JP2019029985A - 固体撮像装置、及び電子機器 - Google Patents

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Abstract

【課題】より好適な位相差画素を設けることができるようにする。【解決手段】複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、複数の画素のうち、1つのオンチップレンズに対して形成された複数の光電変換素子のいずれかを含んでいる位相差検出用の画素は、隣接した同色の画素であって、隣接した異なる画素群に含まれている固体撮像装置が提供される。本技術は、例えば、位相差検出用の画素を有するCMOSイメージセンサに適用することができる。【選択図】図2

Description

本開示は、固体撮像装置、及び電子機器に関し、特に、より好適な位相差画素を設けることができるようにした固体撮像装置、及び電子機器に関する。
近年、オートフォーカスの速度向上を図るために、位相差検出用の画素(以下、位相差画素という)を配置した固体撮像装置が使用されている。この種の位相差画素の構造としては、例えば、特許文献1に開示されている技術が知られている。
また、画素アレイ部において、2次元状に配列される複数の画素の配列パターンとして、近傍の同色の画素(同色の2×2の4画素)で画素回路を共有した共有画素を、規則的に配列した配列パターンが知られている。
特開2016−15430号公報
ところで、近傍の同色の画素からなる共有画素を規則的に配列した配列パターンが採用される場合において、共有画素の画素配列に対して位相差画素を設けるに際し、より好適な位相差画素を設けるための技術が求められている。
本開示はこのような状況に鑑みてなされたものであり、より好適な位相差画素を設けることができるようにするものである。
本開示の一側面の第1の固体撮像装置は、複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、前記複数の画素のうち、1つのオンチップレンズに対して形成された複数の光電変換素子のいずれかを含んでいる位相差検出用の画素は、隣接した同色の画素であって、隣接した異なる画素群に含まれている固体撮像装置である。
本開示の一側面の第1の固体撮像装置においては、複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部が設けられ、前記画素アレイ部が、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、前記複数の画素のうち、1つのオンチップレンズに対して形成された複数の光電変換素子のいずれかを含んでいる位相差検出用の画素が、隣接した同色の画素であって、隣接した異なる画素群に含まれている。
本開示の一側面の第2の固体撮像装置は、複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、前記画素群に含まれる画素は、画素ごとに露光時間が調整され、前記配列パターンに配列される複数の画素群のうち、特定の画素群は、位相差検出用の画素として、光の入射側の一部を遮光した遮光画素を含んでいる固体撮像装置である。
本開示の一側面の第2の固体撮像装置においては、複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部が設けられ、前記画素アレイ部が、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、前記画素群に含まれる画素が、画素ごとに露光時間が調整され、前記配列パターンに配列される複数の画素群のうち、特定の画素群が、位相差検出用の画素として、光の入射側の一部を遮光した遮光画素を含んでいる。
本開示の一側面の電子機器は、複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、前記複数の画素のうち、1つのオンチップレンズに対して形成された複数の光電変換素子のいずれかを含んでいる位相差検出用の画素は、隣接した同色の画素であって、隣接した異なる画素群に含まれている固体撮像装置を含む撮像部と、前記位相差検出用の画素の出力から得られる位相差検出の結果に基づいて、オートフォーカス制御を行う制御部とを備える電子機器である。
本開示の一側面の電子機器においては、複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部が設けられ、前記画素アレイ部が、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、前記複数の画素のうち、1つのオンチップレンズに対して形成された複数の光電変換素子のいずれかを含んでいる位相差検出用の画素が、隣接した同色の画素であって、隣接した異なる画素群に含まれている固体撮像装置を含む撮像部が設けられている。そして、前記位相差検出用の画素の出力から得られる位相差検出の結果に基づいて、オートフォーカス制御が行われる。
本開示の一側面によれば、より好適な位相差画素を設けることができる。
なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。
本開示に係る技術を適用した固体撮像装置の一実施の形態の構成例を示すブロック図である。 画素アレイ部に配列される複数の画素の平面レイアウトを示す図である。 隣接する画素群に位相差画素を配置する場合の構成を示す図である。 画素アレイ部に配列される複数の画素の構造を示す断面図である。 画素群を構成する4画素の第1の接続形態を示す回路図である。 画素群を構成する4画素の第2の接続形態を示す回路図である。 図5及び図6における画素ごとの露光時間を説明する図である。 相関二重サンプリング(CDS)を用いたAD変換を説明するタイミングチャートである。 第2の期間の画素の駆動動作の詳細を説明する図である。 第3の期間の画素の駆動動作の詳細を説明する図である。 位相差画素(L,R)の読み出しが別々に行われる場合のコンタクトの配置を示す図である。 位相差画素(L,R)の読み出しが同時に行われる場合のコンタクトの配置を示す図である。 駆動線が2本の場合のコンタクトの配置例を示す図である。 駆動線が3本の場合のコンタクトの配置例を示す図である。 図13及び図14における画素ごとの露光時間を説明する図である。 画素アレイ部に配列される複数の画素の平面レイアウトを示す図である。 左遮光画素と右遮光画素の構造の例を示す図である。 画素アレイ部に配列される複数の画素の構造を示す断面図である。 画素アレイ部に配列される複数の画素の平面レイアウトを示す図である。 画素アレイ部に配列される複数の画素の構造を示す断面図である。 画素アレイ部に配列される複数の画素の他の構造を示す図である。 画素アレイ部に配列される複数の画素のさらに他の構造を示す図である。 画素群を構成する4画素の第1の接続形態を示す回路図である。 画素群を構成する4画素の第2の接続形態を示す回路図である。 2露光の場合に、隣接する画素群に位相差画素を配置するときの構成を示す図である。 2露光の場合に、画素群に遮光画素を配置するときの構成を示す図である。 隣接するB,G画素群とともに、隣接するR,G画素群に、位相差画素をそれぞれ配置するときの構成の例を示す図である。 本開示に係る技術を適用した固体撮像装置を有する電子機器の構成例を示すブロック図である。 本開示に係る技術を適用した固体撮像装置の使用例を示す図である。 車両制御システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。 車外情報検出部及び撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。
以下、図面を参照しながら本開示に係る技術(本技術)の実施の形態について説明する。なお、説明は以下の順序で行うものとする。
1.固体撮像装置の構成
2.本技術の実施の形態
(1)第1の実施の形態:2×1OCL構造
(2)第2の実施の形態:遮光画素の構造
(3)第3の実施の形態:CFの製造方法
(4)第4の実施の形態:他の構造の例
3.変形例
4.電子機器の構成
5.固体撮像装置の使用例
6.移動体への応用例
<1.固体撮像装置の構成>
(固体撮像装置の構成例)
図1は、本開示に係る技術を適用した固体撮像装置の一実施の形態の構成例を示すブロック図である。
図1のCMOSイメージセンサ10は、CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)を用いた固体撮像装置の一例である。CMOSイメージセンサ10は、光学レンズ系(不図示)を介して被写体からの入射光(像光)を取り込んで、撮像面上に結像された入射光の光量を画素単位で電気信号に変換して画素信号として出力する。
図1において、CMOSイメージセンサ10は、画素アレイ部11、垂直駆動回路12、カラム信号処理回路13、水平駆動回路14、出力回路15、制御回路16、及び入出力端子17を含んで構成される。
画素アレイ部11には、複数の画素群200が2次元状(行列状)に配列される。画素群200は、同色の4つの画素100(2×2の4画素)から構成される。
各画素群200は、同色の4つの画素100として、赤(R)、緑(G)、又は青(B)のカラーフィルタに応じた、赤(R)の画素、緑(G)の画素、又は青(B)の画素から構成される。また、画素群200は、同色の4つの画素100により画素回路が共有された共有画素として構成される。
画素群200において、同色の各画素100は、光電変換素子としてのフォトダイオード(PD)と、転送トランジスタTR-Trをそれぞれ有して構成される。また、画素群200においては、同色の4つの画素100によって、画素回路としてのリセットトランジスタRST-Tr,増幅トランジスタAMP-Tr,及び選択トランジスタSEL-Trが共有されている。
なお、詳細は後述するが、画素アレイ部11には、画素群200に含まれる画素100として、位相差画素が散在して(繰り返しパターンで)配置されている。また、位相差画素は、位相差検出用の画素であって、PDAF(Phase Detection Auto Focus)画素などとも称される。
垂直駆動回路12は、例えばシフトレジスタによって構成され、所定の画素駆動線21を選択して、選択された画素駆動線21に画素100又は画素群200を駆動するための駆動信号(パルス)を供給し、行単位で画素100又は画素群200を駆動する。
すなわち、垂直駆動回路12は、画素アレイ部11の各画素100又は各画素群200を行単位で順次垂直方向に選択走査し、各画素100のフォトダイオードにおいて受光量に応じて生成された電荷(信号電荷)に基づく画素信号を、垂直信号線22を通してカラム信号処理回路13に供給する。
カラム信号処理回路13は、画素群200の列ごとに配置されており、1行分の画素群200から出力される信号を画素列ごとにノイズ除去などの信号処理を行う。例えば、カラム信号処理回路13は、画素固有の固定パターンノイズを除去するための相関二重サンプリング(CDS:Correlated Double Sampling)、及びAD(Analog Digital)変換等の信号処理を行う。
水平駆動回路14は、例えばシフトレジスタによって構成され、水平走査パルスを順次出力することによって、カラム信号処理回路13の各々を順番に選択し、カラム信号処理回路13の各々から画素信号を水平信号線23に出力させる。
出力回路15は、カラム信号処理回路13の各々から水平信号線23を通して順次に供給される信号に対し、信号処理を行って出力する。なお、出力回路15は、例えば、バッファリングだけする場合もあるし、黒レベル調整、列ばらつき補正、各種デジタル信号処理などが行われる場合もある。
制御回路16は、CMOSイメージセンサ10の各部の動作を制御する。
また、制御回路16は、垂直同期信号、水平同期信号、及びマスタクロック信号に基づいて、垂直駆動回路12、カラム信号処理回路13、及び水平駆動回路14などの動作の基準となるクロック信号や制御信号を生成する。制御回路16は、生成したクロック信号や制御信号を、垂直駆動回路12、カラム信号処理回路13、及び水平駆動回路14などに出力する。
入出力端子17は、外部と信号のやりとりを行う。
以上のように構成される、図1のCMOSイメージセンサ10は、CDS処理、及びAD変換処理を行うカラム信号処理回路13が画素列ごとに配置されたカラムAD方式と呼ばれるCMOSイメージセンサとされる。また、図1のCMOSイメージセンサ10は、例えば、裏面照射型のCMOSイメージセンサとすることができる。
<2.本技術の実施の形態>
(1)第1の実施の形態
(画素の平面レイアウト)
図2は、図1の画素アレイ部11に配列される複数の画素100の平面レイアウトを示す図である。
図2においては、画素アレイ部11に2次元状に配列される複数の画素100のうち、光の入射側から見て、左上の領域に配列される32行32列の領域における画素100を例示している。
なお、図2においては、画素アレイ部11に配列された画素100のi行j列を、画素100(i,j)と表記し、近傍の同色の4画素(2×2画素)から構成される画素群200のk行l列を、画素群200(k,l)と表記している。図2の平面レイアウトには、説明を分かりやすくするために、画素100のi行j列に対応した行番号と列番号を左側と下側の領域に表記し、画素群200のk行l列に対応した行番号と列番号を右側と上側の領域に表記している。
また、以下の説明では、カラーフィルタとして、赤(R)のカラーフィルタが設けられ、このRカラーフィルタを透過した光から、赤(R)成分の光に対応した電荷が得られる画素を、R画素と表記する。また、緑(G)のカラーフィルタを透過した光から、緑(G)成分の光に対応した電荷が得られる画素を、G画素と表記する。また、青(B)のカラーフィルタを透過した光から、青(B)成分の光に対応した電荷が得られる画素を、B画素と表記する。
例えば、図2に示した画素アレイ部11における32行32列の画素配列(16行16列の画素群配列)において、左上の画素100の配置位置を画素100(1,1)で表せば、R画素100(1,3),R画素100(1,4),R画素100(2,3),及びR画素100(2,4)の赤(R)の4画素(共有画素)により、R画素群200(1,2)が構成される。
また、G画素100(1,1),G画素100(1,2),G画素100(2,1),及びG画素100(2,2)の緑(G)の4画素(共有画素)により、G画素群200(1,1)が構成される。さらに、G画素100(3,3),G画素100(3,4),G画素100(4,3),及びG画素100(4,4)の緑(G)の4画素(共有画素)により、G画素群200(2,2)が構成される。
また、B画素100(3,1),B画素100(3,2),B画素100(4,1),及びB画素100(4,2)の青(B)の4画素(共有画素)により、B画素群200(2,1)が構成される。
このように、画素アレイ部11においては、赤(R)の4画素(2×2画素)から構成されるR画素群200と、緑(G)の4画素(2×2画素)から構成されるG画素群200と、青(B)の4画素(2×2画素)から構成されるB画素群200とが、規則的に配列され、ベイヤー配列となっている。
なお、ベイヤー配列とは、緑(G)のG画素が市松状に配され、残った部分に、赤(R)のR画素と、青(B)のB画素とが一列ごとに交互に配される配列パターンである。
ベイヤー配列で配置される画素群200においては、画素100ごとに露光時間が調整されている。ここでは、露光時間として、T1, T2, T3 (T1 > T2 > T3) の3段階での調整が行われる場合に、長い露光時間(T1)を、長蓄の露光時間といい、短い露光時間(T3)を、短蓄の露光時間といい、それらの中間の露光時間(T2)を、中蓄の露光時間というものとする。
例えば、R画素群200(1,2)では、R画素(1,3)が、長蓄の露光時間(T1)となる長蓄画素(L)であり、R画素(1,4)とR画素(2,3)が、中蓄の露光時間(T2)となる中蓄画素(M)であり、R画素(2,4)が、短蓄の露光時間(T3)となる短蓄画素(S)である。
そして、R画素群200を構成する4つのR画素100は、画素回路を共有した共有画素として構成されているため、4つのR画素100から得られる画素信号(アナログ信号)が、浮遊拡散領域(FD:Floating Diffusion)で加算され、R成分の信号(R画素信号)が生成される。
このとき、R画素群200には、共有画素を構成するR画素100として、長蓄画素(L)、中蓄画素(M)、及び短蓄画素(S)が含まれるため、R画素信号は、長蓄の画素信号と、中蓄の画素信号と、短蓄の画素信号とを加算(画素加算)することで得られるHDR(High Dynamic Range)の画素信号とされる。
