 前記ウエハに割断起点部を形成する工程において、前記支持基板に仮固定されたウエハにレーザ光を照射することで前記ウエハの内部に前記割断起点部を形成する請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記複数の発光素子に個片化する工程の後に、前記複数の発光素子と前記両面テープとを前記支持基板から剥離する工程と、
前記支持基板から剥離する工程の後に、前記複数の発光素子を前記両面テープから剥離する工程と、
を含むことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。 - 前記複数の発光素子に個片化する工程の後であって、前記複数の発光素子と前記両面テープとを前記支持基板から剥離する工程の前に、前記支持基板上で前記個片化されたウエハから不良の発光素子を選別する工程を有する請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記支持基板上で前記ウエハを複数の発光素子に個片化する工程における損失正接が0.3以上である請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
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