JP2019047051A - 半導体装置、電気光学装置、電子機器、半導体装置の製造方法、電気光学装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置、電気光学装置、電子機器、半導体装置の製造方法、電気光学装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019047051A JP2019047051A JP2017170933A JP2017170933A JP2019047051A JP 2019047051 A JP2019047051 A JP 2019047051A JP 2017170933 A JP2017170933 A JP 2017170933A JP 2017170933 A JP2017170933 A JP 2017170933A JP 2019047051 A JP2019047051 A JP 2019047051A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- semiconductor
- conductive film
- insulating film
- semiconductor film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
【課題】半導体膜の幅を遮光膜の幅に対してより小さくし光リーク電流の抑制効果が高く高品位な画像を表示できる半導体装置、半導体装置の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器を提供すること。【解決手段】画素トランジスター44は、凹部301の側面に配置された半導体膜44aと、半導体膜44aを覆うように配置されたゲート絶縁膜44bと、ゲート絶縁膜44bを挟んで半導体膜44aと対向するように配置されたゲート電極44gと、半導体膜44aと平面視で重なるように配置された走査線42及び信号線43と、を備える。【選択図】図8
Description
本発明は、半導体装置、電気光学装置、電子機器、半導体装置の製造方法、電気光学装置の製造方法に関する。
複数の画素および半導体装置が設けられた素子基板と、素子基板に対向配置された対向基板との間に電気光学物質(例えば、液晶など)を備えた電気光学装置が知られている。電気光学装置として、例えば、プロジェクターの液晶ライトバルブとして用いられる液晶装置などを挙げることができる。液晶装置では、画像表示領域に画素が行列状に配置されている。画素には半導体装置としての画素トランジスターと画素容量とが設けられ、画素トランジスターを介して各画素に画像信号が供給され、この画像信号を画素容量が保持することで画像が形成される。液晶装置では、明るさと表示品質を高めるべく、画素の高開口率化と高精細化とが求められている。
液晶ライトバルブとして用いられる液晶装置には光源からの強力な光が入射するが、画素トランジスターを構成する半導体膜に光が照射されると、光リーク電流が生じて画素電位が変動し、表示画像にフリッカーや表示ムラなどが生じてしまう。そのため、例えば、半導体膜と重なるように、半導体膜の上下方向から入射する光を遮光する遮光膜が配置される(例えば、特許文献1参照)。遮光膜の幅が半導体膜の幅に対して大きいほど、光リーク電流の抑制効果が高められる。
しかしながら、遮光膜の幅を大きくしようとしても、製品仕様で要求される開口率に基づいて遮光膜の幅が規定されるため、高精細化が進められて画素の配置ピッチ(サイズ)が小さくなると、遮光膜による光リーク電流の抑制効果には限界がある。また、遮光膜の幅に対して半導体膜の幅をより小さく形成しようとしても、フォトリソグラフィ法の解像度の制約がある。すなわち、半導体膜の幅を露光装置の解像度の限界値よりも小さくすることが困難であるという課題がある。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
(適用例1)本適用例に係る半導体装置は、凹部の側面に配置された半導体膜と、前記半導体膜を覆うように配置されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜を挟んで前記半導体膜と対向するように配置されたゲート電極と、前記半導体膜と平面視で重なるように配置された遮光膜と、を備える。
本適用例の構成によれば、半導体膜が凹部の側面に配置されているので、平面視における半導体膜の幅を凹部の幅よりも小さくすることが可能となる。従って、凹部の幅が露光装置の解像度の限界値と同じである場合に、平面視における半導体膜の幅を露光装置の解像度の限界値よりも小さくすることができる。これにより、半導体膜の幅を遮光膜の幅に対してより小さくできるので、高精細化が進められて画素の配置ピッチが小さくなっても、光リーク電流の抑制効果が高い半導体装置を提供できる。
(適用例2)上記適用例に記載の半導体装置であって、平面視における前記半導体膜の幅は前記凹部の幅の1/2よりも小さいことが好ましい。
本適用例の構成によれば、平面視における半導体膜の幅が凹部の幅の1/2よりも小さいので、凹部の幅方向における両側の側面に半導体膜を配置しても、平面視における半導体膜の実質的な幅を凹部の幅よりも小さくすることができる。
(適用例3)上記適用例に記載の半導体装置であって、前記凹部の前記側面において、前記半導体膜と前記ゲート絶縁膜と前記ゲート電極とが前記凹部の幅方向に積層されていることが好ましい。
本適用例の構成によれば、凹部の側面において半導体膜とゲート絶縁膜とゲート電極とが凹部の幅方向に積層されているので、平面視における半導体膜の幅を小さくしても、半導体膜のチャネル領域の実効的な面積を確保することができる。
(適用例4)本適用例に係る半導体装置は、凸部の側面に配置された半導体膜と、前記半導体膜を覆うように配置されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜を挟んで前記半導体膜と対向するように配置されたゲート電極と、前記半導体膜と平面視で重なるように配置された遮光膜と、を備える。
本適用例の構成によれば、半導体膜が凸部の側面に配置されているので、平面視における半導体膜の幅を凸部の幅よりも小さくすることが可能となる。従って、凸部の幅が露光装置の解像度の限界値と同じである場合に、平面視における半導体膜の幅を露光装置の解像度の限界値よりも小さくすることができる。これにより、半導体膜の幅を遮光膜の幅に対してより小さくできるので、高精細化が進められて画素の配置ピッチが小さくなっても、光リーク電流の抑制効果が高い半導体装置を提供できる。
(適用例5)上記適用例に記載の半導体装置であって、平面視における前記半導体膜の幅は前記凸部の幅の1/2よりも小さいことが好ましい。
本適用例の構成によれば、平面視における半導体膜の幅が凸部の幅の1/2よりも小さいので、凸部の幅方向における両側の側面に半導体膜を配置しても、平面視における半導体膜の実質的な幅を凸部の幅よりも小さくすることができる。
(適用例6)上記適用例に記載の半導体装置であって、前記凸部の前記側面において、前記半導体膜と前記ゲート絶縁膜と前記ゲート電極とが前記凸部の幅方向に積層されていることが好ましい。
本適用例の構成によれば、凸部の側面において半導体膜とゲート絶縁膜とゲート電極とが凸部の幅方向に積層されているので、平面視における半導体膜の幅を小さくしても、半導体膜のチャネル領域の実効的な面積を確保することができる。
(適用例7)上記適用例に記載の半導体装置であって、前記半導体膜は、前記ゲート電極と対向するチャネル領域と、ソースドレイン領域と、前記チャネル領域と前記ソースドレイン領域との間に配置されたLDD領域と、を備えることが好ましい。
本適用例の構成によれば、半導体膜の中でも比較的光リーク電流が発生し易いLDD領域の平面視における幅を小さくできるので、光リーク電流の発生を効果的に抑制できる。
(適用例8)本適用例に係る電気光学装置は、上記の半導体装置を備えることを特徴とする。
本適用例の構成によれば、光リーク電流の発生を抑制できる半導体装置を備えているので、光リーク電流に起因するフリッカーや表示ムラなどが少なく高品位な画像を表示する電気光学装置を提供できる。
(適用例9)本適用例に係る電子機器は、上記の電気光学装置を備えることを特徴とする。
本適用例の構成によれば、高品位な画像を表示する電子機器を提供できる。
(適用例10)本適用例に係る半導体装置の製造方法は、絶縁膜の表面から窪んだ凹部を形成する工程と、前記絶縁膜の表面と前記凹部とを覆うように半導体膜を形成する工程と、前記半導体膜のうち、前記凹部の側面に形成された部分以外の部分を除去する除去工程と、前記半導体膜を覆うようにゲート絶縁膜を形成する工程と、前記ゲート絶縁膜を挟んで前記半導体膜と対向するようにゲート電極を形成する工程と、前記半導体膜と平面視で重なるように遮光膜を形成する工程と、を備える。
本適用例の製造方法によれば、絶縁膜の表面と凹部とを覆うように半導体膜を形成して、半導体膜のうち凹部の側面に形成された部分以外の部分を除去するので、半導体膜を凹部の側面のみに配置できる。従って、露光装置の解像度の限界値と同じ幅で凹部を形成すれば、平面視における半導体膜の幅を露光装置の解像度の限界値以下とすることができる。これにより、半導体膜の幅を遮光膜の幅に対してより小さく形成できるので、高精細化が進められて画素の配置ピッチが小さくなっても、光リーク電流の抑制効果が高い半導体装置を製造することが可能となる。
(適用例11)本適用例に係る半導体装置の製造方法は、絶縁膜の表面から突出する凸部を形成する工程と、前記絶縁膜の表面と前記凸部とを覆うように半導体膜を形成する工程と、前記半導体膜のうち前記凸部の側面に形成された部分以外の部分を除去する除去工程と、前記半導体膜を覆うようにゲート絶縁膜を形成する工程と、前記ゲート絶縁膜を挟んで前記半導体膜と対向するようにゲート電極を形成する工程と、前記半導体膜と平面視で重なるように遮光膜を形成する工程と、を備える。
本適用例の製造方法によれば、絶縁膜の表面と凸部とを覆うように半導体膜を形成して、半導体膜のうち凸部の側面に形成された部分以外の部分を除去するので、半導体膜を凸部の側面のみに配置できる。従って、露光装置の解像度の限界値と同じ幅で凸部を形成すれば、平面視における半導体膜の幅を露光装置の解像度の限界値以下とすることができる。これにより、半導体膜の幅を遮光膜の幅に対してより小さく形成できるので、高精細化が進められて画素の配置ピッチが小さくなっても、光リーク電流の抑制効果が高い半導体装置を製造することが可能となる。
(適用例12)上記適用例に記載の半導体装置の製造方法であって、前記除去工程では、前記半導体膜をエッチバック処理することが好ましい。
本適用例の製造方法によれば、半導体膜をエッチバック処理することにより、半導体膜のうち凹部または凸部の側面に形成された部分以外を容易に除去して、平面視における半導体膜の幅を凹部または凸部の幅よりも小さく形成することができる。
(適用例13)本適用例に係る電気光学装置の製造方法は、上記の半導体装置の製造方法を備えることを特徴とする。
本適用例の製造方法によれば、光リーク電流の発生を抑制できる半導体装置を製造できるので、光リーク電流に起因するフリッカーや表示ムラなどが少なく高品位な画像を表示する電気光学装置を製造できる。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせしめている。
(実施形態1)
「電子機器」
まず、図1を参照して電子機器の一例である投写型表示装置(3板式のプロジェクター)の構成を説明する。図1は、電子機器の一例である投写型表示装置の模式図である。
「電子機器」
まず、図1を参照して電子機器の一例である投写型表示装置(3板式のプロジェクター)の構成を説明する。図1は、電子機器の一例である投写型表示装置の模式図である。
電子機器(投写型表示装置)1000は、第1パネル201、第2パネル202、第3パネル203(図2に示す電気光学装置200)と、これら3枚のパネルに制御信号を供給する制御装置30(図2参照)と、を少なくとも有している。第1パネル201と第2パネル202と第3パネル203とは、相異なる表示色(赤色、緑色、青色)に対応する3個の電気光学装置200である。以下、特に第1パネル201と第2パネル202と第3パネル203とを区別する必要がなければ、これらを纏めて単に電気光学装置200と称する。
照明光学系1100は、照明装置(光源)1200からの出射光のうち赤色成分Rを第1パネル201に供給し、緑色成分Gを第2パネル202に供給し、青色成分Bを第3パネル203に供給する。各電気光学装置200は、照明光学系1100から供給される各色光を表示画像に応じて変調する光変調器(ライトバルブ)として機能する。投写光学系1300は、各電気光学装置200からの出射光を合成して投写面1400に投写する。
「電気光学装置の回路構成」
次に、図2を参照して電気光学装置200の回路構成を説明する。図2は、電気光学装置の回路ブロック図である。
次に、図2を参照して電気光学装置200の回路構成を説明する。図2は、電気光学装置の回路ブロック図である。
図2に示すように、電気光学装置200は表示領域40と駆動部50とを少なくとも具備している。さらに、電気光学装置200は実装領域20(図4参照)を備えている。電気光学装置200の表示領域40には、相交差する複数の走査線42と複数の信号線43とが形成され、走査線42と信号線43との各交差に対応して画素41が行列状に配列されている。走査線42は行方向に延在しており、信号線43は列方向に延在している。本明細書では、走査線42が延在する行方向をX方向とし、信号線43が延在する列方向をY方向とする。