また、例えば、G画素群200(1,1)では、G画素100(1,1)が長蓄画素(L)であり、G画素100(1,2)とG画素100(2,1)が中蓄画素(M)であり、G画素100(2,2)が短蓄画素(S)である。同様にまた、G画素群200(2,2)では、G画素100(3,3)が、長蓄画素(L)であり、G画素100(3,4)とG画素100(4,3)が中蓄画素(M)であり、画素100(4,4)が短蓄画素(S)である。
そして、G画素群200を構成する4つのG画素100は、共有画素として構成されているため、4つのG画素100から得られる画素信号が加算され、G画素信号が生成される。このとき、G画素群200には、共有画素を構成するG画素100として、長蓄画素(L)、中蓄画素(M)、及び短蓄画素(S)が含まれるため、G画素信号は、長蓄の画素信号と、中蓄の画素信号と、短蓄の画素信号とを加算することで得られるHDRの画素信号とされる。
また、例えば、B画素群200(2,1)では、B画素100(3,1)が長蓄画素(L)であり、B画素100(3,2)とB画素100(4,1)が中蓄画素(M)であり、B画素100(4,2)が短蓄画素(S)である。
そして、B画素群200を構成する4つのB画素100は、共有画素として構成されているため、4つのB画素100から得られる画素信号が加算され、B画素信号が生成される。このとき、B画素群200には、共有画素を構成するB画素100として、長蓄画素(L)、中蓄画素(M)、及び短蓄画素(S)が含まれるため、B画素信号は、長蓄の画素信号と、中蓄の画素信号と、短蓄の画素信号とを加算することで得られるHDRの画素信号とされる。
このようにして、ベイヤー配列で配置された画素群200のうち、R画素群200から4画素分の画素信号が加算されたHDRのR画素信号が得られ、G画素群200から4画素分の画素信号が加算されたHDRのG画素信号が得られ、B画素群200から4画素分の画素信号が加算されたHDRのB画素信号が得られることになる。
なお、以下の説明では、R画素100,G画素100,及びG画素100において、長蓄画素(L),中蓄画素(M),又は短蓄画素(S)の区別は、「L」,「M」,又は「S」の添え字により表すものとする。例えば、R画素100において、長蓄画素(L)は、R画素100と表記し、中蓄画素(M)は、R画素100と表記し、短蓄画素(S)は、R画素100と表記する。
ここで、図2の画素アレイ部11において、B画素群200(2,5)とG画素群200(2,6)が配置される領域に注目すれば、本来、B画素群(2,5)は、B画素100のみから構成されるはずであるが、ここでは、B画素100(4,10)の代わりに、G画素100(4,10)が配置され、4画素のうち、3画素は、B画素100となるが、残りの1画素は、G画素100となっている。
より具体的には、図3に示すように、ベイヤー配列で配置された画素群200に対し、位相差検出用の画素100(以下、位相差画素100L,100Rとも表記する)を配置する場合に、位相差画素100L,100Rの構造として、1つのオンチップレンズ(OCL:On Chip Lens)111に対し、フォトダイオード等の光電変換素子を複数埋め込む構造を採用する場合を想定する。
この場合において、画素群200を構成する4画素は、行方向に配置される2画素の露光時間が異なるため、これらの2画素(2×1画素)に対し、オンチップレンズ111を設けることは、位相差画素の特性的に困難となる。例えば、画素群200を構成する4画素(2×2画素)において、第1行は、長蓄画素(L)と中蓄画素(M)とで露光時間が異なり、第2行は、中蓄画素(M)と短蓄画素(S)とで露光時間が異なっている。
そのため、行方向の2画素(2×1画素)に対し、オンチップレンズ111を設けるには、左右に隣接した画素群200を跨いでオンチップレンズ111を配置し、そのオンチップレンズ111に対して形成された2つのフォトダイオードのいずれか一方を含んでいる、左右に隣接した画素100が、同一の色のカラーフィルタを有し、かつ、同一の露光時間となるようにすればよい。
ここでは、図3のAに示すように、B画素群200(2,5)に含まれるB画素100(4,10)のフォトダイオードと、G画素群200(2,6)に含まれるG画素100(4,11)のフォトダイオードに対し、1つのオンチップレンズ111を設ける際に、図3のBに示すような構造となるようにする。
すなわち、製造時に、B画素群200(2,5)に含まれるB画素100(4,10)のカラーフィルタを、Bカラーフィルタではなく、Gカラーフィルタとすることで、G画素100(4,10)になるようにする。また、ここでは、B画素100(4,10)は、短蓄画素(S)であったが、G画素100(4,10)では、G画素100(4,10)のコンタクトの配置を変更して、露光時間を、中蓄の露光時間とすることで、中蓄画素(M)になるようにしている。
これにより、1つのオンチップレンズ111に対して設けられるフォトダイオードを有する画素100として、G画素100(4,10)とG画素100(4,11)とが設けられ、これらのG画素100は、同一のGカラーフィルタを有し、かつ、同一の中蓄の露光時間となっている。そのため、G画素100(4,10)を位相差画素100L(4,10),G画素100(4,11)を位相差画素100R(4,11)として構成することになって、これらの位相差画素100L,100Rから得られる画素信号に基づき、2つの画像の位相差を検出することが可能となる。
なお、B画素群200(2,5)においては、右下のB画素100(4,10)を、G画素100(4,10)に変更すると、短蓄画素(S)が存在しなくなるが、例えば、左下のB画素100(4,9)を、B画素100(4,9)に変更することで、4画素に、長蓄画素(L)と中蓄画素(M)とともに、短蓄画素(S)が含まれるようにしている。
また、図2の画素アレイ部11においては、B画素群200(2,13)とG画素群200(2,14),B画素群200(4,1)とG画素群200(4,2),B画素群200(4,9)とG画素群200(4,10),B画素群200(6,7)とG画素群200(6,8),B画素群200(6,15)とG画素群200(6,16),B画素群200(8,3)とG画素群200(8,4),及びB画素群200(8,11)とG画素群200(8,12)は、B画素群200(2,5)とG画素群200(2,6)と同様に構成され、位相差画素100Lと位相差画素100Rが含まれる。
同様に、図2の画素アレイ部11においては、B画素群200(10,5)とG画素群200(10,6),B画素群200(10,13)とG画素群200(10,14),B画素群200(12,1)とG画素群200(12,2),B画素群200(12,9)とG画素群200(12,10),B画素群200(14,7)とG画素群200(14,8),B画素群200(14,15)とG画素群200(14,16),B画素群200(16,3)とG画素群200(16,4),及びB画素群200(16,11)とG画素群200(16,12)は、B画素群200(2,5)とG画素群200(2,6)と同様に構成され、位相差画素100Lと位相差画素100Rが含まれる。
このように、図2の画素アレイ部11において、B画素群200に含まれる位相差画素100Lと、G画素群200に含まれる位相差画素100Rは、行方向と列方向に所定の画素間隔で、規則的に配列されている。
(画素の断面の構造)
図4は、図2の画素アレイ部11に配列される複数の画素100の構造を示す断面図である。
図4には、位相差画素100L,100Rを含む画素群200の断面として、4行目の画素100のX1−X1'断面を図示している。また、図4には、位相差画素100L,100Rを含まない画素群200の断面として、7行目の画素100のX2−X2'断面を図示している。
ここでは、左上の画素100の配置位置を画素(1,7)で表せば、X1−X1'断面の対象となるのは、G画素100(4,7),G画素100(4,8),B画素100(4,9),G画素100(4,10),G画素100(4,11),G画素100(4,12),B画素100(4,13),及びB画素100(4,14)とされる。
ただし、G画素100(4,7)とG画素100(4,8)は、G画素群200(2,4)に含まれ、B画素100(4,9)とG画素100(4,10)は、B画素群200(2,5)に含まれる。また、G画素100(4,11)とG画素100(4,12)は、G画素群200(2,6)に含まれ、B画素100(4,13)とB画素100(4,14)は、B画素群200(2,7)に含まれる。
図4のX1−X1'断面に示すように、各画素100では、オンチップレンズ111の直下に、フォトダイオード112が形成されているが、オンチップレンズ111と、フォトダイオード112が形成されるシリコン層との間の領域には、カラーフィルタ113と遮光部114が設けられている。
画素100(4,7)とG画素100(4,8),G画素100(4,10),及びG画素100(4,11)とG画素100(4,12)では、Gカラーフィルタ113が形成され、B画素100(4,9),及びB画素100(4,13)とB画素100(4,14)では、Bカラーフィルタ113が形成されている。
すなわち、G画素100(4,10)は、B画素群200(2,5)に含まれるため、本来ならば、Bカラーフィルタ113が形成され、B画素100として構成されるはずであるが、ここでは、Gカラーフィルタ113を形成することで、G画素100として構成されている。
これにより、G画素100(4,10)に設けられたフォトダイオード112Lと、G画素100(4,11)に設けられたフォトダイオード112Rが、1つのオンチップレンズ111Aに対して設けられ、G画素100(4,10)は、位相差画素100L(4,10)として構成され、G画素100(4,11)は、位相差画素100R(4,11)として構成される。このとき、G画素100(4,10)とG画素100(4,11)とは、共に、Gカラーフィルタ113を有するG画素100であって、中蓄の露光時間からなる中蓄画素(M)となっている。
なお、正方単位のG画素100(4,7)は、光の入射側から見て正方格子状に設けられる遮光部114によって、隣り合う画素との間が遮光されている。遮光部114は、タングステン(W)やアルミニウム(Al)等の金属により形成される。
画素100(4,8),B画素100(4,9),G画素100(4,10),G画素100(4,11),G画素100(4,12),B画素100(4,13),及びB画素100(4,14)についても、G画素100(4,7)と同様に、正方格子状に設けられる遮光部114によって、隣り合う画素との間が遮光されている。
一方で、X2−X2'断面の対象となるのは、G画素100(7,7),G画素100(7,8),B画素100(7,9),B画素100(7,10),G画素100(7,11),G画素100(7,12),B画素100(7,13),及びB画素100(7,14)とされる。
画素100(7,7)とG画素100(7,8),及びG画素100(7,11)とG画素100(7,12)では、Gカラーフィルタ113が形成され、B画素100(7,9)とB画素100(7,10),及びB画素100(7,13)とB画素100(7,14)では、Bカラーフィルタ113が形成されている。
画素100(7,7),G画素100(7,8),B画素100(7,9),B画素100(7,10),G画素100(7,11),G画素100(7,12),B画素100(7,13),及びB画素100(7,14)においては、光の入射側から見て正方格子状に設けられる遮光部114によって、隣り合う画素との間が遮光されている。
(画素の読み出しの例)
次に、図5ないし図7を参照しながら、画素アレイ部11に配列された画素群200に含まれる画素100の読み出しの例を説明する。
なお、図5及び図6においては、画素群200を構成する4画素(2×2画素)を区別していないが、実際には、図7に示すように、例えば、4画素(2×2画素)の各画素は、長畜画素(L),中畜画素(M),又は短畜画素(S)のいずれかの画素とすることができる。
また、図5及び図6においては、画素100上に記述された円が、コンタクトCを表し、4画素ごとに記述された菱形が、浮遊拡散領域FDを表しているものとする。また、各コンタクトCに接続される駆動線は、垂直駆動回路12(図1)に接続される画素駆動線21(図1)に含まれる。
図5には、画素アレイ部11(図2)において画素100が配列される画素領域の一部の領域を図示しており、4つの画素100により画素群200が構成されている。
図5において、画素群200を構成する4つの画素100は、浮遊拡散領域FDを共有している。また、図5において、転送トランジスタTR-Trや選択トランジスタSEL-Trに対する駆動信号(TRG,SEL)は、垂直駆動回路12(図1)から供給される。
画素群200において、各画素100は、フォトダイオード112の他に、転送トランジスタTR-Trを有している。各画素100においては、転送トランジスタTR-Trが、そのゲートに入力される駆動信号TRGに従い、オン/オフの動作を行うことで、フォトダイオード112より光電変換された電荷(信号電荷)が、4画素で共有された浮遊拡散領域FDに転送される。ただし、ここでは、各画素100の露光時間に応じて、駆動信号TRGが制御される。
浮遊拡散領域FDは、画素群200の各画素100の転送トランジスタTR-Trと、画素群200で共有されるリセットトランジスタRST-Tr及び増幅トランジスタAMP-Trとの接続点に形成されている。リセットトランジスタRST-Trが、そのゲートに入力される駆動信号RSTに従い、オン/オフの動作を行うことで、浮遊拡散領域FDに蓄積されている電荷が排出される。
浮遊拡散領域FDは、各画素100の転送トランジスタTR-Trにより転送されてくる電荷を蓄積する機能を有している。浮遊拡散領域FDの電位は、蓄積された電荷量に応じて変調される。増幅トランジスタAMP-Trは、そのゲートに接続された浮遊拡散領域FDの電位変動を入力信号電圧とする増幅器として動作し、その出力信号電圧は、選択トランジスタSEL-Trを介して垂直信号線(VSL)22に出力される。
選択トランジスタSEL-Trは、そのゲートに入力される駆動信号SELに従い、オン/オフの動作を行うことで、増幅トランジスタAMP-Trからの電圧信号を、垂直信号線(VSL)22に出力する。
このように、画素群200は、4画素共有とされ、各画素100は、フォトダイオード112と転送トランジスタTR-Trをそれぞれ有している。また、画素群200においては、4画素(共有画素)によって、浮遊拡散領域FDが共有されており、当該共有画素の画素回路として、リセットトランジスタRST-Tr,増幅トランジスタAMP-Tr,及び選択トランジスタSEL-Trが、共有トランジスタとして構成されている。
なお、画素アレイ部11においては、列方向の2つの画素群200によっても、リセットトランジスタRST-Tr,増幅トランジスタAMP-Tr,及び選択トランジスタSEL-Trからなる共有トランジスタが共有されている。
より具体的には、図5に示した画素配列において、左上の画素100の配置位置を画素100(1,1)で表せば、1行目と2行目の画素群200においては、各画素群200で、浮遊拡散領域FDがそれぞれ共有されているが、列方向の上下の画素群200が組になって、共有トランジスタも共有されている。
例えば、1列目のG画素群200(1,1)とR画素群200(2,1)とが組になって、リセットトランジスタRST-Tr,増幅トランジスタAMP-Tr,及び選択トランジスタSEL-Trが、共有トランジスタとなっている。
ここで、G画素群200(1,1)を構成する4画素のうち、G画素100(1,1)では、転送トランジスタTR-Trが、コンタクトCを介して入力される駆動信号TRG6に従って動作することで、フォトダイオード112により生成された電荷が、浮遊拡散領域FDに転送される。同様に、G画素100(1,2),G画素100(2,1),及びG画素100(2,2)においても、駆動信号TRG7,駆動信号TRG4,及び駆動信号TRG5に従い、転送トランジスタTR-Trによって、フォトダイオード112からの電荷が、浮遊拡散領域FDに転送される。
G画素群200(1,1)を構成する4画素で共有された浮遊拡散領域FDでは、G画素100(1,1),G画素100(1,2),G画素100(2,1),及びG画素100(2,2)のフォトダイオード112のそれぞれから転送される電荷が加算(アナログ加算)され、その加算電荷に応じた電圧が、増幅トランジスタAMP-Trに入力される。なお、この浮遊拡散領域FDにおける電荷の加算は、画素加算又はFD加算とも称される。
そして、増幅トランジスタAMP-Trでは、4画素で共有された浮遊拡散領域FDの電位変動が、ゲートへの入力信号電圧とされ、その出力信号電圧が、選択トランジスタSEL-Trを介して垂直信号線(VSL1)22−1に出力されることになる。
なお、増幅トランジスタAMP-Trや選択トランジスタSEL-Tr等の共有トランジスタは、G画素群200(1,1)と組になるR画素群200(2,1)とで共有されている。
