JP2019048853A - Ｈｆとの１，３，３，３−テトラフルオロプロペンのプロセス共沸混合物 - Google Patents

Ｈｆとの１，３，３，３−テトラフルオロプロペンのプロセス共沸混合物 Download PDF

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Abstract

【課題】ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）の製造における中間体として有用な共沸性及び共沸混合物様の組成物の提供。【解決手段】次の３種類のブレンド：（１）トランス−１，３，３，３−テトラフルオロプロペン（ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ））、シス−１，３，３，３−テトラフルオロプロペン（ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ））、及びフッ化水素（ＨＦ）；（２）ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）、１，１，１，３，３−ペンタフルオロプロパン（ＨＦＣ−２４５ｆａ）、及びＨＦ；並びに（３）ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、ＨＦＣ−２４５ｆａ、及びＨＦ；の共沸性及び共沸混合物様の組成物。これらの共沸性及び共沸混合物様の組成物は、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）の製造における中間体として有用である。【選択図】なし

Description

本発明は、次の３種類のブレンド：
１．トランス−１，３，３，３−テトラフルオロプロペン（ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ））、シス−１，３，３，３−テトラフルオロプロペン（ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ））、及びフッ化水素（ＨＦ）；
２．ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）、１，１，１，３，３−ペンタフルオロプロパン（ＨＦＣ−２４５ｆａ）、及びＨＦ；並びに
３．ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、ＨＦＣ−２４５ｆａ、及びＨＦ；
の共沸性及び共沸混合物様の組成物に関する。
より詳しくは、本発明は、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）の製造における中間体として有用なかかる共沸性及び共沸混合物様の組成物に関する。
トリクロロフルオロメタン及びジクロロジフルオロメタンのようなクロロフルオロカーボン（ＣＦＣ）は、伝統的に冷媒、発泡剤、及びガス滅菌用の希釈剤として用いられている。近年においては、全ハロゲン化クロロフルオロカーボンは地球のオゾン層に対して有害である可能性があるという一般的な懸念が存在する。したがって、成層圏により安全なこれらの材料に対する代替物が望まれている。したがって、塩素置換基をより少ししか含まないか又は全く含まないフッ素置換炭化水素を用いる世界的な努力が存在する。ＨＦＣ、即ち炭素、水素、及びフッ素のみを含む化合物の製造は、溶媒、発泡剤、冷媒、洗浄剤、エアゾール噴射剤、熱伝達媒体、誘電体、消火組成物、及び動力サイクル作動流体として用いるための環境的に望ましい製品を与えるための興味深い主題である。フッ化水素を種々のヒドロクロロカーボン化合物と反応させることによってＨＦＣのようなフルオロカーボンを製造することが、当該技術において公知である。かかるＨＦＣは、非オゾン層破壊性ではないので、ヒドロクロロフルオロカーボン（ＨＣＦＣ）又はクロロフルオロカーボン（ＣＦＣ）よりも遙かにより環境的に有利であると考えられるだけでなく、これらはまた、塩素含有化合物と比べて非燃焼性及び非毒性でもある。
ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）は、トランス−１，３，３，３−テトラフルオロプロペンとしても知られており、Honeywellの新しい低地球温暖化係数（ＧＷＰ）の第４世代の発
泡剤及び噴射剤である。この低ＧＷＰ分子は、これらの産業中に商業化された最初のヒドロフルオロオレフィン（ＨＦＯ）である。この分子は、その非常に低い地球温暖化係数及びゼロのオゾン層破壊係数（ＯＤＰ）によって評価される低い環境影響を有する。ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）発泡剤は、欧州連合のＦ−ガス規制に完全に適合している。室温において気体の材料として、この分子は、ポリウレタン、ポリスチレン、及び他のポリマー用の発泡剤；並びにエアゾール噴射剤などとしての種々の用途を有する。
