JP2019041061A - 半導体装置の製造方法及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】コンタクトホール加工時の下地へのダメージや過剰エッチングを抑制できる半導体装置の製造方法及び半導体装置を提供する。【解決手段】基板の第2領域上にトランジスタを覆う第1絶縁層を形成し、第1絶縁層を貫通しアクティブ領域およびゲート電極に達する複数の第1ホールを形成し、第1ホール内に第1金属材を形成し、基板の第1領域上に絶縁体を介して積層された複数の金属層を形成し、第1絶縁層上および金属層のテラス部上に第2絶縁層を形成し、第2絶縁層を貫通し、第1金属材に達する第2ホールと、テラス部に達する複数の第3ホールと、を同時に形成する。【選択図】図27
Description
実施形態は、半導体装置の製造方法及び半導体装置に関する。
3次元構造のメモリセルアレイと、そのメモリセルアレイの周辺に形成されたCMOS(complementary metal-oxide-semiconductor)トランジスタとを同じ基板上に有するデバイスの製造方法において、メモリセルアレイとCMOSトランジスタに同時にコンタクトを形成する方法が提案されている。
実施形態は、コンタクトホール加工時の下地へのダメージや過剰エッチングを抑制できる半導体装置の製造方法及び半導体装置を提供する。
実施形態によれば、半導体装置の製造方法は、第1領域と、前記第1領域の周辺の第2領域とを有する基板における前記第2領域に、アクティブ領域とゲート電極とを含むトランジスタを形成し、前記第2領域上に、前記トランジスタを覆う第1絶縁層を形成し、前記第1絶縁層を貫通し、前記アクティブ領域および前記ゲート電極に達する複数の第1ホールを形成し、前記第1ホール内に、第1金属材を形成し、前記第1領域上に、絶縁体を介して積層された複数の金属層を形成し、前記複数の金属層は段差を形成して階段状に並んだ複数のテラス部を有し、前記第1絶縁層上および前記複数のテラス部上に、第2絶縁層を形成し、前記第2絶縁層を貫通し、前記第1金属材に達する第2ホールと、前記テラス部に達する複数の第3ホールと、を同時に形成し、前記第2ホール内および前記第3ホール内に、第2金属材を形成する。
以下、図面を参照し、実施形態について説明する。なお、各図面中、同じ要素には同じ符号を付している。
実施形態では、半導体装置として、例えば、3次元構造のメモリセルアレイを有する半導体記憶装置を説明する。
図1は、実施形態の半導体装置の平面レイアウトを示す模式図である。
1つのチップまたは基板は、メモリ領域MAと、テラス領域(または階段領域)TAと、周辺領域PAとを有する。
メモリ領域MAにメモリセルアレイ1が設けられている。テラス領域TAに階段部2が設けられている。周辺領域PAには、メモリセルアレイ1を制御する回路が設けられている。さらに回路の外側には、チップをダイシングカットする際にチップを保護するエッジシール部97、77が設けられている。メモリセルアレイ1、階段部2、回路、およびエッジシール部97、77は、同じ基板上に設けられている。
図2は、メモリセルアレイ1の模式斜視図である。
図3は、メモリセルアレイ1の模式断面図である。
図3は、メモリセルアレイ1の模式断面図である。
図2において、基板10の主面に対して平行な方向であって相互に直交する2方向をX方向およびY方向とし、これらX方向およびY方向の双方に対して直交する方向をZ方向(積層方向)とする。他の図に示すX方向、Y方向、およびZ方向は、それぞれ、図2のX方向、Y方向、およびZ方向に対応する。
メモリセルアレイ1は、基板10と、基板10上に設けられた積層体100と、複数の柱状部CLと、複数の分離部60と、積層体100の上方に設けられた上層配線とを有する。図2には、上層配線として、例えばビット線BLとソース線SLを示す。
複数の柱状部CLは、図1に示すメモリ領域MAに配置されている。柱状部CLは、積層体100内をその積層方向(Z方向)に延びる略円柱状に形成されている。複数の柱状部CLは、例えば千鳥配列されている。または、複数の柱状部CLは、X方向およびY方向に沿って正方格子配列されてもよい。
分離部60は、メモリ領域MAおよびテラス領域TAをX方向に延び、積層体100をY方向に複数のブロック(またはフィンガー)100に分離している。
複数のビット線BLは積層体100の上方に設けられている。複数のビット線BLは、Y方向に延びる例えば金属膜である。複数のビット線BLは、X方向に互いに分離している。
柱状部CLの後述する半導体ボディ20の上端部は、図2に示すコンタクトCbおよびコンタクトV1を介してビット線BLに接続されている。
図3に示すように、積層体100は、基板10上に積層された複数の金属層70を有する。複数の金属層70が、絶縁層(絶縁体)72を介して、基板10の主面に対して垂直な方向(Z方向)に積層されている。
金属層70は、例えば、タングステンを主成分として含むタングステン層、またはモリブデンを主成分として含むモリブデン層である。絶縁層72は、酸化シリコンを主成分として含むシリコン酸化層である。
基板10は例えばシリコン基板であり、その基板10の表面側にはアクティブ領域10aが設けられている。アクティブ領域10aは、例えばP型シリコン領域(P型ウェル)である。