なお、走査線42のうちi行目の走査線42を特定する際には走査線Giと表記し、信号線43のうちでj列目の信号線43を特定する際には信号線Sjと表記する。表示領域40には、m本の走査線42とn本の信号線43とが形成されている(mは2以上の整数、nは2以上の整数)。なお、本実施形態では、m=2168で、n=4112であることを例として、電気光学装置200を説明する。この場合、2168行×4112列の表示領域40に対し、2160行×4096行の所謂4K画像が表示される。
表示領域40には駆動部50から各種信号が供給され、画像が表示領域40に表示される。即ち、駆動部50は、複数の走査線42と複数の信号線43とに駆動信号を供給する。具体的には、駆動部50は、各画素41を駆動する駆動回路51と、駆動回路51に表示用信号を供給する表示用信号供給回路32と、フレーム画像を一時的に記憶する記憶回路33と、を含んで構成される。記憶回路33に記憶されたフレーム画像から、表示用信号供給回路32は表示用信号(画像信号やクロック信号等)を作成し、これを駆動回路51に供給する。表示用信号供給回路32はプリチャージ信号も作成し、これを駆動回路51に供給する。
駆動回路51は、走査線駆動回路52と信号線駆動回路53とを含んで構成される。走査線駆動回路52は画素41を行方向に選択又は非選択する走査信号を各走査線42に出力し、走査線42はこの走査信号を画素41に伝える。言い換えると、走査信号は選択状態と非選択状態とを有しており、走査線42は、走査線駆動回路52からの走査信号を受けて、適宜選択され得る。走査線駆動回路52は不図示のシフトレジスター回路を備えており、シフトレジスター回路をシフトする信号が、一段毎にシフト出力信号として出力される。このシフト出力信号を用いて走査信号が形成される。信号線駆動回路53は、走査線42の選択に同期してn本の信号線43の各々にプリチャージ信号や画像信号を供給することができる。
一枚の表示画像は1フレーム期間に形成される。1フレーム期間には各走査線42が少なくとも一度は選択される。通常は、各走査線42が一度ずつ選択される。一つの走査線が選択される期間を水平走査期間と呼ぶので、1フレーム期間には少なくともm個の水平走査期間が含まれる。1行目走査線G1から順にm行目の走査線Gmまで(或いは、m行目の走査線Gmから順に1行目の走査線G1まで)順次走査線42が選択されて1フレーム期間が構成されるので、フレーム期間を垂直走査期間とも呼ぶ。
本実施形態では、電気光学装置200は素子基板62(図4参照)を用いて形成され、駆動回路51はこの素子基板62に薄膜トランジスター等の薄膜素子を用いて形成されている。表示用信号供給回路32と記憶回路33とが制御装置30に含まれており、制御装置30は単結晶半導体基板に形成される半導体集積回路で構成されている。素子基板62には実装領域20が設けられており、実装領域20に配置された端子とフレキシブルプリント基板(Flexible Printed Circuits:FPC)とを介して制御装置30から表示用信号が駆動回路51に供給される。
「画素の構成」
次に、図3を参照して画素41の構成を説明する。図3は、画素の回路図である。
次に、図3を参照して画素41の構成を説明する。図3は、画素の回路図である。
本実施形態に係る電気光学装置200は液晶装置であり、電気光学材料は液晶46となる。図3に示すように、各画素41は、液晶素子CLと画素スイッチング素子と容量素子とを含んで構成される。画素スイッチング素子はトランジスターからなり、本明細書ではこれを半導体装置としての画素トランジスター44と称する。
容量素子は、第1容量素子491と第2容量素子492と第3容量素子493と第4容量素子494と第5容量素子495と第6容量素子496と第7容量素子497とを含んでいる。第1容量素子491と第2容量素子492と第3容量素子493と第4容量素子494と第5容量素子495と第6容量素子496と第7容量素子497とは並列に電気的に接続されており、画素41が設けられる比較的狭い領域に大きな容量値を有する容量素子が実現されている。
液晶素子CLは相対向する画素電極45と共通電極47とを有し、これら両電極間には電気光学材料である液晶46が配置されている。その結果、画素電極45と共通電極47との間に印加される駆動電圧(電界強度)に応じて液晶46を通過する光の透過率が変化することになる。なお、電気光学材料としては、液晶46に代わり、電気泳動材料を用いても良い。その場合、電気光学装置200は電気泳動装置となり、例えば電子書籍などに使用される。或いは、電気光学材料としては、液晶46に代わり、有機EL材料を用いても良い。その場合、電気光学装置200は有機EL装置となり、例えばスマートフォンやタブレット端末等に使用される。
半導体装置としての画素トランジスター44は、走査線42にゲート電極44g(図6参照)が電気的に接続されたN型の薄膜トランジスターで構成され、液晶素子CLと信号線43との間に介在して両者の電気的な接続(導通/非導通)を制御する。即ち、画素トランジスター44のゲート電極44gは走査線42に電気的に接続され、画素トランジスター44のソースドレインの一方は信号線43に電気的に接続され、画素トランジスター44のソースドレインの他方は容量素子の第2電極92と画素電極45とに電気的に接続されている。
容量素子の第1電極91と共通電極47とは共通電位線471に電気的に接続される。共通電位線471には共通電位が供給される。従って、画素トランジスター44がオン状態とされた際に信号線43へ供給されている電位(画像信号)が容量素子に保持され、画素41(液晶素子CL)にこの画像信号に応じた表示が行われる。高精細化が進められて画素41の配置ピッチ(サイズ)が小さくなっても、画素41に大きな容量値を有する容量素子が形成されているので、高解像度で、容量素子の容量値不足に起因する表示不良が抑制された優良な電気光学装置200を実現できる。
なお、電気光学装置200が有機EL装置である場合、有機EL装置の画素41の回路的な構成は図3に示す構成とは若干異なり、不図示の駆動トランジスターをさらに有する。この場合、画素トランジスター44の出力(ソースドレインの他方)が容量素子の第2電極92と駆動トランジスターのゲートに電気的に接続され、駆動トランジスターのソースドレインの一方が電源に接続され、駆動トランジスターのソースドレインの他方が画素電極45に接続される。有機EL装置の場合にも、画素41に大きな容量値を有する容量素子が形成されるので、高解像度で、表示不良が抑制された優良な電気光学装置が実現される。
なお、本明細書にて、端子1と端子2とが電気的に接続されているとは、端子1と端子2とが同じ論理状態(設計概念上の電位)になり得ることを意味している。具体的には、端子1と端子2とが配線により直に接続されている場合の他に、抵抗素子やスイッチング素子等を介して接続されている場合を含む。即ち、端子1での電位と端子2での電位とが多少異なっていても、回路上で同じ論理を持たせる場合、端子1と端子2とは電気的に接続されていることになる。従って、例えば、図3に示すように、信号線43と画素電極45との間に画素トランジスター44が配置された場合も、画素トランジスター44がオン状態では、信号線43の画像信号が画素電極45に供給されるので、信号線43と画素電極45とは電気的に接続されていることになる。
「電気光学装置」
以下、実施形態1に係る電気光学装置の断面構造を、図4を参照して説明する。図4は、実施形態1に係る電気光学装置としての液晶装置の模式断面図である。以下の説明では、電気光学装置200を液晶装置200と表記する。本明細書では、X方向およびY方向と直交する方向をZ方向とし、図4における上方に向かう方向を+Z方向、下方に向かう方向を−Z方向とする。また、液晶装置200の対向基板63側表面の法線方向(+Z方向)から見ることを「平面視」という。
以下、実施形態1に係る電気光学装置の断面構造を、図4を参照して説明する。図4は、実施形態1に係る電気光学装置としての液晶装置の模式断面図である。以下の説明では、電気光学装置200を液晶装置200と表記する。本明細書では、X方向およびY方向と直交する方向をZ方向とし、図4における上方に向かう方向を+Z方向、下方に向かう方向を−Z方向とする。また、液晶装置200の対向基板63側表面の法線方向(+Z方向)から見ることを「平面視」という。
なお、以下の形態において、「○○上に」と記載された場合、○○の上に接するように配置される場合、又は、○○の上に他の構成物を介して配置される場合、又は、○○の上に一部が接するように配置され一部が他の構成物を介して配置される場合、を表すものとする。
図4に示すように、液晶装置200では、一対の基板を構成する素子基板62と対向基板63とが、平面視で略矩形枠状に配置されたシール材64にて貼り合わされている。液晶装置200は、シール材64に囲まれた領域内に液晶46が封入された構成になっている。液晶46としては、例えば、正の誘電率異方性を有する液晶材料が用いられる。
対向基板63には、シール材64の内周近傍に沿って遮光性材料からなる平面視で矩形枠状の遮光膜48が形成されており、この遮光膜48の内側の領域が表示領域40となっている。遮光膜48は、例えば、遮光性材料であるアルミニウム(Al)で形成されており、対向基板63側の表示領域40の外周を区画するように設けられている。
素子基板62の液晶46側には、複数の画素電極45が形成されており、これら画素電極45を覆うように第1配向膜65が形成されている。画素電極45は、インジウム錫酸化物(Indium Tin Oxide:ITO)等の透明導電材料からなる導電膜である。一方、対向基板63の液晶46側には、遮光膜48が形成され、その上に平面ベタ状の共通電極47が形成されている。そして、共通電極47を覆うように第2配向膜66が形成されている。共通電極47は、ITO等の透明導電材料からなる導電膜である。
液晶装置200は透過型であって、素子基板62及び対向基板63における光の入射側と出射側とにそれぞれ偏光板(図示せず)等が配置されて用いられる。なお、液晶装置200の構成は、これに限定されず、反射型や半透過型の構成であっても良い。
次に、図5から図10を参照して、半導体装置と容量素子とを含む素子基板の構成を説明する。図5及び図6は、実施形態1に係る素子基板の構成を示す概略平面図である。図7は、図5及び図6のA−A’線に沿った素子基板の構造を示す概略断面図である。図8は、図5及び図6のB−B’線に沿った素子基板の構造を示す概略断面図である。図9は、図5及び図6のC−C’線に沿った素子基板の構造を示す概略断面図である。図10は、図7及び図9における容量素子の構造を拡大して示す部分断面図である。なお、図5から図10では、画素電極45及び第1配向膜65の図示を省略している。
「素子基板」
図5に示すように、素子基板62には、X方向に沿って走査線42の主線部分が配置され、Y方向に沿って信号線43が配置されている。走査線42及び信号線43は、遮光性を有する導電膜で構成され、本発明の遮光膜として機能する。従って、走査線42及び信号線43が配置された領域は、光を遮蔽する遮光領域である。遮光領域は、X方向およびY方向に沿って延在する格子状に配置されている。遮光領域に囲まれた光が透過する略矩形状の領域が画素41の領域である。
図5に示すように、素子基板62には、X方向に沿って走査線42の主線部分が配置され、Y方向に沿って信号線43が配置されている。走査線42及び信号線43は、遮光性を有する導電膜で構成され、本発明の遮光膜として機能する。従って、走査線42及び信号線43が配置された領域は、光を遮蔽する遮光領域である。遮光領域は、X方向およびY方向に沿って延在する格子状に配置されている。遮光領域に囲まれた光が透過する略矩形状の領域が画素41の領域である。
本実施形態に係る半導体装置としての画素トランジスター44は、走査線42と信号線43との交差部に設けられている。言い換えると、画素トランジスター44は、遮光領域に配置されている。これにより、画素トランジスター44に光が入射することにより光リーク電流が生じて誤動作することを防止している。
また、後述する容量素子491,492,493,494,495,496,497(図10参照)も、画素トランジスター44の上層側において、走査線42と信号線43との交差部に配置されている。容量素子491,492,493,494,495,496,497は、信号線43に供給される電位(画像信号)を保持する機能を有するとともに、画素トランジスター44に入射する光を遮光する機能を有する。
図6は、図5から画素トランジスター44よりも上層側の構成要素を省いた平面図である。走査線42は、平面視において、X方向に直線的に延在する主線部分と、信号線43と重なるようにY方向に延在する副線部分と、主線部分と副線部分との交差部に配置され画素トランジスター44や容量素子と重なる矩形部分と、を備えている。第2走査線49は、平面視において、走査線42の主線部分と重なる部分と、画素トランジスター44の半導体膜44a(チャネル領域44c)と重なる部分と、を備えている。