米国特許公開２００８００５１６１１においては、１，１，１，３，３−ペンタフルオロプロパン（ＨＦＣ−２４５ｆａ）をトランス−１，３，３，３−テトラフルオロプロペン（ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ））に転化させるプロセスが与えられている。ＨＦＣ−２４５ｆａを脱フッ化水素化して、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）、シス−１，３，３，３−テトラフルオロプロペン（ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ））、ＨＦＣ−２４５ｆａ、及びフッ化水素（ＨＦ）の混合物を生成させる。ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）は、１成分フォームにおける有用な発泡剤として開示されている。
ここで、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）／ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）／ＨＦ、ＨＦＯ−
１２３４ｚｅ（Ｅ）／ＨＦＣ−２４５ｆａ／ＨＦ、及びＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）／ＨＦＣ−２４５ｆａ／ＨＦの共沸性又は共沸混合物様の組成物が、実質的に純粋なＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）の製造における重要な中間体であることが見出された。これらの中間体は、形成されたら、その後に公知の抽出技術によってその成分部分に分離することができる。この共沸性及び共沸混合物様の組成物は、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）の製造における中間体としての用途が見出されるだけでなく、これらは更に、電子産業において半導体をエッチするための非水性エッチャント混合物、並びに金属から表面酸化を除去するための組成物として有用である。これらの三元共沸混合物又は共沸混合物様の組成物は、それらの成分部分に分離するために使用することができる。
米国特許公開２００８００５１６１１
本発明は、次の３種類のブレンド：
１．ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、及びＨＦ；
２．ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）、ＨＦＣ−２４５ｆａ、ＨＦ；並びに
３．ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、ＨＦＣ−２４５ｆａ、及びＨＦ；
の実質的に１つから構成される共沸性又は共沸混合物様の組成物を提供する。
本発明は更に、約１〜約３０重量％のフッ化水素、約１〜３０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、及び約５０〜約９９重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）から実質的に構成されるブレンドを形成して、それによって約３０ｐｓｉａ〜約２１１ｐｓｉａの圧力において約０℃〜約６０℃の沸点を有する共沸性又は共沸混合物様の組成物を形成することを含む、共沸性又は共沸混合物様の組成物の形成方法を提供する。
本発明はまた、約１〜約３０重量％のフッ化水素、約１０〜７０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）、及び約１０〜約６０重量％のＨＦＣ−２４５ｆａから実質的に構成されるブレンドを形成して、それによって約２４ｐｓｉａ〜約１７５ｐｓｉａの圧力において約０℃〜約６０℃の沸点を有する共沸性又は共沸混合物様の組成物を形成することを含む、共沸性又は共沸混合物様の組成物の形成方法を提供する。
本発明はまた、約１〜約３０重量％のフッ化水素、約２０〜８０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、及び約１０〜約６０重量％のＨＦＣ−２４５ｆａから実質的に構成されるブレンドを形成して、それによって約９ｐｓｉａ〜約１０５ｐｓｉａの圧力において約０℃〜約６０℃の沸点を有する共沸性又は共沸混合物様の組成物を形成することを含む、共沸性又は共沸混合物様の組成物の形成方法を提供する。
本発明はまた、まず、硫酸、水、及び／又は苛性水溶液のような塩基性溶液を用いて共沸混合物からＨＦを抽出して、ＨＦを抽出するか又はＨＦと反応させることによって、上述の共沸混合物からＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、及び／又はＨＦＣ−２４５ｆａ、或いはこれらの混合物を精製するために取り出す方法も提供する。残留するＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、及びＨＦＣ−２４５ｆａの二元又は三元混合物は、次に蒸留又は他の通常的に用いられる分離技術によって純粋な成分に分離することができる。
ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）／ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）／ＨＦＣ−２４５ｆａ、及びＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）／ＨＦＣ−２４５ｆａは、