また、1行目と2行目の画素群200において、2列目のB画素群200(1,2)とG画素群200(2,2)の組と、3列目のG画素群200(1,3)とR画素群200(2,3)の組と、4列目のB画素群200(1,4)とG画素群200(2,4)の組については、1列目のG画素群200(1,1)とR画素群200(2,1)と同様に構成されている。
また、3行目と4行目の画素群200は、1行目と2行目の画素群200と同様に構成され、各画素群200で、浮遊拡散領域FDがそれぞれ共有されるとともに、列方向の上下の画素群200が組になって、共有トランジスタも共有されている。
ここで、図5においては、駆動信号SEL1がLレベルとなって、1行目と2行目の画素群200で共有された選択トランジスタSEL-Trがオフ状態になる一方で、駆動信号SEL0がHレベルとなって、3行目と4行目の画素群200で共有された選択トランジスタSEL-Trがオン状態になることで、3行目又は4行目の画素群200が選択されている。
このとき、図5に示すように、駆動信号TRG0ないしTRG7のうち、駆動信号TRG4のみがHレベルとなって、3行目の画素群200を構成する4画素のうち、1列目のG画素群200(3,1)のG画素100(6,1)と、2列目のB画素群200(3,2)のG画素100(6,4)と、3列目のG画素群200(3,3)のG画素100(6,5)と、4列目のB画素群200(3,4)のB画素100(6,7)の各転送トランジスタTR-Trがオン状態になる。
これにより、図5の太枠で囲まれている、G画素100(6,1),G画素100(6,4),G画素100(6,5),及びB画素100(6,7)の各フォトダイオード112により生成された電荷が、それぞれに対応した浮遊拡散領域FDに転送される。その際に、G画素100(6,1),G画素100(6,4),G画素100(6,5),及びB画素100(6,7)は、すべて中蓄画素(M)となるため、同一の駆動信号TRG4によって駆動することが可能となる。
その結果として、位相差画素100L(6,4)として構成されるG画素100(6,4)のフォトダイオード112に蓄積された電荷と、位相差画素100R(6,5)として構成されるG画素100(6,5)のフォトダイオード112に蓄積された電荷が読み出されることになる。
その後、図6に示すように、Hレベルとなる駆動信号TRGが、TRG4からTRG5に切り替わって、3行目の画素群200を構成する4画素のうち、1列目のG画素群200(3,1)のG画素100(6,2)と、2列目のB画素群200(3,2)のB画素100(6,3)と、3列目のG画素群200(3,3)のG画素100(6,6)と、4列目のB画素群200(3,4)のB画素100(6,8)の各転送トランジスタTR-Trがオン状態になる。
これにより、図6の太枠で囲まれる、G画素100(6,2),B画素100(6,3),G画素100(6,6),及びB画素100(6,8)の各フォトダイオード112により生成された電荷が、それぞれに対応した浮遊拡散領域FDに転送される。その際に、G画素100(6,2),B画素100(6,3),G画素100(6,6),及びB画素100(6,8)は、すべて短蓄画素(S)となるため、同一の駆動信号TRG5によって駆動することが可能となる。
なお、図示はしていないが、同様にして、駆動信号TRG6,TRG7がHレベルに切り替わることで、3行目の各画素群200を構成する4画素のフォトダイオードから電荷が読み出され、当該4画素で共有された浮遊拡散領域FDに転送される。この浮遊拡散領域FDでは、当該4画素のフォトダイオード112のそれぞれから転送される電荷が加算され、その加算電荷に応じた電圧が、増幅トランジスタAMP-Trに入力される。
そして、3行目の画素群200において、増幅トランジスタAMP-Trでは、4画素で共有された浮遊拡散領域FDの電位変動が、ゲートへの入力信号電圧とされ、その出力信号電圧が、選択トランジスタSEL-Trを介して垂直信号線(VSL1,VSL3,VSL5,VSL7)22に出力される。
ここで、垂直信号線(VSL1)22−1は、カラム信号処理回路13(図1)内の比較器210−1に接続されている。比較器210−1は、そこに入力される、垂直信号線(VSL1)22−1からの信号電圧(Vx)と、DAC220からのランプ波(Ramp)の参照電圧(Vref)とを比較し、その比較結果に応じたレベルの出力信号を出力する。
また、比較器210−2ないし比較器210−4においては、参照電圧と比較される信号電圧が、垂直信号線(VSL3)22−3,垂直信号線(VSL5)22−5,又は垂直信号線(VSL7)22−7からの信号電圧に代わるほかは、比較器210−1と同様であって、その比較結果に応じたレベルの出力信号が出力される。
なお、カラム信号処理回路13では、比較器210からの出力信号に基づき、リセットレベル又は信号レベルのカウントが行われることで、AD変換が行われる。このような相関二重サンプリング(CDS)を用いたカラムAD方式の詳細については、図8ないし図10を参照して後述する。また、画素100のコンタクトCの配置の詳細については、図11ないし図15を参照して後述する。
(画素の駆動の例)
次に、図8ないし図10を参照して、相関二重サンプリング(CDS)を用いたカラムAD方式の詳細について説明する。
図8のタイミングチャートには、CMOSイメージセンサ10(図1)において、相関二重サンプリング(CDS)を用いたカラムAD方式を採用するとともに、画素群200を構成する4画素のフォトダイオード112で、浮遊拡散領域(FD)を共有した画素共有がなされている場合のAD変換と画素加算のタイミングを示している。
ここでは、上述したように、カラム信号処理回路13(図1)内の比較器210(図5等)には、DAC220(図5等)からのランプ波(Ramp)と、画素群200に接続された垂直信号線(VSL)22からのVSL信号が入力され、比較されるものとする。
図8のタイミングチャートにおいては、比較器210に入力される、DAC220からのランプ波(Ramp)と、垂直信号線(VSL)22からのVSL信号が時系列で表されている。なお、図8において、時間の方向は、図中の左側から右側に向かう方向とされる。
また、図8のタイミングチャートには、リセットトランジスタRST-Trのゲートに入力される駆動信号RSTに対応した「リセット」、転送トランジスタTR-Trのゲートに入力される駆動信号TRGに対応した「画素転送」、AD変換後のデータの転送タイミングに対応した「転送」、及び信号処理パイプラインの水平同期信号に対応した「Hsync」のタイミングチャートも図示されている。
なお、図中の「AD変換」は、カラム信号処理回路13にてAD変換が行われている期間を表し、「水平転送データ」は、「転送」のタイミングに応じて転送されたデータを表し、「データ」は、「水平転送データ」を並び替えた後のデータを表している。
時刻t10において、リセットトランジスタRST-Trがオン状態になることで、画素群200を構成する4画素で共有される浮遊拡散領域(FD)がリセットされる。これにより、時刻t10から時刻t12までの期間(以下、第1の期間という)において、リセットレベルSrstが読み出される。ただし、時刻t11ないし時刻t12の期間は、AD変換の期間とされる。
次に、時刻t13において、位相差画素100L,100Rに対応した転送トランジスタTR-Trがオン状態になることで、各画素群200を構成する4画素のうち、1画素のフォトダイオード112に蓄積された電荷QAに応じた画素信号Saが、浮遊拡散領域(FD)に転送される(図8のS1)。このとき、浮遊拡散領域(FD)では、電荷QAに応じた電位が発生され、増幅トランジスタAMP-Tr及び選択トランジスタSEL-Trによって、垂直信号線(VSL)22に出力(印加)される。
これにより、時刻t12から時刻16までの期間(以下、第2の期間という)において、電荷QAに応じた画素信号レベルSAが読み出される。そして、第2の期間の読み出し時の画素信号レベルSAと、第1の期間の読み出し時のリセットレベルSrstとの差分をとることで、オフセット成分が取り除かれ、真の信号成分Saを得ることができる。
ただし、時刻t14ないし時刻t15の期間は、画素信号レベルSAのAD変換の期間とされ、カラム信号処理回路13では、相関二重サンプリング(CDS)が行われ、第2の期間のCDS信号(1画素のCDS信号)が得られる(図8のS2)。
次に、時刻t16において、残りの3画素の転送トランジスタTR-Trがオン状態になることで、各画素群200を構成する4画素のうち、残りの3画素のフォトダイオード112に蓄積された電荷QBに応じた画素信号Sbが、浮遊拡散領域(FD)に転送される(図8のS3)。ただし、電荷QBは、残りの3画素のフォトダイオード112に蓄積された電荷QB1,QB2,QB3をまとめたものに相当している。
ここでは、浮遊拡散領域(FD)に対し、リセットトランジスタRST-Trによるリセットをかけずに、残りの3画素のフォトダイオード112からの電荷QBが読み出されるため、既に浮遊拡散領域(FD)に蓄積されている、1画素のフォトダイオード112からの電荷QAと足し合わされる。このとき、浮遊拡散領域(FD)では、電荷QAと電荷QBとを合成した電荷QABの電荷量に応じた電位が発生され、増幅トランジスタAMP-Tr及び選択トランジスタSEL-Trによって、垂直信号線(VSL)22に出力(印加)される。
これにより、時刻t16から時刻t19までの期間(以下、第3の期間という)において、電荷QABに応じた画素信号レベルSABが読み出される。そして、第3の期間の読み出し時の画素レベル信号SABと、第1の期間の読み出し時のリセットレベルSrstとの差分をとることで、オフセット成分が取り除かれ、真の信号成分Sabを得ることができる。
なお、残りの3画素のフォトダイオード112からの電荷QBに応じた画素信号Sb(真の信号成分Sb)は、合成成分Sab(真の信号成分Sab)と、画素信号Sa(真の信号成分Sa)との差分をとることで得られる。
ただし、時刻t17ないし時刻t18の期間は、画素レベル信号SABのAD変換の期間とされ、カラム信号処理回路13では、相関二重サンプリング(CDS)が行われ、第3の期間のCDS信号(3画素のCDS信号)が得られる(図8のS4)。
ここで、カラム信号処理回路13においては、比較器210によって、そこに入力される垂直信号線(VSL)22からのVSL信号の信号電圧Vxと、DAC220からのランプ波(Ramp)による参照電圧Vrefとの比較動作が行われ、その比較結果に応じたレベルの出力信号Vcoが出力される。この比較器210からの出力信号Vcoは、後段のカウンタ(不図示)によりカウントされる。
このようにして、相関二重サンプリング(CDS)を用いたカラムAD方式では、第1の期間において、リセットレベルSrstが読み出され、その信号電圧Vxと、参照電圧Vrefとの比較動作が行われ、その出力信号Vcoがカウントされる。
また、第2の期間においては、リセットレベルSrstに加えて、画素信号レベルSAが読み出され、その信号電圧Vxと、参照電圧Vrefとの比較動作が行われ、その出力信号Vcoがカウントされる。さらに、第3の期間においては、リセットレベルSrstに加えて、信号電荷QA,QBの合成電荷QABに応じた画素信号レベルSABが読み出され、その信号電圧Vxと、参照電圧Vrefとの比較動作が行われ、その出力信号Vcoがカウントされる。
このようなAD変換で得られるデータ(第2の期間のdataA,第3の期間のdataB)は、水平転送データとして、信号処理パイプラインに流されて、データの並び替えが行われることで、通常の画素100と、位相差画素100L,100Rのデータが得られる(図8のS5)。
なお、時刻t10から時刻t19までの期間の第1のAD変換期間が終了すると、続いて、時刻t19から時刻t28までの期間が第2のAD変換期間となるが、第2のAD変換期間で行われる動作は、上述した第1のAD変換期間で行われる動作と同様であるため、その説明は省略する。
図8のタイミングチャートに示した駆動を行うことで、浮遊拡散領域(FD)に蓄積された電荷を、2段階に分けて、相関二重サンプリング(CDS)を行うことが可能となる。つまり、第1段階で、位相差画素100L,100Rの読み出しが行われ、第2段階で、4画素(2×2画素)の加算読み出しが行われる。
また、この駆動によって、1つのAD変換期間で、リセットレベルSrstが読み出される第1の期間と、画素信号レベルSAが読み出される第2の期間と、画素信号レベルSABが読み出される第3の期間での動作が順次行われることになる。そのため、通常のCDS動作の場合と比べて、リセットレベルが読み出される期間を1回分省くことができるため、相関二重サンプリング(CDS)の時間を短縮することが可能となる。
(第2の期間の画素の駆動動作)
ここで、図9を参照して、図8に示した第2の期間(時刻t12ないし時刻16)の画素100の駆動動作の詳細について説明する。
図9に示した画素配列において、左上の画素100の配置位置を画素100(1,1)で表せば、行方向に、G画素群200(1,1),B画素群200(1,2),G画素群200(1,3),及びB画素群200(1,4)が配置されていることになる。
ここで、B画素群200(1,2)において、B画素100(1,4)の代わりに、G画素100(1,4)が配置されるようにすることで、B画素群200(1,2)のG画素100(1,4)が位相差画素100L(1,4)として構成され、G画素群200(1,3)のG画素100(1,5)が位相差画素100R(1,5)として構成されている。なお、これらの画素100と画素群200との関係は、後述する図10においても同様とされる。
第2の期間においては、各画素群200を構成する4画素のうち、1画素のフォトダイオード112に蓄積された電荷が、浮遊拡散領域FDに転送される(図9のS1)。
すなわち、G画素群200(1,1)のG画素100(1,1),B画素群200(1,2)の位相差画素100L(1,4),G画素群200(1,3)の位相差画素100R(1,5),及びB画素群200(1,4)のB画素100(1,7)について、各画素100のフォトダイオード112に蓄積された電荷が、転送トランジスタTR-Trによって、画素群200ごとに異なる浮遊拡散領域FDに転送される。
そして、各画素群200の増幅トランジスタAMP-Trでは、浮遊拡散領域FDの電位変動が、ゲートへの入力信号電圧とされ、その出力信号電圧が、選択トランジスタSEL-Trを介して垂直信号線22に出力される。これにより、カラム信号処理回路13では、相関二重サンプリング(CDS)が行われ、第2の期間のCDS後の信号(CDS信号)が得られる(図9のS2)。
ただし、ここでは、位相差画素100L(1,4)と位相差画素100R(1,5)から得られるCDS信号のみが使用され(図9のS3)、G画素100(1,1)とB画素100(1,7)から得られるCDS信号は使用しないため、破棄される(図9のバツ印)。
すなわち、B画素群200(1,2)のG画素100(1,4)と、G画素群200(1,3)のG画素100(1,5)は、位相差画素100L(1,4)と、位相差画素100R(1,5)として構成されるため、それらの画素100から得られるCDS信号は、保持される。一方で、G画素群200(1,1)のG画素100(1,1)と、B画素群200(1,4)のB画素100(1,7)は、通常の画素100として構成され、それらの画素100から得られるCDS信号は使用しないため、破棄される。
(第3の期間の画素の駆動動作)
次に、図10を参照して、図8に示した第3の期間(時刻t16ないし時刻t19)の画素100の駆動動作の詳細について説明する。
第3の期間においては、各画素群200を構成する4画素のうち、第2の期間で転送の対象となった1画素を除いた3画素のフォトダイオード112に蓄積された電荷が、浮遊拡散領域FDに転送される(図10のS4−1ないしS4−3)。
なお、図10では、図9に示した第2の期間で転送の対象となった1画素を、黒塗りの四角で表しており、G画素100(1,1),G画素100(1,4),G画素100(1,5),及びB画素100(1,7)は、第3の期間では転送の対象から外されている。
すなわち、G画素群200(1,1)のG画素100(1,2),G画素100(2,1),及びG画素100(2,2),並びにB画素群200(1,2)のB画素100(1,3),B画素100(2,3),及びB画素100(2,4)について、各画素100のフォトダイオード112に蓄積された電荷が、転送トランジスタTR-Trによって、画素群200ごとに異なる浮遊拡散領域FDに転送される。
同様に、G画素群200(1,3)のG画素100(1,6),G画素100(2,5),及びG画素100(2,6),並びにB画素群200(1,4)のB画素100(1,8),B画素100(2,7),及びB画素100(2,8)について、各画素100のフォトダイオード112に蓄積された電荷が、転送トランジスタTR-Trによって、画素群200ごとに浮遊拡散領域FDに転送される。
