JP2019043617A - 気密性収納体及び気密性収納装置 - Google Patents

気密性収納体及び気密性収納装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2019043617A
JP2019043617A JP2017168020A JP2017168020A JP2019043617A JP 2019043617 A JP2019043617 A JP 2019043617A JP 2017168020 A JP2017168020 A JP 2017168020A JP 2017168020 A JP2017168020 A JP 2017168020A JP 2019043617 A JP2019043617 A JP 2019043617A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
airtight
panel
base portion
storage body
frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2017168020A
Other languages
English (en)
Inventor
悠太 豊田
Yuta Toyoda
悠太 豊田
敏之 稲田
Toshiyuki Inada
敏之 稲田
篠原 努
Tsutomu Shinohara
努 篠原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikin Inc
Original Assignee
Fujikin Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikin Inc filed Critical Fujikin Inc
Priority to JP2017168020A priority Critical patent/JP2019043617A/ja
Publication of JP2019043617A publication Critical patent/JP2019043617A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

【課題】非使用時に分解されて限られたスペースに収納可能であるとともに使用時にガスボックスを収納して搬送可能な気密性収納体及び気密性収納装置を提供する。【解決手段】本発明の気密性収納体100は、ガスボックスPを収納する収納本体4を備える。収納本体4は、ガスボックスPを載置するベース部1と、ベース部1に対し着脱可能に立設される周壁部2と、周壁部2に対し着脱可能に設けられる頂壁部3とを有する。【選択図】図1

