JP2019057338A - 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】記録密度の向上が可能な磁気ヘッド及び磁気記録再生装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、磁気ヘッドは、第1面を有する磁極と、第1面に沿う第1方向に沿って前記磁極から離れた第1シールドと、前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、を含む。前記積層体は、Fe、Co及びNiからなる群から選択された少なくとも1つを含む磁性層と、前記磁極と前記磁性層との間に設けられ前記磁極及び前記磁性層と接した非磁性の第1導電層と、前記磁性層と前記第1シールドとの間に設けられ前記磁性層及び前記第1シールドと接した非磁性の第2導電層と、を含む。前記第1シールドは、前記第2導電層と接触する第1シールド面を有する。前記第1面に対して垂直な第2方向に沿う前記磁性層の長さの、前記第2方向に沿う前記第1シールド面の長さに対する第1比は、0.1以上である。【選択図】図1

Description

本発明の実施形態は、磁気ヘッド及び磁気記録再生装置に関する。
磁気ヘッドを用いて、HDD(Hard Disk Drive)などの磁気記憶媒体に情報が記録される。磁気ヘッド及び磁気記録再生装置において、記録密度の向上が望まれる。
特開2014−081981号公報
本発明の実施形態は、記録密度の向上が可能な磁気ヘッド及び磁気記録再生装置を提供する。
本発明の実施形態によれば、磁気ヘッドは、第1面を有する磁極と、第1面に沿う第1方向に沿って前記磁極から離れた第1シールドと、前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、を含む。前記積層体は、Fe、Co及びNiからなる群から選択された少なくとも1つを含む磁性層と、前記磁極と前記磁性層との間に設けられ前記磁極及び前記磁性層と接した非磁性の第1導電層と、前記磁性層と前記第1シールドとの間に設けられ前記磁性層及び前記第1シールドと接した非磁性の第2導電層と、を含む。前記第1シールドは、前記第2導電層と接触する第1シールド面を有する。前記第1面に対して垂直な第2方向に沿う前記磁性層の長さの、前記第2方向に沿う前記第1シールド面の長さに対する第1比は、0.1以上である。
図1(a)及び図1(b)は、第1実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。 第1実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的平面図である。 第1実施形態に係る磁気ヘッドの動作を例示する模式図である。 図4(a)〜図4(c)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図5(a)〜図5(c)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図6(a)〜図6(c)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図7(a)〜図7(c)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図8(a)及び図8(b)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図9(a)及び図9(b)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図10(a)及び図10(b)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 図11(a)及び図11(b)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。 実施形態に係る磁気ヘッドの動作を例示する模式図である。 実施形態に係る磁気記録再生装置の一部を例示する模式的斜視図である。 実施形態に係る磁気記録再生装置を例示する模式的斜視図である。 図15(a)及び図15(b)は、実施形態に係る磁気記録再生装置の一部を例示する模式的斜視図である。
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
(第1実施形態)
図1(a)及び図1(b)は、第1実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的断面図である。
図2は、第1実施形態に係る磁気ヘッドを例示する模式的平面図である。
図1(b)は、図1(a)の一部の拡大図である。図2は、図1(b)の矢印AFからみた平面図である。
図1(a)に示すように、実施形態に係る磁気ヘッド110は、磁極30と、第1シールド31と、積層体20と、を含む。この例では、第2シールド32及びコイル30cがさらに設けられている。
第1シールド31と第2シールド32との間に、磁極30が位置する。コイル30cの少なくとも一部は、磁極30と第1シールド31との間に位置する。この例では、コイル30cの一部は、磁極30と第2シールド32との間に位置する。
コイル30cに記録用電気回路(第2電気回路30D)が電気的に接続される。記録用電気回路からコイル30cに記録電流が供給され、磁極30から記録電流に応じた磁界(記録磁界)が生じる。記録磁界が磁気記録媒体80に加わり、磁気記録媒体80に情報が記録される。このように、記録用電気回路(第2電気回路30D)は、記録される情報に対応した電流(記録電流)をコイル30cに供給可能である。
積層体20は、磁極30と第1シールド31との間に設けられる。
磁極30、第1シールド31、第2シールド32、コイル30c及び積層体20の周りに、絶縁部30iが設けられる。