絶縁層41がアクティブ領域10aの表面に設けられている。最下層の金属層70が絶縁層41上に設けられている。絶縁層42が最上層の金属層70上に設けられ、その絶縁層42上に絶縁層43が設けられている。絶縁層43は柱状部CLの上端を覆っている。
図5(a)は、図3における一部分の拡大断面図である。
柱状部CLは、メモリ膜30と、半導体ボディ20と、絶縁性のコア膜50とを有する。
半導体ボディ20は、積層体100内を積層方向(Z方向)にパイプ状に連続して延びている。メモリ膜30は、金属層70と半導体ボディ20との間に設けられ、半導体ボディ20を外周側から囲んでいる。コア膜50は、パイプ状の半導体ボディ20の内側に設けられている。
半導体ボディ20の上端部は、図2に示すコンタクトCbおよびコンタクトV1を介してビット線BLに接続している。図3に示すように、半導体ボディ20の下端部は、アクティブ領域10aに接している。
図5(a)に示すように、メモリ膜30は、トンネル絶縁膜31と、電荷蓄積膜(電荷蓄積部)32と、ブロック絶縁膜33とを有する積層膜である。
トンネル絶縁膜31は、半導体ボディ20と電荷蓄積膜32との間に設けられている。電荷蓄積膜32は、トンネル絶縁膜31とブロック絶縁膜33との間に設けられている。ブロック絶縁膜33は、電荷蓄積膜32と金属層70との間に設けられている。
半導体ボディ20、メモリ膜30、および金属層70は、メモリセルMCを構成する。メモリセルMCは、半導体ボディ20の周囲を、メモリ膜30を介して、金属層70が囲んだ縦型トランジスタ構造を有する。
その縦型トランジスタ構造のメモリセルMCにおいて、半導体ボディ20は例えばシリコンのチャネルボディであり、金属層70はコントロールゲートとして機能する。電荷蓄積膜32は半導体ボディ20から注入される電荷を蓄積するデータ記憶層として機能する。
実施形態の半導体記憶装置は、データの消去・書き込みを電気的に自由に行うことができ、電源を切っても記憶内容を保持することができる不揮発性半導体記憶装置である。
メモリセルMCは、例えばチャージトラップ型のメモリセルである。電荷蓄積膜32は、絶縁性の膜中に電荷を捕獲するトラップサイトを多数有するものであって、例えば、シリコン窒化膜を含む。または、電荷蓄積膜32は、まわりを絶縁体で囲まれた、導電性をもつ浮遊ゲートであってもよい。
トンネル絶縁膜31は、半導体ボディ20から電荷蓄積膜32に電荷が注入される際、または電荷蓄積膜32に蓄積された電荷が半導体ボディ20に放出される際に電位障壁となる。トンネル絶縁膜31は、例えばシリコン酸化膜を含む。
ブロック絶縁膜33は、電荷蓄積膜32に蓄積された電荷が金属層70へ放出されるのを防止する。また、ブロック絶縁膜33は、金属層70から柱状部CLへの電荷のバックトンネリングを防止する。
図2に示すように、ドレイン側選択トランジスタSTDが積層体100の上層部に設けられ、ソース側選択トランジスタSTSが積層体100の下層部に設けられている。
少なくとも最上層の金属層70は、ドレイン側選択トランジスタSTDのコントロールゲートとして機能することができる。少なくとも最下層の金属層70は、ソース側選択トランジスタSTSのコントロールゲートとして機能することができる。
複数のメモリセルMCがドレイン側選択トランジスタSTDとソース側選択トランジスタSTSとの間に設けられている。複数のメモリセルMC、ドレイン側選択トランジスタSTD、およびソース側選択トランジスタSTSは、柱状部CLの半導体ボディ20を通じて直列接続され、1つのメモリストリングを構成する。このメモリストリングが、XY面に対して平行な面方向に例えば千鳥配置され、複数のメモリセルMCがX方向、Y方向およびZ方向に3次元的に設けられている。
次に、分離部60について説明する。
図2および図3に示すように、分離部60は、配線部LIと絶縁膜63を有する。なお、図2では絶縁膜63の図示を省略している。
配線部LIは、X方向およびZ方向に広がる例えば金属を含む膜である。その配線部LIの側面に絶縁膜63が設けられている。図3に示すように、絶縁膜63は、積層体100と配線部LIとの間に設けられている。
アクティブ領域10aの表面には複数の半導体領域81が形成されている。配線部LIの下端部は半導体領域81に接している。複数の配線部LIに対応して複数の半導体領域81が設けられている。半導体領域81は、例えばN型の半導体領域である。配線部LIの上端は、図2に示すコンタクトCsを介してソース線SLに接続されている。
最下層の金属層70に与える電位制御により、半導体領域81と半導体ボディ20の下端部との間におけるアクティブ領域10aの表面にチャネル(反転層)を誘起し、半導体領域81と半導体ボディ20の下端部との間に電流を流すことができる。最下層の金属層70はアクティブ領域10aの表面にチャネルを誘起するためのコントロールゲートとして機能し、絶縁層41はゲート絶縁膜として機能する。読み出し動作時、配線部LIから、半導体領域81およびチャネルを介して半導体ボディ20に電子が供給される。
次に、テラス領域TAについて説明する。
図4は、基板10におけるテラス領域TAおよび周辺領域PAの模式断面図である。