図7に示すように、素子基板62は、基材として基板61を有している。基板61は、例えば、石英やガラス等の透光性を有する材料からなる。走査線42は、基板61上に設けられている。走査線42は、例えば、導電性の多結晶シリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜或いは金属化合物膜等の導電膜からなる。走査線42は、基板61側、即ち下方側(−Z方向側)から画素トランジスター44に入射する光を遮光する。
基板61と走査線42とを覆うように、絶縁膜としての下地絶縁膜402が配置されている。下地絶縁膜402は、意図的に不純物を導入していない酸化珪素膜(Non-doped silicate glass、NSG膜と称する)や窒化珪素膜からなる。下地絶縁膜402には、下地絶縁膜402の表面から窪んだ凹部301が形成されている。下地絶縁膜402上には、凹部301の一端側(+Y方向側)に画素電極側ソースドレイン電極302が配置され、他端側(−Y方向側)に信号線側ソースドレイン電極303が配置されている。画素電極側ソースドレイン電極302と信号線側ソースドレイン電極303とは、例えば、多結晶シリコン膜からなる。
「半導体装置」
図7から図9に示すように、本実施形態に係る半導体装置としての画素トランジスター44は、下地絶縁膜402の凹部301内に設けられている。画素トランジスター44は、半導体膜44aと、ゲート絶縁膜44bと、ゲート電極44gとを備えている。半導体膜44aは、下地絶縁膜402の凹部301内に配置されている。より具体的には、半導体膜44aは、凹部301の側面301b,301cに配置されている。半導体膜44aは、多結晶シリコン膜からなる。
図7から図9に示すように、本実施形態に係る半導体装置としての画素トランジスター44は、下地絶縁膜402の凹部301内に設けられている。画素トランジスター44は、半導体膜44aと、ゲート絶縁膜44bと、ゲート電極44gとを備えている。半導体膜44aは、下地絶縁膜402の凹部301内に配置されている。より具体的には、半導体膜44aは、凹部301の側面301b,301cに配置されている。半導体膜44aは、多結晶シリコン膜からなる。
図6に示すように、平面視において、凹部301は矩形状でありY方向に沿って延在している。凹部301の延在方向(Y方向)を長手方向とし、延在方向と交差する方向(X方向)を幅方向とする。平面視において、半導体膜44aは、凹部301の長手方向の一対の側面301cと幅方向の一対の側面301bとに沿って矩形枠状に配置されている。
図6に示すA−A’線は、凹部301の長手方向に沿って凹部301の幅方向の中央部を通る線である。図6に示すB−B’線は、凹部301の幅方向に沿ってゲート電極44gと重なる部分を通る線である。図6に示すC−C’線は、凹部301の長手方向に沿って半導体膜44aを通る線である。
図7から図9に示す断面視において、凹部301は略矩形状に形成されている。従って、凹部301は、X−Z平面に沿った一対の側面301cと、Y−Z平面に沿った一対の側面301bと、を有する。Y−Z平面に沿った一対の側面301bが、本発明の「側面」である。
図7に示すA−A’線に沿った断面において、半導体膜44aは、凹部301の長手方向の両端の側面301cにX−Z平面に沿って配置されている。半導体膜44aの凹部301の一端側(+Y方向側)の部分(後述する画素電極側ソースドレイン領域44s)は、下地絶縁膜402上に設けられた画素電極側ソースドレイン電極302に接しており、画素電極側ソースドレイン電極302に電気的に接続されている。半導体膜44aの凹部301の他端側(−Y方向側)の部分(後述する信号線側ソースドレイン領域44d)は、下地絶縁膜402上に設けられた信号線側ソースドレイン電極303に接しており、信号線側ソースドレイン電極303に電気的に接続されている。
図8に示すB−B’線に沿った断面において、半導体膜44aは、凹部301の幅方向の両端の側面301bにY−Z平面に沿って配置されている。半導体膜44aは、凹部301の幅方向の両端の側面301bにサイドウォール状に設けられている。図9に示すC−C’線に沿った断面において、半導体膜44aは、凹部301の長手方向(Y方向)の一端側(+Y方向側)から他端側(−Y方向側)まで連続して設けられている。
画素トランジスター44はLDD(Lightly Doped Drain)構造を有している。図6及び図9に示すように、半導体膜44aは、チャネル領域44cと、チャネル領域44cの一方の側に配置された画素電極側ソースドレイン領域44sと、チャネル領域44cの他方の側に配置された信号線側ソースドレイン領域44dとを有している。そして、半導体膜44aは、LDD領域として、チャネル領域44cと画素電極側ソースドレイン領域44sとの間に配置された第1LDD領域44eと、チャネル領域44cと信号線側ソースドレイン領域44dとの間に配置された第2LDD領域44fとを有している。第1LDD領域44e及び第2LDD領域44fは、それぞれ画素電極側ソースドレイン領域44s及び信号線側ソースドレイン領域44dよりも不純物の少ない低濃度な不純物領域として形成されている。
例えば、半導体膜44aの長手方向(Y方向)におけるチャネル領域44cの長さは1μm程度である。第1LDD領域44e及び第2LDD領域44fの長さも、それぞれ1μm程度である。また、半導体膜44aのチャネル領域44cと対向配置されるゲート電極44gの幅(Y方向の長さ)も1μm程度である。
図7から図9に示すように、下地絶縁膜402と半導体膜44aとを覆うように、ゲート絶縁膜44bが配置されている。ゲート絶縁膜44bは、例えば、半導体膜44aの表面を熱酸化させた酸化珪素膜と、その上にCVD法等により積層形成された酸化珪素膜とで構成される。ゲート絶縁膜44bは、凹部301の側面301b,301cにサイドウォール状に配置された半導体膜44aを覆い、矩形枠状の半導体膜44aの内側において凹部301の底面301aを覆うように配置されている。従って、ゲート絶縁膜44bの表面には、半導体膜44aが配置された凹部301の形状が反映される。
図8に示すように、第2走査線49は、ゲート絶縁膜44b上に配置されている。第2走査線49は、半導体膜44aの幅方向(X方向)の両側に設けられたゲート絶縁膜44bと下地絶縁膜402とを貫通する第1コンタクトホール404を介して、走査線42に電気的に接続されている。第2走査線49は、例えば、導電性の多結晶シリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜或いは金属化合物膜等の導電膜からなる。
また、第2走査線49は、凹部301内にZ方向に沿って下地絶縁膜402の表面よりも下方側(−Z方向側)まで設けられている。第2走査線49のうち、凹部301内に配置された部分がゲート電極44gとなる。ゲート電極44gは、凹部301の幅方向の両側の側面301bに配置された半導体膜44aと、ゲート絶縁膜44bを挟んで対向するように配置される。言い換えると、凹部301の側面301bにおいて、サイドウォール状の半導体膜44aとゲート絶縁膜44bとゲート電極44gとが凹部301の幅方向(X方向)に積層されている。画素トランジスター44は、素子基板62の平面方向(X方向)と交差する方向(Z方向)にチャネル部を有する、所謂FinFET型のトランジスターである。画素トランジスター44は、一対のチャネルを有する。
ここで、本実施形態のように液晶ライトバルブとして用いられる液晶装置200には、光源からの強力な光が入射するが、画素トランジスター44を構成する半導体膜44aに光が照射されると、光リーク電流が生じて画素電位が変動し、表示画像にフリッカーや表示ムラなどが生じてしまう。半導体膜44aの中でも、第1LDD領域44e及び第2LDD領域44fは、比較的光リーク電流が発生し易い箇所である。そのため、半導体膜44aの上下方向から入射する光を遮光する遮光膜として、走査線42や信号線43が平面視で半導体膜44aと重なるように配置される。
しかしながら、遮光膜(走査線42や信号線43)の幅を大きくしようとしても、製品仕様で要求される開口率に基づいて遮光膜の幅が規定されるため、高精細化が進められて画素41の配置ピッチが小さくなると、遮光膜による光リーク電流の抑制効果には限界がある。また、遮光膜の幅に対して半導体膜の幅をより小さく形成しようとしても、フォトリソグラフィ法の解像度の制約がある。即ち、半導体膜の幅を露光装置の解像度の限界値よりも小さくすることが困難であるという課題がある。
例えば、露光装置の解像度の限界値が500nmである場合、半導体膜の幅を500nmよりも小さく形成することは困難である。本実施形態に係る画素トランジスター44では、半導体膜44aを下地絶縁膜402の凹部301の側面301bにサイドウォール状に形成する。そのため、平面視における半導体膜44aの幅を凹部301の幅よりも小さく形成できる。即ち、半導体膜44aの幅を露光装置の解像度の限界値よりも小さくすることができる。
図18Bに示すように、凹部301の幅方向(X方向)における底辺の幅をaとし、凹部301の深さをbとし、半導体膜44aの平面視におけるX方向の幅をcとする。凹部301の底辺の幅a(以下では、単に幅aと表記する)は、フォトリソグラフィ法の解像度、即ち、露光装置の解像度の限界値に基づいて設定される。半導体膜44aの幅cは、凹部301の底辺の幅aの1/2よりも小さいこととする。半導体膜44aの幅cを凹部301の幅aの1/2よりも小さくすることで、凹部301の幅方向における両側の側面301bに半導体膜44aを配置しても、平面視における半導体膜44aの実質的な幅(c×2)を凹部301の幅aよりも小さくすることができる。
本実施形態では、凹部301の幅aは、例えば、400nm〜500nm程度である。半導体膜44aは凹部301の側面301bにサイドウォール状に形成され、凹部301の底辺側における半導体膜44aの幅cは、例えば、10nm〜100nm程度であり、凹部301の底辺の幅aの1/2よりも小さい。従って、平面視における半導体膜44aの実質的な幅(c×2)は、20nm〜200nm程度となり、凹部301の幅aよりも小さくなる。
即ち、従来のように下地絶縁膜402上に半導体膜44aを形成する場合に半導体膜44aの幅を露光装置の解像度の限界値(上記の例では400nm〜500nm程度)よりも小さくできないのに対して、本実施形態では、半導体膜44aの幅を露光装置の解像度よりも小さく(上記の例では20nm〜200nm程度)にできる。これにより、第1LDD領域44e及び第2LDD領域44fを有する半導体膜44aの幅を遮光膜(走査線42や信号線43)の幅に対してより小さくできるので、光リーク電流の抑制効果が高い画素トランジスター44を提供できる。
また、凹部301の両側の側面301bにおいてサイドウォール状に形成された半導体膜44aとゲート絶縁膜44bとゲート電極44gとが凹部301の幅方向に積層されているので、平面視における半導体膜44aの幅を小さくしても、半導体膜44aのチャネル領域44cの実効的な面積を確保することができる。
なお、本実施形態では、凹部301の深さbは、例えば、40μm程度である。サイドウォール状の半導体膜44aの高さは、凹部301の深さb以下であり、凹部301の深さbよりも10nm程度小さく形成されていてもよい。ただし、図7に示す図6のA−A’線に沿った断面において、半導体膜44aの画素電極側ソースドレイン領域44sが画素電極側ソースドレイン電極302に電気的に接続され、信号線側ソースドレイン領域44dが信号線側ソースドレイン電極303に電気的に接続されるため、半導体膜44aは、画素電極側ソースドレイン電極302及び信号線側ソースドレイン電極303との十分な接触が確保できる高さを有することが望ましい。
図7から図9に示すように、画素トランジスター44を覆って、第1層間絶縁膜406が配置されている。第1層間絶縁膜406は、NSG膜や、燐を含む酸化珪素膜(Phospho silicate glass、PSG膜と称する)、硼素を含む酸化珪素膜(Boro silicate glass、BSG膜と称する)、硼素と燐とを含む酸化珪素膜(Boro−phospho silicate glass、BPSG膜と称する)等の酸化珪素膜からなる。第1層間絶縁膜406を覆うように、第1保護膜407が配置されている。第1保護膜407は、例えば、窒化珪素膜(SiN)からなる。第1保護膜407上には、容量素子が設けられている。
「容量素子」
図10に示すように、本実施形態に係る素子基板62は、容量素子として、第1容量素子491と第2容量素子492と第3容量素子493と第4容量素子494と第5容量素子495と第6容量素子496と第7容量素子497とを含む。各容量素子は、第1電極91(第1導電膜408又は第4導電膜418)と第2電極92(第2導電膜411又は第3導電膜416)とを有する。
図10に示すように、本実施形態に係る素子基板62は、容量素子として、第1容量素子491と第2容量素子492と第3容量素子493と第4容量素子494と第5容量素子495と第6容量素子496と第7容量素子497とを含む。各容量素子は、第1電極91(第1導電膜408又は第4導電膜418)と第2電極92(第2導電膜411又は第3導電膜416)とを有する。
第1保護膜407上には第1導電膜408が形成され、第1導電膜408を第1誘電体膜410が覆っている。第1誘電体膜410上には、第2導電膜411が形成されている。第2導電膜411を第2層間絶縁膜414が覆い、第2層間絶縁膜414には第2コンタクトホール415が開口されている。第3導電膜416は、第2層間絶縁膜414の上に形成され、第2コンタクトホール415を介して第2導電膜411と第3導電膜416とは電気的に接続されている。第3導電膜416を第2誘電体膜417が覆っており、第2誘電体膜417の上に第4導電膜418が形成されている。