磁極30の端30eに、第1面30Fが設けられる。第1面30Fは、例えば、媒体対向面である。第1面30Fは、磁気ヘッド110のABSに沿う。第1面30Fが磁気記録媒体80に対向する。
第1面30Fに対して垂直な方向をZ軸方向とする。Z軸方向に対して垂直な1つの方向をX軸方向とする。Z軸方向及びX軸方向に対して垂直な方向をY軸方向とする。
Z軸方向は、例えば、ハイト方向である。X軸方向は、例えば、ダウントラック方向である。Y軸方向は、例えば、クロストラック方向である。
第1シールド31は、第1面30Fに沿う第1方向D1に沿って、磁極30から離れる。この例では、第1方向D1は、X軸方向に沿う。
例えば、第1面30Fの近傍において、第1シールド31は、X軸方向に沿って、磁極30から離れる。例えば、第1面30Fの近傍において、磁極30は、X軸方向に沿って第2シールド32から離れる。例えば、第1シールド31の一部は、X軸方向に沿って、磁極30の一部から離れる。例えば、磁極30の一部は、X軸方向に沿って第2シールド32の一部から離れる。X軸方向に実質的に沿って、磁気ヘッド110と磁気記録媒体80とが、相対的に移動する。これにより、磁気記録媒体80の任意の位置に、情報が記録される。
磁極30は、例えば、主磁極である。第1シールド31は、例えば、補助磁極である。第1シールド31は、磁極30とともに、磁気コアを形成可能である。例えば、図示しない、例えば、サイドシールドなどの追加のシールドを含んでよい。
図1(b)に示すように、積層体20は、磁性層25、第1導電層21及び第2導電層22を含む。
磁性層25は、Fe、Co及びNiからなる群から選択された少なくとも1つを含む。磁性層25は、例えば、FeCo層または、FeNi層などである。
第1導電層21は、磁極30と磁性層25との間に設けられる。第1導電層21は、磁極30及び磁性層25と接する。第1導電層21は、非磁性である。第1導電層21は、例えば、非磁性金属層ある。
第2導電層22は、磁性層25と第1シールド31との間に設けられる。第2導電層22は、磁性層25及び第1シールド31と接する。第2導電層22は、非磁性である。第2導電層22は、例えば、非磁性金属層である。
第1導電層21及び第2導電層22の少なくともいずれかは、Cu、Ag、Al及びAuからなる群から選択された少なくとも1つを含む。第1導電層21及び第2導電層22は例えば、Cu層である。
第1導電層21及び第2導電層22のいずれかは、Ta、Pt、W、Ru、Mo、Ir、Rh及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含んでもよい。例えば、第1導電層または第2導電層は、Taを含む。
第1シールド31は、第1シールド面31aを有する。第1シールド面31aは、第2導電層22と対向する。第1シールド面31aは、第2導電層22と接触する。
この例では、第1シールド面31aは、第1面30F(例えば、X−Y平面)に対して傾斜している。磁極30の第1面30Fの近傍において、発生する記録磁界を強めることができる。高密度の記録が安定して可能になる。
磁気ヘッド110において、例えば、第1配線W1及び第2配線W2が設けられる。これらの配線により、積層体20に電流を供給可能である。
この例では、第1配線W1は、磁極30と電気的に接続されている。第2配線W2は第1シールド31と電気的に接続されている。第1配線W1が第1導電層21と電気的に接続されても良い。第2配線W2が、第2導電層22と電気的に接続されても良い。第1配線W1及び第2配線W2は、第1電気回路20Dに電気的に接続される。第1電気回路20Dは、電流を積層体20に供給可能である。
この電流は、例えば、第2導電層22から第1導電層21への向きを有する。この電流が供給された場合、電子流は、第1導電層21から第2導電層22に向かって流れる。電流は第1導電層から第2導電層への向きを有しても良い。
磁性層25の厚さtmは、例えば、4nm(ナノメートル)以上20nm以下である。第1導電層21の厚さt1は、例えば、0.5nm以上10nm以下である。第2導電層22の厚さt2は、例えば、0.5nm以上10nm以下である。これらの厚さは、積層体20の積層方向に沿った長さである。積層方向は、例えば、第1シールド面31aに対して垂直である。
磁極30は、第1方向D1(X軸方向)において積層体20と重なる第1部分P1を含む。一方、第1シールド31は、第1方向D1において積層体20と重なる第2部分P2を含む。第1部分P1と第2部分P2との間の第1方向D1に沿った距離が、ライトギャップWGに対応する。ライトギャップWGは、矢印AFからみたときの、第1部分P1と第2部分P2との間の距離に対応する。
第1面30Fに対して垂直な方向を第2方向D2とする。第2方向D2は、Z軸方向(例えば、ハイト方向)である。第1方向D1に対して垂直で第2方向D2に対して垂直な方向を第3方向D3とする。第3方向D3は、Y軸方向(例えば、クロストラック方向)である。
第2方向D2に沿う磁性層25の長さを磁性層高さhmとする。第2方向D2に沿う第1シールド面31aの長さを第1シールド面高さhsとする。
図2において、第1導電層21、第2導電層22及び絶縁部分は、省略されている。図2に示すように、第3方向D3(Y軸方向)に沿う磁性層25の長さを磁性層幅Wmとする。第3方向D3に沿う磁極の長さを磁極幅Wpとする。既に説明したように、第3方向D3は、第1方向D1(X軸方向)に対して垂直であり、第2方向D2(Z軸方向)に対して垂直である。
既に説明したように、磁気ヘッド110においては、第2導電層22から第1導電層21への向きの電流、または、第1導電層21から第2導電層22への向きの電流を積層体20に供給可能な配線(例えば、第1配線W1及び第2配線W2)を設けることができる。以下に説明するように、電流を積層体20に流すことにより、磁極30から生じる磁界(記録磁界)を磁気記録媒体80に有効に印加することが容易になる。