積層体100は、前述したメモリ領域MAからテラス領域TAまで延びている。テラス領域TAにおいて、積層体100の一部は階段状に加工され、複数の金属層70はX方向に沿って段差を形成して階段状に並んだ複数のテラス部70aをもつ。複数の絶縁層72も階段状に加工され、複数の絶縁層72はX方向に沿って段差を形成して階段状に並んだ複数のテラス部72aをもつ。
金属層70のテラス部70aおよび絶縁層72のテラス部72aを、まとめてテラス部Tと表す。1つのテラス部Tは、1つのテラス部70aと、その上に積層された1つのテラス部72aを有する。
複数のテラス部Tによって階段部2が形成されている。それぞれのテラス部Tの上には、他のレイヤーの金属層70が重なっていない。
絶縁層45が階段部2の上に設けられている。絶縁層45は、複数のテラス部Tの間の段差を埋めている。
テラス部Tの上方にコンタクト91が設けられている。1つのテラス部Tに少なくとも1つのコンタクト91が配置されている。複数のテラス部Tに対応して、複数のコンタクト91が階段部2上に設けられている。
コンタクト91は、略円柱状の金属材であり、例えばタングステンまたはモリブデンを主成分として含む。
コンタクト91は、絶縁層45内を積層体100の積層方向に延び、金属層70のテラス部70aに接している。コンタクト91は、図示しない上層配線と接続されている。その上層配線は、後述する回路3と電気的に接続されている。コンタクト91およびテラス部70aを通じて、メモリセルアレイ1の金属層(コントロールゲート)70の電位が制御される。
次に、周辺領域PAについて説明する。
アクティブ領域10aは周辺領域PAにも形成されている。周辺領域PAのアクティブ領域10aと、テラス領域TAおよびメモリ領域MAのアクティブ領域10aは、素子分離部49によって分離されている。素子分離部49は、例えば、トレンチ内に絶縁膜が埋め込まれたSTI(shallow trench isolation)構造を有する。
トランジスタTrを含む回路3が周辺領域PAに設けられている。図4には、1つのトランジスタTrしか図示しないが、回路3は複数のトランジスタTrを有する。複数のトランジスタTrどうしは、素子分離部49によって分離されている。回路3は、例えばCMOS回路を含む。
トランジスタTrは、ソース領域またはドレイン領域となる半導体領域(アクティブ領域)82と、ゲート絶縁膜48と、ゲート電極85とを有する。半導体領域82は、アクティブ領域10aの表面に形成されている。アクティブ領域10aにおける、半導体領域82の間の領域(チャネル領域)上に、ゲート絶縁膜48を介してゲート電極85が設けられている。
周辺領域PAの基板10上には、トランジスタTrを覆うように、絶縁層47が設けられている。その絶縁層47上には、絶縁層45が設けられている。絶縁層45は、周辺領域PAの絶縁層47上、およびテラス領域TAにおける階段部2上に設けられている。また、絶縁層45は、周辺領域PAとテラス領域TA(積層体100)との間の基板10の上にも設けられている。
複数のコンタクト75、76が絶縁層47内に設けられている。コンタクト75、76は、金属を含み、例えばタングステンを主成分に含む。
コンタクト75は、絶縁層47内を積層方向(Z方向)に延び、トランジスタTrの半導体領域82に接続している。コンタクト75の底面(下端面)は、半導体領域82の表面よりも深い位置にある。
コンタクト76は、絶縁層47内を積層方向(Z方向)に延び、トランジスタTrのゲート電極85に接続している。
コンタクト75の上方の絶縁層45内にコンタクト95が設けられ、コンタクト76の上方の絶縁層45内にコンタクト96が設けられている。コンタクト95、96は、金属を含み、例えばタングステンを主成分に含む。
コンタクト95は、絶縁層45内を積層方向(Z方向)に延び、コンタクト75に接続している。コンタクト96は、絶縁層45内を積層方向(Z方向)に延び、コンタクト76に接続している。
コンタクト75の積層方向(Z方向)の長さは、コンタクト95の積層方向(Z方向)の長さよりも短い。コンタクト76の積層方向(Z方向)の長さは、コンタクト96の積層方向(Z方向)の長さよりも短い。
コンタクト75の積層方向(Z方向)の長さは、金属層70の1層の厚さよりも大きい。コンタクト76の積層方向(Z方向)の長さは、金属層70の1層の厚さよりも大きい。
トランジスタTrは、コンタクト75、76、95、96を通じて、絶縁層45上に設けられた図示しない上層配線と接続されている。
周辺領域PAにおいてトランジスタTrが形成された領域よりもさらに外側の領域に、エッジシール部77、97が設けられている。エッジシール部77、97は、金属を含み、例えばタングステンを主成分に含む。
エッジシール部77は、絶縁層47内を積層方向(Z方向)に延び、基板10に達している。エッジシール部97は、エッジシール部77上で積層方向(Z方向)に延び、エッジシール部77に接続している。
エッジシール部77の積層方向(Z方向)の長さは、エッジシール部97の積層方向(Z方向)の長さよりも短い。エッジシール部77の積層方向(Z方向)の長さは、金属層70の1層の厚さよりも大きい。