Description

本発明は、気密性収納体及び気密性収納装置に関する。
従来、半導体基板を収納して製造ラインへ搬送する基板収納容器が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
そして、特許文献1に記載の基板収納容器は、複数の半導体基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉止する正面部と、容器本体と正面部との間に設けられる環状のパッキンとを備える。
ところが、半導体の製造プロセスなどに用いられ、各種製造プロセスにおいては、正確に計量したプロセスガスをプロセスチャンバに供給するために、開閉バルブ、レギュレータ、マスフローコントローラなどの各種の流体制御機器を集積化した流体制御装置が設けられるガスボックスを収納して製造元のクリーンルームから製造ラインへ搬送可能な収納容器が提案されていない。
そして、特許文献1のような基板収納容器を、ガスボックスを収納する容器に適用することが考えられるが、特許文献1のような基板収納容器の容器本体は、分解できないように一体成形されているため、非使用時にスペースが限られたクリーンルームに数多く収納することができないという課題があった。
国際公開第2005/112107号
そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、非使用時に分解されて限られたスペースに収納可能であるとともに使用時にガスボックスを収納して搬送可能な気密性収納体及び気密性収納装置を提供することを目的とする。
(1)本発明に係る一つの態様は、流体制御装置が設けられるガスボックスを収納するための気密性収納体であって、前記ガスボックスを収納する収納本体を備え、前記収納本体は、前記ガスボックスを載置するベース部と、前記ベース部に対し着脱可能に立設される周壁部と、前記周壁部に対し着脱可能に設けられる頂壁部とを有することを特徴とする。
(2)上記(1)の態様において、前記周壁部は、前記ベース部に対し着脱可能に立設される金属のパネルフレームと、前記パネルフレームに張設される透明樹脂のパネルとを有してもよい。
(3)上記(1)又は(2)の態様において、前記ベース部には、ハンドルが設けられてもよい。
(4)上記(1)から(3)までのいずれか一つの態様において、前記ベース部に対し着脱可能に立設されるとともに前記収納本体を挟持する一対の支持用フレームを備えてもよい。
(5)本発明に係る他の一つの態様は、上記(4)の態様に記載の複数の気密性収納体を積み重ねることにより形成される気密性収納装置であって、上段の前記気密性収納体における前記ベース部は、下段の前記気密性収納体における前記支持用フレームによって支持され、上段の前記気密性収納体における前記ベース部を、下段の前記気密性収納体における前記支持用フレームに係合させる係合手段を備えることを特徴とする。
(6)上記(5)の態様において、前記ベース部には、回転可能な車輪が設けられ、上段の前記気密性収納体における前記ベース部が、下段の前記気密性収納体における前記支持用フレームによって支持されたとき、上段の前記気密性収納体における前記車輪が、下段の前記気密性収納体における前記頂壁部に当接しないように設けられてもよい。
本発明によれば、非使用時に分解されて限られたスペースに収納可能であるとともに使用時にガスボックスを収納して搬送可能な気密性収納体及び気密性収納装置を提供することができる。
本発明に係る実施形態の気密性収納体を示す斜視図である。 気密性収納体の分解斜視図である。 収納本体の正面部を除いた斜視図である。 気密性収納体の底面図である。 複数の気密性収納体を積み重ねた気密性収納装置を示す図であり、(a)気密性収納装置の斜視図であり、(b)気密性収納装置の正面図である。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。
(気密性収納体)
図1は本発明に係る実施形態の気密性収納体100を示す斜視図であり、図2は気密性収納体100の分解斜視図であり、図3は収納本体4の正面部を除いた斜視図であり、図4は気密性収納体100の底面図である。
以下、図1〜図4を参照して本発明に係る実施形態の気密性収納体100を詳細に説明する。
(収納本体)
図1〜図3に示すように、本発明に係る実施形態の気密性収納体100は、ガスボックスPを収納する収納本体4を備える。
収納本体4は、箱状体であり、ガスボックスPを載置する板状のベース部1と、ベース部1に対し着脱可能に立設される周壁部2と、周壁部2に対し着脱可能に設けられる頂壁部3とを有する。
収納本体4内に収納されるガスボックスPは、例えば、寸法80cm×40cm×30cm、質量100kg〜200kg、一種類又は多種類の流体を制御する流体制御装置が設けられるものである。
また、ガスボックスPには、その側面側から突出し、ベース部1の上面側と当接する脚部P1が複数設けられており、これらの脚部P1には、それぞれ上下方向に貫通する貫通孔(図示なし)が設けられている。
(ベース部)
ベース部1は、矩形状の板部材をなすとともに剛性を有する金属によって構成されている。
また、ベース部1は、質量100kg〜200kgのガスボックスPを載置する観点から、一定の厚みを有するアルミ、ステレンス又はステレンス合金などによって構成されることが好ましい。
そして、ボルトをガスボックスPの貫通孔に貫通させて、ガスボックスPをベース部1に簡単かつ確実に固定することができる。
なお、ベース部1にガスボックスPの基板を固定したまま、ガスボックスPを組み立ててもよい。