従って、断面視にて、半導体膜44a(図9参照)と第4導電膜418との間に第1導電膜408が配置され、第1導電膜408と第4導電膜418との間に第2導電膜411が配置され、第2導電膜411と第4導電膜418との間に第3導電膜416が配置されている。或いは、断面視にて、半導体膜44aと第2導電膜411との間に第1導電膜408が配置され、第1導電膜408と第3導電膜416との間に第2導電膜411が配置され、第2導電膜411と第4導電膜418との間に第3導電膜416が配置される。
ゲート絶縁膜44bと第1層間絶縁膜406と第1保護膜407と第1誘電体膜410と第2層間絶縁膜414には、第3コンタクトホール412が開口されている。この、第3コンタクトホール412は、画素トランジスター44のソースドレインの一方又は他方(本実施形態では、画素電極側ソースドレイン電極302を介して画素トランジスター44のソース)と第1電極91又は第2電極92(本実施形態では第2電極92で、第2導電膜411と第3導電膜416)とを電気的に接続する為である。実際、第3コンタクトホール412において画素電極側ソースドレイン電極302に設置して配置される第3導電膜416を介して、画素トランジスター44のソースと第2導電膜411とが電気的に接続されている。
第1容量素子491は、第1導電膜408と、第2導電膜411の第1部分(第2導電膜411の一つの平面、本実施形態では底面)と、第1導電膜408と第2導電膜411との間に配置された第1誘電体膜410と、を有している。第1導電膜408は、第1面(第1導電膜408の一つの平面、本実施形態では上面)と、第1面と交差する第4面(第1導電膜408の他の面、本実施形態では側面)とを含んでいる。
本実施形態では、第1導電膜408の平面形状が多角形であるので(図21参照)、側面となる第4面は、平らな断面(平面から構成される断面)を、多角形の辺の数だけ含んでいる。ただし、第1導電膜408の平面形状が円や楕円等の曲線で描写される形状であれば、第4面は一つの連続した曲面から構成される断面となる。第1容量素子491では、第1部分(本実施形態では、第2導電膜411の底面)は、第1面(本実施形態では、第1導電膜408の上面)に対向するように配置されている。このように、第1導電膜408の第1面と第2導電膜411の第1部分とを用いて第1容量素子491が構成されている。
第4容量素子494は、第1導電膜408と、第2導電膜411の第4部分と、第1導電膜408と第2導電膜411との間に配置された第1誘電体膜410と、を有している。第2導電膜411の第4部分は、第2導電膜411の一部で、第1部分に交差する面であり、本実施形態では側面となる。従って、第2導電膜411の第4部分(本実施形態では、第2導電膜411の側面)は、第1導電膜408の第4面(本実施形態では、第1導電膜408の側面)に対向するように配置される。このように、第1導電膜408の第4面と第2導電膜411の第4部分とを用いて第4容量素子494が構成されている。第1導電膜408は容量素子の第1電極91として機能し、第2導電膜411は容量素子の第2電極92として機能する。
第4容量素子494を構成すべく、第2導電膜411は平面視にて少なくとも第1導電膜408の外周(第4面)の一部を覆うように形成される。第2導電膜411は、第1導電膜408への第5コンタクトホール421(図8参照)の形成部を除いて、第1導電膜408の外周(第4面)の大半を覆うように形成されて、容量値を増やしている。なお、第1導電膜408の平面形状は図21に示され、第2導電膜411の平面形状は図31に示されている。
第1導電膜408の第1面と第2導電膜411の第1部分との少なくとも一方は、画素トランジスター44を覆っていることが好ましい。即ち、第2走査線49の一部であるゲート電極44gと半導体膜44aとが平面視にて重なり合う領域(チャネル領域44c)と、チャネル領域44cの境界部(第1LDD領域44e及び第2LDD領域44f)とが、第1導電膜408の第1面又は第2導電膜411の第1部分、或いは、第1導電膜408の第1面と第2導電膜411の第1部分との両者、に覆われていることが好ましい。
こうすると、第1容量素子491と画素トランジスター44とが積層されるので、画素トランジスター44と容量素子とを含んだ半導体回路で、画素トランジスター44が容量素子への信号伝播を制御すると共に、単位面積当たりの容量値を増やすことが可能となる。また、容量素子が比較的大きな容量値を求められる理由は、温度や光により、保持すべき情報に相当する容量素子の電荷が画素トランジスター44を介して漏れる為である。第1容量素子491と画素トランジスター44とを積層すると、光に起因する画素トランジスター44の漏れ電流を抑制することになるので、容量素子の情報維持能力は更に向上し、半導体回路の正常動作範囲が更に広がることになる。
第2容量素子492は、第3導電膜416と、第4導電膜418の第2部分(第4導電膜418の少なくとも一つの平面、本実施形態では底面)と、第3導電膜416と第4導電膜418との間に配置された第2誘電体膜417と、を有している。第3導電膜416は、第1面(第3導電膜416の一つの平面、本実施形態では上面)を含んでいる。第2容量素子492では、第2部分(本実施形態では、第4導電膜418の底面)は、第1面(本実施形態では、第3導電膜416の上面)に対向するように配置されている。このように、第3導電膜416の第1面と第4導電膜418の第2部分とを用いて第2容量素子492が構成されている。
第3導電膜416の第1面と第4導電膜418の第2部分との少なくとも一方は、第1容量素子491を覆っていることが好ましい。即ち、第1導電膜408の第1面と第2導電膜411の第1部分とが、平面視にて重なり合う領域(第1容量素子491)が、第3導電膜416の第1面又は第4導電膜418の第2部分、或いは、第3導電膜416の第1面と第4導電膜418の第2部分との両者、に覆われていることが好ましい。こうすると、第1容量素子491と第2容量素子492とを積層することができる。従って、単位面積当たりの容量値を増やすことができる。また、画素トランジスター44への上方からの遮光能力を更に高めることができる。この結果、半導体回路の正常動作範囲は更に広がることになる。
第2導電膜411と第3導電膜416とは電気的に接続されており、第2導電膜411の電位と第3導電膜416の電位とはほぼ等しい。なお、「ほぼ等しい」とは、設計概念上等しいことを意味する。即ち、多少の誤差等が生じていても、設計概念で意図的に異ならせた他は「ほぼ等しい」と言える。こうして、第2導電膜411と第3導電膜416とは、容量素子の第2電極92として機能する。一方、第1導電膜408や第4導電膜418は、容量素子の第1電極91として機能する。
第2導電膜411と第3導電膜416との間には第2層間絶縁膜414が配置され、この第2層間絶縁膜414に第2コンタクトホール415が形成されている。第2コンタクトホール415を平面視で覆うように第3導電膜416を形成するので、図10に示すように、第3導電膜416は第2コンタクトホール415の境界にて段差を有する。その結果、第3導電膜416の第1面(本実施形態では、第3導電膜416の上面)は、第2コンタクトホール415の内側に形成された上面(内側上面)と第2コンタクトホール415の外側に形成された上面(外側上面)とを有する。
同様に、第4導電膜418の第2部分(本実施形態では、第4導電膜418の底面)も、第2コンタクトホール415の内側に形成された底面(内側底面)と第2コンタクトホール415の外側に形成された底面(外側底面)とを有する。従って、第2容量素子492は、内側上面と内側底面とに形成された部分と、外側上面と外側底面とに形成された部分と、を有することになる。
第5容量素子495は、第3導電膜416と、第4導電膜418の第5部分と、第2誘電体膜417と、を有する。第3導電膜416は、第1面と交差する第5面(第3導電膜416の他の面、本実施形態では外周側面)を含んでいる。本実施形態では、第3導電膜416の平面形状が多角形であるので(図29参照)、外周側面となる第5面は、平らな断面(平面から構成される断面)を、第3導電膜416の平面多角形の辺の数だけ含んでいる。
なお、第3導電膜416の平面形状が円や楕円等の曲線で描写される形状であれば、第5面は一つの連続した曲面から構成される断面となる。第4導電膜418の第5部分は、第4導電膜418の一部で、第2部分に交差する面であり、第3導電膜416の第5面(本実施形態では、第3導電膜416の外周側面)に対向するように配置されている。このように、第3導電膜416の第5面と第4導電膜418の第5部分とを用いて第5容量素子495が構成されている。
第5容量素子495を構成すべく、第4導電膜418は平面視にて少なくとも第3導電膜416の外周(第5面)の一部を覆うように形成される。本実施形態では、第4導電膜418は、第3導電膜416の外周側面(第5面)の大半を覆うように形成されて、容量値を増やしている。なお、第3導電膜416の平面形状は図29に示され、第4導電膜418の平面形状は図31に示されている。
第6容量素子496は、第3導電膜416と、第4導電膜418の第6部分と、第2誘電体膜417と、を有する。第3導電膜416は、第3導電膜416の第1面と交差し、第5面とは異なる第6面を含んでいる。図10に示すように、第3導電膜416は第2コンタクトホール415に起因する段差を有するので、この段差部に第3導電膜416の第6面(内周側面)が形成される。第4導電膜418の第6部分は、この第6面に対向するように配置される。
第3容量素子493は、第3導電膜416と、第4導電膜418の第3部分と、第2誘電体膜417と、を含んでいる。第3導電膜416は第3面を有し、第1面と交差し、第5面と第6面とは異なっている。第3容量素子493は、第3コンタクトホール412の内部に形成される。即ち、第3面の少なくとも一部は、第3コンタクトホール412の内部に形成されている。
具体的には、第3導電膜416は平面視にて少なくとも第3コンタクトホール412の一部を覆うように形成される。本実施形態では、第3導電膜416は、第3コンタクトホール412の全体を覆うように形成され、第3面は第3コンタクトホール412の側面(以下では、コンタクトホール側面と称する)にほぼ平行な面となる。第2誘電体膜417も、平面視にて少なくとも第3コンタクトホール412の一部を覆うように形成され、本実施形態では、第3コンタクトホール412の全体を覆うように形成されている。
第4導電膜418も、平面視にて少なくとも第3コンタクトホール412の一部を覆うように形成され、本実施形態では、第3コンタクトホール412の全体を覆うように形成されている。第4導電膜418の第3部分は、第3導電膜416の第3面に第2誘電体膜417を介して対向するように配置されているので、コンタクトホール側面にほぼ平行な面となる。
第7容量素子497は、第3導電膜416と、第4導電膜418の第7部分と、第2誘電体膜417と、を有する。第3導電膜416は、第3導電膜416の第3面(コンタクトホール側面にほぼ平行な面)と交差し、第1面(本実施形態では、第3導電膜416の上面)とは異なる第7面(本実施形態では、第3コンタクトホール412の底面(以下では、コンタクトホール底面と称する)にほぼ平行な上面)、を含んでいる。第4導電膜418の第7部分は、第3導電膜416の第7面に第2誘電体膜417を介して対向するように配置されているので、コンタクトホール底面にほぼ平行な面となる。要するに、第3容量素子493と第7容量素子497とは、第3コンタクトホール412の内部に配置される。
このように、第3導電膜416の第1面と第4導電膜418の第2部分とを用いて第2容量素子492が形成され、第3導電膜416の第3面と第4導電膜418の第3部分とを用いて第3容量素子493が形成され、第3導電膜416の第5面と第4導電膜418の第5部分とを用いて第5容量素子495が形成される。そして、第3導電膜416の第6面と第4導電膜418の第6部分とを用いて第6容量素子496が形成され、第3導電膜416の第7面と第4導電膜418の第7部分とを用いて第7容量素子497が形成されるので、単位面積当たりの容量値が増加する。
言い換えると、画素41が設けられる比較的狭い領域に大きな容量値を有する容量素子(並列配置された第1容量素子491と第2容量素子492と第3容量素子493と第4容量素子494と第5容量素子495と第6容量素子496と第7容量素子497)が配置される。従って、高精細化を進めて画素41の配置ピッチが小さくなっても、容量不足に起因する表示不良が抑制されることになる。
図10を見ると判るように、第1導電膜408や第3導電膜416が厚い程、第4容量素子494の容量値や第5容量素子495の容量値は大きくなり好ましいが、第1導電膜408と第3導電膜416との厚みは600nm以下であることが好ましい。第1導電膜408と第3導電膜416とが600nm以下であると、第1導電膜408や第3導電膜416に起因する応力が弱まり、第2層間絶縁膜414等にクラックが発生する事態を抑制するからである。要するに、第1導電膜408と第3導電膜416とを600nm以下にすることで、電気光学装置の信頼性が高められるのである。