図1に示すように、エッジシール部97、77は、メモリ領域MA、テラス領域TA、およびトランジスタTrが形成された領域を連続して囲んでいる。
図5(b)は、コンタクト95とコンタクト75との接続部、コンタクト96とコンタクト76との接続部、およびエッジシール部97とエッジシール部77との接続部の模式拡大断面図である。
コンタクト75の上端の直径はコンタクト95の下端の直径よりも大きく、コンタクト75とコンタクト95との接続部において、コンタクト75の側面とコンタクト95の側面との間に段差が形成されている。
同様に、コンタクト76の上端の直径はコンタクト96の下端の直径よりも大きく、コンタクト76とコンタクト96との接続部において、コンタクト76の側面とコンタクト96の側面との間に段差が形成されている。
エッジシール部77の上端の幅はエッジシール部97の下端の幅よりも大きく、エッジシール部77とエッジシール部97との接続部において、エッジシール部77の側面とエッジシール部97の側面との間に段差が形成されている。
次に、実施形態の半導体装置の製造方法について説明する。
まず、図6〜図16を参照して、メモリ領域MAに対するプロセスについて説明する。図6〜図16は、図3に対応する断面図である。
図6に示すように、基板10のアクティブ領域10a上に、複数の第1層71と複数の第2層72を含む積層体100が形成される。絶縁層41がアクティブ領域10a上に形成され、第1層(犠牲層)71と第2層(絶縁層)72が絶縁層41上に交互に積層される。第1層71と第2層72を交互に積層する工程が複数回繰り返される。最上層の第1層71上に絶縁層42が形成される。第1層71はシリコン窒化層であり、第2層72はシリコン酸化層である。
図7に示すように、複数のメモリホールMHが積層体100に形成される。メモリホールMHは、図示しないマスク層を用いたRIE(reactive ion etching)で形成される。メモリホールMHは、積層体100を貫通し、アクティブ領域10aに達する。
図8に示すように、メモリ膜30がメモリホールMHに形成される。メモリ膜30は、メモリホールMHの側面および底面に沿ってコンフォーマルに形成される。
図9に示すように、カバー膜20aがメモリ膜30の内側にコンフォーマルに形成される。
そして、図10に示すように、絶縁層42上にマスク層55が形成され、RIEによって、メモリホールMHの底面に堆積したカバー膜20aおよびメモリ膜30が除去される。このRIEのとき、メモリホールMHの側面に形成されたメモリ膜30は、カバー膜20aで覆われて保護され、RIEのダメージを受けない。
マスク層55を除去した後、図11に示すように、半導体ボディ20bがメモリホールMH内に形成される。半導体ボディ20bは、カバー膜20aの側面、およびメモリホールMHの底面のアクティブ領域10a上に形成される。半導体ボディ20bの下端部は、アクティブ領域10aに接する。
カバー膜20aおよび半導体ボディ20bは、例えばアモルファスシリコン膜として形成された後、熱処理により多結晶シリコン膜に結晶化される。
図12に示すように、コア膜50が半導体ボディ20bの内側に形成される。メモリ膜30、半導体ボディ20、およびコア膜50を含む複数の柱状部CLが、メモリ領域MAの積層体100内に形成される。
図12に示す絶縁層42上に堆積した膜は、CMP(chemical mechanical polishing)またはエッチバックにより除去される。
その後、図13に示すように、絶縁層43が絶縁層42上に形成される。絶縁層43は柱状部CLの上端を覆う。
そして、図示しないマスク層を用いたRIE法により、複数のスリットSTが積層体100に形成される。スリットSTは、積層体100を貫通し、アクティブ領域10aに達する。
スリットSTの底面に露出するアクティブ領域10aには、イオン注入法により不純物が打ち込まれ、スリットSTの底面のアクティブ領域10aの表面に半導体領域81が形成される。
次に、スリットSTを通じて供給されるエッチング液またはエッチングガスにより、第1層71を除去する。例えば、燐酸を含むエッチング液を用いて、シリコン窒化層である第1層71を除去する。
第1層71が除去され、図14に示すように、上下で隣接する第2層72の間に空隙44が形成される。空隙44は、絶縁層41と最下層の第2層72との間、および最上層の第2層72と絶縁層42との間にも形成される。
メモリ領域MAの複数の第2層72は、複数の柱状部CLの側面を囲むように、柱状部CLの側面に接している。複数の第2層72は、このような複数の柱状部CLとの物理的結合によって支えられ、第2層72間の空隙44が保たれる。
空隙44には、図15に示す金属層70が形成される。例えばCVD法により、金属層70が形成される。スリットSTを通じてソースガスが空隙44に供給される。スリットSTの側面に形成された金属層70の材料膜は除去される。
その後、スリットSTの側面および底面に、図16に示すように、絶縁膜63が形成される。スリットSTの底面に形成された絶縁膜63をRIEで除去した後、スリットST内における絶縁膜63の内側に、図3に示すように配線部LIが埋め込まれる。配線部LIの下端部は、半導体領域81を介してアクティブ領域10aに接する。
