JP2019032196A - X線分析装置およびそれに用いられるフィルタ管理システム - Google Patents
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Abstract
Description
また、検出部20は、ゴニオメータ30の2θ軸に搭載されるとともに、測定対象試料となる粉末試料Sは、ゴニオメータ30のθ軸(試料配置部)に搭載されるようになっており、θ−2θ連動の駆動方法でゴニオメータ30の中心軸を中心として回転されることにより、回折角度ごとにX線強度Iが出力されていくことで、X線回折パターンが得られるようになっている。
そして、ユーザは、作成されたX線回折パターンを観察することにより、粉末試料Sに含まれる元素の種類を特定する。
そのため、ユーザ等はSi粉末試料等の管理試料S’を定期的に測定して、管理試料S’のX線回折パターン中におけるFeKβ線強度IFeKβを目視確認するか、或いは、通常の定性分析時における誤判定で判断していた。
そこで、本発明は、適切な時期にフィルタを交換することができるX線分析装置およびそれに用いられるフィルタ管理システムを提供することを目的とする。
そして、「管理試料」とは、ユーザ等によって任意に決定される試料であり、例えば、Si粉末試料等となる。
また、上記の発明において、前記制御部は、前記試料配置部に管理試料が配置されたときには、所定ピークのX線強度を前記記憶部に記憶させるようにしてもよい。
このようなX線分析装置によれば、所定ピークのX線強度の履歴から、交換時期を予測して、事前にユーザに通知することができる。
このようなX線分析装置によれば、ユーザ等は様々なX線管や使用用途において適切な時期にフィルタを交換することができる。
X線回折装置1は、X線源部10と、検出部20と、ゴニオメータ30と、X線回折装置1全体の制御を行うコンピュータ40とを備える。
例えば、ユーザ等は定期的に管理試料S’の測定を行い、管理試料S’が配置されたときの時間tと、配置時間tに取得されたFeKβ線の強度It’とに基づいて、図3に示すようなFeKβ線の強度変化I(t)’を作成する。これにより、FeKβ線の強度I(t)’が閾値Ith’を超える時期(t+α)を予測して、「あとα時間の試料の測定でMnフィルタが使用不能になります」のような警告メッセージ(交換時期情報)を表示装置43に表示する。なお、「交換時期検査モード」に設定したときには、ユーザ等は管理試料S’をθ軸上のゴニオメータ30の中心に載置することになる。この管理試料S’としては、例えば試料ホルダ等を用いて20mm角程度の大きさの平板状に成形されたSi粉末試料等が挙げられる。
(1)上述したX線回折装置1において、検出部20は、検出スリット21と1個(1ch)の検出素子からなるX線検出器22とを備えた構成を示したが、これに代えて、X線強度を検出するN個(例えば1280個)の検出素子が一次元に配列された検出面を有するラインセンサを備えるような構成としてもよい。
11 X線管
12 Mnフィルタ
22 X線検出器
41 CPU(制御部)
44 メモリ(記憶部)
S 試料
S’ 管理試料
Claims (4)
- 試料が配置される試料配置部と、
所定波長範囲のX線を試料に出射するX線管と、
前記試料からのX線強度を検出するX線検出器と、
前記X線管と前記試料との間に配置され、所定波長範囲のX線における所定ピークのX線強度を減衰させるフィルタとを備えるX線分析装置であって、
前記フィルタの交換時期を判定するための閾値を記憶する記憶部と、
前記試料配置部に管理試料が配置されたときに検出された所定ピークのX線強度と前記閾値とを比較することで、前記フィルタの交換時期情報を通知する制御部とを備えることを特徴とするX線分析装置。 - 前記制御部は、前記試料配置部に管理試料が配置されたときには、所定ピークのX線強度を前記記憶部に記憶させることを特徴とする請求項1に記載のX線分析装置。
- 入力操作される入力装置と、
前記入力装置からの入力情報に基づいて、所定ピークの種類および前記閾値を設定する設定部とを備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のX線分析装置。 - 試料が配置される試料配置部と、
所定波長範囲のX線を試料に出射するX線管と、
前記試料からのX線強度を検出するX線検出器と、
前記X線管と前記試料との間に配置され、所定波長範囲のX線における所定ピークのX線強度を減衰させるフィルタとを備えるX線分析装置に用いられるフィルタ管理システムであって、
前記フィルタの交換時期を判定するための閾値を記憶する記憶部と、
前記試料配置部に管理試料が配置されたときに検出された所定ピークのX線強度と前記閾値とを比較することで、前記フィルタの交換時期情報を通知する制御部とを備えることを特徴とするフィルタ管理システム。
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JP2017152254A JP2019032196A (ja) | 2017-08-07 | 2017-08-07 | X線分析装置およびそれに用いられるフィルタ管理システム |
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2017
- 2017-08-07 JP JP2017152254A patent/JP2019032196A/ja active Pending
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