ベース部1の上面側における収納本体4の短手方向(以下、短手方向という)の両端側には、搬送用のハンドル12が複数設けられており、ベース部1の下面側には、台車部8がボルト(図示なし)により固定されている。台車部8には、収納本体4の長手方向(以下、長手方向という)に沿って回転可能な車輪11が2列設けられている(図4参照)。
なお、台車部8は、ベース部1に対し着脱可能に設けられてもよい。
本実施形態では、車輪11は、台車部8を介してベース部1に設けられているが、台車部8を介さずにベース部1に対し着脱可能に設けられてもよい。
さらに、ベース部1の下面側には、下方に突出する突出部13が複数設けられており、これらの突出部13は、短手方向の両端側に位置し、後述する係合手段7の一部を構成するものである。
(周壁部)
周壁部2は、一対の側面部21と、一対の側面部21に連結される背面部22及び正面部5とから形成されている。
一対の側面部21は、長手方向に沿って延在するように、ベース部1に対し着脱可能に立設される側面部用パネルフレーム211と、側面部用パネルフレーム211に張設される側面部用パネル212とを有する。
側面部用パネルフレーム211は、矩形枠状をなすとともに剛性を有する金属によって構成されている。
また、側面部用パネルフレーム211は、アルミ、ステレンス又はステレンス合金などによって構成されることが好ましい。
側面部用パネルフレーム211には、その側面側から突出し、ベース部1の上面側と当接する脚部211aが複数設けられおり、これらの脚部211aには、それぞれ上下方向に貫通する貫通孔211bが設けられている。
側面部用パネルフレーム211の外周面側には、矩形枠状の溝211cが形成され、矩形枠状のパッキン211dがこの溝211cに嵌合されている。
そして、ボルトを側面部用パネルフレーム211の貫通孔211bを貫通させて、矩形枠状のパッキン211dの一部を介して、隙間なく、長手方向に沿って延在するように、側面部用パネルフレーム211をベース部1に立設することができる。
側面部用パネル212が張設される側面部用パネルフレーム211の側面側には、矩形枠状の溝211eが形成されており、矩形枠状のパッキン211fがこの溝211eに嵌合されている。
一方、側面部用パネル212は、矩形状の板部材をなすとともに軽量化に適する樹脂によって構成されている。
また、側面部用パネル212は、収納本体4内にガスボックスPが収納されているかを視認する観点から、透明性のポリカーボネートなどによって構成されることが好ましい。
なお、側面部用パネル212には、窒素などの気体を気密性収納体100内へ供給するための継手212aが設けられているが、このような継手は、後述する背面部22の背面部用パネル222又は正面部5の正面部用パネル52に設けられてもよい。
さらに、必要に応じて逆止弁や圧力計などの機器を設けてもよい。
そして、ボルトを用いて、矩形枠状の溝211eに嵌合される矩形枠状のパッキン211fを介して、隙間なく、側面部用パネル212を側面部用パネルフレーム211の側面側に張設することができる。
背面部22は、短手方向に沿ってベース部1に対し着脱可能に立設される背面部用パネルフレーム221と、背面部用パネルフレーム221に張設される背面部用パネル222とを有する。
背面部用パネルフレーム221は、側面部用パネルフレーム211と同様に、矩形枠状をなすとともに剛性を有する金属によって構成されている。
また、背面部用パネルフレーム221は、アルミ、ステレンス又はステレンス合金などによって構成されることが好ましい。
背面部用パネルフレーム221には、側面部用パネルフレーム211と同様に、その側面側から突出し、ベース部1の上面側と当接する脚部(図示なし)が複数設けられおり、これらの脚部には、それぞれ上下方向に貫通する貫通孔(図示なし)が設けられている。
背面部用パネルフレーム221の下面には、短手方向に沿って延在する直進溝221aが形成され、長尺状のパッキン221bがこの直進溝221aに嵌合されている。
そして、ボルトを背面部用パネルフレーム221の貫通孔を貫通させて、長尺状のパッキン221bを介して、隙間なく、短手方向に沿って延在するように、背面部用パネルフレーム221をベース部1に立設することができる。
さらに、ボルトを用いて、矩形枠状のパッキン211dの一部を介して、隙間なく、背面部用パネルフレーム221を側面部用パネルフレーム211に取り付けることができる。
背面部用パネル222が張設される背面部用パネルフレーム221の側面側には、矩形枠状の溝(図示なし)が形成されており、矩形枠状のパッキン(図示なし)がこの溝に嵌合されている。
一方、背面部用パネル222は、側面部用パネル212と同様に、矩形状の板部材をなすとともに軽量化に適する樹脂によって構成されている。
また、背面部用パネル222は、側面部用パネル212と同様に、収納本体4内にガスボックスPが収納されているかを視認する観点から、透明性のポリカーボネートなどによって構成されることが好ましい。
そして、ボルトを用いて、矩形枠状の溝に嵌合される矩形枠状のパッキンを介して、隙間なく、背面部用パネル222を背面部用パネルフレーム221の側面側に張設することができる。
正面部5は、側面部21及び背面部22と同様に、収納本体4に対し着脱可能に設けられる正面部用パネルフレーム51と、正面部用パネルフレーム51に張設される正面部用パネル52とを有する。
正面部用パネルフレーム51は、側面部用パネルフレーム211及び背面部用パネルフレーム221と同様に、矩形枠状をなすとともに剛性を有する金属によって構成されている。
また、正面部用パネルフレーム51は、アルミ、ステレンス又はステレンス合金などによって構成されることが好ましい。