次に、図17〜図27を参照して、テラス領域TAおよび周辺領域PAに対するプロセスについて説明する。図17〜図27は、図4に対応する断面図である。
周辺領域PAにおける基板10の表面には、アクティブ領域10aを分断する素子分離部49が形成される。複数の素子分離部49によって区切られた領域には、半導体領域82、ゲート絶縁膜48、およびゲート電極85を有するトランジスタTrが形成される。周辺領域PAには、複数のトランジスタTrを有する回路3が形成される。その回路3を覆うように、周辺領域PAの基板10上に絶縁層47が形成される。
一方、テラス領域TAおよびメモリ領域MAの基板10上には、積層体100の一部として、積層部100aが形成される。積層部100aは、複数の第1層71および複数の第2層72を有する。
積層部100aを形成した後、その積層部100aにおけるテラス領域TAに設けられた一部に階段部が形成される。その階段部は絶縁層47で覆われる。
図18に示すように、絶縁層47に複数のコンタクトホール105、106が形成される。また、トランジスタTrが形成された領域の周辺における絶縁層47にトレンチ107が形成される。
コンタクトホール105、106、およびトレンチ107は、図示しないマスク層を用いたRIEで同時に形成される。
コンタクトホール105は、絶縁層47を貫通して半導体領域82に達する。コンタクトホール105の底面は、半導体領域82の表面よりも深い位置にある。ただし、コンタクトホール105は、半導体領域82を突き抜けずに、アクティブ領域10aには達しない。
コンタクトホール106は、絶縁層47を貫通してゲート電極85に達する。
トレンチ107は、絶縁層47を貫通して、少なくとも基板10の表面に達する。トレンチ107を基板10の表面よりも深く形成してもよい。トレンチ107は、メモリ領域MA、テラス領域TA、およびトランジスタTrが形成された領域を連続して囲んでいる。
コンタクトホール105、106内、およびトレンチ107内に、金属材が形成される。これにより、図19に示すように、絶縁層47内にコンタクト75、76、およびエッジシール部77が形成される。コンタクト75、76、およびエッジシール部77は、例えばタングステンを主成分に含む。
コンタクト75はトランジスタTrの半導体領域82に接続し、コンタクト76はトランジスタTrのゲート電極85に接続する。エッジシール部77は、メモリ領域MA、テラス領域TA、およびトランジスタTrが形成された領域を囲むように絶縁層47を貫通して、基板10に達する。
その後、絶縁層47の上面、コンタクト75、76の上端、およびエッジシール部77の上端を、例えばCMPで後退させ、且つ平坦化する。
図20に示すように、絶縁層47の上面、コンタクト75、76の上端、およびエッジシール部77の上端の高さは、積層部100aの上面の高さと揃えられる。ここでの、高さは、基板10の表面を基準にした高さを表す。
そして、複数の第1層71および複数の第2層72を含む積層体100が、メモリ領域MA、テラス領域TA、および周辺領域PAに連続して形成される。積層体100は、積層部100a上、および絶縁層47上に形成される。
周辺領域PA上の積層体100は、例えば、図22に示すマスク層56を用いたRIEにより、除去される。積層体100が除去された部分には、図23に示すように、絶縁層45が埋め込まれる。
その後、図24に示すように、積層体100の一部に階段部2が形成される。例えば、積層体100の上に図示しないレジスト膜が形成され、そのレジスト膜から露出している領域の第2層72および第1層71を上から1層ずつエッチングして除去する。レジスト膜の端をX方向に後退させる工程(スリミング工程)と、レジスト膜から露出している領域の第2層72および第1層71を上から1層ずつエッチングする工程と、を複数回繰り返すことで、積層体100の一部を階段状に加工していく。
階段部2を形成するとき、絶縁層45の一部もエッチングされ得る。その絶縁層45が除去された部分、および階段部2の上には、絶縁層45が形成される。
絶縁層45を形成した後、メモリ領域MAの積層体100に柱状部CLが形成され、さらにその後、積層体100、および階段部2の上の絶縁層45に、スリットSTが形成される。
スリットSTを形成した後、前述したように、そのスリットSTを通じて供給される例えば燐酸を含むエッチング液を用いて、積層体100の第1層71を除去する。第1層71が除去され、図25に示すように、積層体100に空隙44が形成される。
空隙44には、図26に示すように金属層70が形成される。その後、スリットST内に絶縁膜63を介して配線部LIが形成される。
図27に示すように、テラス領域TAおよび周辺領域PAの絶縁層45に複数のコンタクトホール90、92、93、およびトレンチ94が形成される。コンタクトホール90、92、93、およびトレンチ94は、図示しないマスク層を用いたRIEで同時に形成される。
コンタクトホール90は、絶縁層45を貫通して、金属層70のテラス部70aに接続する。コンタクトホール92は、絶縁層45を貫通して、コンタクト75に接続する。コンタクトホール93は、絶縁層45を貫通して、コンタクト76に接続する。