ＨＦと共沸性及び共沸混合物様の混合物を形成する。流体の熱力学的状態は、圧力、温度、液体組成、及び蒸気組成によって規定される。真の共沸性組成物に関しては、規定された温度及び圧力範囲において液体組成と蒸気相が実質的に等しい。実際面では、これは成分を相変化中に分離することができないことを意味する。本発明の目的のためには、共沸混合物は、周囲の混合物の組成物の沸点に対して最高又は最低の沸点を示す液体混合物である。
共沸混合物又は共沸混合物様の組成物は、与えられた圧力下において液体形態である場合に実質的に一定の温度において沸騰し、その温度が成分の沸点よりも高いか又は低い可能性があり、沸騰している液体組成物と実質的に同一の蒸気組成を与える２以上の異なる成分の混合物である。
本発明の目的のためには、共沸性組成物は、共沸混合物様の組成物、即ち共沸混合物のように挙動し、即ち一定の沸点特性を有するか、或いは沸騰又は蒸発させることによって分別されない傾向を有する組成物を包含するように定義される。而して、沸騰又は蒸発中に形成される蒸気の組成は、元の液体組成物と同じか又は実質的に同じである。したがって、沸騰又は蒸発中においては、液体の組成は、変化するとしても、最小又は無視できる程度までしか変化しない。これは、沸騰又は蒸発中に液体の組成が相当程度まで変化する非共沸混合物様の組成物とは対照的である。
共沸混合物又は共沸混合物様の組成物の重要な特徴は、与えられた圧力において、液体組成物の沸点が一定であり、沸騰している組成物の上方の蒸気の組成が、実質的に、沸騰している液体組成物のものであり、即ち、液体組成物の成分の分別が実質的に起こらないことである。共沸性組成物のそれぞれの成分の沸点及び重量％は両方とも、共沸混合物又は共沸混合物様の液体組成物を異なる圧力において沸騰にかけると変化する可能性がある。而して、共沸混合物又は共沸混合物様の組成物は、その成分間に存在する関係の観点、又は成分の組成範囲の観点、又は規定圧力における一定の沸点によって特徴付けられる組成物のそれぞれの成分の実際の重量％の観点で規定することができる。
本発明は、共沸性又は共沸混合物様の組成物を形成するのに有効な量の、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）／ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）／ＨＦＣ−２４５ｆａ、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）／ＨＦＣ−２４５ｆａとＨＦを含む組成物を提供する。有効量とは、他の成分と混合した際に共沸混合物又は共沸混合物様の混合物を形成するそれぞれの成分の量を意味する。本発明組成物は、好ましくは、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）／ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）／ＨＦＣ−２４５ｆａ、ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）／ＨＦＣ−２４５ｆａとＨＦとの組合せから実質的に構成される三元共沸混合物である。
本発明はまた、約１〜約３０重量％のフッ化水素、約１０〜７０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）、及び約１０〜約６０重量％のＨＦＣ−２４５ｆａから実質的に構成されるブレンドを形成して、それによって約２５ｐｓｉａ〜約１８０ｐｓｉａの圧力において約０℃〜約６０℃の沸点を有する共沸性又は共沸混合物様の組成物を形成することを含む、共沸性又は共沸混合物様の組成物の形成方法を提供する。
本発明はまた、約１〜約３０重量％のフッ化水素、約２０〜約８０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、及び約１０〜約６０重量％のＨＦＣ−２４５ｆａから実質的に構成されるブレンドを形成して、それによって約９ｐｓｉａ〜約１０５ｐｓｉａの圧力において約０℃〜約６０℃の沸点を有する共沸性又は共沸混合物様の組成物を形成することを含む、共沸性又は共沸混合物様の組成物の形成方法を提供する。
好ましい態様においては、本発明組成物は、共沸性又は共沸混合物様の組成物の重量を基準として、約１〜約３０重量％のＨＦ、及び約１〜約３０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、並びに５０〜約９９重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）を含む。ここでは、本発明の組成物は、好ましくは約３０ｐｓｉａ〜約２１１ｐｓｉａの圧力においておよそ０℃〜約６０℃の沸点を有する。一態様においては、これは、約３５±５ｐｓｉａの圧力において約０℃の沸点を有する。他の態様においては、これは、約８１±５ｐｓｉａの圧力において約２５℃の沸点を有する。他の態様においては、これは、約２０６±５ｐｓｉａの圧力において約６０℃の沸点を有する。