また、第2層間絶縁膜414が厚い程、第6容量素子496の容量値は大きくなり好ましいが、第2層間絶縁膜414の厚みは400nm以下であることが好ましい。第2層間絶縁膜414が400nm以下であると、第2層間絶縁膜414に起因する段差が小さくなる。その為に、第2層間絶縁膜414上に形成される信号線43等の各種配線の接続信頼性が高められるからである。
更に、第2層間絶縁膜414が400nm以下であるので、第2層間絶縁膜414上に形成される第3導電膜416等の導電膜を画素トランジスター44の遮光膜として利用する場合、遮光性が向上する。即ち、画素トランジスター44の光リーク電流が抑制され、液晶装置200の動作信頼性を高めることができる。要するに、第2層間絶縁膜414の厚みを400nm以下とすることで、段差に起因する断線不良を抑制し、画素トランジスター44の光リーク電流を抑制し、液晶装置200の信頼性が高められるのである。
なお、本実施形態では単位面積当たりの容量値を増やす為に、画素トランジスター44上に容量素子を構成する第1導電膜408と第1誘電体膜410と第2導電膜411と第3導電膜416と第2誘電体膜417と第4導電膜418とが積層されているが、断面構成はこれに限られない。
例えば、画素トランジスター44を第1容量素子491と積層せず、画素トランジスター44と第1容量素子491とを、平面視で異なった位置に形成しても良い。或いは、画素トランジスター44を第2容量素子492と積層せず、画素トランジスター44と第2容量素子492とを、平面視で異なった位置に形成しても良い。或いは、第1容量素子491を第2容量素子492と積層せず、第1容量素子491と第2容量素子492とを、平面視で異なった位置に形成しても良い。
続いて、素子基板62における上述した容量素子の上層側の構成を図7及び図8を参照して説明する。図7及び図8に示すように、容量素子を構成する第1導電膜408と第1誘電体膜410と第2導電膜411と第3導電膜416と第2誘電体膜417と第4導電膜418の上層には、第3層間絶縁膜419が配置されている。第3層間絶縁膜419は、NSG膜や、或いは、PSG膜、BSG膜、BPSG膜等の酸化珪素膜からなる。
図7に示すように、第3層間絶縁膜419上には、信号線43が配置されている。第3層間絶縁膜419と第2誘電体膜417と第2層間絶縁膜414と第1層間絶縁膜406とゲート絶縁膜44bとには、信号線側ソースドレイン電極303に到達する第4コンタクトホール420が開口されている。第4コンタクトホール420は、信号線43と画素トランジスター44のドレインとを電気的に接続する為のコンタクトホールである。信号線43は、第4コンタクトホール420を埋めるように形成され、信号線側ソースドレイン電極303に接している。信号線43は、導電性の多結晶シリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜或いは金属化合物膜等の導電膜からなる。
図8に示すように、第3層間絶縁膜419上には、共通電位線用中継電極472及び画素電極用中継電極452も配置されている。第3層間絶縁膜419と第2誘電体膜417と第2層間絶縁膜414と第2保護膜409とには、第1導電膜408に到達する第5コンタクトホール421が開口されている。第5コンタクトホール421は、第3層間絶縁膜419を貫通して第4導電膜418に至る部位を有している。即ち、第5コンタクトホール421の内部の一部には第1導電膜408が露出しており、第5コンタクトホール421の内部の他の一部には第4導電膜418が露出している。第5コンタクトホール421の内部の他の一部に第4導電膜418が延在している、とも言える。
第5コンタクトホール421は、第1電極91(第1導電膜408と第4導電膜418)と共通電位線用中継電極472とを電気的に接続する為のコンタクトホールである。第1導電膜408と第4導電膜418とを電気的に接続する第5コンタクトホール421により、狭い領域に積層して設けられた第1導電膜408と第4導電膜418とを等電位とすることが可能となる。共通電位線用中継電極472は、第5コンタクトホール421を埋めるように形成されている。共通電位線用中継電極472は、導電性の多結晶シリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜或いは金属化合物膜等の導電膜からなる。
また、第3層間絶縁膜419と第2誘電体膜417と第2層間絶縁膜414とには、第2導電膜411に到達する第6コンタクトホール422が開口されている。第6コンタクトホール422は第2電極92(第2導電膜411やそれに電気的に接続する第3導電膜416)と画素電極用中継電極452とを電気的に接続する為のコンタクトホールである。画素電極用中継電極452は、第6コンタクトホール422を埋めるように形成されている。画素電極用中継電極452は、導電性の多結晶シリコン膜、金属シリサイド膜、金属膜或いは金属化合物膜等の導電膜からなる。
信号線43、共通電位線用中継電極472、及び画素電極用中継電極452の上層側には、酸化珪素膜等からなる透光性の不図示の第4層間絶縁膜が配置されている。第4層間絶縁膜の表面は平坦化されており、第4層間絶縁膜の上層側には、アルミニウム膜やアルミニウム合金膜等を含む共通電位線471(図3参照)が形成されている。共通電位線471は、第4層間絶縁膜に開口された不図示の第7コンタクトホールを介して、共通電位線用中継電極472に電気的に接続される。
更に、共通電位線471の上層側には、酸化珪素膜等からなる透光性の不図示の第5層間絶縁膜が配置されている。第5層間絶縁膜の表面は平坦化されており、第5層間絶縁膜の上層側には、ITO等からなる透明導電膜が画素電極45(図4参照)として配置されている。画素電極45は、第4層間絶縁膜と第5層間絶縁膜とに開口された不図示の第8コンタクトホールを介して、画素電極用中継電極452に電気的に接続される。そして、第5層間絶縁膜と画素電極45とを覆うように、第1配向膜65(図4参照)が配置されている。
「半導体装置及び電気光学装置の製造方法」
次に、実施形態1に係る電気光学装置の製造方法の一例として、液晶装置の製造方法を説明する。本実施形態に係る液晶装置の製造方法における特徴部分は半導体装置を含む素子基板の形成方法にあり、それ以外の製造方法は公知の方法を適用できる。従って、ここでは、図11から図33を参照して素子基板の製造方法を説明する。
次に、実施形態1に係る電気光学装置の製造方法の一例として、液晶装置の製造方法を説明する。本実施形態に係る液晶装置の製造方法における特徴部分は半導体装置を含む素子基板の形成方法にあり、それ以外の製造方法は公知の方法を適用できる。従って、ここでは、図11から図33を参照して素子基板の製造方法を説明する。
図11から図33は、実施形態1に係る素子基板の製造方法を説明する図である。図11、図13、図15、図17、図19、図21、図23、図25、図27、図29、図31、図33は平面図である。図12A、図14A、図16A、図18A、図20A、図22A、図24A、図26A、図28A、図30A、図32Aは、A−A’線に沿った断面図である。図12B、図14B、図16B、図18B、図20B、図22B、図24B、図26B、図28B、図30B、図32Bは、B−B’線に沿った断面図である。
なお、各平面図において、説明を分かり易くする為に、一点鎖線の左側ではその図までに形成した層を重ね書きして示す。一点鎖線の右側ではその図以前に形成した層を破線にて示し、その図で新たに追加された層を実線とハッチングとを用いて示す。なお、コンタクトホールにはハッチングを用いていない。
図11に示すように、まず、基板61(図12A,12B参照)上に、走査線42となる第5導電膜401を形成する。第5導電膜401(走査線42)は、平面視において、X方向に直線的に延在する主線部分と、後の工程で形成される信号線43と重なるようにY方向に延在する副線部分と、主線部分と副線部分との交差部に配置され画素トランジスター44や容量素子と重なる矩形部分と、を備えている。本実施形態では、第5導電膜401は、多結晶シリコンやタングステンシリサイド(WSi)等の遮光性の金属で形成される。以下では、第5導電膜401を走査線42と表記する。
続いて、図12A及び図12Bに示すように、基板61と走査線42とを覆うように、第1下地絶縁膜402aを形成する。第1下地絶縁膜402aは、NSG膜等の酸化珪素膜や窒化珪素膜からなる。こうした第1下地絶縁膜402aは、シランガス(SiH4)、2塩化シラン(SiCl2H2)、TEOS(テトラエトキシシラン/テトラ・エチル・オルソ・シリケート/Si(OC2H5)4)、アンモニア(NH3)等を用いた常圧CVD法や減圧CVD法、或いはプラズマCVD法等により形成できる。
次に、図12Aに示すように、第1下地絶縁膜402a上に画素電極側ソースドレイン電極302と信号線側ソースドレイン電極303とを形成する。画素電極側ソースドレイン電極302と信号線側ソースドレイン電極303とは、例えばCVD法により成膜した多結晶シリコン膜をパターニングして形成する。図13に示すように、平面視において、画素電極側ソースドレイン電極302と信号線側ソースドレイン電極303とは、走査線42のY方向に延在する副線部分と重なるように配置される。より具体的には、走査線42の主線部分と副線部分との交差部に対して、一方の側に画素電極側ソースドレイン電極302が配置され、その反対側に信号線側ソースドレイン電極303が配置される。
次に、図14A及び図14Bに示すように、第1下地絶縁膜402aと画素電極側ソースドレイン電極302及び信号線側ソースドレイン電極303とを覆うように第2下地絶縁膜402bを形成する。第2下地絶縁膜402bは、第1下地絶縁膜402aと同様の材料及び方法により形成できる。なお、図14Aに示すA−A’線に沿った断面において、第2下地絶縁膜402bの表面に画素電極側ソースドレイン電極302と信号線側ソースドレイン電極303とに起因する凹凸が形成される。積層された第1下地絶縁膜402aと第2下地絶縁膜402bとで、絶縁膜としての下地絶縁膜402が構成される。以下では、積層された第1下地絶縁膜402aと第2下地絶縁膜402bとを、単に下地絶縁膜402と表記する。
次に、下地絶縁膜402に、下地絶縁膜402の表面から窪んだ凹部301を形成する。図15に示すように、凹部301は、平面視において走査線42のY方向に延在する副線部分と重なるように、Y方向を長手方向として画素電極側ソースドレイン電極302と信号線側ソースドレイン電極303との間に形成される。凹部301を形成する工程では、下地絶縁膜402のうち、平面視で画素電極側ソースドレイン電極302及び信号線側ソースドレイン電極303と重なる部分も除去される。これにより、図16Aに示すように、画素電極側ソースドレイン電極302及び信号線側ソースドレイン電極303の上面及び凹部301側の側面が露出する。
凹部301は、例えば、フォトレジストからなるマスクの開口部から、ドライエッチング等の異方性エッチングにより下地絶縁膜402を表面から略垂直方向に掘り下げることで形成できる。図16Bに示す凹部301の幅方向に沿った断面において、凹部301の底辺の幅aは、エッチングマスクとなるフォトレジストを現像する際の露光装置の解像度の限界値(最小値)に設定される。本実施形態では、例えば、400nm〜500nm程度とする。凹部301の深さbは、製品仕様に基づいて適宜設定される。本実施形態では、例えば、40μm程度とする。
次に、下地絶縁膜402の凹部301内に半導体膜44aを形成する。半導体膜44aを形成する工程では、まず、図18A及び図18Bに破線で示すように、下地絶縁膜402の表面を覆うように非晶質シリコン膜44hを形成する。この工程では、減圧CVD法等を用いて、凹部301の側面301b,301c及び底面301aと画素電極側ソースドレイン電極302及び信号線側ソースドレイン電極303の上面及び側面301b,301cとを覆うように、下地絶縁膜402の表面に非晶質シリコン膜44hを堆積させる。続いて、500℃以上の熱処理を行い非晶質シリコン膜44hを固相結晶化させる。熱処理は、例えば、600℃の温度で10時間程度行う。これにより、非晶質シリコン膜44hが結晶化して多結晶シリコン膜となる。
続いて、図18A及び図18Bに示すように、結晶化した多結晶シリコン膜に対してエッチバック処理を施して、多結晶シリコン膜(半導体膜)のうち、凹部301の側面301b,301cに配置された部分以外の部分を除去する(除去工程)。エッチバック処理とは、フォトレジストなどのマスクを用いず、被エッチング物(本実施形態では多結晶シリコン膜)を除去するためのエッチング処理のことである。エッチバック処理としては、例えば、異方性(指向性)が強い誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma:ICP)を用いることができる。なお、下地絶縁膜402の上面を覆う多結晶シリコン膜を除去する際に、CMP(Chemical Mechanical Polishing)処理を併用してもよい。
除去工程でエッチバック処理を施すことにより、多結晶シリコン膜のうち、下地絶縁膜402の表面(上面)と画素電極側ソースドレイン電極302及び信号線側ソースドレイン電極303の上面とを覆う部分と、凹部301の底面301aの中央部を覆う部分とが除去され、凹部301の側面301b,301cを覆う部分がサイドウォール状の半導体膜44aとして残る。この結果、凹部301内にサイドウォール状の半導体膜44aが形成される。