そして、各画素群200の増幅トランジスタAMP-Trでは、浮遊拡散領域FDの電位変動が、ゲートへの入力信号電圧とされ、その出力信号電圧が、選択トランジスタSEL-Trを介して垂直信号線22に出力される。これにより、カラム信号処理回路13では、相関二重サンプリング(CDS)が行われ、第3の期間のCDS信号が得られる(図10のS5)。
ただし、ここでは、位相差画素100L,100Rを含む画素群200から得られるCDS信号は使用しないため、破棄され(図10のバツ印)、通常の画素100のみからなる画素群200から得られるCDS信号のみが使用される(図10のS6)。
すなわち、B画素群200(1,2)のG画素100(1,4)と、G画素群200(1,3)のG画素100(1,5)は、位相差画素100L(1,4)と、位相差画素100R(1,5)として構成されているため、B画素群200(1,2)とG画素群200(1,3)から得られるCDS信号は破棄される。一方で、G画素群200(1,1)を構成する4画素と、B画素群200(1,4)を構成する4画素は、通常の画素100のみから構成されるため、G画素群200(1,1)とB画素群200(1,4)から得られるCDS信号は、保持される。
このようにして、図9に示した第2の期間に、CDS信号として、位相差画素100L,100Rからの位相差信号が得られ(図9,図10のS3)、図10に示した第3の期間に、CDS信号として、通常の画素100のみからなる画素群200からの画素信号が得られる(図10のS6)。そして、位相差信号と画素信号のうち、いずれか一方の信号が選択され、出力される。
(コンタクトの配置例)
次に、図11ないし図15を参照して、図8のタイミングチャートに示した駆動を行うための画素100のコンタクトの配置の例について説明する。
図11には、位相差画素100Lと位相差画素100Rの読み出しが別々に行われる場合のコンタクトの配置を示している。
なお、図11においては、画素100上に記述された楕円が、コンタクトCを表し、4画素ごとに記述された菱形が、浮遊拡散領域FDを表しているものとする。また、各コンタクトCに接続される駆動線は、垂直駆動回路12(図1)に接続される画素駆動線21(図1)に含まれる。これらの楕円や菱形の意味は、後述する他の図でも同様とされる。
図11に示したコンタクトCの配置において、G画素群200に含まれる位相差画素100Lと、B画素群200に含まれる位相差画素100Rとでは、コンタクトCが接続される駆動線が異なっている。
そのため、1回目の画素信号レベルの読み出し期間において、位相差画素100Lの読み出しが単独で行われ、位相差画素100Lのフォトダイオード112に蓄積された電荷が、画素群200ごとの浮遊拡散領域FDに転送される。
次に、2回目の画素信号レベルの読み出し期間において、位相差画素100Rの読み出しが単独で行われ、位相差画素100Rのフォトダイオード112に蓄積された電荷が、画素群200ごとの浮遊拡散領域FDに転送される。
そして、3回目の画素信号レベルの読み出し期間において、各画素群200を構成する4画素(2×2画素)の加算読み出しが行われ、4画素のそれぞれのフォトダイオード112に蓄積された電荷が、画素群200ごとの浮遊拡散領域FDに転送される。
このように、図11に示したコンタクトの配置であると、第1段階で、位相差画素100Lの読み出しが行われ、第2段階で、位相差画素100Rの読み出しが行われ、第3段階で、各画素群200の4画素(2×2画素)の加算読み出しが行われるため、画素信号レベルの読み出し期間が3回となって、結果的に、相関二重サンプリング(CDS)の時間が長くなってしまう。
そこで、本技術では、例えば、図12に示すようなコンタクトCの配置となるように、画素100のコンタクトCを打ち変えることで、画素信号レベルの読み出し期間を1回分減らして、画素信号レベルの読み出し期間が2回となるようにして、相関二重サンプリング(CDS)の時間を短縮できるようにする。
図12には、位相差画素100Lと位相差画素100Rの読み出しが同時に行われる場合のコンタクトの配置を示している。
図12に示したコンタクトCの配置の例において、G画素群200に含まれる位相差画素100Lと、B画素群200に含まれる位相差画素100Rとでは、コンタクトCが、同一の駆動線に接続されている。
そのため、1回目の画素信号レベルの読み出し期間において、位相差画素100Lの読み出しが単独で行われ、位相差画素100Lのフォトダイオード112に蓄積された電荷が、G画素群200の浮遊拡散領域FDに転送される。それと同時に、位相差画素100Rの読み出しが単独で行われ、位相差画素100Rのフォトダイオード112に蓄積された電荷が、B画素群200の浮遊拡散領域FDに転送される。
そして、2回目の画素信号レベルの読み出し期間において、各画素群200を構成する4画素(2×2画素)の加算読み出しが行われ、4画素のそれぞれのフォトダイオード112に蓄積された電荷が、画素群200ごとの浮遊拡散領域FDに転送される。
このように、図12に示したコンタクトCの配置の例では、第1段階で、位相差画素100Lと位相差画素100Rの読み出しが行われ、第2段階で、各画素群200の4画素(2×2画素)の加算読み出しが行われるため、画素信号レベルの読み出し期間が2回で済み、結果的に、相関二重サンプリング(CDS)の時間を短縮することが可能となる。
(コンタクトの配置の例)
次に、図13ないし図15を参照して、本技術を適用したコンタクトCの配置の例の詳細を説明する。
ただし、図13及び図14においては、画素群200を構成する4画素(2×2画素)を区別していないが、実際には、図15に示すように、例えば、4画素(2×2画素)の各画素は、長畜画素(L),中畜画素(M),又は短畜画素(S)のいずれかの画素とすることができる。
(駆動線が2本の場合の配置例)
図13は、駆動線が2本の場合のコンタクトCの配置例を示す図である。
なお、図13の画素配列には、説明をわかりやすくするために、画素100のi行j列に対応した行番号と列番号を左側と下側の領域に表記し、画素群200のk行l列に対応した行番号と列番号を右側と上側の領域に表記している。すなわち、図13には、画素アレイ部11の画素配列のうち、12行16列の画素配列(6行8列の画素群配列)の領域を抜き出したものが図示されている。
また、各コンタクトCに接続される駆動線は、画素駆動線21(図1)に含まれるが、水平方向の駆動線のn行を、TRG−nと表記している。すなわち、図13の画素配列においては、各行の画素100に対し、2本の駆動線TRGが設けられ、各画素100のコンタクトCは、2本の駆動線TRGのうち、一方の駆動線TRGと電気的に接続されている。
ここでは、左上の画素100の配置位置を画素100(1,1)で表せば、例えば、G画素群200(1,1)を構成する4画素(共有画素)のうち、左上のG画素100(1,1)のコンタクトCは、駆動線TRG−2と接続され、右上のG画素100(1,2)のコンタクトCは、駆動線TRG−1と接続される。また、左下のG画素100(1,2)のコンタクトCは、駆動線TRG−4と接続され、右下のG画素100(1,1)のコンタクトCは、駆動線TRG−3と接続される。
このように、1行目のG,B画素群200においては、4画素のうち、左上の画素100のコンタクトCが駆動線TRG−2,右上の画素100のコンタクトCが駆動線TRG−1,左下の画素100のコンタクトCが駆動線TRG−4,右下の画素100のコンタクトCが駆動線TRG−3にそれぞれ接続されている。
また、2行目のR,G画素群200においても、4画素のうち、左上の画素100のコンタクトCが駆動線TRG−6,右上の画素100のコンタクトCが駆動線TRG−5,左下の画素100のコンタクトCが駆動線TRG−8,右下の画素100のコンタクトCが駆動線TRG−7にそれぞれ接続され、1行目のG,B画素群200と同様の接続関係となっている。
なお、繰り返しになるので、説明は省略するが、3行目のG,B画素群200,4行目のR,G画素群200,5行目のG,B画素群200,及び6行目のR,G画素群200においても、1行目のG,B画素群200や2行目のR,G画素群200と同様の接続関係となっている。
ここで、図13の画素配列において、1行目のB画素群200(1,6)とG画素群200(1,7)が配置される領域に注目すれば、B画素群200(1,6)の右上のG画素100(1,12)と、G画素群200(1,7)の左上のG画素100(1,13)とが、位相差画素100L(1,12)と、位相差画素100R(1,13)として構成されている。
すなわち、位相差画素100L(1,12)と位相差画素100R(1,13)は、G画素100(1,12)のフォトダイオード112と、G画素100(1,13)のフォトダイオード112とを、1つのオンチップレンズ111に対して設けた構造(2×1OCL構造)となっている。
このとき、B画素群200(1,6)においては、図中の黒色の円で示すように、左上のB画素100(1,11)のコンタクトCが、駆動線TRG−1と接続され、右上のG画素100(1,12)が、駆動線TRG−2と接続されている。
上述したように、B画素群200は、本来、B画素100のみから構成されるはずであるが、B画素群200(1,6)では、右上のB画素100(1,12)の代わりに、G画素100(1,12)が配置されるようにして、位相差画素100L(1,12)として構成されるようにしている。また、B画素群200(1,6)においては、左上のB画素100として、B画素100(1,11)ではなく、B画素100(1,11)が配置されている。
このように、1行目の画素群200においては、B画素群200(1,6)における露光別の画素の配置が、他のB,G画素群200の配置と異なっている。すなわち、他のB,G画素群200では、左上と右下が中畜画素(M)で、右上が短畜画素(S)、左下が長畜画素(L)となるが、B画素群200(1,6)だけは、右上と右下が中畜画素(M)で、左上が短畜画素(S)、左下が長畜画素(L)となる。
そのため、B画素群200(1,6)において、左上のB画素100(1,11)のコンタクトCが、駆動線TRG−2ではなく、駆動線TRG−1に接続され、さらに、右上のG画素100(1,12)のコンタクトCが、駆動線TRG−1ではなく、駆動線TRG−2に接続されるようなコンタクトCの配置とすることで、1行目の画素群200において、露光別に画素100を駆動することが可能となる。
また、5行目のB画素群200(5,2)とG画素群200(5,3)が配置される領域に注目すれば、B画素群200(5,2)の右上のG画素100(9,4)と、G画素群200(5,3)の左上のG画素100(9,5)とが、位相差画素100L(9,4)と、位相差画素100R(9,5)として構成されている。
このとき、B画素群200(5,2)においては、図中の黒色の円で示すように、左上のB画素100(9,3)のコンタクトCが、駆動線TRG−18ではなく、駆動線TRG−17と接続され、さらに、右上のG画素100(9,4)のコンタクトCが、駆動線TRG−17ではなく、駆動線TRG−18と接続されるような配置にする。これにより、5行目の画素群200においては、1行目の画素群200と同様に、露光別に画素100を駆動することが可能となる。
なお、図13に示した画素配列では、各画素群200の4画素(2×2画素)で、浮遊拡散領域FDがそれぞれ共有されるとともに、当該浮遊拡散領域FDは、列方向の上下の画素群200の組によっても共有されている。
このように、各行の画素100に対して2本の駆動線TRGを設ける場合に、図13の画素配列に示したようなコンタクトCの配置とすることで(例えば、B画素群200(1,6)のB画素100(1,11)とG画素100(1,12)のコンタクトCを打ち変えることで)、位相差画素100Lと位相差画素100Rの読み出しを同時に行うことが可能となるため、相関二重サンプリング(CDS)の時間を短縮することができる。
(駆動線が3本の場合の配置例)
図14は、駆動線が3本の場合のコンタクトCの配置例を示す図である。
図14の画素配列においては、各行の画素100に対し、3本の駆動線TRGが設けられ、各画素100のコンタクトCは、3本の駆動線TRGのうち、いずれかの駆動線TRGと電気的に接続されている。
ここでは、左上の画素100の配置位置を画素100(1,1)で表せば、例えば、G画素群200(1,1)を構成する4画素(共有画素)のうち、左上のG画素100(1,1)のコンタクトCは、駆動線TRG−2と接続され、右上のG画素100(1,2)のコンタクトCは、駆動線TRG−3と接続される。また、左下のG画素100(1,2)のコンタクトCは、駆動線TRG−6と接続され、右下のG画素100(1,1)のコンタクトCは、駆動線TRG−5と接続される。
また、例えば、B画素群200(1,2)を構成する4画素(共有画素)のうち、左上のB画素100(1,3)のコンタクトCは、駆動線TRG−2と接続され、右上のG画素100(1,4)のコンタクトCは、駆動線TRG−1と接続される。また、左下のG画素100(2,3)のコンタクトCは、駆動線TRG−4と接続され、右下のG画素100(2,4)のコンタクトCは、駆動線TRG−5と接続される。
このように、1行目のG,B画素群200においては、4画素のうち、左上の画素100のコンタクトCが駆動線TRG−2,右上の画素100のコンタクトCが駆動線TRG−3又は駆動線TRG−1,左下の画素100のコンタクトCが駆動線TRG−6又駆動線TRG−4,右下の画素100のコンタクトCがTRG−5にそれぞれ接続されている。
また、2行目のR,G画素群200においても、4画素のうち、左上の画素100のコンタクトCが駆動線TRG−8,右上の画素100のコンタクトCが駆動線TRG−9又は駆動線TRG−7,左下の画素100のコンタクトCが駆動線TRG−12又駆動線TRG−10,右下の画素100のコンタクトCがTRG−11にそれぞれ接続され、1行目のG,B画素群200と同様の接続関係となっている。
なお、繰り返しになるので、説明は省略するが、3行目のG,B画素群200,4行目のR,G画素群200,5行目のG,B画素群200,及び6行目のR,G画素群200においても、1行目のG,B画素群200や2行目のR,G画素群200と同様の接続関係となっている。
ここで、図14の画素配列において、1行目のB画素群200(1,6)とG画素群200(1,7)が配置される領域に注目すれば、B画素群200(1,6)の右上のG画素100(1,12)と、G画素群200(1,7)の左上のG画素100(1,13)とが、位相差画素100L(1,12)と、位相差画素100R(1,13)として構成されている。
このとき、B画素群200(1,6)においては、図中の黒色の円で示すように、左上のB画素100(1,11)のコンタクトCが、駆動線TRG−1と接続され、右上のG画素100(1,12)が、駆動線TRG−2と接続されている。
その理由は、先に述べたように、次の通りである。1行目の画素群200においては、B画素群200(1,6)における露光別の画素の配置が、他のB画素群200の配置と異なっている。すなわち、他のB画素群200では、左上と右下が中畜画素(M)で、右上が短畜画素(S)、左下が長畜画素(L)となるが、B画素群200(1,6)だけは、右上と右下が中畜画素(M)で、左上が短畜画素(S)、左下が長畜画素(L)となる。
そのため、B画素群200(1,6)において、左上のB画素100(1,11)のコンタクトCが、駆動線TRG−2ではなく、駆動線TRG−1に接続され、さらに、右上のG画素100(1,12)のコンタクトCが、駆動線TRG−1ではなく、駆動線TRG−2に接続されるようなコンタクトCの配置とすることで、1行目の画素群200において、露光別に画素100を駆動することが可能となる。
また、5行目のB画素群200(5,2)とG画素群200(5,3)が配置される領域に注目すれば、B画素群200(5,2)の右上のG画素100(9,4)と、G画素群200(5,3)の左上のG画素100(9,5)とが、位相差画素100L(9,4)と、位相差画素100R(9,5)として構成されている。
このとき、B画素群200(5,2)においては、図中の黒色の円で示すように、左上のB画素100(9,3)のコンタクトCが、駆動線TRG−26ではなく、駆動線TRG−25と接続され、さらに、右上のG画素100(9,4)が、駆動線TRG−25ではなく、駆動線TRG−26と接続されるようなコンタクトCの配置にする。これにより、5行目の画素群200においては、1行目の画素群200と同様に、露光別に画素100を駆動することが可能となる。
このように、各行の画素100に対して3本の駆動線TRGを設ける場合に、図14の画素配列に示したようなコンタクトCの配置とすることで(例えば、B画素群200(1,6)のB画素100(1,11)とG画素100(1,12)のコンタクトCを打ち変えることで)、位相差画素100Lと位相差画素100Rの読み出しを同時に行うことが可能となるため、相関二重サンプリング(CDS)の時間を短縮することができる。