正面部用パネルフレーム51には、側面部用パネルフレーム211及び背面部用パネルフレーム221と同様に、その側面側から突出し、ベース部1の上面側と当接する脚部511が複数設けられおり、これらの脚部511には、それぞれ上下方向に貫通する貫通孔511aが設けられている。
正面部用パネルフレーム51の下面には、短手方向に沿って延在する直進溝512が形成され、長尺状のパッキン513がこの直進溝512に嵌合されている。
そして、ボルトを正面部用パネルフレーム51の貫通孔511aを貫通させて、長尺状のパッキン513を介して、隙間なく、背面部用パネルフレーム221と対向するように正面部用パネルフレーム51をベース部1に立設することができる。
さらに、ボルトを用いて、矩形枠状のパッキン211dの一部を介して、隙間なく、正面部用パネルフレーム51を側面部用パネルフレーム211に取り付けることができる。
正面部用パネル52が張設される正面部用パネルフレーム51の側面側には、矩形枠状の溝514が形成されており、矩形枠状のパッキン515がこの溝514に嵌合されている。
一方、正面部用パネル52は、側面部用パネル212及び背面部用パネル222と同様に、矩形状の板部材をなすとともに軽量化に適する樹脂によって構成されている。
また、正面部用パネル52は、側面部用パネル212及び背面部用パネル222と同様に、収納本体4内にガスボックスPが収納されているかを視認する観点から、透明性のポリカーボネートなどによって構成されることが好ましい。
なお、正面部用パネル52には、ハンドル521が設けられているが、このようなハンドルは、側面部21の側面部用パネル212又は背面部22の背面部用パネル222に設けられてもよい。
そして、ボルトを用いて、矩形枠状の溝514に嵌合される矩形枠状のパッキン515を介して、隙間なく、正面部用パネル52を正面部用パネルフレーム51の側面側に張設することができる。
(頂壁部)
頂壁部3は、側面部21、背面部22及び正面部5と同様に、側面部21の側面部用パネルフレーム211、背面部22の背面部用パネルフレーム221及び正面部5の正面部用パネルフレーム51に対し着脱可能に設けられる頂壁部用パネルフレーム31と、頂壁部用パネルフレーム31に張設される頂壁部用パネル32とを有する。
頂壁部用パネルフレーム31は、側面部用パネルフレーム211、背面部用パネルフレーム221及び正面部用パネルフレーム51と同様に、矩形枠状をなすとともに剛性を有する金属によって構成されている。
また、頂壁部用パネルフレーム31は、アルミ、ステレンス又はステレンス合金などによって構成されることが好ましい。
なお、側面部用パネルフレーム211、背面部用パネルフレーム221、正面部用パネルフレーム51及び頂壁部用パネルフレーム31は、同一材質の金属によって構成されることが好ましい。
長手方向における頂壁部用パネルフレーム31の両端側には、短手方向に沿って延在する直進溝311が形成され、長尺状のパッキン312がこの直進溝311に嵌合されている。
ボルトを用いて、矩形枠状のパッキン211dの一部及び長尺状のパッキン312を介して、隙間なく、頂壁部用パネルフレーム31を側面部用パネルフレーム211、背面部用パネルフレーム221及び正面部用パネルフレーム51に取り付けることができる。
頂壁部用パネル32が張設される頂壁部用パネルフレーム31の側面側には、矩形枠状の溝313が形成されており、矩形枠状のパッキン314がこの溝313に嵌合されている。
一方、頂壁部用パネル32は、側面部用パネル212、背面部用パネル222及び正面部用パネル52と同様に、矩形状の板部材をなすとともに軽量化に適する樹脂によって構成されている。
また、頂壁部用パネル32は、側面部用パネル212、背面部用パネル222及び正面部用パネル52と同様に、収納本体4内にガスボックスPが収納されているかを視認する観点から、透明性のポリカーボネートなどによって構成されることが好ましい。
なお、頂壁部用パネル32の上面側には、ハンドル321が設けられている。
ハンドル321は、長手方向に沿って延在する回転軸を有し、回転軸回りに回転可能に設けられている。
ハンドル321が、搬送時に把持されて起立状態となるが、非搬送時に頂壁部用パネル32に平行して収納状態となる。
そして、ボルトを用いて、矩形枠状の溝313に嵌合される矩形枠状のパッキン314を介して、隙間なく、頂壁部用パネル32を頂壁部用パネルフレーム31の側面側に張設することができる。
このように、収納本体4は、ガスボックスPを載置する板状のベース部1と、ベース部1に対し着脱可能に立設される周壁部2と、周壁部2に対し着脱可能に設けられる頂壁部3とからなることにより、気密性収納体100の非使用時に、収納本体4を構成する各部品であるベース部1、周壁部2及び頂壁部3を分解してスペースが限られたクリーンルームに収納することができるとともに、気密性収納体100の使用時に、ベース部1、周壁部2及び頂壁部3を組み付けて収納本体4を実現することができる。
また、収納本体4が、一体成形されておらず、分解できるものであるため、収納本体4が部分的に組み付けられた場合であっても、ベース部1にガスボックスPを載置し、ボルトにより固定することが可能である。
さらに、収納本体4の気密性が、周壁部2及び頂壁部3の各パッキンにより保たれるため、組み立て途中のガスボックスPを、収納本体4に収納された状態でクリーンルーム外に一時的に保管することが可能である。
(支持用フレーム)
本発明に係る実施形態の気密性収納体100は、更に、ボルトを介して、ベース部1に対し着脱可能に立設されるとともに収納本体4を挟持する一対の支持用フレーム6を備え、当該一対の支持用フレーム6は、短手方向におけるベース部1の両端側に位置するとともに長手方向に沿って延在するように、設けられている。
支持用フレーム6は、略矩形枠状をなすとともに剛性を有する金属によって構成されている。
