JP2019035641A - 位置検出器及び位置検出器を備えた検出システム - Google Patents

Abstract

【課題】移動要素に位置検出器に加えて他の検出器を備える場合であっても、構成部材が少なくケーブルの取り回しが容易で簡潔な配線構造が実現することができる。提供する。【解決手段】 情報処理装置７０と繋がる第１のケーブル１２が接続される第１の接続端子４６と、他の検出器２０と繋がる第２のケーブル１４が接続される第２の接続端子４８と、を有する読み取りヘッド４を備え、読み取りヘッド４による測定データまたは読み取りヘッド４の測定に基づくデータで構成される第１のデータと、第２のケーブル１４を介して他の検出器２０から読み取りヘッド４へ送受信される他の測定データまたは他の検出器２０の測定に基づくデータで構成される第２のデータとが、第１のケーブル１２を介して情報処理装置７０へ送受信される位置検出器２、及びこの位置検出器を備えた検出システムを提供する。【選択図】図１

Description

本発明は、所定軌道上の位置または回転位置を検出する位置検出器、及びこの位置検出器を備えた検出システムに関する。

工作機械の中には位置検出器を備え、この位置検出器の測定データに基づいてフィードバック制御を行うものがある。このような工作機械において、位置検出器に加えて温度検出器を備え、温度検出器により取得した温度情報に基づいて、工作機械の各構成要素の熱変位度合いを推定して、適切な補正を行うものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００３−３９２７８号公報

特許文献１に記載の工作機械では、位置検出器のためのケーブル（電源線及び信号線）に加えて、温度検出器のためのケーブル（電源線及び信号線）を備える必要がある。位置検出器及び温度検出器が、駆動装置により移動する移動要素に取り付けられている場合には、移動要素の動きに伴ってケーブルも動くため、ケーブルの量が増えるとその取り回しが煩雑になる。また、ケーブルをケーブルベア（登録商標）内に配置する場合には、ケーブルベア（登録商標）を大形化したり、更なるケーブルベア（登録商標）を有する必要性も生じる。

従って、本発明の目的は、移動要素に位置検出器に加えて他の検出器を備える場合であっても、構成部材が少なくケーブルの取り回しが容易で簡潔な配線構造が実現可能な位置検出器及び検出システムを提供することを目的とする。

上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明の１つの実施態様に係る位置検出器では、
情報処理装置と繋がる第１のケーブルが接続される第１の接続端子と、
他の検出器と繋がる第２のケーブルが接続される第２の接続端子と、
を有する読み取りヘッドを備え、
前記読み取りヘッドによる測定データまたは前記読み取りヘッドの測定に基づくデータで構成される第１のデータと、前記第２のケーブルを介して前記他の検出器から前記読み取りヘッドへ送受信される他の測定データまたは前記他の検出器の測定に基づくデータで構成される第２のデータとが、前記第１のケーブルを介して前記情報処理装置へ送受信されるようになっている。

本発明の１つの実施態様に係る検出システムでは、
工作機械に設置された、上記の位置検出器と、
前記情報処理装置として機能する前記工作機械を制御するＮＣ装置と、
前記ＮＣ装置に備えられた電源と、
を備え、
前記第１のケーブルを介して、前記ＮＣ装置に備えられた前記電源から前記読み取りヘッドへ電力が供給されるようになっている。

本発明のその他の実施態様に係る検出システムでは、
工作機械に設置された、上記の位置検出器と、
前記情報処理装置として機能する前記工作機械を制御するＮＣ装置と、
前記第１のケーブルに接続され、かつ他のケーブルを介して前記ＮＣ装置に接続された電源ユニットと、
を備え、
前記第１のケーブルを介して、前記電源ユニットから前記読み取りヘッドへ電力が供給されるようになっている。

上記の実施態様の位置検出器及び検出システムによれば、移動要素に位置検出器に加えて他の検出器を備える場合であっても、構成部材が少なくケーブルの取り回しが容易で簡潔な配線構造が実現可能な位置検出器及び検出システムを提供することができる。

本発明の１つの実施形態に係る位置検出器の概要を模式的に示す図である。 図１に示す位置検出器の外形を示す斜視図である。 図２に示す位置検出器において、カバーが取り外されて、内部が視認可能になった状態を示す斜視図である。 １つの実施形態に係る位置検出器を工作機械の被駆動要素に取り付けた場合の一例を示す斜視図である。 本発明のその他の実施形態に係る位置検出器の外形を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る位置検出器の制御的な構成の一例を模式的に示すブロックダイアグラムである。 本発明の実施形態に係る位置検出器に接続可能なハブの一例を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る位置検出器及びハブを工作機械の被駆動要素に取り付けた場合の一例を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る位置検出器及びハブの制御的な構成を模式的に示すブロックダイアグラムである。 本発明の実施形態に係る位置検出器を工作機械の複数の被駆動要素に取り付けた場合の一例を示す斜視図である。 本発明の第１の実施形態に係る検出システムの構成を模式的に示すブロックダイアグラムである。 本発明の第２の実施形態に係る検出システムの構成を模式的に示すブロックダイアグラムである。

以降、図面を参照しながら、本発明を実施するための様々な実施形態、実施例を説明する。各図面中、同一の機能を有するものとして対応する部材には、同一符号を付している。要点の説明または理解の容易性を考慮して、便宜上実施形態（実施例）を分けて示すが、異なる実施形態（実施例）で示した構成の部分的な置換または組み合わせは可能である。第２の実施形態（その他の例）以降では第１の実施形態（１つの例）と共通の事柄についての記述を省略し、異なる点についてのみ説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については実施形態（実施例）毎には逐次言及しないものとする。また、本発明は、以下の実施形態や実施例に限定されるものではない。

（１つの実施形態に係る位置検出器）
はじめに、図１、２Ａ及び２Ｂを参照しながら、本発明の１つの実施形態に係る位置検出器の説明を行う。図１は、本発明の１つの実施形態に係る位置検出器の概要を模式的に示す図である。図２Ａは、図１に示す位置検出器の外形を示す斜視図であり、図２Ｂは、図２に示す位置検出器において、カバーが外されて、内部が視認可能になった状態を示す斜視図である。なお、図１には、位置検出器だけでなく、ケーブルを介して読み取りヘッドに接続された他の機器も示されている。

本発明の１つの実施形態に係る位置検出器２は、所定軌道上の位置を検出する位置検出器であり、特にここでは、直線上の位置を検出して位置情報として出力する所謂リニアエンコーダ（またはリニアスケール）と称される位置検出器を示す。図１に示すように、位置検出器２は、スケール６と、スケール６に基づいて位置情報を検出する読み取りヘッド４とを備える。スケール６は、ガラス材料や金属材料からなり、一定の間隔で光学格子が刻まれている。