図3は、第1実施形態に係る磁気ヘッドの動作を例示する模式図である。
コイル30cに記録電流を流すことにより、磁極30から第1シールド31に向かう磁界が生じる。積層体20を設けない第1参考例においては、磁極30から出た磁界の一部は、磁気記録媒体80に向かわずに、直接、第1シールド31に入る。このため、磁界は、磁気記録媒体80に印加され難い。このような現象は、高分解能化を目的としたライトギャップの狭小化において、より顕著となる。一方、図3に示すように、磁気ヘッド110においては、積層体20に電流を流すことで磁性層25の磁化は、磁極30から出た磁界H2の向きとは逆向きの成分を有している。このため、磁極30から出た磁界H2は、磁性層25を通過し難い。磁界H2の多くが、磁気記録媒体80を通過して、第1シールド31に入る。このため、磁界H2は、磁気記録媒体80に印加され易い。ライトギャップを小さくしたときにおいても、磁界H2は、磁気記録媒体80に印加される。
このように、実施形態においては、ライトギャップを小さくしたときにおいても、磁極30から出た磁界H2が直接的に第1シールド31に向かうことが抑制される。その結果、磁極30から出た磁界H2の多くが磁気記録媒体80に向かい、有効な記録磁界が磁気記録媒体80に加わる。これにより、記録密度の向上が可能になる。
一方、磁極30と第1シールド31との間に、スピントルクオシレータ(STO)を設ける第2参考例がある。STOは、2つの磁性層とその間に設けられた非磁性層とを含む。STOから発生する高周波磁界が磁気記録媒体80に印加され、磁気記録媒体80の磁化の強磁性共鳴現象を誘起することで、局所的に記録が容易になる。この効果を用いて、高周波アシスト書き込みが行われる。
これに対して、本実施形態においては、磁極30と第1シールド31との間に設けられる積層体20は、1つの磁性層25を含む。実施形態においては、積層体20から発生する高周波磁界を利用するのではない。実施形態においては、積層体20の磁性層25の磁化を利用して、磁極30から出た磁界H2を有効に磁気記録媒体80に向かわせる。
実施形態においては、磁性層25の磁化は、例えば、積層体20を流れる電流によるスピントルクにより、磁極30から生じる磁界H2とは逆向きの成分を有する。
実施形態に係る磁気ヘッド110において、例えば、磁性層高さhmの第1シールド面高さhsに対する第1比(hm/hs)は、0.1以上である。これにより、後述するように、記録密度の向上が可能な磁気ヘッドを提供できる。
以下、磁気ヘッドの特性に関してのシミュレーション結果について説明する。
シミュレーション(有限要素法による静磁界シミュレーション)においては、上記の、第1シールド面高さhs、磁極幅Wp、ライトギャップWG、磁性層高さhm及び磁性層幅Wmを変えたときの磁気ヘッドの特性が求められる。シミュレーションにおいて、第1シールド面高さhsは、20nm、40nm、または60nmとされる。磁極幅Wpは、40nmまたは60nmとされる。ライトギャップWGは、15nm、18nmまたは20nmとされる。磁性層高さhmは、1nm、5nm、10nm、15nm、20nm、30nm、40nm、60nm、80nmまたは100nmとされる。磁性層幅Wmは、10nm、20nm、30nm、40nm、50nm、60nm、80nmまたは100nmとされる。
シミュレーションにおいては、これらの各種のパラメータを変更したときに、磁気ヘッドから磁気記録媒体80に加わる磁界分布が計算される。
図4(a)〜図4(c)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図4(a)、図4(b)及び図4(c)は、ライトギャップWGが15nm、18nm及び20nmにそれぞれ対応する。これらの図の横軸は、第1比R1である。第1比R1は、磁性層高さhmの第1シールド面高さhsに対する比(hm/hs)である。既に説明したように、磁性層高さhmは、第2方向D2(Z軸方向)に沿う磁性層25の長さである。第1シールド面高さhsは、第2方向D2に沿う第1シールド面31aの長さである。縦軸は、磁界傾度のゲインHGG(%)である。磁界傾度は、オントラック位置(例えば、磁極幅Wpの中心位置)での、第1方向D1に沿う磁界分布における空間的な有効磁界強度の変化率である。この例では、磁界傾度は、有効磁界強度が10kOeとなるときの、ライトギャップWG近傍の有効磁界強度の空間変化率として、算出される。ゲインHGGは、磁性層25を挿入していない以外は同様の構造を持つ磁気ヘッドにおける磁界傾度に対する、磁性層25を含む磁気ヘッド110における磁界傾度の改善率を示す。シミュレーションにおいて、磁気ヘッド110の磁性層25の磁化は、磁性層25の厚さtmの方向に沿う。そして、磁性層25の磁化は、磁性層25を設けない場合に磁極30から第1シールド31へライトギャップWGを介して向かう磁界(ギャップ磁界)と、逆方向の成分を有する。ゲインHGGの値が大きいときに、磁気ヘッドとしての特性が向上し、高密度記録が可能となる。ゲインHGGが高いことが好ましい。
これらの図には、第2比R2が種々の値のときの値が記載されている。第2比R2は、磁性層幅Wmの磁極幅Wpに対する比(Wm/Wp)である。既に説明したように、磁性層幅Wmは、第3方向D3(Y軸方向)に沿う磁性層25の長さである。磁極幅Wpは、第3方向D3に沿う磁極30の長さである。
図4(a)〜図4(c)から分かるように、第1比R1(hm/hs)が低いときにゲインHGGが低い。第1比R1が高いと、ゲインHGGが高くなる。第1比R1が約0.1以上になると、ゲインHGGが急峻に高くなり始める。従って、第1比R1は0.1以上であることが好ましい。これにより、高いゲインHGGが得られる。第1比R1が1を超えると、ゲインHGGの向上は、飽和する傾向がある。