トレンチ94は、絶縁層45を貫通して、エッジシール部77に接続する。トレンチ94は、メモリ領域MA、テラス領域TA、およびトランジスタTrが形成された領域を連続して囲む。
トレンチ94の深さ方向サイズは、エッジシール部77が埋め込まれたトレンチの深さ方向サイズよりも大きい。エッジシール部77が埋め込まれたトレンチの幅は、コンタクト75が埋め込まれたコンタクトホールの直径、およびコンタクト76が埋め込まれたコンタクトホールの直径よりも大きい。トレンチ94の幅は、コンタクトホール92の直径、およびコンタクトホール93の直径よりも大きい。
コンタクトホール90、92、93、およびトレンチ94内に、金属材が形成される。これにより、図4に示すように、絶縁層45内にコンタクト91、95、96、およびエッジシール部97が形成される。コンタクト91、95、96、およびエッジシール部97は、例えばタングステンを主成分に含む。
実施形態によれば、コンタクトホール90、92、93、およびトレンチ94を一括で形成するとき、いずれも金属である金属層70、コンタクト75、76、およびエッジシール部77がエッチングストッパーとなる。金属層70、コンタクト75、76、およびエッジシール部77は、同種金属であり、例えばタングステンを主成分に含む金属である。このような金属層70、コンタクト75、76、およびエッジシール部77は、例えば酸化シリコン層である絶縁層45をフッ素系ガスを用いてRIEするときにストッパーとなる。
したがって、トランジスタTrが形成された領域の基板10やトランジスタTrの要素にダメージを与えることなく、且つコンタクトホール90が金属層70を突き抜けることなく、トランジスタTr用のコンタクトホール92、93を、金属層70用のコンタクトホール90と同時に高パワーRIEで加工できる。これは、トランジスタTr用のコンタクトホールと、金属層70用のコンタクトホールとを別工程で形成する場合に比べて、加工コストを低減する。
なお、金属層70、コンタクト75、76、およびエッジシール部77は、同種金属でなくてもよく、絶縁層45をエッチングするときに選択比をとれる金属であればよい。
比較例として、絶縁層45および絶縁層47を貫通してトランジスタTrの半導体領域82に達するコンタクトホールを1回のRIEで形成すると、非常にアスペクト比の高いコンタクトホールを形成することになる。
高アスペクト比のコンタクトホールのRIEにおいて、そのコンタクトホールの底には主にイオンが到達し、コンタクトホールの底に露出する半導体領域82やゲート電極85が正に帯電しやすい。これは、帯電部の間の電位差を生じさせ、いわゆるシェーディング効果によってトランジスタTrの絶縁破壊を引き起こし得る。
実施形態によれば、まだ厚い絶縁層45が形成される前の状態で、図18に示すように絶縁層47にコンタクトホール105、106を形成する。浅いコンタクトホール105、106の底にはイオンだけでなく電子も到達し、ホール底の電荷極性が中和される。したがって、シェーディング効果によるトランジスタTrの絶縁破壊を防ぐことができる。
エッジシール部77、97は、ダイシング時にエッジシール部77、97よりも内側の領域へのイオン侵入を防いでチップを保護する。エッジシール部は、コンタクトホールの直径よりも大きな幅をもつトレンチ内に金属材を埋め込んで得られる。
アスペクト比の高いトレンチをコンタクトホールと同時にRIEで形成するとき、エッチング対象物とは異なる材料の膜がトレンチの底に堆積し、コンタクトホールに比べてトレンチのエッチングが進行しにくくなる場合がある。
エッジシール部が基板に達していないと、ダイシング時に、エッジシール部の下端と基板との間からチップ領域へのイオン等の侵入を許容してしまう。また、エッジシール部用のトレンチが基板に達するようにエッチング条件を設定すると、コンタクトホールのエッチングが過剰に進むおそれがある。
実施形態によれば、まだ厚い絶縁層45が形成される前の状態で、図18に示すように、浅いトレンチ107を形成する。そのため、トレンチ107の底への堆積物を抑制し、確実に基板10に達したエッジシール部を形成することができる。
前述した実施形態では、犠牲層71を金属層70に置換したが、犠牲層71を形成せずに、金属層70と絶縁層72とを交互に積層して積層体100を形成してもよい。
また、絶縁層72をスリットSTを通じたエッチングにより除去して、上下で隣接する金属層70の間を空隙にしてもよい。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…メモリセルアレイ、2…階段部、3…回路、10…基板、20…半導体ボディ、70…金属層、70a…テラス部、72…絶縁層、75,76,91,95,96…コンタクト、77,97…エッジシール部、82…半導体領域、85…ゲート電極、100…積層体、Tr…トランジスタ
Claims (7)
- 第1領域と、前記第1領域の周辺の第2領域とを有する基板における前記第2領域に、アクティブ領域とゲート電極とを含むトランジスタを形成し、
前記第2領域上に、前記トランジスタを覆う第1絶縁層を形成し、
前記第1絶縁層を貫通し、前記アクティブ領域および前記ゲート電極に達する複数の第1ホールを形成し、
前記第1ホール内に、第1金属材を形成し、