読み取りヘッド４は、筐体４２と、筐体４２に隣接して配置された検出部４４とを備える。検出部４４は、光源及び光電素子を備える。また、後述するように、筐体４２の内部には、検出部４４と繋がった制御部７６（図５参照）が配置されている。
検出部４４の光源から出射された光がスケール６を反射または透過し、検出部４４の光電素子がこの反射光または透過光を受光する。このとき、光学格子によって生じる光強度の差（明暗）によって、位置情報を検出することができる。例えば、スケール６の初期位置から、所定の方向における光学格子を横切る回数をカウントすることにより、スケール６上の位置を算出することができる。これにより、例えば、アブソリュート型のリニアエンコーダも実現できる。

図２Ａ及び２Ｂから明らかなように、スケール６及び検出部４４は、通常カバー８によって覆われており、ダスト等が付着してデータ検出の精度が低下することを防ぐようになっている。

本実施形態に係る位置検出器２では、更に、読み取りヘッド４が、情報処理装置７０と繋がる第１のケーブル１２が接続される第１の接続端子４６と、他の検出器２０と繋がる第２のケーブル１４が接続される第２の接続端子４８とを備える。

他の検出器２０としては、温度検出器、加速度検出器、位置検出器等を例示することができるが、これに限られるものではなく、その他の任意の検出器を適用することができる。

これにより、第２のケーブル（信号線）１４を介して、他の検出器２０による他の測定データが、他の検出器２０から読み取りヘッド４に送受信される。
更に、第１のケーブル（信号線）１４を介して、読み取りヘッド４による測定データまたは読み取りヘッド４の測定に基づくデータで構成される第１のデータと、ケーブル１２を介して受信された他の測定データまたは他の検出器２０の測定に基づくデータで構成される第２のデータが、読み取りヘッド４から情報処理装置７０へ送受信される。なお、第１のデータ及び第２のデータの詳細については後述する。

なお、上記の「Ｘ（読み取りヘッド４による測定データ、他の測定データ）またはＹ（読み取りヘッド４の測定に基づくデータ、他の検出器２０の測定に基づくデータ）で構成される」の記載については、Ｘだけで構成される場合、Ｙだけで構成される場合、並びにＸ及びＹで構成される場合が含まれる。

図１に示すように、位置検出器２及び他の検出器２０が、駆動装置により移動する被駆動要素（移動体）５０上に配置されている。情報処理装置７０は、第１のケーブル（信号線）１２を介して読み取りヘッド４から受信した第１のデータ及び第２のデータに基づいて、被駆動要素５０の駆動に関するフィードバック制御を行うことができる。

更に、本実施形態では、第１のケーブル（電源線）１２を介して、読み取りヘッド４及び他の検出器２０を稼働させるのに必要な電力が、情報処理装置７０に備えられた電源から読み取りヘッド４へ供給される。そして、他の検出器２０を稼働させるのに必要な電力が、更に、第２のケーブル（電源線）１４を介して、読み取りヘッド４から他の検出器２０へ供給される。

本実施形態では、位置検出器２に加えて、他の検出器２０も被駆動要素５０上に配置されている。このような場合、従来の配線構造では、位置検出器と情報処理装置を繋ぐケーブル（電源線及び信号線）に加えて、他の検出器と情報処理装置を繋ぐケーブル（電源線及び信号線）を備える必要がある。被駆動要素の移動に伴ってケーブルも動くため、ケーブルの量が増えるとその取り回しが煩雑になる。特に、被駆動要素が一定の方向に動く場合には、ケーブルベア（登録商標）にケーブルを配置することが、被駆動要素のスムーズな移動、ケーブルの破損防止の観点で有効である。しかし、ケーブル量が増えると、ケーブルベア（登録商標）を大形化したり、更なるケーブルベア（登録商標）を備えたりする必要が生じる。

一方、本実施形態では、他の検出器２０専用のケーブルを用いずに、読み取りヘッド４に関連するデータを送受信し、読み取りヘッド４に給電する第１のケーブル（電源線及び信号線）１２を用いて、他の検出器２０に関連するデータを情報処理装置７０へ送受信し、情報処理装置７０から他の検出器２０に給電することができる。よって、他の検出器２０を備えることによって、移動側及び固定側の間を繋ぐケーブル量が増えることがない。
以上のように、位置検出器２及び他の検出器２０が設置された被駆動要素５０が移動しても（図１の両矢印参照）、ケーブルの引き回しが容易であり、簡潔な配線構造が実現できる。また、位置検出器２の読み取りヘッド４を、他の検出器２０による他の測定データの送受信のための中継コネクタとして利用できるので、構成部材を簡素化することができる。

なお、被駆動要素５０が移動しても（図１の両矢印参照）、読み取りヘッド４及び他の検出器２０の相対的な位置は変化しない。また、本実施形態では、位置検出器２及び他の検出器２０が、駆動装置により移動する被駆動要素５０上に配置されているが、これに限られるものではなく、駆動装置によらずに移動するその他の全ての移動要素に配置する場合に適用することができる。

第１のケーブル１２及び第２のケーブル１４は、電源線及び信号線を含む複合ケーブルであることが好ましい。電源線及び信号線を含む複合ケーブルを用いることにより、ケーブルの引き回しがより容易な配線構造を実現できる。

図１、２Ａ及び２Ｂから明らかなように、第１の接続端子４６及び第２の接続端子４８が両側に設けられた端子部４２Ａが、読み取りヘッド４の筐体４２に備えられている。このような構造により、読み取りヘッド４の筐体４２の外縁に沿った省スペースな配線が実現できる。特に、読み取りヘッド４の筐体４２の外縁に沿ってスケール６が延びている場合には、スケール６にも沿った省スペースな効率的な配線が実現できる。

＜位置検出器を工作機械に取り付けた場合＞
次に、図３を参照しながら、１つの実施形態に係る位置検出器を工作機械に取り付けた場合について説明する。図３は、１つの実施形態に係る位置検出器を工作機械の被駆動要素に取り付けた場合の一例を示す斜視図である。ここでは、被駆動要素の一例として、工作機械の加工テーブル５０Ａに取り付けた場合を示す。

位置検出器２は、スケール６が工作機械６０のフレーム側（固定側）に取り付けられ、読み取りヘッド４が被駆動要素である加工テーブル５０Ａ側（移動側）に取り付けられている。読み取りヘッド４は、第１のケーブル１２を介して、情報処理装置７０と繋がっている。
第２のケーブル１４を介して読み取りヘッド４と繋がった他の検出器２０は、加工テーブル５０Ａの工作台の下部に取り付けられている。他の検出器２０としては、温度検出器や加速度検出器を例示できる。なお、加工テーブル（被駆動要素）５０Ａが移動しても（図３の両矢印参照）、読み取りヘッド４及び他の検出器２０の相対的な位置は変化しない。

加工テーブル（被駆動要素）５０Ａに読み取りヘッド４だけでなく、他の検出器２０も備える場合であって、第１のケーブル（電源線及び信号線）１２を用いるだけで、読み取りヘッド４に関連する第１のデータ及び他の検出器２０に関連する第２のデータの送受信、並びに読み取りヘッド４及び他の検出器２０への給電を行うことができる、よって、工作機械６０において、省スペースな効率的な配線が実現できる。