図5(a)〜図5(c)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図5(a)、図5(b)及び図5(c)は、ライトギャップWGが15nm、18nm及び20nmにそれぞれ対応する。これらの図の横軸は、第2比R2である。縦軸は、ゲインHGG(%)である。これらの図には、第1比R1が種々の値のときの値が記載されている。
これらの図から分かるように、第2比R2が上昇するにつれて、ゲインHGGが上昇する。第2比R2が0.5以上において、ゲインHGGの上昇が明確である。第2比R2が1よりも高い領域でもゲインHGGは継続して改善する傾向にある。
図6(a)〜図6(c)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図6(a)、図6(b)及び図6(c)は、第1シールド面高さhsが20nm、40nm及び60nmにそれぞれ対応する。これらの図の横軸は、第1比R1である。縦軸は、ゲインHGG(%)である。これらの図には、第2比R2が種々の値のときの値が記載されている。
これらの図から分かるように、第1比R1(hm/hs)が上昇するにつれて、ゲインHGGが上昇する。第1比R1が約0.1以上になると、ゲインHGGが高くなり始める。従って、第1比R1は0.1以上であることが好ましい。これにより、高いゲインHGGが得られる。第1比R1が1を超えると、ゲインHGGの向上は、飽和する傾向がある。
図7(a)〜図7(c)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図7(a)、図7(b)及び図7(c)は、第1シールド面高さhsが20nm、40nm及び60nmにそれぞれ対応する。これらの図の横軸は、第2比R2である。縦軸は、ゲインHGG(%)である。これらの図には、第1比R1が種々の値のときの値が記載されている。
これらの図から分かるように、第2比R2が上昇するにつれて、ゲインHGGが上昇する。第2比R2が0.5以上において、ゲインHGGの上昇が明確である。第2比R2が1よりも高い領域でもゲインHGGは継続して改善する傾向にある。
図8(a)及び図8(b)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図8(a)及び図8(b)は、磁極幅Wpが40nm及び60nmにそれぞれ対応する。これらの図の横軸は、第1比R1である。縦軸は、ゲインHGG(%)である。これらの図には、第2比R2が種々の値のときの値が記載されている。
これらの図から分かるように、第1比R1(hm/hs)が上昇するにつれて、ゲインHGGが上昇する。第1比R1が約0.1以上になると、ゲインHGGが高くなり始める。従って、第1比R1は0.1以上であることが好ましい。これにより、高いゲインHGGが得られる。第1比R1が1を超えると、ゲインHGGの向上は、実質的に飽和する傾向がある。
図9(a)及び図9(b)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
図9(a)及び図9(b)は、磁極幅Wpが40nm及び60nmにそれぞれ対応する。これらの図の横軸は、第2比R2である。縦軸は、ゲインHGG(%)である。これらの図には、第1比R1が種々の値のときの値が記載されている。
これらの図から分かるように、第2比R2が上昇するにつれて、ゲインHGGが上昇する。第2比R2が0.5以上において、ゲインHGGの上昇が明確である。第2比R2が1よりも高い領域でもゲインHGGは継続して改善する傾向にある。
上記の結果から、実施形態においては、第1比R1は、0.05以上であることが好ましい。これにより、ゲインHGGが得られる。第1比R1は、例えば、1.5以下である。
実施形態において、第1比R1は、0.10以上であることがさらに好ましい。第1比R1は、0.5以上であることがさらに好ましい。第1比R1が高いことでゲインHGGを大きくすることができる。
実施形態において、第1比R1は、1.0以下でも良い。
一方、第2比R2は、0.5以上であることが好ましい。これにより、高いゲインHGGが得られる。第2比R2は、例えば、1.5以下である。
磁極幅Wp(第3方向D3(Y軸方向)に沿う磁極30の長さ)は、例えば、20nm以上60nm以下である。
磁性層幅Wm(第3方向D3(Y軸方向)に沿う磁性層25の長さ)は、例えば、10nm以上100nm以下である。
第1シールド面高さhs(第2方向D2(Z軸方向)に沿う第1シールド面31aの長さ)は、例えば、20nm以上80nm以下である。
磁性層高さhm(第2方向D2(Z軸方向)に沿う磁性層25の長さ)は、例えば、1nm以上100nm以下である。
ライトギャップWG(第1方向(X軸方向)に沿う磁極30と第1シールド31との間の距離)は、例えば、15nm以上20nm以下である。
図10(a)、図10(b)、図11(a)及び図11(b)は、磁気ヘッドの特性を例示するグラフ図である。
LLGシミュレーションにおいて、上記の、第1シールド面高さhs、磁極幅Wp、ライトギャップWG、磁性層高さhm及び磁性層幅Wmを変えたときの磁性層25の磁化反転率MRRを計算することができる。これらの図に結果を示す。全てのシミュレーションにおいて、磁性層25の飽和磁化は1.0Tであり、厚さtmは10nmである。磁性層25における電流密度は、5.5×10A/cmである。
図10(a)及び図10(b)において、横軸は第1比R1である。縦軸は、磁性層25の磁化反転率MRRである。磁化反転率MRRが「1」に近いほど、磁性層25の磁化は、ギャップ磁界に対して大きな反平行成分を有する。
図10(a)では、電流は、第1導電層21から第2導電層22への向きを有する。このとき、第2導電層22の材料として、Taが想定される。図10(a)に示すように、この場合では、第1比R1によらず高い磁化反転率MRRが得られる。