また、支持用フレーム6は、アルミ、ステレンス又はステレンス合金などによって構成されることが好ましく、荷重を受け持つ観点から強度が側面部用パネルフレーム211、背面部用パネルフレーム221、頂壁部用パネルフレーム31及び正面部用パネルフレーム51よりも高くなることがより好ましい。
支持用フレーム6には、2つの窓部61が形成されることにより、この窓部61を介して、側面部用パネル212を観察することができるとともに、支持用フレーム6自身の軽量化を図ることができる。
なお、個々の窓部61から個々の搬送用のハンドル12を露出させてもよい。
さらに、支持用フレーム6の上面側には、係合手段7の一部を構成する切欠き62が複数形成されており、これらの切欠き62は、それぞれベース部1の突出部13に対応して係合可能なものである。
支持用フレーム6の上面側は、側面部用パネルフレーム211、背面部用パネルフレーム221、頂壁部用パネルフレーム31及び正面部用パネルフレーム51の上面側よりも高く形成されている。
そして、支持用フレーム6の上面側と頂壁部用パネル32の上面側との高度差は、車輪11の底面側とベース部1の下面側との高度差よりも大きいことが好ましい。
このように、ガスボックスPを収納するための気密性収納体100は、ガスボックスPを収納する収納本体4は、ガスボックスPを載置するベース部1と、ベース部1に対し着脱可能に立設される周壁部2と、周壁部2に対し着脱可能に設けられる頂壁部3とを有することにより、気密性収納体100の非使用時に収納本体4を構成するベース部1、周壁部2及び頂壁部3を分解して、スペースが限られたクリーンルームに収納することができるとともに、気密性収納体100の使用時にベース部1、周壁部2及び頂壁部3を組み付けて収納本体4を実現して、ガスボックスPを気密性収納体100に収納して搬送することができる。
また、側面部21、背面部22、正面部5及び頂壁部3は、それぞれ透明樹脂のパネルを有することにより、気密性収納体100の軽量化を図ることができるとともに、複数の方向から観察して気密性収納体100にガスボックスPが収納されているかを視認することができる。
(気密性収納装置)
図5は複数の気密性収納体100を積み重ねた気密性収納装置200を示す図であり、(a)気密性収納装置200の斜視図であり、(b)気密性収納装置200の正面図である。
以下、図5を参照して本発明に係る実施形態の気密性収納装置200を詳細に説明する。
図5に示すように、気密性収納装置200は、気密性収納体100を積み重ねることにより形成されるものであり、上段の気密性収納体100におけるベース部1が、下段の気密性収納体100における支持用フレーム6によって支持され、上段の気密性収納体100におけるベース部1を、下段の気密性収納体100における支持用フレーム6に係合させる係合手段7を備える。
なお、本実施形態では、係合手段7は、上段のベース部1に設けられる複数の突出部13と、下段の支持用フレーム6に形成され複数の突出部13に係合可能な複数の切欠き62とからなるが、これに限定されるものではなく、例えば、上段のベース部1の下面側に長手方向に沿って延在するように設けられる長尺状の突出部と、下段の支持用フレーム6の上面側に長手方向に沿って延在するように形成され長尺状の突出部に係合可能な溝とからなってもよい。
そして、上段の気密性収納体100におけるベース部1が、下段の気密性収納体100における支持用フレーム6によって支持されたとき、上述のように、支持用フレーム6の上面側と頂壁部用パネル32の上面側との高度差は、車輪11の底面側とベース部1の下面側との高度差よりも大きいため、上段の気密性収納体100における車輪11が、下段の気密性収納体100における頂壁部3に当接せず、上段の気密性収納体100から下段の気密性収納体100における収納本体4に荷重を加えることがない。
このため、車輪11が備えられた台車部8をベース部1から外すことなく、気密性収納体100を複数積み重ねて、気密性収納装置200を形成することができる。
このように、気密性収納装置200は、気密性収納体100を積み重ねることにより形成され、上段の気密性収納体100におけるベース部1が、下段の気密性収納体100における支持用フレーム6によって支持され、上段の気密性収納体100におけるベース部1を、下段の気密性収納体100における支持用フレーム6に係合させる係合手段7を備えるので、複数のガスボックスPを1台ずつ個々の気密性収納体100に収納することができ、床スペースが限られたクリーンルームでも高さ方向のスペースを有効に利用してより多くのガスボックスPを気密性収納装置200に収納することができる。
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
1 ベース部
2 周壁部
3 頂壁部
4 収納本体
5 正面部
6 支持用フレーム
7 係合手段
8 台車部
11 車輪
12 ハンドル
13 突出部
21 側面部
22 背面部
31 頂壁部用パネルフレーム
32 頂壁部用パネル
51 正面部用パネルフレーム
52 正面部用パネル
61 窓部
62 切欠き
100 気密性収納体
200 気密性収納装置
211 側面部用パネルフレーム
211a 脚部
211b 貫通孔
211c 溝
211d パッキン
211e 溝
211f パッキン
212 側面部用パネル
212a 継手
221 背面部用パネルフレーム
221a 直進溝
221b パッキン
222 背面部用パネル
311 直進溝
312 パッキン
313 溝
314 パッキン
511 脚部
511a 貫通孔
512 直進溝
513 パッキン
514 溝
515 パッキン
521 ハンドル
P ガスボックス
P1 脚部