前記第1領域上に、絶縁体を介して積層された複数の金属層を形成し、前記複数の金属層は段差を形成して階段状に並んだ複数のテラス部を有し、
前記第1絶縁層上および前記複数のテラス部上に、第2絶縁層を形成し、
前記第2絶縁層を貫通し、前記第1金属材に達する第2ホールと、前記テラス部に達する複数の第3ホールと、を同時に形成し、
前記第2ホール内および前記第3ホール内に、第2金属材を形成する半導体装置の製造方法。 - 前記第1領域上に、交互に積層された第1層および第2層を含む複数の第1層および複数の第2層を有する積層体が形成され、
前記積層体の一部に、前記複数の第1層が段差を形成して階段状に並んだ複数のテラス部を形成し、
前記第1層のテラス部上に前記第2絶縁層を形成した後、前記第1層を前記金属層に置換する請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 第1領域と、前記第1領域の周辺の第2領域と、前記第2領域の周辺の第3領域とを有する基板における前記第2領域に、アクティブ領域とゲート電極とを含むトランジスタを形成し、
前記第2領域上および前記第3領域上に、前記トランジスタを覆う第1絶縁層を形成し、
前記第1絶縁層を貫通し、前記アクティブ領域および前記ゲート電極に達する複数の第1ホール、および前記第3領域における前記基板の少なくとも表面に達する第1トレンチを形成し、
前記第1ホール内に、第1金属材を形成し、
前記第1トレンチ内に、第2金属材を形成し、
前記第1領域上に、絶縁体を介して積層された複数の金属層を形成し、前記複数の金属層は段差を形成して階段状に並んだ複数のテラス部を有し、
前記第1絶縁層上および前記複数のテラス部上に、第2絶縁層を形成し、
前記第2絶縁層を貫通し、前記第1金属材に達する第2ホールと、前記第2金属材に達する第2トレンチと、前記テラス部に達する第3ホールと、を同時に形成し、
前記第2ホール内、前記第2トレンチ内、および前記第3ホール内に、第3金属材を形成する半導体装置の製造方法。 - 前記第1領域上に、交互に積層された第1層および第2層を含む複数の第1層および複数の第2層を有する積層体が形成され、
前記積層体の一部に、前記複数の第1層が段差を形成して階段状に並んだ複数のテラス部を形成し、
前記第1層のテラス部上に前記第2絶縁層を形成した後、前記第1層を前記金属層に置換する請求項3記載の半導体装置の製造方法。 - 基板と、
前記基板上に設けられ、絶縁体を介して積層された複数の金属層を有し、前記複数の金属層は段差を形成して階段状に並んだ複数のテラス部をもつ、積層体と、
前記積層体内を前記積層体の積層方向に延びる半導体ボディと、
前記半導体ボディと前記金属層との間に設けられた電荷蓄積部と、
前記基板における前記積層体から離間した領域に設けられ、アクティブ領域とゲート電極とを含むトランジスタと、
前記トランジスタを覆う第1絶縁層と、
前記第1絶縁層上および前記複数のテラス部上に設けられた第2絶縁層と、
前記第1絶縁層内を前記積層方向に延び、前記アクティブ領域および前記ゲート電極に接続し、金属を含む複数の第1コンタクトと、
前記第2絶縁層内を前記積層方向に延び、前記複数の第1コンタクトに接続し、金属を含む複数の第2コンタクトと、
前記第2絶縁層内を前記積層方向に延び、前記複数のテラス部に接続し、金属を含む複数の第3コンタクトと、
を備え、
前記第1コンタクトの上端の直径は、前記第2コンタクトの下端の直径よりも大きく、
前記第1コンタクトと前記第2コンタクトとの接続部において、前記第1コンタクトの側面と前記第2コンタクトの側面との間に段差が形成されている半導体装置。 - 前記基板における前記トランジスタが形成された領域よりも外側の領域に設けられ、前記積層方向に延び前記基板に達し、金属を含む第1エッジシール部と、
前記第1エッジシール部上で前記積層方向に延び前記第1エッジシール部に達し、金属を含む第2エッジシール部と、
をさらに備え、
前記第1エッジシール部の前記積層方向の長さは、前記第2エッジシール部の前記積層方向の長さよりも短く、
前記第1エッジシール部の上端の幅は、前記第2エッジシール部の下端の幅よりも大きく、
前記第1エッジシール部と前記第2エッジシール部との接続部において、前記第1エッジシール部の側面と前記第2エッジシール部の側面との間に段差が形成されている請求項5記載の半導体装置。 - 前記第1エッジシール部および前記第2エッジシール部は、前記トランジスタおよび前記積層体が形成された領域を連続して囲んでいる請求項6記載の半導体装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI681553B (zh) * | 2019-03-21 | 2020-01-01 | 華邦電子股份有限公司 | 積體電路及其製造方法 |
US10971508B2 (en) | 2019-04-23 | 2021-04-06 | Winbond Electronics Corp. | Integrated circuit and method of manufacturing the same |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11289429B2 (en) | 2019-10-07 | 2022-03-29 | Sandisk Technologies Llc | Three-dimensional memory die containing stress-compensating slit trench structures and methods for making the same |