なお、読み取りヘッド４や他の検出器２０を配置する移動要素は、工作機械の構成要素に限られるものではなく、ロボットをはじめとする産業用・民生用装置、医療・福祉・介護用装置、輸送用装置といったような様々な技術分野の装置の構成要素に適用できる。

（その他の実施形態に係る位置検出器）
次に、図４を参照しながら、本発明のその他の実施形態に係る位置検出器の説明を行う。図４は、本発明のその他の実施形態に係る位置検出器の外形を示す斜視図である。
図１に示す１つの実施形態では、直線上の位置を検出する所謂リニアエンコーダが示されているが、本実施形態では、回転方向における位置を検出する所謂ロータリエンコーダが示されている。

図４に示す位置検出器２’では、筐体４２’の中央部に被測定物の軸部が挿入される回転軸挿入口１０が設けられ、被測定物の軸部の回転に伴って回転する回転スケールが、筐体４２’の内部に配置されている。筐体４２’の内部の回転スケールの回転半径位置に、読み取りヘッドの検出部が配置されている。また、測定のための所定の制御を行う制御部も、筐体４２’の内部に配置されている。

また、第１のケーブルが接続される第１の接続端子４６及び第２のケーブルが接続される第２の接続端子４８が両側に設けられた端子部４２Ａ’が、位置検出器２’の筐体４２’に備えられている。
これにより、第１のケーブルを介して、位置検出器（読み取りヘッド）２’及び情報処理装置を接続することができ、第２のケーブルを介して、位置検出器（読み取りヘッド）２’及び他の検出器に接続することができる。よって、位置検出器（読み取りヘッド）２’においても、上記の１つの実施形態に係る位置検出器（読み取りヘッド）２と同様な作用効果を奏することができる。

（位置検出器の制御）
次に、図５を参照しながら、本発明の実施形態に係る位置検出器に関する制御処理について説明する。図５は、本発明の実施形態に係る位置検出器の制御的な構成の一例を模式的に示すブロックダイアグラムである。

読み取りヘッド４、４’は、制御部７６、制御部７６に繋がった検出部４４、及び制御部７６に繋がった読み取りヘッド内検出器２２を備える。読み取りヘッド内検出器２２として、読み取りヘッド４の筐体内の温度を測定する温度検出器を例示することができる。ただし、これに限られるものではなく、加速度検出器をはじめとするその他の任意の検出器を用いることができる。制御部７６は、第１の接続端子４６及び第２の接続端子４８と繋がっており、制御部７６は、第１のケーブル１２を介して情報処理装置７０と繋がり、第２のケーブル１４を介して他の検出器２０と繋がっている。

情報処理装置７０として、ＮＣ装置、工作機械の制御装置、その他の制御装置（例えば、外付けのコンピュータ）を例示することができる。

第１のケーブル１２は、読み取りヘッド４、４’に関連する第１データに加えて、他の検出器２０に関連する第２のデータも情報処理装置７０へ送受信する必要がある。例えば、既存の第１のケーブル１２の空き容量を用いて送受信できるようにするには、送受信するデータ容量を小さくすることが重要である。
また、例えば、情報処理装置７０としてＮＣ装置を用いる場合、ＮＣ装置に適用する通信プロトコールでは、十分な送受信速度が得られない場合もあり得る。よって、この点からも、第１のケーブル１２を介して送受信するデータ容量を小さくすることは重要である。

第１のケーブル１２を介して送受信するデータ容量を小さくするため、第１のデータ及び第２のデータは、下記のような構成されている。

（１）第１のデータには、
（１Ａ）読み取りヘッド４による測定データ、及び
（１Ｂ）読み取りヘッド４の測定に基づくデータ
が含まれる。

（１Ａ）読み取りヘッド４による測定データには、
（ａ）検出部４４により検出された位置測定データ、及び
（ｂ）読み取りヘッド内検出器２２により検出された測定データ（例えば、温度測定データ）
が含まれる。

（１Ｂ）読み取りヘッド４の測定に基づくデータには、
（ａ）読み取りヘッド４による測定データに基づいて、制御部７６で形成された第１の形成データ、
（ｂ）エラーステータス
（ｃ）データ送受信用の識別データ
が含まれる。

（ａ）第１の形成データは、第１のケーブル１２を介して読み取りヘッド４、４’から情報処理装置７０へ送受信される第１のデータのデータ容量が小さくなるように形成される。なお、詳細については後述する。
（ｂ）エラーステータスは、読み取りヘッド４（検出部４４、検出器２２）による測定に基づいて判別された不具合（エラー）発生の有無、及び発生した不具合（エラー）の種類を示すデータである。
（ｃ）データ送受信用の識別データは、ポジションデータとも称され、第１のケーブル１２を介して、第１のデータを送受信するときの識別データであり、通常、時分割で送受信する一連の通信の最初に送るデータである。

一方、第２のデータには、
（２Ａ）他の検出器２０による他の測定データ、及び
（２Ｂ）他の検出器２０の測定に基づくデータ
が含まれる。

（２Ａ）他の検出器２０による他の測定データには、他の検出器２０により検出された測定データ（温度測定データ、加速度測定データ等）が含まれる。
（２Ｂ）他の検出器２０の測定に基づくデータには、
（ａ）他の検出器による測定データに基づいて、制御部7６で形成された第２の形成データ、
（ｂ）エラーステータス、及び
（ｃ）データ送受信用の識別データ
が含まれる。

（ａ）第２の形成データは、第１のケーブル１２を介して読み取りヘッド４、４’から情報処理装置７０へ送受信される第２のデータのデータ容量が小さくなるように形成される。なお、詳細については後述する。
（ｂ）エラーステータスは、他の検出器２０による測定に基づいて判別された不具合（エラー）発生の有無、及び発生した不具合（エラー）の種類を示すデータである。
（ｃ）データ送受信用の識別データは、第１のケーブル１２を介して、第２のデータを送受信するときの識別データであり、通常、時分割で送受信する一連の通信の最初に送るデータである。

以上のように、本発明の実施形態に係る位置検出器２、２’は、
情報処理装置７０と繋がる第１のケーブル１２が接続される第１の接続端子４６、４６’と、
他の検出器２０と繋がる第２のケーブル１４が接続される第２の接続端子４８、４８’と、
を有する読み取りヘッド４、４’を備え、
読み取りヘッド４、４’による測定データまたは読み取りヘッド４、４’の測定に基づくデータで構成される第１のデータと、
第２のケーブル１４を介して他の検出器２０から読み取りヘッド４、４’へ送受信される他の測定データまたは他の検出器２０の測定に基づくデータで構成される第２のデータとが、
第１のケーブル１２を介して情報処理装置７０へ送受信される。