図10(b)では、電流は、第2導電層22から第1導電層21への向きを有する。このとき、第1導電層21の材料として、Taが想定される。図10(b)に示すように、この場合は、第1比R1が1.2を超えると、磁化反転率MRRが急激に劣化する。このため、第1比R1は1.2以下であることが好ましい。
図11(a)及び図11(b)において、横軸は、第2比R2である。縦軸は、磁性層25の磁化反転率MRRである。
図11(a)では、電流は、第1導電層21から第2導電層22への向きを有する。このとき、第2導電層22の材料として、Taが想定される。図11(a)に示すように、この場合では、第2比R2が1.3を超えると、磁化反転率MRRが急激に劣化する。このため、第2比R2は1.3以下であることが好ましい。
図11(b)では、電流は、第2導電層22から第1導電層21への向きを有する。このとき、第1導電層21の材料として、Taが想定される。図11(b)に示す通り、この場合では、第2比R2に対して、磁化反転率MRRに急激な劣化はみられない。
例えば、第1導電層21が、Ta、Pt、W、Ru、Mo、Ir、Rh及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む場合、電流の向きに依存して、磁化反転率MRRの第1比R1の依存性、または、磁化反転率MRRの第2比R2に対する依存性が異なる。例えば、第2導電層22が、Ta、Pt、W、Ru、Mo、Ir、Rh及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む場合、電流の向きに依存して、磁化反転率MRRの第1比R1の依存性、または、磁化反転率MRRの第2比R2に対する依存性が異なる。
第1導電層21及び第2導電層22のいずれかは、例えば、Ta、Pt、W、Ru、Mo、Ir、Rh及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む。例えば、これらの材料においては、スピン拡散長が小さい。このような材料を用いることで、磁性層25の磁化反転効率(例えば磁化反転率MRR)を上昇することができる。
第1導電層21にTaを用いた場合、例えば、磁性層25と第1導電層21の界面において磁性層25に作用するスピントランスファトルクを抑制することができると考えられる。第2導電層22にTaを用いた場合、例えば、磁性層25と第2導電層22との界面において磁性層25に作用するスピントランスファトルクを抑制することができると考えられる。
以下、実施形態に係る磁気ヘッド110の動作の例について説明する。
図12は、実施形態に係る磁気ヘッドの動作を例示する模式図である。
図12に示すように、磁極30と第1シールド31との間に積層体20が設けられる。積層体20において、磁性層25、第1導電層21及び第2導電層22が設けられる。
磁極30のコイル30cに、第2電気回路30D(図1(a)参照)から、記録電流が供給される。これにより、磁極30からギャップ磁界Hg1が発生する。ギャップ磁界Hg1は、積層体20に印加される。
例えば、磁極30の磁化30mおよび第1シールド31の磁化31mは、ギャップ磁界Hg1と略平行である。磁性層25の磁化25mは、ギャップ磁界Hg1と略平行である。
このとき、第1電気回路20Dから積層体20に電流Icが供給される。この例では、第1シールド31及び磁極30を介して、電流Icが積層体20に供給される。電流Icは、例えば、第2導電層22から第1導電層21に向かって流れる。このとき、電子流Jeが流れる。電子流Jeは、第1導電層21から第2導電層22に向かって流れる。
電子流Jeにより、第1導電層21と磁性層25との間の界面において、スピントルク21spが生じる。このスピントルク21spは、透過型である。一方、電子流Jeにより、磁性層25と第2導電層22との間の界面において、スピントルク22spが生じる。スピントルク22spは、反射型である。これらのスピントルクにより、磁性層25の磁化25mは反転する。反転した磁化25mは、図12に示すギャップ磁界Hg1に対して反平行な成分を有する。
電流Icは、例えば、第1導電層から第2導電層に向かって流れても良い。このとき、図12に示すスピントルク21spの向き及びスピントルク22spの向きが反転する。スピントルク21spは反射型であり、スピントルク22spは透過型である。
このように、実施形態においては、磁性層25の磁化25mが、磁性層25に電流Icを通電していない場合に磁極30から生じる磁界(ギャップ磁界Hg1)とは反対の向きを有する。このような磁化25mにより、磁極30から生じる磁界を、磁気記録媒体80に有効に印加することができる。
実施形態において、例えば、第1導電層21と第2導電層22との間(例えば、磁極30と第1シールド31との間)に電流Icを流したときに、磁性層25の磁化25mは、電流Icを流していない場合に磁極30から生じる磁界(ギャップ磁界Hg1)とは逆方向の成分を含む。
例えば、実施形態において、第1導電層21と第2導電層22との間に第1電流(電流Icでも良い)を流したときの磁極30と第2導電層22との間の電気抵抗は、第1導電層21と第2導電層22との間にその第1電流を流さないときの磁極30と第2導電層22との間の電気抵抗とは異なる。
例えば、実施形態において、第1導電層21と第2導電層22との間に第1電流を流したときの第1シールド31と第1導電層21との間の電気抵抗は、第1導電層21と第2導電層22との間にその第1電流を流さないときの第1シールド31と第1導電層21との間の電気抵抗とは異なる。
例えば、磁極30と第1シールド31との間に、第1導電層21、磁性層25及び第2導電層22を介して第1電流を流している場合の積層体20の電気抵抗は、第1電流を流さない場合の積層体20の電気抵抗と異なる。