好ましい態様においては、本発明組成物は、共沸性又は共沸混合物様の組成物の重量を基準として、約１〜約３０重量％のＨＦ、及び約１０〜約７０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）、並びに１０〜約６０重量％のＨＦＣ−２４５ｆａを含む。ここでは、本発明の組成物は、好ましくは約２４ｐｓｉａ〜約１７５ｐｓｉａの圧力においておよそ０℃〜約６０℃の沸点を有する。一態様においては、これは、約２８±４ｐｓｉａの圧力において約０℃の沸点を有する。他の態様においては、これは、約６５±５ｐｓｉａの圧力において約２５℃の沸点を有する。他の態様においては、これは、約１７０±５ｐｓｉａの圧力において約６０℃の沸点を有する。
好ましい態様においては、本発明組成物は、共沸性又は共沸混合物様の組成物の重量を基準として、約１〜約３０重量％のＨＦ、及び約２０〜約８０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、並びに１０〜約６０重量％のＨＦＣ−２４５ｆａを含む。ここでは、本発明の組成物は、好ましくは約９ｐｓｉａ〜約１０５ｐｓｉａの圧力においておよそ０℃〜約６０℃の沸点を有する。一態様においては、これは、約１３±４ｐｓｉａの圧力において約０℃の沸点を有する。他の態様においては、これは、約３５±５ｐｓｉａの圧力において約２５℃の沸点を有する。他の態様においては、これは、約１００±５ｐｓｉａの圧力において約６０℃の沸点を有する。
以下の非限定的な実施例は本発明を例示するように働く。
実施例１：
９８．４重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）及び１．６重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）の混合物を調製した。０℃、２５℃、及び６０℃付近の温度において、混合物の圧力を測定した。ＨＦを漸増的に加え、三元混合物の０℃、２５℃、及び６０℃の温度における圧力を測定し、表１に示す。表１中のデータは、ＨＦの濃度が増加するにつれて、圧力が上昇し、次に安定する（これは不均一共沸混合物様混合物の形成を示した）ことを示す。最終濃度の不均一共沸混合物からの蒸気試料を分析して、共沸性濃度が３．３重量％のＨＦであったことが示された。
Figure 2019048853
実施例２：
６５．３３重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）及び３４．６７重量％のＨＦＣ−２４５ｆａの混合物を調製した。０℃、２５℃、及び６０℃付近の温度において、混合物の圧力を測定した。ＨＦを漸増的に加え、三元混合物の０℃、２５℃、及び６０℃の温度における圧力を測定し、表２に示す。表２中のデータは、ＨＦの濃度が増加するにつれて、圧力が上昇し、次に安定する（これは不均一共沸混合物様混合物の形成を示した）ことを示す。最終濃度の不均一共沸混合物からの蒸気試料を分析して、共沸性濃度が４．９７重量％のＨＦであったことが示された。
Figure 2019048853
実施例３：
６０．９重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）及び３９．１重量％のＨＦＣ−２４５ｆａの混合物を調製した。０℃、２５℃、及び６０℃付近の温度において、混合物の圧力を測定した。ＨＦを漸増的に加え、三元混合物の０℃、２５℃、及び６０℃の温度における圧力を測定し、表３に示す。表３中のデータは、ＨＦの濃度が増加するにつれて、圧力が上昇し、次に安定する（これは不均一共沸混合物様混合物の形成を示した）ことを示す。最終濃度の不均一共沸混合物からの蒸気試料を分析して、共沸性濃度が１２．４５重量％のＨＦであったことが示された。
Figure 2019048853
好ましい態様を参照して本発明を特に示し且つ記載したが、発明の範囲から逸脱することなく種々の変更及び修正を行うことができることは当業者に容易に認められるであろう。特許請求の範囲は、開示されている態様、上記で議論したこれらの代替物、及びこれらに対する全ての均等物をカバーするように解釈すると意図される。
好ましい態様を参照して本発明を特に示し且つ記載したが、発明の範囲から逸脱することなく種々の変更及び修正を行うことができることは当業者に容易に認められるであろう。特許請求の範囲は、開示されている態様、上記で議論したこれらの代替物、及びこれらに対する全ての均等物をカバーするように解釈すると意図される。
本発明は以下の態様を含む。
［１］
トランス−１，３，３，３−テトラフルオロプロペン（ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ））、シス−１，３，３，３−テトラフルオロプロペン（ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ））、及びフッ化水素（ＨＦ）から実質的に構成される共沸性又は共沸混合物様の組成物。
［２］
約１〜約３０重量％のフッ化水素、約１〜３０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、及び約５０〜約９９重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）から実質的に構成され、約３０ｐｓｉａ〜約２１１ｐｓｉａの圧力において約０℃〜約６０℃の沸点を有する、［１］に記載の共沸性又は共沸混合物様の組成物。