Claims (6)

  1. 流体制御装置が設けられるガスボックスを収納するための気密性収納体であって、
    前記ガスボックスを収納する収納本体を備え、
    前記収納本体は、
    前記ガスボックスを載置するベース部と、
    前記ベース部に対し着脱可能に立設される周壁部と、
    前記周壁部に対し着脱可能に設けられる頂壁部と
    を有する
    ことを特徴とする気密性収納体。
  2. 前記周壁部は、
    前記ベース部に対し着脱可能に立設される金属のパネルフレームと、
    前記パネルフレームに張設される透明樹脂のパネルとを有する
    ことを特徴とする請求項1に記載の気密性収納体。
  3. 前記ベース部には、ハンドルが設けられている
    ことを特徴とする請求項1又は2に記載の気密性収納体。
  4. 前記ベース部に対し着脱可能に立設されるとともに前記収納本体を挟持する一対の支持用フレームを備える
    ことを特徴とする請求項1から3までのいずれか1項に記載の気密性収納体。
  5. 請求項4に記載の複数の気密性収納体を積み重ねることにより形成される気密性収納装置であって、
    上段の前記気密性収納体における前記ベース部は、下段の前記気密性収納体における前記支持用フレームによって支持され、
    上段の前記気密性収納体における前記ベース部を、下段の前記気密性収納体における前記支持用フレームに係合させる係合手段を備える
    ことを特徴とする気密性収納装置。
  6. 前記ベース部には、回転可能な車輪が設けられ、
    上段の前記気密性収納体における前記ベース部が、下段の前記気密性収納体における前記支持用フレームによって支持されたとき、上段の前記気密性収納体における前記車輪が、下段の前記気密性収納体における前記頂壁部に当接しないように設けられている
    ことを特徴とする請求項5に記載の気密性収納装置。
JP2017168020A 2017-08-31 2017-08-31 気密性収納体及び気密性収納装置 Pending JP2019043617A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017168020A JP2019043617A (ja) 2017-08-31 2017-08-31 気密性収納体及び気密性収納装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017168020A JP2019043617A (ja) 2017-08-31 2017-08-31 気密性収納体及び気密性収納装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2019043617A true JP2019043617A (ja) 2019-03-22