以上のように、本発明の実施形態に係る位置検出器２、２’によれば、被駆動要素（移動要素）５０に位置検出器２、２’に加えて他の検出器２０が備えられた場合であっても、構成部材が少なくケーブルの取り回しが容易で簡潔な配線構造が実現できる。

次に、読み取りヘッド４、４’による測定データを用いて形成された第１の形成データ、及び他の検出器２０による他の測定データを用いて形成された第２の形成データに関して詳細に説明する。

＜第１の形成データ＞
第１の形成データには、
（１Ａ）読み取りヘッド４、４’による測定データの中から制御部７６により選択されたデータ、及び
（１Ｂ）読み取りヘッド４、４’による測定データを用いて制御部７６により演算されたデータ
が含まれる。

（１Ａ）測定データの中から選択されたデータには、例えば、
（ａ）読み取りヘッド４、４’（検出部４４、検出器２２）のサンプリングタイムより長いインターバルで取得されたデータ、
（ｂ）限定された位置（位置測定データ）、限定された温度領域（温度測定データ）において取得されたデータ、
（ｃ）一定の条件を満たした（例えば、前のサンプリングデータと今回のサンプリングデータの値の比率が閾値以上）データ
が含まれる。

（１Ｂ）測定データを用いて演算されたデータには、
（ａ）読み取りヘッド４、４’（検出部４４）による位置測定データに基づいて算出した速度データ、
（ｂ）算出された速度データに基づいて算出された加速度データ、及び
（ｃ）算出された加速度データを選択または加工して、データ容量を落とした加速度データ
が含まれる。

以上のように、第１の形成データに、測定データの中から選択されたデータや、測定データを用いて演算されたデータが含まれるので、確実にデータ容量を削減することができる。よって、読み取りヘッド４、４’に関連する様々な情報をケーブルの容量に適した形で送受信できる。例えば、第１のデータのデータ容量を、第１のケーブルの空き容量に適合したものにすることにより、ケーブル容量を効率的に活用することもできる。

＜第２の形成データ＞
第２の形成データには、
（２Ａ) 他の検出器２０による他の測定データ２Ａの中から制御部７６により選択されたデータ、及び
（２Ｂ）他の検出器２０による他の測定データ２Ａを用いて制御部７６により演算されたデータ
が含まれる。

（２Ａ）他の測定データの中から選択されたデータには、例えば、
（ａ）他の検出器２０のサンプリングタイムより長いインターバルで取得されたデータ、
（ｂ）限定された周波数領域（加速度測定データ）、限定された温度領域（温度測定データ）、限定された領域（位置測定データ）において取得されたデータ、及び
（ｃ）一定の条件を満たした（例えば、前のサンプリングデータと今回のサンプリングデータの値の比率が閾値以上）データ
が含まれる。

（１Ｂ）他の測定データを用いて演算されたデータには、例えば、
（ａ）Ｎ−１タイミングのサンプリングデータの値とＮタイミングのサンプリングデータの値との比率、
（ｂ）所定回数のサンプリングデータの平均値、及び
（ｃ）低周波数・中周波数・高周波数の加速度測定データ量の比率、低温・中温・高温の温度測定データ量の比率、
が含まれる。

以上のように、第２の形成データに、他の検出器２０による他の測定データの中から選択されたデータや、他の測定データを用いて演算されたデータが含まれるので、確実にデータ容量を削減することができる。よって、他の検出器２０の測定データを、第２のケーブルの容量及び第１のケーブルの容量に適した形で送受信できる。例えば、第２のデータのデータ容量を、第２のケーブルの空き容量に適合したものにすることにより、ケーブル容量を効率的に活用することもできる。

＜データ容量＞
制御部４６が、上記のようにして第２の形成データを形成することにより、第２のデータのデータ容量を、他の検出器２０による他の測定データのデータ容量より小さすることができる。これにより、第２のデータのデータ容量を、第１のケーブル１２の容量に適したものにすることができる。

制御部４６が、上記のようにして第１の形成データ及び第２の形成データを形成することにより、第１のデータ及び第２のデータのデータ容量が、第１のケーブル１２で送受信可能なデータ容量以内になるようにすることができる。既存の第１のケーブル１２は、位置検出器２、２’による測定データを情報処理装置７０へ送受信するケーブルであるが、本実施形態により、既存の第１のケーブル１２のサイズアップを図ったり、更なるケーブルを増設することなく、他の検出器２０の測定データを情報処理装置７０へ送受信することができる。

＜振動の計測＞
本発明の実施形態に係る位置検出器２、２’を工作機械の被駆動要素５０に配置する場合、位置測定データとともに、加速度測定データを取得して、被駆動要素５０の振動を検出して、加工における不具合発生や、工具の摩耗の状態の推測を行うことが有効である。この場合、他の検出器２０として加速度検出器を用いることが考えられる。
しかし、加速度検出器は、温度検出器等に比べて大きな電力を供給する必要があるので、情報処理装置７０に備えられた電源から十分な電力を供給できない場合や、第１のケーブル１２及び第２のケーブル１４が十分な電力を送る容量を有していない場合もあり得る。

そのような場合には、位置検出器２、２’で計測した位置測定データに基づいて加速度を算出することにより、他の検出器２０として加速度検出器を備えずに、振動解析に必要な加速度データを得ることができる。具体的には、位置測定データを微分して速度データを算出し、算出された速度データを更に微分することにより、加速度データを得ることができる。つまり、位置測定データを2回微分することにより、加速度検出器を用いずに、必要な加速度測定データを得ることができる。

このとき、振動における変位をＤ、周波数をｆとすれば、
加速度α＝（２πｆ）^２・Ｄ
の関係を有するので、加速度αの値は周波数ｆの２乗に比例する。よって、加工等における不具合検出において重要な高周波数帯域の振動においては、周波数ｆの２乗分だけ大きくなるので、より大きな値の加速度αが得られることになる。

第１のケーブル１２の空き容量が大きくない場合には、第１のケーブル１２を介して加速度データを情報処理装置７０へ送受信するインターバルを開ける必要があるが、インターバルを開けすぎると、十分な振動解析ができなくなる虞もある。
よって、少ない送受信データ容量で十分な振動解析ができるようにするため、例えば、算出した加速度データを低周波数・中周波数・高周波数に分け、各周波数帯域の総量を情報処理装置７０へ送受信することが考えられる。この場合、情報処理装置７０は、各周波数帯域の総量の比率から（例えば、高周波数域の比率が高い）、加工等における不具合発生の判定を行うことが考えられる。
また、Ｎ−１タイミングで算出した加速度データの値とＮタイミングで算出した加速度データの値との比率を算出し、比率が閾値を超えた場合にだけ、情報処理装置７０へデータを送受信することも考えられる。更に、所定回数の算出加速度データの平均値を情報処理装置７０へ送受信し、情報処理装置７０が、加速度データの平均値から加工等における不具合発生の判定を行うことも考えられる。

