JP2019062094A - 赤外線検出器、撮像素子、及び撮像システム - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態に係る赤外線イメージセンサについて、その製造工程を追いながら説明する。
本実施形態では、以下のようにして複数の波長の赤外線を撮像素子が受光できるようにする。
第1実施形態では、図18に示したように、複数の孔24hの各々が延びる方向を第1の方向D1とした。
本実施形態では、第1実施形態とは異なる方法で光電変換層24に孔24hを形成する。
第1実施形態では各々の画素32としてQWIPを形成した。これに対し、本実施形態ではQDIPを各画素32として形成する。
本実施形態では、第1〜第5実施形態で説明した赤外線イメージセンサを備えた撮像システムについて説明する。
を有する赤外線検出器。
前記下面の下に、前記赤外線を反射する凹凸を備えた反射層を更に有することを特徴とする付記1に記載の赤外線検出器。
前記複数の孔のうちの残りの前記孔は、上面視において前記第1の方向に直交する第2の方向に延びることを特徴とする付記1に記載の赤外線検出器。
前記光電変換層は前記赤外線が入射する上面を有し、前記上面に対して斜めに延びた孔が前記光電変換層に形成されたことを特徴とする撮像素子。
前記撮像レンズの後段に設けられた撮像素子とを備え、
前記撮像素子は、
平面内に間隔をおいて複数形成され、各々が赤外線に対して光電変換を行う光電変換層を有する画素を備え、
前記光電変換層は前記赤外線が入射する上面を有し、前記上面に対して斜めに延びた孔が前記光電変換層に形成されたことを特徴とする撮像システム。
Claims (6)
- 赤外線が入射する上面を有すると共に、前記上面に対して斜めに延びた孔が間隔をおいて複数形成され、前記赤外線に対して光電変換を行う光電変換層、
を有する赤外線検出器。 - 前記光電変換層はフォトニック結晶であることを特徴とする請求項1に記載の赤外線検出器。
- 前記複数の孔のうちの一部の前記孔は、上面視において第1の方向に延び、
前記複数の孔のうちの残りの前記孔は、上面視において前記第1の方向に直交する第2の方向に延びることを特徴とする請求項1に記載の赤外線検出器。 - 前記光電変換層は、前記上面に相対する下面を有し、
前記下面の下に、前記赤外線を反射する凹凸を備えた反射層を更に有することを特徴とする請求項1に記載の赤外線検出器。 - 平面内に間隔をおいて複数形成され、各々が赤外線に対して光電変換を行う光電変換層を備えた画素を備え、
前記光電変換層は前記赤外線が入射する上面を有し、前記上面に対して斜めに延びた孔が前記光電変換層に形成されたことを特徴とする撮像素子。 - 撮像レンズと、
前記撮像レンズの後段に設けられた撮像素子とを備え、
前記撮像素子は、
平面内に間隔をおいて複数形成され、各々が赤外線に対して光電変換を行う光電変換層を有する画素を備え、
前記光電変換層は前記赤外線が入射する上面を有し、前記上面に対して斜めに延びた孔が前記光電変換層に形成されたことを特徴とする撮像システム。
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