［３］
約３５±５ｐｓｉａの圧力において約０℃の沸点を有する、［２］に記載の組成物。
［４］
約８１±５ｐｓｉａの圧力において約２５℃の沸点を有する、［２］に記載の組成物。
［５］
約２０６±５ｐｓｉａの圧力において約６０℃の沸点を有する、［２］に記載の組成物。
［６］
約１〜約３０重量％のフッ化水素、約１〜３０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、及び約５０〜約９９重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）から実質的に構成されるブレンドを形成して、それによって約３０ｐｓｉａ〜約２１１ｐｓｉａの圧力において約０℃〜約６０℃の沸点を有する共沸性又は共沸混合物様の組成物を形成することを含む、共沸性又は共沸混合物様の組成物の形成方法。
［７］
約１〜約３０重量％のフッ化水素、約１０〜７０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）、及び約１０〜約６０重量％のＨＦＣ−２４５ｆａから実質的に構成されるブレンドを形成して、それによって約２４ｐｓｉａ〜約１７５ｐｓｉａの圧力において約０℃〜約６０℃の沸点を有する共沸性又は共沸混合物様の組成物を形成することを含む、共沸性又は共沸混合物様の組成物の形成方法。
［８］
約１〜約３０重量％のフッ化水素、約２０〜８０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、及び約１０〜約６０重量％のＨＦＣ−２４５ｆａから実質的に構成されるブレンドを形成して、それによって約９ｐｓｉａ〜約１０５ｐｓｉａの圧力において約０℃〜約６０℃の沸点を有する共沸性又は共沸混合物様の組成物を形成することを含む、共沸性又は共沸混合物様の組成物の形成方法。
［９］
組成物からＨＦを取り出す初期工程を更に含む、［６］、［７］、又は［８］に記載の方法。
［１０］
ＨＦの取り出しを、硫酸、水、及び／又は塩基性溶液によるスクラビングによって行う、［９］に記載の方法。

Claims (10)

  1. トランス−１，３，３，３−テトラフルオロプロペン（ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ））、シス−１，３，３，３−テトラフルオロプロペン（ＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ））、及びフッ化水素（ＨＦ）から実質的に構成される共沸性又は共沸混合物様の組成物。
  2. 約１〜約３０重量％のフッ化水素、約１〜３０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、及び約５０〜約９９重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）から実質的に構成され、約３０ｐｓｉａ〜約２１１ｐｓｉａの圧力において約０℃〜約６０℃の沸点を有する、請求項１に記載の共沸性又は共沸混合物様の組成物。
  3. 約３５±５ｐｓｉａの圧力において約０℃の沸点を有する、請求項２に記載の組成物。
  4. 約８１±５ｐｓｉａの圧力において約２５℃の沸点を有する、請求項２に記載の組成物。
  5. 約２０６±５ｐｓｉａの圧力において約６０℃の沸点を有する、請求項２に記載の組成物。
  6. 約１〜約３０重量％のフッ化水素、約１〜３０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、及び約５０〜約９９重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）から実質的に構成されるブレンドを形成して、それによって約３０ｐｓｉａ〜約２１１ｐｓｉａの圧力において約０℃〜約６０℃の沸点を有する共沸性又は共沸混合物様の組成物を形成することを含む、共沸性又は共沸混合物様の組成物の形成方法。
  7. 約１〜約３０重量％のフッ化水素、約１０〜７０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｅ）、及び約１０〜約６０重量％のＨＦＣ−２４５ｆａから実質的に構成されるブレンドを形成して、それによって約２４ｐｓｉａ〜約１７５ｐｓｉａの圧力において約０℃〜約６０℃の沸点を有する共沸性又は共沸混合物様の組成物を形成することを含む、共沸性又は共沸混合物様の組成物の形成方法。
  8. 約１〜約３０重量％のフッ化水素、約２０〜８０重量％のＨＦＯ−１２３４ｚｅ（Ｚ）、及び約１０〜約６０重量％のＨＦＣ−２４５ｆａから実質的に構成されるブレンドを形成して、それによって約９ｐｓｉａ〜約１０５ｐｓｉａの圧力において約０℃〜約６０℃の沸点を有する共沸性又は共沸混合物様の組成物を形成することを含む、共沸性又は共沸混合物様の組成物の形成方法。
  9. 組成物からＨＦを取り出す初期工程を更に含む、請求項６、７、又は８に記載の方法。
  10. ＨＦの取り出しを、硫酸、水、及び／又は塩基性溶液によるスクラビングによって行う、請求項９に記載の方法。


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