仮に、他の検出器２０として加速度検出器を備えることができる場合であっても、第１のケーブル１２（第２のケーブル１４）の空き容量が大きくない場合には、上記の「他の検出器２０他の測定データを用いて演算されたデータ」の説明のように、Ｎ−１タイミングのサンプリングデータの値とＮタイミングのサンプリングデータの値との比率、所定回数のサンプリングデータの平均値、低周波数・中周波数・高周波数の加速度測定データ量の比率等を情報処理装置７０へ送受信して、情報処理装置７０が受信したデータに基づいて、不具合発生の判定を行うことも考えられる。

このようにして、情報処理装置７０へ送受信する具体的なデータ例として、下記のような場合を例示できる。
［例1］
（１）第１のデータ：読み取りヘッド４、４’による位置測定データ＋検出器２２による読み取りヘッド４、４’内部の温度測定データ＋データ容量削減処理が行われた位置測定データに基づく加速度データ、
（２）第２のデータ：他の検出器２０による外部の温度速度データ
［例２］
（１）第１のデータ：読み取りヘッド４、４’による位置測定データ＋検出器２２による読み取りヘッド４、４’内部の温度測定データ、
（２）第２のデータ：データ容量削減処理が行われた他の検出器２０による加速度測定データ

＜制御部におけるアルゴリズム＞
以上のように、読み取りヘッド４、４’の制御部７６における適確な制御処理が、第１のケーブル１２のみを用いて、読み取りヘッド４、４’や他の検出器２０に関連する必要なデータを情報処理装置７０へ送受信するのに重要である。
この場合、制御部７６により第１のデータまたは第２のデータを形成するアルゴリズムを、読み取りヘッド４、４’または他の検出器２０が設置された機器の種類、設置された位置または設置された方向に応じて変更可能にすることが好ましい。

このように構成することにより、同一の読み取りヘッド４、４’や他の検出器２０を用いたまま、アルゴリズムを変更することにより、様々な機器、様々な設置位置、様々な設置方向に適応した位置検出器２、２’を実現できる。

アルゴリズムを変更する１つの態様として、例えば、複数のアルゴリズムが保管された制御装置を読み取りヘッド４、４’に一時的に接続して、アルゴリズムを変更することが考えられる。
このような態様は、一度アルゴリズムを設定すれば、その後、頻繁なアルゴリズム変更の必要性が低い場合に適する。例えば、本位置検出器２、２’及び他の検出器２０の使用開始時やメンテナンス時に、アルゴリズム変更用コンピュータを一時的に読み取りヘッド４、４’に接続して、アルゴリズムを変更することができる。この場合には、位置検出器２、２’を含むシステムに保管するデータ量を抑制することができる。

アルゴリズムを変更するその他の態様として、例えば、情報処理装置７０に複数のアルゴリズムが保管されており、第１のケーブル１２を介して、情報処理装置７０によりアルゴリズムを変更することも考えられる。
このような態様では、仮に、位置検出器２、２’や他の検出器２０による測定に影響を及ぼす状況の変化が生じても、情報処理装置７０により、常に最適な測定ができるアルゴリズムに変更できるので、信頼性の高い検出システムが実現できる。

（ハブを用いた接続）
次に、図６を参照しながら、上記の実施形態に係る読み取りヘッド４、４’の第２の接続端子４８、４８’側にハブを介して、他の検出器２０を接続する場合の説明を行う。図６は、本発明の実施形態に係る位置検出器に接続可能なハブの一例を示す斜視図である。
複数の他の検出器２０と接続可能なハブ３０が、読み取りヘッド４，４’に繋がった第２のケーブル１２に接続される。図６に示すハブでは、６個の接続端子３２Ａ〜３２Ｆが設けられており、その中の１つの接続端子に第２のケーブル１４が接続される。その他の５つの接続端子に複数の他の検出器２０を接続することができる。

このようなハブ３０を用いることにより、読み取りヘッド４、４’では、１つの端子（第２の端子４８、４８’）からの１本のケーブル（第２のケーブル）を備えた省スペースの配線を維持したまま、より多くの他の検出器２０を用いることができる。

また、図６に示すように、ハブ３０の筐体３０Ａに、複数の接続端子３２Ａ〜３２Ｃ及び複数の接続端子３２Ｄ〜３２Ｆが両側に設けられた端子部３２が備えられている。両側の接続端子３２Ａ〜３２Ｃ、３２Ｄ〜３２Ｆのうちの１つの接続端子（例えば、３２Ｂ）に第２のケーブル１２を接続し、その他の接続端子（例えば、３２Ａ、３２Ｃ〜３２Ｆ）に他の検出器２０と繋がったケーブルを接続することができる。

この場合、例えば、接続端子３２Ｂが第２のケーブル１４用の接続端子であるとすると、接続端子３２Ｂと、他の接続端子３２Ａ、３２Ｃ〜３２Ｆとは電気的に繋がっているが、他の接続端子３２Ａ、３２Ｃ〜３２Ｆどうしはそれぞれ絶縁された配線がなされている。

以上のように、複数の接続端子３２Ａ〜３２Ｃ、３２Ｄ〜３２Ｆが両側に設けられた端子部３２により、省スペースでより多くの他の検出器２０を用いることができる。
図６では、片側３個ずつ計６個の接続端子を有するハブが示されているが、その他の任意の数の接続端子を備えたハブを用いることができる。図６では、ハブ３０は、略直方体の形状の筐体３０Ａを有するが、用途に応じて、立方体、円柱、多角柱をはじめとする任意の形状の筐体を採用することができる。

（位置検出器及びハブを工作機械に取り付けた場合）
次に、図７を参照しながら、位置検出器及びハブを工作機械に取り付けた場合について説明する。図７は、本発明の実施形態に係る位置検出器及びハブを工作機械の被駆動要素に取り付けた場合の一例を示す斜視図である。ここでは、本発明の１つの実施形態に係る位置検出器２を用いた例を示す。

図７においても、図３に示す場合と同様に、工作機械の加工テーブル５０Ａに取り付けた場合を示す。スケール６及び読み取りヘッド４の取り付位置も図３の場合と同様である。読み取りヘッド４に接続された第２のケーブル１４に接続されたハブ３０が、加工テーブル５０Ａの上面に取り付けられている。ハブ３０のその他の２つの接続端子にケーブル１６Ｄ及び１６Ｆが取り付けられている。ケーブル１６Ｄに接続されたその他の検出器２０Ｄは、移動テーブル５０Ａの工作台の下部の側方位置に取り付けられている。一方、ケーブル１６Ｆに接続されたその他の検出器２０Ｆは、加工テーブル５０Ａの工作台の下部の進行方向後ろ側に取り付けられている。

以上のように、ハブ３０を用いることにより、読み取りヘッド４では、１つの端子から１本の第２のケーブル１２を備える省スペースの配線を維持したまま、複数の他の検出器２０Ｄ、２０Ｆを用いることができる。