上記の電気抵抗の差は、例えば、磁気抵抗効果に基づく。
以下、本実施形態に係る磁気記録再生装置の例について説明する。
図13は、実施形態に係る磁気記録再生装置の一部を例示する模式的斜視図である。
図13は、ヘッドスライダを例示している。
磁気ヘッド110は、ヘッドスライダ159に設けられる。ヘッドスライダ159は、例えばAl/TiCなどを含む。ヘッドスライダ159は、磁気記録媒体の上を、浮上または接触しながら、磁気記録媒体に対して相対的に運動する。
ヘッドスライダ159は、例えば、空気流入側159A及び空気流出側159Bを有する。磁気ヘッド110は、ヘッドスライダ159の空気流出側159Bの側面などに配置される。これにより、磁気ヘッド110は、磁気記録媒体の上を浮上または接触しながら磁気記録媒体に対して相対的に運動する。
図14は、実施形態に係る磁気記録再生装置を例示する模式的斜視図である。
図15(a)及び図15(b)は、実施形態に係る磁気記録再生装置の一部を例示する模式的斜視図である。
図14に示すように、実施形態に係る磁気記録再生装置150においては、ロータリーアクチュエータが用いられる。記録用媒体ディスク180は、スピンドルモータ180Mに装着される。記録用媒体ディスク180は、スピンドルモータ180Mにより矢印ARの方向に回転する。スピンドルモータ180Mは、駆動装置制御部からの制御信号に応答する。本実施形態に係る磁気記録再生装置150は、複数の記録用媒体ディスク180を備えても良い。磁気記録再生装置150は、記録媒体181を含んでもよい。記録媒体181は、例えば、SSD(Solid State Drive)である。記録媒体181には、例えば、フラッシュメモリなどの不揮発性メモリが用いられる。例えば、磁気記録再生装置150は、ハイブリッドHDD(Hard Disk Drive)でも良い。
ヘッドスライダ159は、記録用媒体ディスク180に記録する情報の、記録及び再生を行う。ヘッドスライダ159は、薄膜状のサスペンション154の先端に設けられる。ヘッドスライダ159の先端付近に、実施形態に係る磁気ヘッドが設けられる。
記録用媒体ディスク180が回転すると、サスペンション154による押し付け圧力と、ヘッドスライダ159の媒体対向面(ABS)で発生する圧力と、がバランスする。ヘッドスライダ159の媒体対向面と、記録用媒体ディスク180の表面と、の間の距離が、所定の浮上量となる。実施形態において、ヘッドスライダ159は、記録用媒体ディスク180と接触しても良い。例えば、接触走行型が適用されても良い。
サスペンション154は、アーム155(例えばアクチュエータアーム)の一端に接続されている。アーム155は、例えば、ボビン部などを有する。ボビン部は、駆動コイルを保持する。アーム155の他端には、ボイスコイルモータ156が設けられる。ボイスコイルモータ156は、リニアモータの一種である。ボイスコイルモータ156は、例えば、駆動コイル及び磁気回路を含む。駆動コイルは、アーム155のボビン部に巻かれる。磁気回路は、永久磁石及び対向ヨークを含む。永久磁石と対向ヨークとの間に、駆動コイルが設けられる。サスペンション154は、一端と他端とを有する。磁気ヘッドは、サスペンション154の一端に設けられる。アーム155は、サスペンション154の他端に接続される。
アーム155は、ボールベアリングによって保持される。ボールベアリングは、軸受部157の上下の2箇所に設けられる。アーム155は、ボイスコイルモータ156により回転及びスライドが可能である。磁気ヘッドは、記録用媒体ディスク180の任意の位置に移動可能である。
図15(a)は、磁気記録再生装置の一部の構成を例示しており、ヘッドスタックアセンブリ160の拡大斜視図である。
また、図15(b)は、ヘッドスタックアセンブリ160の一部となる磁気ヘッドアセンブリ(ヘッドジンバルアセンブリ:HGA)158を例示する斜視図である。
図15(a)に示すように、ヘッドスタックアセンブリ160は、軸受部157と、ヘッドジンバルアセンブリ158と、支持フレーム161と、を含む。ヘッドジンバルアセンブリ158は、軸受部157から延びる。支持フレーム161は、軸受部157から延びる。支持フレーム161の延びる方向は、ヘッドジンバルアセンブリ158の延びる方向とは逆である。支持フレーム161は、ボイスコイルモータ156のコイル162を支持する。
図15(b)に示すように、ヘッドジンバルアセンブリ158は、軸受部157から延びたアーム155と、アーム155から延びたサスペンション154と、を有している。
サスペンション154の先端には、ヘッドスライダ159が設けられる。ヘッドスライダ159に、実施形態に係る磁気ヘッドが設けられる。
実施形態に係る磁気ヘッドアセンブリ(ヘッドジンバルアセンブリ)158は、実施形態に係る磁気ヘッドと、磁気ヘッドが設けられたヘッドスライダ159と、サスペンション154と、アーム155と、を含む。ヘッドスライダ159は、サスペンション154の一端に設けられる。アーム155は、サスペンション154の他端と接続される。
サスペンション154は、例えば、信号の記録及び再生用のリード線(図示しない)を有する。サスペンション154は、例えば、浮上量調整のためのヒーター用のリード線(図示しない)を有しても良い。サスペンション154は、例えばスピントルク発振子用などのためのリード線(図示しない)を有しても良い。これらのリード線と、磁気ヘッドに設けられた複数の電極と、が電気的に接続される。
磁気記録再生装置150において、信号処理部190が設けられる。信号処理部190は、磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体への信号の記録及び再生を行う。信号処理部190は、信号処理部190の入出力線は、例えば、ヘッドジンバルアセンブリ158の電極パッドに接続され、磁気ヘッドと電気的に接続される。