図17に示すように、半導体膜44aは、平面視において、凹部301の長手方向(Y方向)の一対の側面301cと幅方向(X方向)の一対の側面301bとに沿って、画素電極側ソースドレイン電極302と信号線側ソースドレイン電極303との間に矩形枠状に配置される。本実施形態に係る半導体装置の製造方法によれば、平面視における半導体膜44aの幅を露光装置の解像度の限界値よりも小さく形成することができる。図18Bに示す半導体膜44aの幅cは、例えば、10nm〜100nm程度とする。
なお、多結晶シリコン膜に対して上方側(+Z方向側)からエッチバック処理を施すため、凹部301の底面301aにおける半導体膜44aの幅cよりも上方側における半導体膜44aの幅が小さくなってもよい。また、サイドウォール状の半導体膜44aの高さが、凹部301の深さbよりも小さくなってもよい。ただし、図18Aに示すように、半導体膜44aの画素電極側ソースドレイン領域44sが画素電極側ソースドレイン電極302に電気的に接続され、信号線側ソースドレイン領域44dが信号線側ソースドレイン電極303に電気的に接続されるため、半導体膜44aは、画素電極側ソースドレイン電極302及び信号線側ソースドレイン電極303との十分な接触が確保できる高さを有することが望ましい。
そして、半導体膜44aに、チャネル領域44cと画素電極側ソースドレイン領域44sと信号線側ソースドレイン領域44dと第1LDD領域44eと第2LDD領域44fとを形成する。チャネル領域44cには、ボロン(B)イオン等のP型の不純物イオンがドープされ、その他の領域(44s,44d,44e,44f)には、リン(P)イオン等のN型の不純物イオンがドープされる。第1LDD領域44e及び第2LDD領域44fは、それぞれ画素電極側ソースドレイン領域44s及び信号線側ソースドレイン領域44dよりも不純物の少ない低濃度な不純物領域として形成される。
次に、半導体膜44aを覆うようにゲート絶縁膜44bを形成する。ゲート絶縁膜44bを形成する工程では、まず、図18A及び図18Bに示す半導体膜44aを熱酸化させて、半導体膜44aの表面側に不図示の酸化珪素膜を形成する。そして、例えば、温度が700℃から900℃の高温条件での減圧CVD法により酸化珪素膜を積層形成することにより、図20A及び図20Bに示すように、半導体膜44aを覆うようにゲート絶縁膜44bを形成する。ゲート絶縁膜44bの表面には、半導体膜44aが配置された凹部301の形状が反映される。
なお、ゲート絶縁膜44bを形成する工程では、ゲート絶縁膜44bを、半導体膜44aを熱酸化させた酸化珪素膜のみで形成することとしてもよく、その上に酸化珪素膜を積層形成するか否かは設計上の要求仕様に応じて決定すればよい。ただし、半導体膜44aの熱酸化を過剰に行うと、画素トランジスター44の半導体膜44aとして機能する部分が失われてしまう場合がある。
次に、図20A及び図20Bに示すように、ゲート絶縁膜44b上にゲート電極44gを形成する。ゲート電極44gを形成する工程の前に、ゲート絶縁膜44bと下地絶縁膜402とに、走査線42に到達する第1コンタクトホール404を開口する。図19に示すように、第1コンタクトホール404は、平面視において、走査線42の矩形部分と重なる領域における半導体膜44aの幅方向(X方向)の両側に一対形成される。
続いて、図19に示すように、ゲート絶縁膜44b上に、第2走査線49となる第6導電膜405を形成する。第6導電膜405は、平面視において、X方向に延在して走査線42と重なる主線部分と、半導体膜44aのチャネル領域44cと重なる部分と、を備えている。本実施形態では、第6導電膜405は、多結晶シリコンやタングステンシリサイド(WSi)等の遮光性の金属で形成される。以下では、第6導電膜405を第2走査線49と表記する。
図20Bに示すように、第2走査線49を第1コンタクトホール404を埋めて形成することにより、第2走査線49と走査線42とが電気的に接続される。また、第2走査線49は、凹部301内を埋めてサイドウォール状の半導体膜44aとゲート絶縁膜44bを挟んで対向するように配置される。第2走査線49における半導体膜44aと対向する部分が、ゲート電極44gとなる。これにより、凹部301の両側の側面301bにおいて半導体膜44aとゲート絶縁膜44bとゲート電極44gとが凹部301の幅方向に積層されて、一対のチャネルを有する画素トランジスター44が構成される。
次に、第2走査線49と画素トランジスター44とを覆うように、第1層間絶縁膜406を形成する(図22A及び図22B参照)。第1層間絶縁膜406は、NSG膜、PSG膜、BSG膜、BPSG膜等の酸化珪素膜からなる。これらの酸化珪素膜は、シランガス、2塩化シラン、TEOS、TEB(テトラ・エチル・ボートレート)、TMOP(テトラ・メチル・オキシ・フォスレート)等を用いた常圧CVD法や減圧CVD法、或いはプラズマCVD法等により形成できる。
次に、第1層間絶縁膜406を覆うように、第1保護膜407を形成する(図22A及び図22B参照)。第1保護膜407は窒化珪素膜(SiN)からなる。第1保護膜407は、シランガス、2塩化シラン、アンモニア(NH3)、窒素(N2)等を用いた常圧CVD法や減圧CVD法、或いはプラズマCVD法等により形成できる。
次に、図21、図22A、及び図22Bに示すように、第1保護膜407上に第1導電膜408を形成する。図21に示すように、第1導電膜408は、平面視において走査線42の矩形部分と重なるように形成される。第1導電膜408は、燐原子が1×1019個/cm3以上の濃度で含まれている縮体半導体である。第1導電膜408は、容量素子の第1電極91として機能する。
次に、図23に示すように、第1導電膜408上に第2保護膜409を形成し、第1導電膜408の上面及び外周の一部から第2保護膜409を除去する(図24B参照)。第2保護膜409は、NSG膜やPSG膜、BSG膜、BPSG膜等の酸化珪素膜からなる。第2保護膜409は、第1層間絶縁膜406と同様に堆積された後、第1導電膜408の一部(後に第5コンタクトホール421が形成される箇所)を覆うようにパターニング加工して形成される。
そして、フッ化水素酸水溶液を用いたウエットエッチング法にて、第1導電膜408の上面(第1面)及び外周側面(第4面)に残留した第2保護膜409を除去する。これにより、第1導電膜408の外周の一部、即ち、第1容量素子491と第4容量素子494とが形成される領域から第2保護膜409が除去される。
第2保護膜409と第1層間絶縁膜406とは共に酸化膜である為に両者はウエットエッチングにてエッチングされ得る。窒化膜からなる第1保護膜407を第2保護膜409と第1層間絶縁膜406との間に設けることで、第1導電膜408の外周の一部から第2保護膜409を除去する工程で、第1層間絶縁膜406がエッチングされるおそれはなくなり、第1導電膜408の下部がエッチングされるおそれがなくなる。即ち、第1保護膜407は、第1導電膜408の外周の一部から第2保護膜409を除去する工程でのエッチングストッパーとなっている。
次に、図24A及び図24Bに示すように、第1保護膜407と第2保護膜409とを覆うように第1誘電体膜410を形成し、第1誘電体膜410上に第2導電膜411を形成する。第1誘電体膜410は、酸化珪素膜や窒化珪素膜等のシリコン化合物を用いることが可能である他、アルミニウム酸化膜、チタン酸化膜、タンタル酸化膜、ニオブ酸化膜、ハフニウム酸化膜、ランタン酸化膜、ジルコニウム酸化膜等の高誘電率の誘電体膜を用いることもできる。
第2導電膜411は、導電性の多結晶シリコン膜や金属シリサイド膜、金属膜或いは金属化合物膜等の導電膜を用いることができる。本実施形態では、第1誘電体膜410は窒化珪素膜であり、第2導電膜411は縮体半導体である。第2導電膜411は、容量素子の第2電極92として機能する。
次に、図25、図26A、及び図26Bに示すように、第2導電膜411をパターニング加工する。第2導電膜411のパターニング加工時に、画素41の開口領域(画素41で、走査線42、第2導電膜411、及び後に形成される信号線43(図33参照)に平面視で重ならない領域)に存在する第1保護膜407を除去することが好ましい。こうすることで、後に行われるフォーミングガス(不活性気体中に水素を4%未満の濃度で含んだ気体)アニールや水素プラズマ処理にて、水素が半導体膜44aへと拡散させられ、半導体膜44aの欠陥(不対結合対や積層欠陥等)の終端が促進される。
また、この際に、第2保護膜409はエッチングストッパーとして機能する。第2保護膜409に覆われている第1電極91(第1導電膜408)部分は、後工程で共通電極線に接続される。第2保護膜409が存在しない場合、第2電極92(第2導電膜411)のエッチング時に、第1電極91(第1導電膜408)がエッチングされてしまい、共通電極線への電気的な接続ができなくなるが、第2保護膜409が存在することで第1導電膜408と共通電位線471への電気的な接続が確実となる。第1保護膜407と第1導電膜408と第1誘電体膜410と第2導電膜411とは、後に第3コンタクトホール412(図27参照)が形成される部位から取り除いておくことが好ましい。
次に、図28A及び図28Bに示すように、第1導電膜408と第2保護膜409と第2導電膜411とを覆うように第2層間絶縁膜414を形成する。第2層間絶縁膜414は、NSG膜や、或いは、PSG膜、BSG膜、BPSG膜等の酸化珪素膜からなる。これらの酸化珪素膜は、シランガス、2塩化シラン、TEOS、TEB、TMOP等を用いた常圧CVD法や減圧CVD法、或いはプラズマCVD法等により形成される。
続いて、図27、図28A、及び図28Bに示すように、第2層間絶縁膜414における平面視で第2導電膜411と重なる領域の内側に第2コンタクトホール415を開口する。また、第2層間絶縁膜414と第1層間絶縁膜406とゲート絶縁膜44bとを貫通して、画素電極側ソースドレイン電極302と容量素子の第2電極92とを電気的に接続する為の第3コンタクトホール412を開口する。
第3コンタクトホール412を開口する工程では、フッ化水素酸水溶液を用いたウエットエッチング法を適応することができる。第2導電膜411は、この際に第1誘電体膜410をフッ化水素酸水溶液から保護する役目も担っている。第3コンタクトホール412は、ゲート絶縁膜44bや第1層間絶縁膜406などの半導体膜44aを覆う絶縁膜と第2層間絶縁膜414とに開口されることになるので、第3容量素子493の容量値が大きくなる。
次に、図29、図30A、及び図30Bに示すように、第2層間絶縁膜414上に第3導電膜416を形成する。第3導電膜416は、導電性の多結晶シリコン膜や金属シリサイド膜、金属膜或いは金属化合物膜等の導電膜を用いて形成できる。本実施形態では、第3導電膜416は縮体半導体である。第3導電膜416は、平面視で、第2コンタクトホール415を完全に覆うように形成する。第3導電膜416は、容量素子の第2電極92として機能する。図30A及び図30Bに示すように、第3導電膜416は、第2コンタクトホール415において第2導電膜411と電気的に接続される。そして、第3導電膜416により、画素電極側ソースドレイン電極302と容量素子の第2電極92とが電気的に接続される。
続いて、図30A及び図30Bに示すように、第2層間絶縁膜414と第3導電膜416とを覆うように、第2誘電体膜417を形成する。第2誘電体膜417は、酸化珪素膜や窒化珪素膜等のシリコン化合物を用いることが可能である他、アルミニウム酸化膜、チタン酸化膜、タンタル酸化膜、ニオブ酸化膜、ハフニウム酸化膜、ランタン酸化膜、ジルコニウム酸化膜等の高誘電率の誘電体膜を用いて形成することもできる。本実施形態では、第2誘電体膜417は窒化珪素膜である。
次に、図31、図32A、及び図32Bに示すように、第4導電膜418を形成する。第4導電膜418は、導電性の多結晶シリコン膜や金属シリサイド膜、金属膜或いは金属化合物膜等の導電膜を用いて形成することができる。本実施形態では、第4導電膜418は金属膜で、具体的にはタングステンシリサイドである。第4導電膜418は、開口率(画素41における開口領域の割合)を損なわぬ範囲で、平面視にて、第3導電膜416をできる限り覆うように形成する。これにより、第5容量素子495の容量値を大きくすることができる。
続いて、図32A及び図32Bに示すように、第2誘電体膜417と第4導電膜418とを覆うように、第3層間絶縁膜419を形成する。第3層間絶縁膜419は、NSG膜や、或いは、PSG膜、BSG膜、BPSG膜等の酸化珪素膜からなる。これらの酸化珪素膜は、シランガス、2塩化シラン、TEOS、TEB、TMOP等を用いた常圧CVD法や減圧CVD法、或いはプラズマCVD法等により形成できる。
続いて、第4コンタクトホール420と第5コンタクトホール421と第6コンタクトホール422とを開口する。図32Aに示すように、第4コンタクトホール420は、第3層間絶縁膜419と第2誘電体膜417と第2層間絶縁膜414と第1層間絶縁膜406とゲート絶縁膜44bとを貫通して、信号線43(図7参照)と信号線側ソースドレイン電極303とを電気的に接続する為のコンタクトホールである。