（ハブを備えた位置検出器の制御）
次に、図８を参照しながら、ハブを備えた上記の実施形態に係る位置検出器に関する制御処理について説明する。図８は、本発明の実施形態に係る位置検出器及びハブの制御的な構成を模式的に示すブロックダイアグラムである。ここでは、図７に示す場合と同様に、ハブ３０に２つの他の検出器２０Ｄ、２０Ｆが接続された場合を示す。
位置検出器２、２’の制御的な構成、及び第１のケーブル１２を介して情報処理装置７０と接続された制御的な構成については、ハブを備えない図５に示す場合と同様である。図５に示す場合と異なるのは、第２のケーブル１８に接続されたハブ３０及びハブ３０に複数の他の検出器２０Ｄ、２０Ｆが接続されている点である。

図８に示すように、ハブ３０には、他の検出器２０から受信した信号を、読み取りヘッド４、４’及び情報処理装置７０との送受信に適した信号に変換する制御回路７８が備えられている。つまり、第２のケーブル１４が接続される接続端子３２Ｂが制御回路７８に接続され、他の検出器２０からのケーブルと接続される接続端子３２Ａ、３２Ｃ〜３２Ｆも制御回路７８に接続されている。
この制御回路７８により、ＡＤ変換や高速フーリエ変換（FＦＴ：Fast Fourier Transform）を行うことができる。制御回路７８によるこのような変換により、他の検出器２０の測定データを効率的に送受信することができる。
なお、制御回路７８により変換されたデータも、第２のケーブルを介して他の検出器２０から読み取りヘッド４、４’へ送受信される「他の測定データ」に該当する。

（位置検出器を工作機械の複数の被駆動要素に取り付けた場合）
次に、図９を参照しながら、位置検出器を工作機械の複数の被駆動要素に取り付けた場合について説明する。図９は、本発明の実施形態に係る位置検出器を工作機械の複数の被駆動要素に取り付けた場合の一例を示す斜視図である。

図９に示す例では、本発明の実施形態に係る位置検出器２Ａ〜２Ｃが、それぞれ加工テーブル（被駆動要素）５０Ａ、主軸ベース（被駆動要素）５０Ｂ、及びサドル（被駆動要素）５０Ｃの３箇所に設置されている。加工テーブル（被駆動要素）５０Ａの移動方向に沿って、位置検出器２Ａを構成する工作機械６０のＺ軸方向のスケール６Ａが配置されている。主軸ベース（被駆動要素）５０Ｂの移動方向に沿って、位置検出器２Ｂを構成する工作機械６０のＹ軸方向のスケール６Ｂが配置されている。また、サドル（被駆動要素）５０Ｃの移動方向に沿って、位置検出器２Ｃを構成する工作機械６０のＸ軸方向のスケール６Ｃが配置されている。

位置検出器２Ａ〜２ＣによるＸ、Ｙ及びＺ方向の位置測定データに基づいて、ＮＣ装置である情報処理装置７０による工作機械６０のフィードバック制御が行われる、それとともに、位置検出器２Ａ〜２Ｃ及び他の検出器２０からの測定データによる温度、加速度情報等に基づく、不具合発生予知を含むより精度の高いフィードバック制御を実現できる。

（位置検出器を備えた検出システム）
次に、上記の実施形態に係る位置検出器２、２’を備えた検出システムの説明を行う。

＜第１の実施形態に係る検出システム＞
はじめに図１０を参照しながら、本発明の第１の実施形態に係る検出システムの説明を行う。図１０は、本発明の第１の実施形態に係る検出システムの構成を模式的に示すブロックダイアグラムである。

本実施形態に係る検出システム１００では、工作機械６０の被駆動要素５０に、位置検出器２、２’の読み取りヘッド４、４’及び第２のケーブル１４を介して読み取りヘッド４、４’と接続された他の検出器２０が設置されている。読み取りヘッド４、４’は、第１のケーブル１２を介して、情報処理装置として機能するＮＣ装置７０に接続されている。更に詳細に述べれば、読み取りヘッド４、４’は、第１のケーブル１２の電源線を介して、ＮＣ装置（情報処理装置）７０に備えられた電源７４に電気的に接続されている。また、読み取りヘッド４、４’は、第１のケーブル１２の信号線を介して、ＮＣ装置（情報処理装置）７０に備えられた制御部７２に電気的に接続されている。

このような配線により、読み取りヘッド４、４’及び他の検出器２０の作動に必要な電力が、第１のケーブル（電源線）１２を介して、情報処理装置７０に備えられた電源７４から読み取りヘッド４へ供給される。更に、他の検出器２０の作動に必要な電力が、第２のケーブル（電源線）１４を介して、読み取りヘッド４から他の検出器２０に供給される。
他の検出器２０による他の測定データが、第２のケーブル１４（信号線）を介して読み取りヘッド４へ送受信される。そして、上記の第１のデータ及び第２のデータが、第１のケーブル（信号線）１２を介して、読み取りヘッド４からＮＣ装置（情報処理装置）７０に備えられた制御部７２へ送受信される。これにより、工作機械６０のフィードバック制御を実現できる。

以上のように、第１の実施形態に係る検出システム１００では、工作機械６０に設置された位置検出器２、２’と、情報処理装置として機能する工作機械を制御するＮＣ装置７０と、ＮＣ装置（情報処理装置）７０に備えられた電源７４と、を備え、第１のケーブル（電源線）１２を介して、ＮＣ装置７０に備えられた電源７４から読み取りヘッド４、４’へ電力が供給されるようになっている。

これにより、ＮＣ装置（情報処理装置）７０で制御される工作機械６０に取り付けられた位置検出器２、２’の通常の配線のままで、その他の検出器２０のデータをＮＣ装置（情報処理装置）へ送受信し、その他の検出器２０に給電できる。

また、工作機械用制御装置６２は、ケーブル（信号線）６４を介して、ＮＣ装置（情報処理装置）７０に備えられた制御部７２に電気的に接続されている。これにより、工作機械用制御装置６２で必要な測定データを、報処理装置７０に備えられた制御部７２から工作機械用制御装置６２へ送受信することができる。

特に、本実施形態では、第１のデータ及び第２のデータが読み取りヘッド４からＮＣ装置（情報処理装置）７０に送受信され、少なくとも第２のデータの一部が、ＮＣ装置（情報処理装置）７０から工作機械用制御装置６２へ送受信される。
これにより、通常のＮＣ装置（情報処理装置）７０に適用するプロトコールを用いて、他の検出器２０に関連する第２のデータも工作機械６０の工作機械用制御装置６２へ送受信できる。
少なくとも第２のデータの一部が、ＮＣ装置（情報処理装置）７０から工作機械用制御装置６２へ送受信されることにより、温度測定データや加速度側データに基づくアラーム報知をはじめとする所定の制御処理を、工作機械用制御装置６２が適宜実施することができる。