本実施形態に係る磁気記録再生装置150は、磁気記録媒体と、実施形態に係る磁気ヘッドと、可動部と、位置制御部と、信号処理部と、を含む。可動部は、磁気記録媒体と磁気ヘッドとを離間させ、または、接触させた状態で相対的に移動可能とする。位置制御部は、磁気ヘッドを磁気記録媒体の所定記録位置に位置合わせする信号処理部は、磁気ヘッドを用いた磁気記録媒体への信号の記録及び再生を行う。
例えば、上記の磁気記録媒体として、記録用媒体ディスク180が用いられる。上記の可動部は、例えば、ヘッドスライダ159を含む。上記の位置制御部は、例えば、ヘッドジンバルアセンブリ158を含む。
本実施形態に係る磁気記録再生装置150は、磁気記録媒体と、実施形態に係る磁気ヘッドアセンブリと、磁気ヘッドアセンブリに設けられた磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体への信号の記録及び再生を行う信号処理部と、を備える。
実施形態は、以下の構成(技術案)を含んでも良い。
(構成1)
第1面を有する磁極と、
第1面に沿う第1方向に沿って前記磁極から離れた第1シールドと、
前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
を備え、
前記積層体は、
Fe、Co及びNiからなる群から選択された少なくとも1つを含む磁性層と、
前記磁極と前記磁性層との間に設けられ前記磁極及び前記磁性層と接した非磁性の第1導電層と、
前記磁性層と前記第1シールドとの間に設けられ前記磁性層及び前記第1シールドと接した非磁性の第2導電層と、
を含み、
前記第1シールドは、前記第2導電層と接触する第1シールド面を有し、
前記第1面に対して垂直な第2方向に沿う前記磁性層の長さの、前記第2方向に沿う前記第1シールド面の長さに対する第1比は、0.1以上である、磁気ヘッド。
(構成2)
前記第1方向に対して垂直で前記第2方向に対して垂直な第3方向に沿う前記磁性層の長さの、前記第3方向に沿う前記磁極の長さに対する第2比は、0.5以上である、構成1記載の磁気ヘッド。
(構成3)
前記第1比が、1.2以下である、構成1または2に記載の磁気ヘッド。
(構成4)
前記第1導電層は、Ta、Pt、W、Ru、Mo、Ir、Rh及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成1〜3のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成5)
前記第2導電層から前記第1導電層へ向かう向きに電流を通電可能な、構成1〜4のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成6)
前記第2比が、1.3以下である、構成1または2に記載の磁気ヘッド。
(構成7)
前記第2導電層は、Ta、Pt、W、Ru、Mo、Ir、Rh及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成1、構成2、または、構成6に記載の磁気ヘッド。
(構成8)
前記第1導電層から前記磁性層を介して前記第2導電層へ向かう方向に電流を通電可能な、構成1、構成2、構成6、または構成7に記載の磁気ヘッド。
(構成9)
前記第2方向に沿う前記磁性層の前記長さは、1nm以上100nm以下である、構成1〜8のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成10)
前記第3方向に沿う前記磁性層の前記長さは、10nm以上100nm以下である、構成2記載の磁気ヘッド。
(構成11)
前記第1導電層及び前記第2導電層の少なくともいずれかは、Cu、Ag、Al及びAuからなる群から選択された少なくとも1つを含む、構成1〜3のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成12)
前記第1シールド面に対して垂直な方向に沿う前記磁性層の厚さは、4nm以上20nm以下である、構成1〜11のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成13)
前記第1シールド面に対して垂直な方向に沿う前記第1導電層の厚さ、及び、前記第1シールド面に対して垂直な前記方向に沿う第2導電層の厚さのそれぞれは、0.5nm以上10nm以下である構成1〜11のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成14)
前記第1導電層と前記第2導電層との間に電流を流したときに、前記磁性層の磁化は、前記磁極から生じる磁界とは逆方向の成分を含む、構成1〜13のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成15)
前記第1導電層と前記第2導電層との間に第1電流を流したときの前記磁極と前記第2導電層との間の電気抵抗は、前記第1導電層と前記第2導電層との間に前記第1電流を流さないときの前記磁極と前記第2導電層との間の電気抵抗とは異なる、構成1〜14のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成16)
前記第1導電層と前記第2導電層との間に第1電流を流したときの前記第1シールドと前記第1導電層との間の電気抵抗は、前記第1導電層と前記第2導電層との間に前記第1電流を流さないときの前記第1シールドと前記第1導電層との間の電気抵抗とは異なる、構成1〜14のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成17)