なお、図13及び図14に示したコンタクトCの配置は一例であって、他の配置を採用するようにしてもよい。また、図13及び図14においては、位相差画素100Lを含む画素群200を構成する画素100の一部のコンタクトCを打ちかえる場合を説明したが、位相差画素100Rを含む画素群200を構成する画素100の一部のコンタクトCを打ちかえてもよい。また、位相差画素100Rを含む画素群200と、位相差画素100Lを含む画素群200の両方について、画素100の一部のコンタクトCを打ちかえるようにしてもよい。
以上、第1の実施の形態について説明した。第1の実施の形態では、同色の4画素(共有画素)から構成される画素群200を規則的に配列した配列パターンが採用され、画素群200の4画素ごとに露光時間の調整が行われる場合に、画素群200を構成する画素100の画素配列に対して位相差画素100L,100Rを設けるに際し、より高い位相差検出精度を実現することができる。
その理由であるが、次の通りである。すなわち、画素アレイ部11において、ベイヤー配列で配置された画素群200に対し、位相差画素100L,100Rを配置する場合に、低照度時の性能を向上させるために、位相差画素100Lのフォトダイオード112と、位相差画素100Rのフォトダイオード112とを、1つのオンチップレンズ111に対して設けた構造(2×1OCL構造)を採用することができる。例えば、2×1OCL構造を採用した場合には、遮光タイプの位相差画素を用いた場合と比べて、位相差画素の感度が略2倍とされる。
一方で、同色の4つの画素100(2×2の4画素)から構成される画素群200の構造を採用した場合に、画素100ごとに露光時間の調整を行うことで、HDR(High Dynamic Range)の画素信号を得ることができるが、4つの画素100(2×2の4画素)では、行方向の2画素が異露光となるため、2×1OCL構造を採用することができず、遮光タイプの位相差画素を用いた場合には、位相差画素の感度の低下を招くことになる。
すなわち、2×1OCL構造を採用する場合に、行方向の2画素が異露光になると、位相差画素100L,100Rから得られる位相差信号を用いた位相差検出の精度が劣化するため、異露光の2画素に対し、2×1OCL構造を採用することは困難である。また、遮光タイプ(光の入射面の1/2を遮光するタイプ)の位相差画素を用いた場合には、位相差画素の感度が略1/2となって、当該位相差画素から得られる位相差信号を用いた位相差検出の性能が劣化してしまう。
そこで、本技術では、同色の4画素(共有画素)から構成される画素群200の構造を採用した場合において、画素100ごとに露光時間の調整が行われるときに、位相差画素100Lと位相差画素100Rが、隣接した同色の画素100であって、隣接した異なる画素群200に含まれるようにすることで、2×1OCL構造が実現されるようにしている。このようにして、2×1OCL構造が実現されることで、位相差画素の感度を向上させることができるため、より高い位相差検出精度を実現することが可能となる。
なお、上述した第1の実施の形態において、画素群200では、画素100ごとに露光時間を調整して、例えば、長蓄画素(L),中蓄画素(M),又は短蓄画素(S)のいずれかになるようにすることで、HDRの画素信号が得られるとして説明したが、画素100ごとに露光時間を変えずに、同一の露光時間となるようにしてもよい。
このような構成を採用した場合には、HDRの画素信号を得ることはできないが、2×1OCL構造の位相差画素100L,100Rが、隣接した異なる画素群200に含まれ、例えば、G画素群200の4画素のうちの1画素が、B画素群200又はR画素200の1画素として張り出しているような構造となることには変わりがないことから、例えば、次のようなメリットがある。
すなわち、画素群200において、画素100ごとに露光時間を調整しない場合には、画像情報を得るためには使用しにくい画素である位相差画素100L,100Rを、複数の画素群200(例えば、G画素群200とB画素群200、又はG画素群200とR画素群200)に分散させることができるというメリットがある。
また、上述した図8ないし図15においては、浮遊拡散領域(FD)を共有した画素共有がなされる場合に、画素加算を行うための画素の駆動方法について説明したが、この駆動方法を適用するに際しても、画素群200において、画素100ごとに、必ずしも露光時間を調整する必要はない。
(2)第2の実施の形態
(画素の平面レイアウト)
図16は、図1の画素アレイ部11に配列される複数の画素100の平面レイアウトを示す図である。
図16においては、画素アレイ部11に2次元状に配列される複数の画素100のうち、光の入射側から見て、左上の領域に配列される32行32列の領域における画素100を例示している。
図16の画素アレイ部11においては、赤(R)の4画素(2×2画素)から構成されるR画素群200と、緑(G)の4画素(2×2画素)から構成されるG画素群200と、青(B)の4画素(2×2画素)から構成されるB画素群200とが、規則的に配列され、ベイヤー配列となっている。
また、ベイヤー配列で配置される画素群200を構成する4つの画素100は、共有画素として構成されているため、4つの画素100から得られる画素信号が加算され、画素信号が生成される。
このとき、画素群200においては、画素100ごとに露光時間が調整されているため、共有画素を構成する画素100として、長蓄画素(L)、中蓄画素(M)、及び短蓄画素(S)が含まれている。そのため、ここで得られる画素信号は、長蓄の画素信号と、中蓄の画素信号と、短蓄の画素信号とを加算することで得られるHDRの画素信号とされる。
ここで、画素群200(2,3)が配置される領域に注目すれば、B画素100(3,6)とB画素100(4,5)の代わりに、左遮光画素100L(3,6)と左遮光画素100L(4,5)が配置されている。
図17のAに示すように、左遮光画素100L(3,6)と左遮光画素100L(4,5)は、光の入射側から見た場合に、左側の領域(図中の黒色で表した領域)が遮光されている。なお、左遮光画素100L(3,6)と左遮光画素100L(4,5)には、Gカラーフィルタ113がそれぞれ設けられ、G画素100として構成されている。
図16の説明に戻り、画素アレイ部11において、画素群200(2,11),画素群200(6,5),画素群200(6,13),画素群200(10,7),画素群200(10,15),画素群200(10,7),画素群200(14,1),及び画素群200(14,9)は、画素群200(2,3)と同様に、4画素のうちの右上と左下の画素として、B画素100の代わりに、左遮光画素100Lが配置されている。
また、画素群200(4,1)が配置される領域に注目すれば、B画素100(7,2)とB画素100(8,1)の代わりに、右遮光画素100R(7,2)と右遮光画素100R(8,1)が配置されている。
図17のBに示すように、右遮光画素100R(7,2)と右遮光画素100R(8,1)は、光の入射側から見た場合に、右側の領域(図中の黒色で表した領域)が遮光されている。なお、右遮光画素100R(7,2)と右遮光画素100R(8,1)には、Gカラーフィルタ113がそれぞれ設けられ、G画素100として構成されている。
図16の説明に戻り、画素アレイ部11において、画素群200(4,9),画素群200(8,3),画素群200(8,11),画素群200(12,5),画素群200(12,13),画素群200(16,7),及び画素群200(16,15)は、画素群200(4,1)と同様に、4画素のうちの右上と左下の画素として、B画素100の代わりに、右遮光画素100Rが配置されている。
以上のように、画素アレイ部11においては、2×2の4つのR画素100からなるR画素群200と、2×2の4つのG画素100からなるG画素群200と、2×2の4つのB画素100からなるB画素群200とが、ベイヤー配列により配列されるが、B画素群200の一部の画素(4画素のうちの右上と左下の画素)が、左遮光画素100L又は右遮光画素100Rに置き換えられている。
ここでは、遮光領域が左右対称になっている左遮光画素100Lと右遮光画素100Rとが、位相差検出用の画素(位相差画素)として組になっており、それらの左右の遮光画素で得られる左遮光画素信号と右遮光画素信号に基づき、位相差検出用の画像が生成され、位相差が検出されることになる。
例えば、画素アレイ部11においては、画素群200(2,3)の左遮光画素100Lと、画素群200(4,1)の右遮光画素100Rとの組や、画素群200(2,11)の左遮光画素100Lと、画素群200(4,9)の右遮光画素100Rとの組などを、位相差画素のペアにすることができる。
(画素の断面の構造)
図18は、図16の画素アレイ部11に配列される複数の画素100の構造を示す断面図である。
図18には、位相差画素としての左遮光画素100Lを含む画素群200の断面として、4行目のX1−X1'断面を図示している。また、図18には、位相差画素を含まない画素群200の断面として、7行目の画素100のX2−X2'断面を図示している。
ここでは、左上の画素100の配置位置を画素(1,3)で表せば、X1−X1'断面の対象となるのは、G画素100(4,3),G画素100(4,4),左遮光画素100L(4,5),B画素100(4,6),G画素100(4,7),G画素100(4,8),B画素100(4,9),及びB画素100(4,10)とされる。
ただし、G画素100(4,3)とG画素100(4,4)は、G画素群200(2,2)に含まれ、左遮光画素100L(4,5)とB画素100(4,6)は、B画素群200(2,3)に含まれる。また、G画素100(4,7)とG画素100(4,8)は、G画素群200(2,4)に含まれ、B画素100(4,9)とB画素100(4,10)は、B画素群200(2,5)に含まれる。
図18のX1−X1'断面に示すように、G画素100(4,3)とG画素100(4,4),左遮光画素100L(4,5),及びG画素100(4,7)とG画素100(4,8)では、Gカラーフィルタ113が形成され、B画素100(4,6),及びB画素100(4,9)とB画素100(4,10)では、Bカラーフィルタ113が形成されている。
すなわち、左遮光画素100L(4,5)は、B画素群200(2,3)に含まれるため、本来ならば、Bカラーフィルタ113が形成され、B画素100として構成されるはずであるが、ここでは、Gカラーフィルタ113を形成することで、G画素100として構成されている。なお、ここでは、左遮光画素100L(4,5)等の遮光画素は、Gカラーフィルタが形成されたG画素100であるとして説明するが、カラーフィルタを設けずに、白(W)の画素として構成されるようにしてもよい。
また、左遮光画素100L(4,5)において、遮光部114は、隣り合う画素との間を遮光するだけでなく、その左側の領域を遮光するために、光の入射面側に拡張され、他の画素と比べて、フォトダイオード112に入射する光の入射面が狭められている。これにより、図17のAに示したように、左遮光画素100L(4,5)は、光の入射側から見た場合に、遮光部114によって左側の領域が遮光されることになる。
一方で、X2−X2'断面の対象となるのは、G画素100(7,3),G画素100(7,4),B画素100(7,5),B画素100(7,6),G画素100(7,7),G画素100(7,8),B画素100(7,9),及びB画素100(7,10)とされる。
画素100(7,3)とG画素100(7,4),及びG画素100(7,7)とG画素100(7,8)では、Gカラーフィルタ113が形成され、B画素100(7,5)とB画素100(7,6),及びB画素100(7,9)とB画素100(7,10)では、Bカラーフィルタ113が形成されている。
なお、図示はしていないが、右遮光画素100Rの断面は、上述した左遮光画素100Lと同様に、遮光部114が、隣り合う画素との間を遮光するだけでなく、光の入射面側に拡張され、フォトダイオード112に入射する光の入射面が狭められることで、その右側の領域が遮光される。これにより、図17のBに示したように、右遮光画素100Rは、光の入射側から見た場合に、遮光部114によって右側の領域が遮光されることになる。
以上、第2の実施の形態について説明した。第2の実施の形態では、同色の4画素(共有画素)から構成される画素群200を規則的に配列した配列パターンが採用され、画素群200の4画素ごとに露光時間の調整が行われる場合に、画素群200に含まれる位相差画素の構造として、4画素のうち、斜め方向の2画素(同一の対角線上の2画素)に、遮光画素が配置されるようにしている。
このように、位相差画素として遮光画素を用いた構造を採用することで、上述した第1の実施の形態と比べて、位相差画素の感度は低下するものの、遮光画素とされる画素の蓄積時間(露光時間)を、元の構造から変更する必要がないため、CMOSイメージセンサ10の製造が容易になるというメリットがある。
(3)第3の実施の形態
ところで、上述した第1の実施の形態として説明した2×1OCL構造においては、B画素群200にて、右下のB画素100の代わりに、G画素100が配置されるようにすることで、当該B画素群200の右下のG画素100と、その右隣のG画素群200の左下のG画素100とが、位相差画素100Lと位相差画素100Rとして構成されるようにしている。
このとき、B画素群200の右下の画素100のカラーフィルタを、Bカラーフィルタ113ではなく、Gカラーフィルタ113とすることで、B画素100の代わりに、G画素100が配置されるようにしている。
ここで、図19に示すように、2×1OCL構造では、B画素群200(2,5)にて、右下のB画素100(4,10)の代わりに、G画素100(4,10)が配置されるようにしているため、画素アレイ部11における画素配列全体で見れば、G画素100の数が1つ増加する一方で、B画素100の数が1つ減少していることになる。
さらに、例えば、B画素群200(2,13),B画素群200(4,1),B画素群200(4,9),B画素群200(6,7),B画素群200(6,15),B画素群200(8,3),B画素群200(8,11),B画素群200(10,5),B画素群200(10,13),B画素群200(12,1),B画素群200(12,9),B画素群200(14,7),B画素群200(14,15),B画素群200(16,3),及びB画素群200(16,11)においても、B画素100の代わりに、G画素100が配置されている。
そのため、画素アレイ部11における画素配列全体で見たときには、G画素100の数が最も多くなり、その次にR画素100の数が多く、B画素100の数は、最も少なくなる。
すなわち、画素アレイ部11では、ベイヤー配列の画素配列となり、G画素群200(2×2画素)が市松状に配され、残った部分に、R画素群200(2×2画素)と、B画素群200(2×2画素)とが一列ごとに交互に配されているため、R画素100とB画素100は、同数とされ、G画素100は、その2倍の数とされる。したがって、B画素100の代わりに、G画素100が配置されれば、B画素100の数は、R画素100の数よりも少なくなる。
ここで、通常の画素をベイヤー配列で配置する場合に、各画素に対してカラーフィルタを形成するときには、Gカラーフィルタから順に形成されるようにすることで、各画素に形成されるカラーフィルタを剥がれにくくすることができる。
本技術を適用した2×1OCL構造においても、カラーフィルタ113を形成する場合には、Gカラーフィルタ113から順に形成されるようにすることで、各画素100に形成されるカラーフィルタ113を剥がれにくくすることができる。この場合において、Gカラーフィルタ113の次に形成されるカラーフィルタとしては、例えば、画素数の多い方から、Rカラーフィルタ113、Bカラーフィルタ113の順に形成されるようにすることができる。
図20には、図19の画素アレイ部11に配列される複数の画素100の構造を示す断面図を示している。図20において、X1−X1'断面は、位相差画素100L,100Rを含む一方で、X2−X2'断面は、位相差画素100L,100Rを含んでいない。
ここで、図20のX1−X1'断面と、X2−X2'断面に示すように、カラーフィルタ113を形成する際には、以下の順番で形成される。
まず、G画素100(4,7)とG画素100(4,8),G画素100(4,10),及びG画素100(4,11)とG画素100(4,12),並びにG画素100(7,7)とG画素100(7,8),及びG画素100(7,11)とG画素100(7,12)等のG画素100に対するGカラーフィルタ113が形成される。
次に、R画素100に対するRカラーフィルタ113が形成される。
最後に、B画素100(4,9),及びB画素100(4,13)とB画素100(4,14),並びにB画素100(7,9)とB画素100(7,10),及びB画素100(7,13)とB画素100(7,14)等のB画素100に対するBカラーフィルタ113が形成される。