図32Bに示すように、第5コンタクトホール421は、第3層間絶縁膜419と第2誘電体膜417と第2層間絶縁膜414と第2保護膜409とを貫通して、第1電極91(第1導電膜408と第4導電膜418)と共通電位線用中継電極472(図8参照)とを電気的に接続する為のコンタクトホールである。第5コンタクトホール421により、第1導電膜408と第4導電膜418とが電気的に接続されるので、狭い領域に積層して設けられた第1導電膜408と第4導電膜418とを等電位とすることが可能となる。
第6コンタクトホール422は、第3層間絶縁膜419と第2誘電体膜417と第2層間絶縁膜414とを貫通して、第2電極92(やそれに電気的に接続する第2導電膜411や第3導電膜416)と画素電極用中継電極452(図8参照)とを電気的に接続する為のコンタクトホールである。
次に、図33に示すように、第3層間絶縁膜419上に信号線43と共通電位線用中継電極472と画素電極用中継電極452とを形成する。これにより、信号線43で第4コンタクトホール420が埋められ(図7参照)、共通電位線用中継電極472で第5コンタクトホール421が埋められ(図8参照)、画素電極用中継電極452で第6コンタクトホール422が埋められる(図8参照)。本実施形態では、信号線43と共通電位線用中継電極472と画素電極用中継電極452とを、アルミニウム合金膜や、窒化チタン膜とアルミニウム膜とを2層から4層に積層して形成する。
次に、信号線43と共通電位線用中継電極472と画素電極用中継電極452との上層に酸化珪素膜等からなる透光性の不図示の第4層間絶縁膜を形成し、第4層間絶縁膜の表面を平坦化する。そして、第4層間絶縁膜の上層側にアルミニウム膜やアルミニウム合金膜等を含む共通電位線471を形成し、第4層間絶縁膜に開口した不図示の第7コンタクトホールを介して共通電位線用中継電極472に電気的に接続する。
更に、共通電位線471の上層側に酸化珪素膜等からなる透光性の不図示の第5層間絶縁膜を形成し、第5層間絶縁膜の表面を平坦化する。第5層間絶縁膜の上層側に、ITO等からなる透明導電膜を画素電極45として形成し、第4層間絶縁膜と第5層間絶縁膜とに開口した不図示の第8コンタクトホールを介して、画素電極用中継電極452に電気的に接続する。
その後、画素電極45を覆うように第1配向膜65を形成して、液晶装置200を構成する素子基板62が完成する(図4参照)。
以上説明したように、実施形態1に係る半導体装置を含む電気光学装置の構成とその製造方法によれば、半導体膜44aを凹部301の側面301bにサイドウォール状に形成するので、半導体膜44aの幅を露光装置の解像度の限界値よりも小さくすることができる。これにより、半導体膜44aの幅を遮光膜(走査線42や信号線43)の幅に対してより小さくできるので、高精細化が進められて画素41の配置ピッチが小さくなっても、光リーク電流の抑制効果が高く画素電位の変動が抑えられる画素トランジスター44を提供できる。
また、画素トランジスター44と平面視で重なるように配置された容量素子が遮光膜として機能するので、画素トランジスター44に上下方向から入射する光に対する遮光性が向上する。さらに、容量素子の単位面積当たりの容量値を大きくできるので、画素電位を維持する能力が向上する。これらの結果、フリッカーや表示ムラなどが少なく高品位な画像を表示する電気光学装置200を提供することができる。
(実施形態2)
実施形態2では、実施形態1に対して、半導体装置を含む素子基板の構成が異なるが、液晶装置における他の部分の構成は同じである。ここでは、実施形態2に係る半導体装置を含む素子基板の構成およびその製造方法について、実施形態1との相違点を説明し、実施形態1と同じ構成要素については同一の符号を付してその説明を省略する。
実施形態2では、実施形態1に対して、半導体装置を含む素子基板の構成が異なるが、液晶装置における他の部分の構成は同じである。ここでは、実施形態2に係る半導体装置を含む素子基板の構成およびその製造方法について、実施形態1との相違点を説明し、実施形態1と同じ構成要素については同一の符号を付してその説明を省略する。
図34及び図35は、実施形態2に係る素子基板の構成を示す概略断面図である。実施形態2に係る素子基板62Aの平面的な構成は実施形態1とほぼ同じである。図34は、図5及び図6のA−A’線に沿った断面図に相当する。図35は、図5及び図6のB−B’線に沿った断面図に相当する。
「素子基板」
実施形態2に係る素子基板62Aは、実施形態1に対して、下地絶縁膜402に凹部301の代わりに凸部305が設けられており、凸部305に半導体装置としての画素トランジスター44Aが設けられている点が異なる。図34及び図35に示すように、下地絶縁膜402には、下地絶縁膜402の表面から上方に突出する凸部305が形成されている。断面視において、凸部305は略矩形状に形成されている。従って、凸部305は、X−Z平面に沿った一対の側面305cと、Y−Z平面に沿った一対の側面305bと、を有する。Y−Z平面に沿った一対の側面305bが、本発明の「側面」である。図示しないが、平面視において、凸部305は矩形状でありY方向に沿って延在している。
実施形態2に係る素子基板62Aは、実施形態1に対して、下地絶縁膜402に凹部301の代わりに凸部305が設けられており、凸部305に半導体装置としての画素トランジスター44Aが設けられている点が異なる。図34及び図35に示すように、下地絶縁膜402には、下地絶縁膜402の表面から上方に突出する凸部305が形成されている。断面視において、凸部305は略矩形状に形成されている。従って、凸部305は、X−Z平面に沿った一対の側面305cと、Y−Z平面に沿った一対の側面305bと、を有する。Y−Z平面に沿った一対の側面305bが、本発明の「側面」である。図示しないが、平面視において、凸部305は矩形状でありY方向に沿って延在している。
「半導体装置」
実施形態2に係る半導体装置としての画素トランジスター44Aでは、半導体膜44aが、凸部305の長手方向の一対の側面305cと幅方向の一対の側面305bとに配置されている。図示しないが、平面視において、画素トランジスター44Aの半導体膜44aは、遮光膜(走査線42や信号線43)と重なる領域において、凸部305の周囲に矩形枠状に配置されている。画素トランジスター44Aも、実施形態1と同様に、素子基板62Aの平面方向(X方向)と交差する方向(Z方向)にチャネル部を有する、所謂FinFET型のトランジスターである。画素トランジスター44Aも、一対のチャネルを有する。
実施形態2に係る半導体装置としての画素トランジスター44Aでは、半導体膜44aが、凸部305の長手方向の一対の側面305cと幅方向の一対の側面305bとに配置されている。図示しないが、平面視において、画素トランジスター44Aの半導体膜44aは、遮光膜(走査線42や信号線43)と重なる領域において、凸部305の周囲に矩形枠状に配置されている。画素トランジスター44Aも、実施形態1と同様に、素子基板62Aの平面方向(X方向)と交差する方向(Z方向)にチャネル部を有する、所謂FinFET型のトランジスターである。画素トランジスター44Aも、一対のチャネルを有する。
図34に示すA−A’線に沿った断面において、下地絶縁膜402上には、凸部305の長手方向の一端側(+Y方向側)に画素電極側ソースドレイン電極302が配置され、他端側(−Y方向側)に信号線側ソースドレイン電極303が配置されている。凸部305は、画素電極側ソースドレイン電極302及び信号線側ソースドレイン電極303よりも上方に突出している。
半導体膜44aは、凸部305の長手方向の両端の側面305cに設けられている。半導体膜44aの凸部305の一端側(+Y方向側)の部分(画素電極側ソースドレイン領域44s)は、画素電極側ソースドレイン電極302上に配置され、画素電極側ソースドレイン電極302に電気的に接続されている。半導体膜44aの凸部305の他端側(−Y方向側)の部分(信号線側ソースドレイン領域44d)は、信号線側ソースドレイン電極303上に配置され、信号線側ソースドレイン電極303に電気的に接続されている。
図35に示すB−B’線に沿った断面において、半導体膜44aのチャネル領域44cは、凸部305の幅方向の両端の側面305bに配置されている。凸部305の側面305bにサイドウォール状に配置された半導体膜44aを覆うとともに下地絶縁膜402と凸部305とを覆うように、ゲート絶縁膜44bが配置されている。
ゲート絶縁膜44b上には、凸部305の幅方向であるX方向に沿って凸部305を跨ぐように、第2走査線49が配置されている。第2走査線49のうち、凸部305の側面305bにおいて半導体膜44aのチャネル領域44cと対向するように配置された部分がゲート電極44gである。従って、凸部305の側面305bにおいて、半導体膜44aとゲート絶縁膜44bとゲート電極44gとが凸部305の幅方向の両側に積層されている。即ち、画素トランジスター44Aは一対のチャネルを有する。
B−B’線に沿った断面における凸部305の幅をaとし、半導体膜44aの平面視における幅をcとする(図38B参照)。実施形態1と同様に、凸部305の幅aは露光装置の解像度の限界値に基づいて設定される。半導体膜44aの幅cも、実施形態1と同様に、凸部305の幅aの1/2よりも小さく設定される。そのため、画素トランジスター44Aにおいても、平面視における半導体膜44aの実質的な幅(c×2)を凸部305の幅aよりも小さくすることができる。
従って、実施形態2においても、半導体膜44aを下地絶縁膜402の凸部305の側面305bにサイドウォール状に形成することにより、半導体膜44aの幅を露光装置の解像度の限界値よりも小さくすることができる。これにより、半導体膜44aの幅を遮光膜(走査線42や信号線43)の幅に対してより小さくできるので、光リーク電流の抑制効果が高い画素トランジスター44Aを提供できる。
また、凸部305の側面305bにおいてサイドウォール状に形成された半導体膜44aとゲート絶縁膜44bとゲート電極44gとが凸部305の幅方向に積層されているので、平面視における半導体膜44aの幅を小さくしても、半導体膜44aのチャネル領域44cの実効的な面積を確保することができる。
「半導体装置及び電気光学装置の製造方法」
次に、実施形態2に係る電気光学装置の製造方法として、半導体装置の製造方法を説明する。図36Aから図39Bは、実施形態2に係る半導体装置の製造方法を説明する図である。図36A、図37A、図38A、図39Aは、A−A’線に沿った断面図である。図36B、図37B、図38B、図39Bは、B−B’線に沿った断面図である。
次に、実施形態2に係る電気光学装置の製造方法として、半導体装置の製造方法を説明する。図36Aから図39Bは、実施形態2に係る半導体装置の製造方法を説明する図である。図36A、図37A、図38A、図39Aは、A−A’線に沿った断面図である。図36B、図37B、図38B、図39Bは、B−B’線に沿った断面図である。
図36A及び図36Bに示すように、基板61上に走査線42と第1下地絶縁膜402aとを形成し、第1下地絶縁膜402a上に画素電極側ソースドレイン電極302と信号線側ソースドレイン電極303とを形成する。そして、第1下地絶縁膜402aと画素電極側ソースドレイン電極302及び信号線側ソースドレイン電極303とを覆うように第2下地絶縁膜402bを形成する。積層された第1下地絶縁膜402aと第2下地絶縁膜402bとで、下地絶縁膜402が構成される。
次に、図37A及び図37Bに示すように、下地絶縁膜402に、凸部305を形成する。凸部305は、フォトレジストをマスクとして異方性エッチングにより、下地絶縁膜402の表面から凸部305となる部分以外の領域を掘り下げることで形成できる。
図37Aに示すA−A’線に沿った断面において、凸部305は、Y方向を長手方向として画素電極側ソースドレイン電極302と信号線側ソースドレイン電極303との間に形成される。また、下地絶縁膜402のうち平面視で画素電極側ソースドレイン電極302及び信号線側ソースドレイン電極303と重なる部分が除去され、画素電極側ソースドレイン電極302と信号線側ソースドレイン電極303とが露出する。
図37Bに示すB−B’線に沿った断面において、凸部305の幅aは、エッチングマスクとなるフォトレジストを現像する際の露光装置の解像度の限界値(最小値)に設定される。従って、凸部305の幅aは、実施形態1の凹部301の幅aと同じとなる。また、凸部305の高さbは、実施形態1の凹部301の高さbと同じに設定される。
次に、図38A及び図38Bに示すように、凸部305の側面305b,305cに半導体膜44aを形成する。まず、凸部305の側面305b,305c及び上面と画素電極側ソースドレイン電極302及び信号線側ソースドレイン電極303の上面とを覆うように、破線で示す非晶質シリコン膜44hを堆積させる。続いて、非晶質シリコン膜44hに熱処理を行い、結晶化した多結晶シリコン膜に対してエッチバック処理を施して、多結晶シリコン膜のうち、凸部305の側面305b,305cに形成された部分以外の部分を除去する(除去工程)。
除去工程でエッチバック処理を施すことにより、多結晶シリコン膜のうち、下地絶縁膜402の表面(上面)と画素電極側ソースドレイン電極302及び信号線側ソースドレイン電極303の上面とを覆う部分と、凸部305の上面とを覆う部分とが除去され、凸部305の側面305b,305cを覆う部分がサイドウォール状の半導体膜44aとして残る。図38Aに示すA−A’線に沿った断面において、凸部305の一端側(+Y方向側)の側面305cでは半導体膜44a(画素電極側ソースドレイン領域44s)が画素電極側ソースドレイン電極302に電気的に接続され、凸部305の他端側(−Y方向側)の側面305cでは半導体膜44a(信号線側ソースドレイン領域44d)が信号線側ソースドレイン電極303に電気的に接続される。