図１０では、ＮＣ装置（情報処理装置）７０の電源７４から１つの読み取りヘッド４に給電する場合が示されているが、これに限られるものでない。ＮＣ装置（情報処理装置）７０の電源７４、第１のケーブル１２の容量等に応じて、電源７４から複数の読み取りヘッド４に給電する場合もあり得る。
また、図１０では、読み取りヘッド４に１つの他の検出器２０が接続された場合が示されているが、これに限られるものでない。ＮＣ装置（情報処理装置）７０の電源７４、第１のケーブル１２の容量、第２のケーブル１４の容量等に応じて、例えば、上記のハブ３０を用いて、読み取りヘッド４に複数の他の検出器２０を接続する場合もあり得る。

＜第２の実施形態に係る検出システム＞
次に、図１１を参照しながら、本発明の第２の実施形態に係る検出システムの説明を行う。図１１は、本発明の第２の実施形態に係る検出システムの構成を模式的に示すブロックダイアグラムである。図１１では、上記の１つの実施形態に係る読み取りヘッド４及びその他の実施形態に係る読み取りヘッド４’の両方が備えられた場合を示している。

本実施形態に係る検出システム１００’では、工作機械６０の複数（図１１では５個）の被駆動要素５０それぞれに、１つの実施形態に係る位置検出器２の読み取りヘッド４（図１１では３個）、及びその他の実施形態に係る位置検出器２’の読み取りヘッド４’ （図１１では２個）が設置されている。また、各読み取りヘッド４、４’には、第２のケーブル１４及びハブ３０を介して、それぞれ５個の他の検出器２０が設置されている。

第２の実施形態では、読み取りヘッド４、４’及び情報処理装置として機能するＮＣ装置７０の間に電源ユニット８０が備えられている。個々の読み取りヘッド４、４’は、第１のケーブルを介して電源ユニット８０に電気的に接続されている。電源ユニット８０は、他のケーブル１８Ａを介して、ＮＣ装置（情報処理装置）７０に接続されている。電源ユニット８０は、その他のケーブル１８Ｂを介して、工作機械６０の工作機械用制御装置６２に接続されている。工作機械用制御装置６２も、情報処理装置として機能することができる。

更に詳細に述べれば、読み取りヘッド４、４’及び他の検出器２０の作動に必要な電力が、第１のケーブル（電源線）１２を介して、電源ユニット８０に備えられた電源８４から読み取りヘッド４、４’へ供給される。更に、他の検出器２０の作動に必要な電力が、第２のケーブル（電源線）１４を介して、読み取りヘッド４、４’から他の検出器２０に供給される。

電源ユニット８０には、データ信号を中継する中継部８２が備えられている。個々の読み取りヘッド４、４’は、第１のケーブル（信号線）１２を介して、中継部８２に繋がっている。また、中継部８２は、他のケーブル（信号線）１８Ａを介して、ＮＣ装置（情報処理装置）７０の制御部７２に繋がっている。更に、中継部８２は、その他のケーブル（信号線）１８Ｂを介して、工作機械６０の工作機械用制御装置６２に繋がっている。上記の第１の実施形態に係る検出システム１００では、読み取りヘッド４、４’は、ＮＣ装置（情報処理装置）７０を介して工作機械用制御装置６２と接続されているが、第２の実施形態に係る検出システム１００’では、読み取りヘッド４、４’は、ＮＣ装置（情報処理装置）７０を介さず、中継部８２を介して工作機械用制御装置（情報処理装置）６２と接続されている。つまり、読み取りヘッド４、４’は、中継部８２を介して、ＮＣ装置（情報処理装置）７０及び工作機械用制御装置（情報処理装置）６２と繋がっている。

以上のように、第２の実施形態に係る検出システム１００’では、工作機械６０に設置された位置検出器２、２’と、情報処理装置として機能する工作機械を制御するＮＣ装置７０と、第１のケーブル１２に接続され、かつ他のケーブル１８Ａを介してＮＣ装置（情報処理装置）７０に接続された電源ユニット８０と、を備え、第１のケーブル１２を介して、電源ユニット８０から読み取りヘッド４、４’へ電力が供給される。

よって、電源ユニット８０を備えることによって、より多くの位置検出器２、２’及び他の検出器２０を工作機械６０に設置して作動させることができる。

更に、上記のように、工作機械６０に、情報処理装置として機能する工作機械用制御装置６２が備えられ、電源ユニット８０に、第１のデータ及び第２のデータの送受信の中継部８２が備えられている。そして、第１のケーブル（信号線）１２を介して読み取りヘッド４、４’から中継部８２へ送受信された第１のデータ及び第２のデータのうち、少なくとも第１のデータが中継部８２からＮＣ装置（情報処理装置）７０に送受信され、少なくとも第２のデータの一部が中継部８２から工作機械６０の工作機械用制御装置（情報処理装置）６２へ送受信される。

以上のように、電源ユニット８０が第１、第２のデータの中継部８２を備えることによって、ＮＣ装置７０及び工作機械６０の工作機械用制御装置６２の制御に必要なデータを適確に送受信することができる。

ＮＣ装置に適用する通信プロトコールを用いた場合、十分なデータ容量の測定データを十分な送受信速度で送受信できない虞がある。しかし、本実施形態では、電源ユニット８０に備えられた中継部８２を有するので、中継部８２と読み取りヘッド４、４’との間のデータ送受信速度、及び中継部８２と工作機械用制御装置（情報処理装置）６２との間のデータ送受信速度を、中継部８２とＮＣ装置（情報処理装置）７０との間のデータ送受信速度より速くすることができる。

以上のように、中継部８２と読み取りヘッド４、４’との間のデータ送受信速度、及び中継部８２と工作機械用制御装置（情報処理装置）６２との間のデータ送受信速度が、中継部８２とＮＣ装置（情報処理装置）７０との間のデータ送受信速度より速いので、ＮＣ装置に適用する通信プロトコールに制約されることなく、十分なデータ容量の測定データを十分な送受信速度で、読み取りヘッド４，４’から工作機械用制御装置（情報処理装置）６２へ送受信することができる。特に、加速度測定データを工作機械の制御装置へ送受信する場合に有効である。

図１１では、電源ユニット８０に複数の読み取りヘッド４、４’が繋がり、個々の読み取りヘッド４、４’にハブ３０を用いて複数の他の検出器２０が繋がった場合が示されているが、これに限られるものではない。第２の実施形態に係る検出システム１００’においても、電源ユニット８０に１つの読み取りヘッド４、４’が電気的に接続された場合や、読み取りヘッド４、４’に１つの他の検出器２０が電気的に接続された場合もあり得る。
本実施形態では、電源ユニット８０に中継部８２及び電源８４が備えられているが、中継部８２及び電源８４を個別の装置として備えることもできる。

本発明の実施の形態、実施の態様を説明したが、開示内容は構成の細部において変化してもよく、実施の形態、実施の態様における要素の組合せや順序の変化等は請求された本発明の範囲および思想を逸脱することなく実現し得るものである。