以上、第3の実施の形態として、第1の実施の形態の2×1OCL構造の画素を含む画素配列におけるカラーフィルタ113を形成するための工程(を含む製造方法)について説明した。第3の実施の形態では、2×1OCL構造の画素を含む画素配列におけるカラーフィルタ113を形成するための工程で、Gカラーフィルタ113、Rカラーフィルタ113、Bカラーフィルタ113の順など、Gカラーフィルタ113から順に、カラーフィルタ113が形成されるようにすることで、カラーフィルタ113を剥がれにくくすることができる。
(4)第4の実施の形態
ところで、第1の実施の形態では、位相差画素100L,100Rが、2×1OCL構造となる画素配列について説明したが、2×1OCL構造以外の他の構造を採用してもよい。ここでは、例えば、画素群200にそれぞれ含まれる2×2の4画素(のフォトダイオード112)に対し、1つのオンチップレンズ111を設けた構造(以下、2×2OCL構造ともいう)や、2×1OCL構造を行方向に並べた構造(以下、2×1OCL×2構造ともいう)などの構造を採用することができる。
そこで、以下、第4の実施の形態として、位相差画素100L,100Rの他の構造の一例として、2×2OCL構造と2×1OCL×2構造を採用した場合を説明する。
(2×2OCL構造)
図21は、図1の画素アレイ部11に配列される複数の画素100の他の構造を示す図である。
図21においては、図中の左側に、複数の画素100の平面レイアウトを示し、図中の右側に、複数の画素100の断面を示している。なお、図21においては、図4と同様に、左上の画素100の配置位置を画素(1,7)で表すものとする。
ここでは、位相差画素100L,100Rの構造として、2×2OCL構造が採用され、B画素群200(2,5)のG画素100(4,10)と、G画素群200(2,6)のG画素100(4,11)と、G画素群200(3,5)のG画素100(5,10)と、R画素群200(3,6)のG画素100(5,11)からなる4画素に対し、1つのオンチップレンズ111Aが設けられている。
図21には、位相差画素100L,100Rを含む画素群200の断面として、4行目の画素100のX1−X1'断面と、5行目の画素100のX2−X2'断面を図示している。また、図21には、位相差画素100L,100Rを含まない画素群200の断面として、7行目の画素100のX3−X3'断面を図示している。
図21のX1−X1'断面に示すように、G画素100(4,7)とG画素100(4,8),G画素100(4,10),及びG画素100(4,11)とG画素100(4,12)では、Gカラーフィルタ113が形成され、B画素100(4,9),及びB画素100(4,13)とB画素100(4,14)では、Bカラーフィルタ113が形成されている。
すなわち、G画素100(4,10)は、B画素群200(2,5)に含まれるため、本来ならば、Bカラーフィルタ113が形成され、B画素100として構成されるはずであるが、ここでは、Gカラーフィルタ113を形成してコンタクトの配置を変えることで、G画素100として構成されるようにしている。
なお、B画素群200(2,5)においては、左下のB画素100(4,9)を、B画素100(4,9)に変更することで、4画素に、長蓄画素(L)と中蓄画素(M)とともに、短蓄画素(S)が含まれるようにしている。
また、図21のX2−X2'断面では、R画素100(5,7)とR画素100(5,8),及びR画素100(5,12)に対し、Rカラーフィルタ112が形成され、G画素100(5,9)とG画素100(5,10),G画素100(5,11),及びG画素100(5,13)とG画素100(5,14)に対し、Gカラーフィルタ113が形成されている。
すなわち、G画素100(5,11)は、R画素群200(3,6)に含まれるため、本来ならば、Rカラーフィルタ113が形成され、R画素100として構成されるはずであるが、ここでは、Gカラーフィルタ113を形成してコンタクトの配置を変えることで、G画素100として構成されるようにしている。
なお、R画素群200(3,6)においては、右上のR画素100(5,12)を、R画素100(5,12)に変更することで、4画素に、短蓄画素(S)と中蓄画素(M)とともに、長蓄画素(L)が含まれるようにしている。
このように、B画素群200(2,5)の右下のG画素100(4,10)に設けられたフォトダイオード112Lと、G画素群200(2,6)の左下のG画素100(4,11)に設けられたフォトダイオード112Rと、G画素群200(3,5)の右上のG画素100(5,10)に設けられたフォトダイオード112Lと、R画素群200(3,6)の左上のG画素100(5,11)に設けられたフォトダイオード112Rが、1つのオンチップレンズ111Aに対して設けられ、2×2OCL構造を構成している。
そして、画素アレイ部11において、G画素100(4,10)と、G画素100(5,10)は、位相差画素100Lとして構成され、G画素100(4,11)と、G画素100(5,11)は、位相差画素100Rとして構成される。そのため、これらの位相差画素100L、100Rから得られる画素信号に基づき、2つの画像の位相差を検出することが可能となる。
なお、図21に示したX3−X3'断面は、図4に示したX2−X2'断面と同様であるため、ここでは、その説明は省略する。
(2×1OCL×2構造)
図22は、図1の画素アレイ部11に配列される複数の画素100のさらに他の構造を示す図である。
図22においては、図21と同様に、図中の左側に、複数の画素100の平面レイアウトを示し、図中の右側に、複数の画素100の断面を示している。
ここでは、位相差画素100L,100Rの構造として、2×1OCL×2構造が採用され、B画素群200(2,5)のG画素100(4,10)と、G画素群200(2,6)のG画素100(4,11)からなる2画素に対し、1つのオンチップレンズ111Aが設けられている。また、その下段では、G画素群200(3,5)のG画素100(5,10)と、R画素群200(3,6)のG画素100(5,11)からなる2画素に対し、1つのオンチップレンズ111Bが設けられている。
図22には、位相差画素100L,100Rを含む画素群200の断面として、4行目の画素100のX1−X1'断面と、5行目の画素100のX2−X2'断面を図示している。また、図22には、位相差画素100L,100Rを含まない画素群200の断面として、7行目の画素100のX3−X3'断面を図示している。
図22に示したX1−X1'断面とX2−X2'断面は、図21に示したX1−X1'断面とX2−X2'断面と同様の構造とされるが、図22では、B画素群200(2,5)の右下のG画素100(4,10)に設けられたフォトダイオード112Lと、G画素群200(2,6)の左下のG画素100(4,11)に設けられたフォトダイオード112Rが、1つのオンチップレンズ111Aに対して設けられ、上段の2×1OCL構造を構成している。
また、図22では、G画素群200(3,5)の右上のG画素100(5,10)に設けられたフォトダイオード112Lと、R画素群200(3,6)の左上のG画素100(5,11)に設けられたフォトダイオード112Rが、1つのオンチップレンズ111Bに対して設けられ、下段の2×1OCL構造を構成している。このような上段の2×1OCL構造と下段の2×1OCL構造によって、2×1OCL×2構造が構成される。
そして、画素アレイ部11において、上段のG画素100(4,10)と、下段のG画素100(5,10)は、位相差画素100Lとして構成され、上段のG画素100(4,11)と、下段のG画素100(5,11)は、位相差画素100Rとして構成される。そのため、これらの位相差画素100L、100Rから得られる画素信号に基づき、2つの画像の位相差を検出することが可能となる。
なお、図22に示したX3−X3'断面は、図4に示したX2−X2'断面と同様であるため、ここでは、その説明は省略する。
(画素の読み出しの例)
次に、図23及び図24を参照しながら、図21に示した2×2OCL構造を採用した場合における画素100の読み出しの例を説明する。
図23には、図5と同様に、画素アレイ部11に配列される画素領域の一部の領域を図示しており、4つの画素100により画素群200が構成されている。ただし、図23においては、図5の説明に合わせて、左上の画素100の配置位置を画素(1,1)で表すものとするが、図21に示した2×2OCL構造を採用した場合の画素配列に対応している。
図23においては、図5と同様に、画素群200を構成する4つの画素100が、浮遊拡散領域FDを共有しており、転送トランジスタTR-Trや選択トランジスタSEL-Trに対する駆動信号(TRG,SEL)が、垂直駆動回路12(図1)から供給される。
ここで、図23においては、2×1OCL構造ではなく、2×2OCL構造を採用しているため、B画素群200(3,2)の右下のB画素100(6,4)だけでなく、R画素群200(4,3)の左上のR画素100(7,5)も、G画素100として構成されている。なお、B画素群200(3,2)において、左下のB画素100は、B画素100(6,3)とされる。また、R画素群200(4,3)において、右上のR画素100は、R画素100(7,6)とされる。
そのため、B画素群200(3,2)において、左下のB画素100(6,3)のコンタクトC−63が駆動線TRG4ではなく、駆動線TRG5に接続され、さらに、右下のG画素100(6,4)のコンタクトC−64が駆動線TRG5ではなく、駆動線TRG4に接続されている。また、R画素群200(4,3)において、左上のG画素100(7,5)のコンタクトC−75が駆動線TRG2ではなく、駆動線TRG3に接続され、右上のR画素100(7,6)のコンタクトC−76が駆動線TRG3ではなく、駆動線TRG2に接続されている。
このようなコンタクトCの配置とすることで(コンタクトCを打ち変えることで)、2×2OCL構造の位相差画素100L,100Rを含む3行目と4行目の画素群200において、露光別に画素100を駆動することが可能となる。
より具体的には、図23においては、駆動信号SEL1がLレベルとなって、1行目と2行目の画素群200で共有された選択トランジスタSEL-Trがオフ状態になる一方で、駆動信号SEL0がHレベルとなって、3行目と4行目の画素群200で共有された選択トランジスタSEL-Trがオン状態になることで、3行目又は4行目の画素群200が選択されている。
このとき、図23に示すように、駆動信号TRG0ないしTRG7のうち、駆動信号TRG4のみがHレベルとなって、3行目の画素群200を構成する4画素のうち、1列目のG画素群200(3,1)のG画素100(6,1)と、2列目のB画素群200(3,2)のG画素100(6,4)と、3列目のG画素群200(3,3)のG画素100(6,5)と、4列目のB画素群200(3,4)のB画素100(6,7)の各転送トランジスタTR-Trがオン状態になる。
これにより、図23の太枠で囲まれている、G画素100(6,1),G画素100(6,4),G画素100(6,5),及びB画素100(6,7)の各フォトダイオード112により生成された電荷が、それぞれに対応した浮遊拡散領域FDに転送される。その際に、G画素100(6,1),G画素100(6,4),G画素100(6,5),及びB画素100(6,7)は、すべて中蓄画素(M)となるため、同一の駆動信号TRG4によって駆動することが可能となる。
その結果として、位相差画素100L(6,4)として構成されるG画素100(6,4)のフォトダイオード112に蓄積された電荷と、位相差画素100R(6,5)として構成されるG画素100(6,5)のフォトダイオード112に蓄積された電荷が読み出されることになる。
その後、図24に示すように、Hレベルとなる駆動信号TRGが、TRG4からTRG5に切り替わって、3行目の画素群200を構成する4画素のうち、1列目のG画素群200(3,1)のG画素100(6,2)と、2列目のB画素群200(3,2)のB画素100(6,3)と、3列目のG画素群200(3,3)のG画素100(6,6)と、4列目のB画素群200(3,4)のB画素100(6,8)の各転送トランジスタTR-Trがオン状態になる。
これにより、図24の太枠で囲まれる、G画素100(6,2),B画素100(6,3),G画素100(6,6),及びB画素100(6,8)の各フォトダイオード112により生成された電荷が、それぞれに対応した浮遊拡散領域FDに転送される。その際に、G画素100(6,2),B画素100(6,3),G画素100(6,6),及びB画素100(6,8)は、すべて短蓄画素(S)となるため、同一の駆動信号TRG5によって駆動することが可能となる。
同様にして、駆動信号TRG6,TRG7が順に、Hレベルに切り替わることで、3行目の各画素群200を構成する4画素のフォトダイオードから電荷が読み出され、当該4画素で共有された浮遊拡散領域FDに転送されることになる。そして、この浮遊拡散領域FDでは、当該4画素のフォトダイオード112のそれぞれから転送される電荷が加算され、その加算電荷に応じた電圧が、増幅トランジスタAMP-Trに入力される。その後のカラム信号処理回路13で行われる処理は、上述した図8ないし図10を参照して説明した内容と同様であるため、ここではその説明は省略する。
また、図示はしていないが、同様にして、駆動信号TRG0ないしTRG7のうち、駆動信号TRG2のみがHレベルとなることで、4行目の画素群200を構成する4画素のうち、1列目のR画素群200(4,1)のR画素100(7,1)と、2列目のG画素群200(4,2)のG画素100(7,3)と、3列目のR画素群200(4,3)のR画素100(7,6)と、4列目のG画素群200(4,4)のG画素100(7,7)の各転送トランジスタTR-Trがオン状態になる。
これにより、R画素100(7,1),G画素100(7,3),R画素100(7,6),及びG画素100(7,7)の各フォトダイオード112により生成された電荷が、それぞれに対応した浮遊拡散領域FDに転送される。その際に、R画素100(7,1),G画素100(7,3),R画素100(7,6),及びG画素100(7,7)は、すべて長蓄画素(L)となるため、同一の駆動信号TRG2によって駆動することが可能となる。
その後、図示はしていないが、同様にして、Hレベルとなる駆動信号TRGが、TRG2からTRG3に切り替わって、4行目の画素群200を構成する4画素のうち、1列目のR画素群200(4,1)のR画素100(7,2)と、2列目のG画素群200(4,2)のG画素100(7,4)と、3列目のR画素群200(4,3)のG画素100(7,5)と、4列目のG画素群200(4,4)のG画素100(7,8)の各転送トランジスタTR-Trがオン状態になる。
これにより、R画素100(7,2),G画素100(7,4),G画素100(7,5),及びG画素100(7,8)の各フォトダイオード112により生成された電荷が、それぞれに対応した浮遊拡散領域FDに転送される。その際に、R画素100(7,2),G画素100(7,4),G画素100(7,5),及びG画素100(7,8)は、すべて中蓄画素(M)となるため、同一の駆動信号TRG3によって駆動することが可能となる。
なお、図23及び図24においては、図21に示した2×2OCL構造を採用した場合における画素100の読み出しの例を説明したが、図22に示した2×1OCL×2構造を採用した場合における画素100の読み出しについても同様に行うことができる。
<3.変形例>
(露光時間の他の例)
上述した説明では、露光時間として、3露光、すなわち、T1, T2, T3の3段階での調整が行われ、長蓄の画素信号と、中蓄の画素信号と、短蓄の画素信号が得られる場合を説明したが、露光時間の調整の段数は、3段階に限らず、2段階以上であればよい。例えば、2露光、すなわち、T1, T3の2段階での調整が行われ、長蓄の画素信号と、短蓄の画素信号が得られるようにしてもよい。
図25は、2露光の場合に、隣接する画素群200に位相差画素100Lと位相差画素100Rを配置するときの構成の例を示す図である。
図25においては、2露光となっているため、ベイヤー配列で配置された画素群200の4画素(2×2画素)が、同一の対角線上に配置された2つの長蓄画素(L)と、2つの短蓄画素(S)から構成されている。
ここでは、図25のAに示すように、左下のB画素群200に含まれる右下のB画素100のフォトダイオード112と、右下のG画素群200に含まれる左下のG画素100のフォトダイオード112に対し、1つのオンチップレンズ111を設ける場合に、図25のBに示すような構造となるようにする。
すなわち、製造時に、左下のB画素群200に含まれる右下のB画素100のカラーフィルタを、Bカラーフィルタ113ではなく、Gカラーフィルタ113とすることで、G画素100になるようにする。また、ここでは、B画素100は、短蓄画素(S)であったが、G画素100では、コンタクトCの配置を変えるなどして、露光時間を、長蓄の露光時間とすることで、長蓄画素(L)になるようにしている。