Family

ID=65816104

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017168020A Pending JP2019043617A (ja) 2017-08-31 2017-08-31 気密性収納体及び気密性収納装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2019043617A (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6447627U (ja) * 1987-09-11 1989-03-23
JPH05254590A (ja) * 1991-04-25 1993-10-05 Roland Streich 折りたたみ式の貨物容器又はコンテナ
JP2005014962A (ja) * 2003-06-25 2005-01-20 Sekisui Plastics Co Ltd 保冷保温容器
JP2015199527A (ja) * 2014-04-09 2015-11-12 大日本印刷株式会社 保冷保温容器
JP3210363U (ja) * 2017-02-28 2017-05-18 日本ゼオン株式会社 組み立て式コンテナ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6447627U (ja) * 1987-09-11 1989-03-23
JPH05254590A (ja) * 1991-04-25 1993-10-05 Roland Streich 折りたたみ式の貨物容器又はコンテナ
JP2005014962A (ja) * 2003-06-25 2005-01-20 Sekisui Plastics Co Ltd 保冷保温容器
JP2015199527A (ja) * 2014-04-09 2015-11-12 大日本印刷株式会社 保冷保温容器
JP3210363U (ja) * 2017-02-28 2017-05-18 日本ゼオン株式会社 組み立て式コンテナ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4791110B2 (ja) 真空チャンバおよび真空処理装置
JP5512052B2 (ja) 非接触吸着盤
WO2014030421A1 (ja) パージ機能を備えたストッカと、ストッカユニット及びクリーンガスの供給方法
KR102435852B1 (ko) 브릿징 전방 개구부 통합 포드(foup)
JP2007320563A (ja) ガラス板用運搬台車およびその輸送方法
JP5232801B2 (ja) チャンバ及び成膜装置
JP2019043617A (ja) 気密性収納体及び気密性収納装置
JP3165973U (ja) 板状体収納容器
JP5772701B2 (ja) ガスボンベ運搬装置
JP5929227B2 (ja) 基板保持用枠体と基板保持用枠体の搬送方法
JP2008032915A (ja) マスクケース
JP2016090024A (ja) ガスボンベ運搬具
JP2008230623A (ja) 光学製品収容容器
JP2008120457A (ja) 板状物用トレイと板状物の積層方法
JP2007112499A (ja) ガラス基板用搬送箱
JP6869136B2 (ja) 産業用ロボット
TWI603026B (zh) 用於固持基底的設備
WO2018110102A1 (ja) 搬送用治具
JP6492122B2 (ja) コンテナ
JP2007233335A (ja) マスク収容ユニット、フォトマスク基板の搬送方法、フォトマスク製品の製造方法及びフォトマスクの露光・転写方法。
JP2012138551A5 (ja)
JP5831200B2 (ja) 基板保持用枠体を吸着して懸垂する枠体搬送装置における基板保持用枠体の吸着解除方法
UA15023U (en) Device for turning over of bulk freights
JP5225936B2 (ja) ファンフィルタユニット
JP2016109306A (ja) 空調機用搬送具および可搬型空調機

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200824

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20210721

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210914

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20220308