次に、図39A及び図39Bに示すように、半導体膜44aを覆うようにゲート絶縁膜44bを形成した後、ゲート絶縁膜44b上にゲート電極44g(第2走査線49)を形成する。図39Bに示すように、凸部305の幅方向であるX方向に沿って凸部305を跨ぐように第2走査線49を形成することにより、凸部305の側面305bにおいて半導体膜44aのチャネル領域44cと対向するようゲート電極44gが形成される。これにより、凸部305の側面305bにおいて半導体膜44aとゲート絶縁膜44bとゲート電極44gとが凸部305の幅方向に積層されて、LDD構造を有する画素トランジスター44Aが構成される。以降、実施形態1と同様の工程を経て、素子基板62Aが完成する。
実施形態2に係る半導体装置を含む電気光学装置の構成とその製造方法によれば、実施形態1と同様に、高精細化が進められて画素41の配置ピッチが小さくなっても、光リーク電流の抑制効果が高く画素電位の変動が抑えられる画素トランジスター44Aを提供できる。そして、フリッカーや表示ムラなどが少なく高品位な画像を表示する電気光学装置200を提供することができる。
上述した実施形態は、あくまでも本発明の一態様を示すものであり、本発明の範囲内で任意に変形および応用が可能である。変形例としては、例えば、以下のようなものが考えられる。
(変形例1)
上記実施形態ではサイドウォール状の半導体膜44aが凹部301または凸部305の両側の側面301b,305bに配置されていたが、半導体膜44aが凹部301または凸部305の片側の側面301b,305bに配置されていてもよい。
上記実施形態ではサイドウォール状の半導体膜44aが凹部301または凸部305の両側の側面301b,305bに配置されていたが、半導体膜44aが凹部301または凸部305の片側の側面301b,305bに配置されていてもよい。
(変形例2)
上記実施形態ではサイドウォール状の半導体膜44aをエッチバック処理により形成していたが、その他の製造方法(例えば、フォトリソグラフィ法等)を用いてサイドウォール状の半導体膜44aを形成するようにしてもよい。
上記実施形態ではサイドウォール状の半導体膜44aをエッチバック処理により形成していたが、その他の製造方法(例えば、フォトリソグラフィ法等)を用いてサイドウォール状の半導体膜44aを形成するようにしてもよい。
(変形例3)
電気光学装置200を組み込んだ電子機器は、図1を参照して説明した投写型表示装置に限定されない。他の電子機器としては、例えば、リアプロジェクション型テレビ、直視型テレビ、携帯電話、携帯用オーディオ機器、パーソナルコンピューター、ビデオカメラのモニター、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、ディジタルスチルカメラなどを挙げることができる。こうして解像度が高く表示不良が抑制された優良な電気光学装置を備えた電子機器が実現される。
電気光学装置200を組み込んだ電子機器は、図1を参照して説明した投写型表示装置に限定されない。他の電子機器としては、例えば、リアプロジェクション型テレビ、直視型テレビ、携帯電話、携帯用オーディオ機器、パーソナルコンピューター、ビデオカメラのモニター、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、ディジタルスチルカメラなどを挙げることができる。こうして解像度が高く表示不良が抑制された優良な電気光学装置を備えた電子機器が実現される。
42…走査線(遮光膜)、43…信号線(遮光膜)、44,44A…画素トランジスター(半導体装置)、44a…半導体膜、44b…ゲート絶縁膜、44c…チャネル領域、44d…信号線側ソースドレイン領域(ソースドレイン領域)、44s…画素電極側ソースドレイン領域(ソースドレイン領域)、44g…ゲート電極、200…液晶装置(電気光学装置)、301…凹部、301b…側面、305…凸部、305b…側面、402…下地絶縁膜(絶縁膜)、1000…投写型表示装置(電子機器)。
Claims (13)
- 凹部の側面に配置された半導体膜と、
前記半導体膜を覆うように配置されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を挟んで前記半導体膜と対向するように配置されたゲート電極と、
前記半導体膜と平面視で重なるように配置された遮光膜と、を備えた半導体装置。 - 平面視における前記半導体膜の幅は前記凹部の幅の1/2よりも小さい請求項1に記載の半導体装置。
- 前記凹部の前記側面において、前記半導体膜と前記ゲート絶縁膜と前記ゲート電極とが前記凹部の幅方向に積層されている請求項1または2のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 凸部の側面に配置された半導体膜と、
前記半導体膜を覆うように配置されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜を挟んで前記半導体膜と対向するように配置されたゲート電極と、
前記半導体膜と平面視で重なるように配置された遮光膜と、を備えた半導体装置。 - 平面視における前記半導体膜の幅は前記凸部の幅の1/2よりも小さい請求項4に記載の半導体装置。
- 前記凸部の前記側面において、前記半導体膜と前記ゲート絶縁膜と前記ゲート電極とが前記凸部の幅方向に積層されている請求項4または5のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記半導体膜は、
前記ゲート電極と対向するチャネル領域と、
ソースドレイン領域と、
前記チャネル領域と前記ソースドレイン領域との間に配置されたLDD領域と、を備える請求項1から6のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の半導体装置を備えた電気光学装置。
- 請求項8に記載の電気光学装置を備えた電子機器。
- 絶縁膜の表面から窪んだ凹部を形成する工程と、
前記絶縁膜の表面と前記凹部とを覆うように半導体膜を形成する工程と、
前記半導体膜のうち、前記凹部の側面に形成された部分以外の部分を除去する除去工程と、
前記半導体膜を覆うようにゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜を挟んで前記半導体膜と対向するようにゲート電極を形成する工程と、
前記半導体膜と平面視で重なるように遮光膜を形成する工程と、を備えた半導体装置の製造方法。 - 絶縁膜の表面から突出する凸部を形成する工程と、
前記絶縁膜の表面と前記凸部とを覆うように半導体膜を形成する工程と、
前記半導体膜のうち前記凸部の側面に形成された部分以外の部分を除去する除去工程と、
前記半導体膜を覆うようにゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜を挟んで前記半導体膜と対向するようにゲート電極を形成する工程と、
前記半導体膜と平面視で重なるように遮光膜を形成する工程と、を備えた半導体装置の製造方法。 - 前記除去工程では、前記半導体膜をエッチバック処理する請求項10または11に記載の半導体装置の製造方法。
- 請求項10から12のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法を備えた電気光学装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017170933A JP2019047051A (ja) | 2017-09-06 | 2017-09-06 | 半導体装置、電気光学装置、電子機器、半導体装置の製造方法、電気光学装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017170933A JP2019047051A (ja) | 2017-09-06 | 2017-09-06 | 半導体装置、電気光学装置、電子機器、半導体装置の製造方法、電気光学装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019047051A true JP2019047051A (ja) | 2019-03-22 |
Family
ID=65815775
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017170933A Pending JP2019047051A (ja) | 2017-09-06 | 2017-09-06 | 半導体装置、電気光学装置、電子機器、半導体装置の製造方法、電気光学装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019047051A (ja) |
-
2017
- 2017-09-06 JP JP2017170933A patent/JP2019047051A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9939697B2 (en) | Electro-optical device and electronic apparatus | |
JP4586732B2 (ja) | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 | |
JP2017072741A (ja) | 電気光学装置、電子機器、電気光学装置の製造方法 | |
JP2004125887A (ja) | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 | |
US20070165148A1 (en) | Electro-optical device, method of producing the same, and electronic apparatus | |
JP2015197584A (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 | |
US20210116766A1 (en) | Electro-optical device and electronic apparatus | |
JPH10111520A (ja) | 液晶表示パネル及びそれを用いた電子機器 | |
JP2015197582A (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 | |
JP2007199350A (ja) | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 | |
JP7342649B2 (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 | |
JP2015197583A (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 | |
JP4449863B2 (ja) | 電気光学装置、電子機器 | |
JP2019047051A (ja) | 半導体装置、電気光学装置、電子機器、半導体装置の製造方法、電気光学装置の製造方法 | |
JP2022139567A (ja) | 電気光学装置および電子機器 | |
JP5707970B2 (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP3835068B2 (ja) | アクティブマトリクス基板及び電気光学装置及び電子機器 | |
JP2020204690A (ja) | 電気光学装置、および電子機器 | |
US11429000B2 (en) | Electro-optical device and electronic apparatus | |
JP6908086B2 (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 | |
US20220269140A1 (en) | Electro-optical device and electronic apparatus | |
JP4269659B2 (ja) | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 | |
JP2006126867A (ja) | アクティブマトリクス基板及び電気光学装置及び電子機器 | |
WO2020116107A1 (ja) | 表示装置および半導体装置 | |
JP4910706B2 (ja) | 電気光学装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20180910 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20190920 |
|
RD07 | Notification of extinguishment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7427 Effective date: 20200806 |