これにより、1つのオンチップレンズ111に対して設けられるフォトダイオードを有する画素100として、左下のB画素群200に含まれるG画素100と、右下のG画素群200に含まれるG画素100とが設けられ、これらのG画素100は、共にGカラーフィルタ113を有し、かつ、共に長蓄の露光時間となっている。そのため、これらのG画素100を、位相差画素100Lと位相差画素100Rとして構成することが可能となる。
なお、ここでは、第1の実施の形態として説明した2×1OCL構造の場合に、3露光ではなく、2露光としたときの構成について説明したが、第2の実施の形態として説明した遮光画素の構造の場合も同様に、3露光に限らず、2露光などとすることができる。
図26は、2露光の場合に、画素群200に遮光画素を配置するときの構成を示す図である。
図26においては、2露光となっているため、ベイヤー配列で配置された画素群200の4画素(2×2画素)が、同一の対角線上に配置された2つの長蓄画素(L)と、2つの短蓄画素(S)から構成されている。
ここでは、左下のB画素群200に含まれる右上と左下のB画素100を、左遮光画素100Lとする場合に、図26に示すような構造となるようにする。
すなわち、製造時に、左下のB画素群200に含まれる右上と左下のB画素100のカラーフィルタを、Bカラーフィルタ113ではなく、Gカラーフィルタ113とすることで、G画素100になるようにする。このとき、G画素100は、B画素100と同様に、長蓄画素(L)となるので、露光時間を調整する必要はない。
このようにして、左下のB画素群200の右上と左下に配置されるG画素100に対し、光の入射側から見た場合に、左側の領域が遮光されるようにすることで、左遮光画素100Lとして構成されるようにする。これにより、左下のB画素群200の4画素のうち、右上と左下のG画素100が、左遮光画素100Lとなる。
なお、ここでは、B画素群200に左遮光画素100Lを配置する場合を説明したが、右遮光画素100Rについても同様に、例えば、B画素群200の右上と左下に配置されるB画素100の代わりに配置することができる。
(位相差画素の他の構成の例)
上述した第1の実施の形態では、図2の画素アレイ部11において、2×1OCL構造として、位相差画素100Lと位相差画素100Rが、隣接するB画素群200とG画素群200に含まれる場合を例示したが、他の画素群200に含まれるようにしてもよい。例えば、位相差画素100Lと位相差画素100Rは、隣接するB画素群200とG画素群200の他に、隣接するR画素群200とG画素群200に含めることができる。
図27は、隣接するB画素群200とG画素群200とともに、隣接するR画素群200とG画素群200に、位相差画素100Lと位相差画素100Rをそれぞれ配置するときの構成の例を示す図である。
図27においては、図2と同様に、画素アレイ部11に2次元状に配列される複数の画素100のうち、光の入射側から見て、左上の領域に配列される32行32列の領域における画素100が例示されている。
図27の画素アレイ部11において、B画素群200の右下の位相差画素100Lと、G画素群200の左下の位相差画素100Rとが、2×1OCL構造を有するB画素群200とG画素群200との組み合わせは、次のとおりである。
すなわち、B画素群200(2,5)とG画素群200(2,6),B画素群200(2,13)とG画素群200(2,14),B画素群200(6,7)とG画素群200(6,8),B画素群200(6,15)とG画素群200(6,16),B画素群200(10,5)とG画素群200(10,6),B画素群200(10,13)とG画素群200(10,14),B画素群200(14,7)とG画素群200(14,8),及びB画素群200(14,15)とG画素群200(14,16)は、2×1OCL構造をそれぞれ有している。
これらのB画素群200では、右下のB画素100の代わりに、G画素100が配置されるようにすることで、当該B画素群200の右下のG画素100と、その右隣のG画素群200の左下のG画素100が、位相差画素100Lと位相差画素100Rとして構成されている。
また、図27の画素アレイ部11においては、R画素群200の右下の位相差画素100Lと、G画素群200の左下の位相差画素100Rとが、2×1OCL構造を有するR画素群200とG画素群200との組み合わせは、次のとおりである。
すなわち、R画素群200(3,2)とG画素群200(3,3),R画素群200(3,10)とG画素群200(3,11),R画素群200(7,4)とG画素群200(7,5),R画素群200(7,12)とG画素群200(7,13),R画素群200(11,2)とG画素群200(11,3),R画素群200(11,10)とG画素群200(11,11),R画素群200(15,4)とG画素群200(15,5),及びR画素群200(15,12)とG画素群200(15,13)は、2×1OCL構造をそれぞれ有している。
これらのR画素群200では、右下のR画素100の代わりに、G画素100が配置されるようにすることで、当該R画素群200の右下のG画素100と、その右隣のG画素群200の左下のG画素100が、位相差画素100Lと位相差画素100Rとして構成されている。
なお、図2又は図27等に示した画素アレイ部11の配列パターンは、第1の実施の形態で、繰り返しパターンで散在して配置される位相差画素100Lと位相差画素100Rの配置の一例であって、位相差画素100Lと位相差画素100Rとは、一定間隔で複数並べて配置するのであれば、他のパターンで配置するようにしてもよい。また、第1の実施の形態では、画素アレイ部11において、色画素群200が、ベイヤー配列で規則的に配列される場合を一例に説明したが、他の配列パターンを採用してもよい。
また、第1の実施の形態では、2×1OCL構造からなる位相差画素100Lと位相差画素100Rとは、同一の露光時間として、中蓄の露光時間に調整されるとして説明したが、長蓄や短蓄等の他の露光時間に調整されるようにしてもよい。さらに、位相差画素100Lと位相差画素100Rとは、同一の露光時間とすることが好ましいが、必ずしも同一の露光時間とする必要はない。
上述した第2の実施の形態では、図16の画素アレイ部11において、遮光画素の構造として、B画素群200の一部の画素(例えば、4画素のうちの右上と左下の画素)が、左遮光画素100L又は右遮光画素100Rに置き換えられる場合を例示したが、R画素群200又はG画素群200の一部の画素が、左遮光画素100L又は右遮光画素100Rに置き換えられるようにしてもよい。
また、左遮光画素100Lと右遮光画素100Rは、同色の画素群200に限らず、異なる色の画素群200に配置されるようにしてもよい。例えば、左遮光画素100Lが、B画素群200の一部の画素として配置される場合において、右遮光画素100Rが、G画素群200の一部の画素として配置されるようにしてもよい。
なお、図16に示した画素アレイ部11の配列パターンは、第2の実施の形態で、繰り返しパターンで散在して配置される左遮光画素100Lと右遮光画素100Rの配置の一例であって、左遮光画素100Lと右遮光画素100Rとは、一定間隔で複数並べて配置するのであれば、他のパターンで配置するようにしてもよい。また、第2の実施の形態では、画素アレイ部11において、色画素群200が、ベイヤー配列で規則的に配列される場合を一例に説明したが、他の配列パターンを採用してもよい。
(位相差画素の他の例)
なお、上述した説明では、2×1OCL構造、2×2OCL構造、又は2×1OCL×2構造として、左右に隣接した画素群200にそれぞれ含まれる2×1の2画素である位相差画素100Lと、位相差画素100Rについて説明したが、位相差画素として構成される2画素は、行方向で左右に隣接した画素100の組み合わせに限定されるものではない。
例えば、列方向で上下に隣接した画素群200ににそれぞれ含まれる1×2の2画素である位相差画素100Uと、位相差画素100Dとの組み合わせであってもよい。このとき、位相差画素100Uのフォトダイオード112と、位相差画素100Dのフォトダイオード112とが、1つのオンチップレンズ111に対して設けられた構造とされる(いわば1×2OCL構造であるといえる)。
(遮光画素の他の例)
また、上述した説明では、遮光画素として、左側の領域が遮光された画素である左遮光画素100Lと、右側の領域が遮光された画素である右遮光画素100Rについて説明したが、遮光画素は、同一の方向に遮光されていればよく、遮光領域が左右対称の遮光画素の組み合わせに限定されるものではない。例えば、遮光画素としては、遮光領域が上下対称の遮光画素として、上側の領域が遮光された画素である上遮光画素100Uと、下側の領域が遮光された画素である下遮光画素100Dとの組み合わせを採用することができる。
(固体撮像装置の他の例)
また、上述した実施の形態では、画素が2次元状に配列されてなるCMOSイメージセンサに適用した場合を例に挙げて説明したが、本技術はCMOSイメージセンサへの適用に限られるものではなく、例えば、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサなど、画素が2次元状に配列された固体撮像装置全般に対して適用可能である。
さらに、本技術は、可視光の入射光量の分布を検知して画像として撮像する固体撮像装置への適用に限らず、赤外線やX線、あるいは粒子等の入射量の分布を画像として撮像する固体撮像装置全般に対して適用可能である
なお、上述した説明では、画素群200が、近傍の同色の画素100(4画素)から構成されるとして説明したが、4つの画素から構成される画素群(共有画素)は、4つの分割画素から構成される画素(共有画素)として捉えるようにしてもよく、本技術を適用するに際して、4画素からなる画素群と、4分割画素からなる画素とは、実質的に同一の意味をなしている。
<4.電子機器の構成>
図28は、本開示に係る技術を適用した固体撮像装置を有する電子機器の構成例を示すブロック図である。
電子機器1000は、例えば、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像装置や、スマートフォンやタブレット型端末等の携帯端末装置などの撮像機能を有する電子機器である。
電子機器1000は、レンズ部1011、撮像部1012、信号処理部1013、制御部1014、表示部1015、記録部1016、操作部1017、通信部1018、電源部1019、及び駆動部1020から構成される。また、電子機器1000において、信号処理部1013、制御部1014、表示部1015、記録部1016、操作部1017、通信部1018、及び電源部1019は、バス1021を介して相互に接続されている。
レンズ部1011は、ズームレンズやフォーカスレンズ等から構成され、被写体からの光を集光する。レンズ部1011により集光された光(被写体光)は、撮像部1012に入射される。
撮像部1012は、本開示に係る技術を適用したイメージセンサ(例えば、図1のCMOSイメージセンサ10)等の固体撮像装置を含んで構成される。撮像部1012としてのイメージセンサは、レンズ部1011を介して受光した光(被写体光)を電気信号に光電変換し、その結果得られる信号を、信号処理部1013に供給する。
なお、このイメージセンサの画素アレイ部には、所定の配列パターンで規則的に配列された複数の画素として、被写体光に応じた撮像画像を生成するための信号を生成する画素(通常の画素)と、位相差検出を行うための信号を生成する画素(位相差画素)とが含まれる。
例えば、上述したCMOSイメージセンサ10(図1)においては、通常の画素が、R画素100(R画素群200)、G画素100(G画素群200)、及びB画素100(B画素群200)に相当し、位相差画素が、位相差画素(位相差画素100L,100R)や遮光画素(左遮光画素100L,右遮光画素100R)に相当している。
信号処理部1013は、撮像部1012から供給される信号を処理する信号処理回路である。例えば、信号処理部1013は、DSP(Digital Signal Processor)回路などとして構成される。
信号処理部1013は、撮像部1012からの信号を処理して、静止画又は動画の画像データを生成し、表示部1015又は記録部1016に供給する。また、信号処理部1013は、撮像部1012(イメージセンサの位相差画素)からの信号に基づき、位相差を検出するためのデータ(位相差検出用データ)を生成し、制御部1014に供給する。
制御部1014は、例えば、CPU(Central Processing Unit)やマイクロプロセッサなどとして構成される。制御部1014は、電子機器1000の各部の動作を制御する。
表示部1015は、例えば、液晶パネルや有機EL(Electro Luminescence)パネル等の表示装置として構成される。表示部1015は、信号処理部1013から供給される画像データを処理し、撮像部1012により撮像された静止画又は動画を表示する。
記録部1016は、例えば、半導体メモリやハードディスク等の記録媒体として構成される。記録部1016は、信号処理部1013から供給される画像データを記録する。また、記録部1016は、制御部1014からの制御に従い、記録されている画像データを提供する。
操作部1017は、例えば、物理的なボタンのほか、表示部1015と組み合わせて、タッチパネルとして構成される。操作部1017は、ユーザによる操作に応じて、電子機器1000が有する各種の機能についての操作指令を出力する。制御部1014は、操作部1017から供給される操作指令に基づき、各部の動作を制御する。
通信部1018は、例えば、通信インターフェース回路などとして構成される。通信部1018は、所定の通信規格に従い、無線通信又は有線通信によって、外部の機器との間でデータのやりとりを行う。
電源部1019は、信号処理部1013、制御部1014、表示部1015、記録部1016、操作部1017、及び通信部1018の動作電源となる各種の電源を、これらの供給対象に対して適宜供給する。
また、制御部1014は、信号処理部1013から供給される位相差検出用データに基づき、2つの画像の位相差を検出する。そして、制御部1014は、位相差の検出結果に基づき、フォーカスを合わせる対象の物体(合焦対象物)に対し、フォーカスが合っているかどうかを判定する。制御部1014は、合焦対象物にフォーカスが合っていない場合には、フォーカスのずれ量(デフォーカス量)を算出し、駆動部1020に供給する。
駆動部1020は、例えば、モータ等から構成され、ズームレンズやフォーカスレンズ等からなるレンズ部1011を駆動する。
駆動部1020は、制御部1014から供給されるデフォーカス量に基づき、レンズ部1011のフォーカスレンズの駆動量を算出し、その駆動量に応じてフォーカスレンズを移動させる。なお、合焦対象物に対し、フォーカスが合っている場合には、駆動部1020は、フォーカスレンズの現在位置を維持させる。
電子機器1000は、以上のように構成される。
本技術は、以上説明したように、イメージセンサ等の撮像部1012に適用される。具体的には、CMOSイメージセンサ10(図1)は、撮像部1012に適用することができる。イメージセンサ等の撮像部1012に本技術を適用することで、画素アレイ部に配列される画素として、近傍の同色の画素からなる画素群(FDを共有する4画素からなる共有画素)を規則的に配列した配列パターンが採用され、画素群(共有画素)の画素ごとに露光時間の調整が行われる場合において、画素群を構成する画素の画素配列に対して位相差画素を設けるに際し、より好適な位相差画素を設けることができる。
<5.固体撮像装置の使用例>
図29は、本開示に係る技術を適用した固体撮像装置の使用例を示す図である。
CMOSイメージセンサ10(図1)は、例えば、以下のように、可視光や、赤外光、紫外光、X線等の光をセンシングする様々なケースに使用することができる。すなわち、図29に示すように、鑑賞の用に供される画像を撮影する鑑賞の分野だけでなく、例えば、交通の分野、家電の分野、医療・ヘルスケアの分野、セキュリティの分野、美容の分野、スポーツの分野、又は、農業の分野などにおいて用いられる装置でも、CMOSイメージセンサ10を使用することができる。
具体的には、鑑賞の分野において、例えば、デジタルカメラやスマートフォン、カメラ機能付きの携帯電話機等の、鑑賞の用に供される画像を撮影するための装置(例えば、図28の電子機器1000)で、CMOSイメージセンサ10を使用することができる。
交通の分野において、例えば、自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置で、CMOSイメージセンサ10を使用することができる。