前記磁極と前記第1シールドとの間に第1電流を流したときの前記磁極と前記第1シールドとの間の電気抵抗は、前記磁極と前記第1シールドとの間に前記第1電流を流さないときの前記磁極と前記第1シールドとの間の電気抵抗とは異なる、構成1〜14のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
(構成18)
構成1〜17のいずれか1つに記載の磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドにより情報が記録される磁気記録媒体と、
前記第1導電層、前記磁性層及び前記第2導電層を含む積層体に電流を供給可能な電気回路と、
を備えた磁気記録再生装置。
実施形態によれば、記録密度の向上が可能な磁気ヘッド及び磁気記録再生装置が提供できる。
本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、磁気ヘッドに含まれる磁極、第1シールド、第2シールド、積層体、磁性層、導電層及び配線などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述した磁気ヘッド及び磁気記録再生装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての磁気ヘッド及び磁気記録再生装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
20…積層体、 20D…第1電気回路、 21…第1導電層、 21sp…スピントルク、 22…第2導電層、 22sp…スピントルク、 25…磁性層、 25m…磁化、 30…磁極、 30D…第2電気回路、 30F…第1面、 30c…コイル、 30e…端、 30i…絶縁部、 30m…磁化、 31…第1シールド、 31a…第1シールド面、 31m…磁化、 32…第2シールド、 80…磁気記録媒体、 110…磁気ヘッド、 150…磁気記録再生装置、 154…サスペンション、 155…アーム、 156…ボイスコイルモータ、 157…軸受部、 158…ヘッドジンバルアセンブリ、 159…ヘッドスライダ、 159A…空気流入側、 159B…空気流出側、 160…ヘッドスタックアセンブリ、 161…支持フレーム、 162…コイル、 180…記録用媒体ディスク、 180M…スピンドルモータ、 181…記録媒体、 190…信号処理部、 AF、AR…矢印、 D1〜D3…第1方向、 H2…磁界、 HGG…ゲイン、 Hg1…ギャップ磁界、 Ic…電流、 Je…電子流、 MRR…磁化反転率、 P1、P2…第1、第2部分、 R1、R2…第1、第2比、 W1、W2…第1、第2配線、 WG…ライトギャップ、 Wm…磁性層幅、 Wp…磁極幅、 hm…磁性層高さ、 hs…第1シールド面高さ、 t1、t2、tm…厚さ

Claims (10)

  1. 第1面を有する磁極と、
    第1面に沿う第1方向に沿って前記磁極から離れた第1シールドと、
    前記磁極と前記第1シールドとの間に設けられた積層体と、
    を備え、
    前記積層体は、
    Fe、Co及びNiからなる群から選択された少なくとも1つを含む磁性層と、
    前記磁極と前記磁性層との間に設けられ前記磁極及び前記磁性層と接した非磁性の第1導電層と、
    前記磁性層と前記第1シールドとの間に設けられ前記磁性層及び前記第1シールドと接した非磁性の第2導電層と、
    を含み、
    前記第1シールドは、前記第2導電層と接触する第1シールド面を有し、
    前記第1面に対して垂直な第2方向に沿う前記磁性層の長さの、前記第2方向に沿う前記第1シールド面の長さに対する第1比は、0.1以上である、磁気ヘッド。
  2. 前記第1方向に対して垂直で前記第2方向に対して垂直な第3方向に沿う前記磁性層の長さの、前記第3方向に沿う前記磁極の長さに対する第2比は、0.5以上である、請求項1記載の磁気ヘッド。
  3. 前記第1導電層は、Ta、Pt、W、Ru、Mo、Ir、Rh及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項1または2に記載の磁気ヘッド。
  4. 前記第2導電層から前記第1導電層へ向かう向きに電流を通電可能な、請求項1〜3のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
  5. 前記第2比が、1.3以下である、請求項1または2に記載の磁気ヘッド。
  6. 前記第2導電層は、Ta、Pt、W、Ru、Mo、Ir、Rh及びPdからなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項1、請求項2、または、請求項5に記載の磁気ヘッド。
  7. 前記第1導電層から前記磁性層を介して前記第2導電層へ向かう方向に電流を通電可能な、請求項1、請求項2、請求項5、または請求項6に記載の磁気ヘッド。
  8. 前記第1導電層及び前記第2導電層の少なくともいずれかは、Cu、Ag、Al及びAuからなる群から選択された少なくとも1つを含む、請求項1〜3のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
  9. 前記磁極と前記第1シールドとの間に第1電流を流したときの前記磁極と前記第1シールドとの間の電気抵抗は、前記磁極と前記第1シールドとの間に前記第1電流を流さないときの前記磁極と前記第1シールドとの間の電気抵抗とは異なる、請求項1〜8のいずれか1つに記載の磁気ヘッド。
  10. 請求項1〜9のいずれか1つに記載の磁気ヘッドと、
    前記磁気ヘッドにより情報が記録される磁気記録媒体と、
    前記第1導電層、前記磁性層及び前記第2導電層を含む積層体に電流を供給可能な電気回路と、
    を備えた磁気記録再生装置。
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