２、２’ 位置検出器
４（Ａ〜Ｃ）、４’ 読み取りヘッド
６（Ａ〜６） スケール
８ カバー
１０ 回転軸挿入口
１２ 第１のケーブル
１４ 第２のケーブル
１６（Ａ〜Ｆ） 他の検出器用ケーブル
２０ 他の検出器
２２ 読み取りヘッド内検出器
３０ ハブ
３０Ａ ハブの筐体
３２Ａ〜Ｅ 接続端子
４２、４２’ 筐体
４２Ａ、４２Ａ’ 端子部
４４ 検出部
４６ 第１の接続端子
４８ 第２の接続端子
５０ 被駆動要素
５０Ａ 加工テーブル（被駆動要素）
５０Ｂ 主軸ベース（被駆動要素）
５０Ｃ サドル（被駆動要素）
６０ 工作機械
６２ 工作機械用制御装置（情報処理装置）
６４ ケーブル
７０ ＮＣ装置（情報処理装置）
７２ 制御部
７４ 電源
７６ 制御部
７８ 制御回路
８０ 電源ユニット
８２ 中継部
８４ 電源
１００、１００’ 検出システム

Claims (19)

1. 情報処理装置と繋がる第１のケーブルが接続される第１の接続端子と、
   他の検出器と繋がる第２のケーブルが接続される第２の接続端子と、
   を有する読み取りヘッドを備え、
   前記読み取りヘッドによる測定データまたは前記読み取りヘッドの測定に基づくデータで構成される第１のデータと、前記第２のケーブルを介して前記他の検出器から前記読み取りヘッドへ送受信される他の測定データまたは前記他の検出器の測定に基づくデータで構成される第２のデータとが、前記第１のケーブルを介して前記情報処理装置へ送受信されることを特徴とする位置検出器。
2. 前記第１のケーブル及び前記第２のケーブルが、電源線及び信号線を含む複合ケーブルであることを特徴とする請求項１に記載の位置検出器。
3. 前記第１の接続端子及び前記第２の接続端子が両側に設けられた端子部が、前記読み取りヘッドの筐体に備えられていることを特徴とする請求項１または２に記載の位置検出器。
4. 前記読み取りヘッドに制御部が備えられ、
   前記読み取りヘッドの測定に基づくデータに、前記読み取りヘッドによる測定データを用いて前記制御部により形成された第１の形成データが含まれ、
   前記他の検出器の測定に基づくデータに、前記他の測定データを用いて前記制御部により形成された第２の形成データが含まれることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の位置検出器。
5. 前記第１の形成データに、前記読み取りヘッドによる測定データの中から前記制御部により選択されたデータ、または前記読み取りヘッドによる測定データを用いて前記制御部により演算されたデータが含まれることを特徴とする請求項４に記載の位置検出器。
6. 前記第２の形成データに、前記他の測定データの中から前記制御部により選択されたデータ、または前記他の測定データを用いて前記制御部により演算されたデータが含まれることを特徴とする請求項４または５に記載の位置検出器。
7. 前記第２のデータのデータ容量が、前記他の測定データのデータ容量より小さいことを特徴とする請求項４から６の何れか１項に記載の位置検出器。
8. 前記第１のデータ及び前記第２のデータのデータ容量が、前記第１のケーブルで送受信可能なデータ容量以内になるように、前記制御部により、前記第１の形成データ及び第２の形成データが形成されることを特徴とする請求項４から７の何れか１項に記載の位置検出器。
9. 前記制御部により前記第１のデータまたは前記第２のデータを形成するアルゴリズムを、前記読み取りヘッドまたは前記他の検出器が設置された機器の種類、設置された位置または設置された方向に応じて変更可能なことを特徴とする請求項４から８の何れか１項に記載の位置検出器。
10. 複数のアルゴリズムが保管された制御装置を前記読み取りヘッドに一時的に接続して、前記アルゴリズムを変更することを特徴とする請求項９に記載の位置検出器。
11. 前記情報処理装置に複数のアルゴリズムが保管されており、前記第１のケーブルを介して、前記情報処理装置により前記アルゴリズムを変更することを特徴とする請求項９に記載の位置検出器。
12. 複数の前記他の検出器と接続可能なハブが、前記読み取りヘッドに繋がった前記第２のケーブルに接続されていることを特徴とする請求項１から１１の何れか１項に記載の位置検出器。
13. 前記ハブの筐体に、複数の接続端子が両側に設けられた端子部が備えられ、
    両側の前記接続端子のうちの１つの接続端子に前記第２のケーブルが接続され、その他の接続端子に前記他の検出器と繋がったケーブルが接続されることを特徴とする請求項１２に記載の位置検出器。
14. 前記ハブに、前記他の検出器から受信した信号を、前記読み取りヘッド及び前記情報処理装置との送受信に適した信号に変換する制御回路が備えられていることを特徴とする請求項１２または１３に記載の位置検出器。
15. 工作機械に設置された、請求項１から１１の何れか１項に記載の位置検出器と、
    前記情報処理装置として機能する前記工作機械を制御するＮＣ装置と、
    前記ＮＣ装置に備えられた電源と、
    を備え、
    前記第１のケーブルを介して、前記ＮＣ装置に備えられた前記電源から前記読み取りヘッドへ電力が供給されることを特徴とする検出システム。
16. 前記第１のデータ及び前記第２のデータが前記ＮＣ装置に送受信され、
    少なくとも前記第２のデータの一部が、前記ＮＣ装置から前記工作機械の制御装置へ送受信されることを特徴とする請求項１５に記載の検出システム。
17. 工作機械に設置された、請求項１から１１の何れか１項に記載の位置検出器と、
    前記情報処理装置として機能する前記工作機械を制御するＮＣ装置と、
    前記第１のケーブルに接続され、かつ他のケーブルを介して前記ＮＣ装置に接続された電源ユニットと、
    を備え、
    前記第１のケーブルを介して、前記電源ユニットから前記読み取りヘッドへ電力が供給されることを特徴とする検出システム。
18. 前記工作機械に、前記演算処理装置として機能する制御装置が備えられ、
    前記電源ユニットに、前記第１のデータ及び前記第２のデータの送受信の中継部が備えられ、
    前記第１のケーブルを介して前記読み取りヘッドから前記中継部へ送信された前記第１のデータ及び前記第２のデータのうち、前記第１のデータが前記中継部から前記前記ＮＣ装置に送信され、少なくとも前記第２のデータの一部が前記中継部から前記工作機械の前記制御装置へ送信されることを特徴とする請求項１７に記載の検出システム。
19. 前記中継部と前記読み取りヘッドとの間のデータ送受信速度、及び前記中継部と前記工作機械の前記制御装置との間のデータ送受信速度が、前記中継部と前記ＮＣ装置の間のデータ送受信速度より速いことを特徴とする請求項１８に記載の検出システム。