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Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5016832B2 (ja) * | 2006-03-27 | 2012-09-05 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP4768557B2 (ja) | 2006-09-15 | 2011-09-07 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP2009238874A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Toshiba Corp | 半導体メモリ及びその製造方法 |
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US9230987B2 (en) * | 2014-02-20 | 2016-01-05 | Sandisk Technologies Inc. | Multilevel memory stack structure and methods of manufacturing the same |
US9142454B1 (en) * | 2014-03-17 | 2015-09-22 | Macronix International Co., Ltd. | Semiconductor structure and method for manufacturing the same |
US9601502B2 (en) * | 2014-08-26 | 2017-03-21 | Sandisk Technologies Llc | Multiheight contact via structures for a multilevel interconnect structure |
KR102298775B1 (ko) * | 2015-01-21 | 2021-09-07 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 싱글 폴리 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조방법 |
US9984963B2 (en) * | 2015-02-04 | 2018-05-29 | Sandisk Technologies Llc | Cobalt-containing conductive layers for control gate electrodes in a memory structure |
US9627403B2 (en) * | 2015-04-30 | 2017-04-18 | Sandisk Technologies Llc | Multilevel memory stack structure employing support pillar structures |
KR102565716B1 (ko) * | 2015-12-24 | 2023-08-11 | 삼성전자주식회사 | 메모리 장치 |
US10115735B2 (en) * | 2017-02-24 | 2018-10-30 | Sandisk Technologies Llc | Semiconductor device containing multilayer titanium nitride diffusion barrier and method of making thereof |
JP2019009385A (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-17 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体記憶装置 |
-
2017
- 2017-08-28 JP JP2017163695A patent/JP2019041061A/ja active Pending
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI681553B (zh) * | 2019-03-21 | 2020-01-01 | 華邦電子股份有限公司 | 積體電路及其製造方法 |
US10971508B2 (en) | 2019-04-23 | 2021-04-06 | Winbond Electronics Corp. | Integrated circuit and method of manufacturing the same |
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