家電の分野において、例えば、ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、テレビ受像機や冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置で、CMOSイメージセンサ10を使用することができる。また、医療・ヘルスケアの分野において、例えば、内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置で、CMOSイメージセンサ10を使用することができる。
セキュリティの分野において、例えば、防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置で、CMOSイメージセンサ10を使用することができる。また、美容の分野において、例えば、肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置で、CMOSイメージセンサ10を使用することができる。
スポーツの分野において、例えば、スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置で、CMOSイメージセンサ10を使用することができる。また、農業の分野において、例えば、畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置で、CMOSイメージセンサ10を使用することができる。
<6.移動体への応用例>
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
図30は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
車両制御システム12000は、通信ネットワーク12001を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図30に示した例では、車両制御システム12000は、駆動系制御ユニット12010、ボディ系制御ユニット12020、車外情報検出ユニット12030、車内情報検出ユニット12040、及び統合制御ユニット12050を備える。また、統合制御ユニット12050の機能構成として、マイクロコンピュータ12051、音声画像出力部12052、及び車載ネットワークI/F(Interface)12053が図示されている。
駆動系制御ユニット12010は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット12010は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
ボディ系制御ユニット12020は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット12020は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット12020には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット12020は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
車外情報検出ユニット12030は、車両制御システム12000を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット12030には、撮像部12031が接続される。車外情報検出ユニット12030は、撮像部12031に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット12030は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
撮像部12031は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部12031は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部12031が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
車内情報検出ユニット12040は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット12040には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部12041が接続される。運転者状態検出部12041は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット12040は、運転者状態検出部12041から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット12010に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むADAS(Advanced Driver Assistance System)の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030又は車内情報検出ユニット12040で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
また、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット12030に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車外情報検出ユニット12030で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
音声画像出力部12052は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図30の例では、出力装置として、オーディオスピーカ12061、表示部12062及びインストルメントパネル12063が例示されている。表示部12062は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
図31は、撮像部12031の設置位置の例を示す図である。
図31では、撮像部12031として、撮像部12101、12102、12103、12104、12105を有する。
撮像部12101、12102、12103、12104、12105は、例えば、車両12100のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部12101及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として車両12100の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部12102、12103は、主として車両12100の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部12104は、主として車両12100の後方の画像を取得する。車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部12105は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
なお、図31には、撮像部12101ないし12104の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲12111は、フロントノーズに設けられた撮像部12101の撮像範囲を示し、撮像範囲12112,12113は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部12102,12103の撮像範囲を示し、撮像範囲12114は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部12104の撮像範囲を示す。例えば、撮像部12101ないし12104で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両12100を上方から見た俯瞰画像が得られる。
撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を基に、撮像範囲12111ないし12114内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化(車両12100に対する相対速度)を求めることにより、特に車両12100の進行路上にある最も近い立体物で、車両12100と略同じ方向に所定の速度(例えば、0km/h以上)で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ12051は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御(追従停止制御も含む)や自動加速制御(追従発進制御も含む)等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、2輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ12051は、車両12100の周辺の障害物を、車両12100のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ12051は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ12061や表示部12062を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット12010を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
撮像部12101ないし12104の少なくとも1つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ12051は、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部12101ないし12104の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ12051が、撮像部12101ないし12104の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部12052は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部12062を制御する。また、音声画像出力部12052は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部12062を制御してもよい。
以上、本開示に係る技術が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部12031に適用され得る。具体的には、図1のCMOSイメージセンサ10は、撮像部12031に適用することができる。撮像部12031に本開示に係る技術を適用することにより、位相差検出に基づいたオートフォーカス制御を行うことができる。また、本開示に係る技術では、例えば、より好適な位相差画素を設けて、より高い位相差検出精度を実現することができるため、より高品質な撮像画像を取得して、より正確に歩行者等の障害物を認識することが可能になる。
なお、本技術の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本技術の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
また、本技術は、以下のような構成をとることができる。
(1)
複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、
前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、
前記複数の画素のうち、1つのオンチップレンズに対して形成された複数の光電変換素子のいずれかを含んでいる位相差検出用の画素は、隣接した同色の画素であって、隣接した異なる画素群に含まれている
固体撮像装置。
(2)
前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
前記位相差検出用の画素は、前記画素群を構成する4画素のうちの1画素として構成される
前記(1)に記載の固体撮像装置。
(3)
前記位相差検出用の画素は、左右に隣接した画素群にそれぞれ含まれる2×1の2画素として、第1の位相差画素と第2の位相差画素から構成される
前記(2)に記載の固体撮像装置。
(4)
前記画素群に含まれる画素は、画素ごとに露光時間が調整され、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素とは、同一の露光時間に調整される
前記(3)に記載の固体撮像装置。
(5)
前記画素群は、近傍の画素で画素回路を共有した共有画素として構成され、浮遊拡散領域を共有している
前記(1)に記載の固体撮像装置。
(6)
前記画素アレイ部において、
前記複数の画素は、行列状に配列され、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、行方向と列方向に所定の画素間隔で、規則的に配列される
前記(4)又は(5)に記載の固体撮像装置。
(7)
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、前記画素群を構成する4画素のうち、同一の露光時間に調整された画素が複数存在する画素として構成される
前記(4)ないし(6)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(8)
前記画素群を構成する4画素は、第1の露光時間に調整された第1の画素と、前記第1の露光時間よりも短い第2の露光時間に調整された第2の画素と、前記第1の露光時間と前記第2の露光時間との間の第3の露光時間に調整された第3の画素を含み、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、前記第3の画素が複数存在する場合に、前記第3の画素として構成される
前記(7)に記載の固体撮像装置。
(9)
前記画素群を構成する4画素は、第1の露光時間に調整された第1の画素と、前記第1の露光時間よりも短い第2の露光時間に調整された第2の画素を含み、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、前記第1の画素が複数存在する場合に、前記第1の画素として構成される
前記(7)に記載の固体撮像装置。
(10)
前記位相差検出用の画素は、第1の位相差画素と第2の位相差画素から構成され、
前記第1の位相差画素の光電変換素子に蓄積された電荷と、前記第2の位相差画素の光電変換素子に蓄積された電荷は、同時に異なる浮遊拡散領域に転送される
前記(5)に記載の固体撮像装置。
(11)
前記第1の位相差画素のコンタクトと、前記第2の位相差画素のコンタクトとは、同一の駆動線に電気的に接続される
前記(10)に記載の固体撮像装置。
(12)
前記画素アレイ部において、
前記複数の画素は、行列状に配列され、
前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
前記画素群を構成する4画素のコンタクトは、行方向と列方向で、同一の接続形態となるように配置され、
前記第1の位相差画素を含む第1の画素群を構成する4画素のコンタクトは、同一の行の他の画素群を構成する4画素のコンタクトに対応して、各画素の露光時間ごとに同一の駆動線に接続されるように配置される
前記(10)又は(11)に記載の固体撮像装置。
(13)
前記画素アレイ部において、
前記複数の画素は、行列状に配列され、
前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
前記画素群を構成する4画素のコンタクトは、行方向と列方向で、同色の画素群と同一の接続形態で配置され、
前記第1の位相差画素を含む第1の画素群を構成する4画素のコンタクトは、同一の行の他の同色の画素群を構成する4画素のコンタクトに対応して、各画素の露光時間ごとに同一の駆動線に接続されるように配置される
前記(10)又は(11)に記載の固体撮像装置。
(14)
前記複数の画素は、赤(R)、緑(G)、及び青(B)のカラーフィルタに応じて、赤(R)の画素、緑(G)の画素、及び青(B)の画素を含み、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、赤(R)の画素、緑(G)の画素、又は青(B)の画素のいずれかの画素として構成される
前記(4)ないし(13)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(15)
前記配列パターンは、ベイヤー配列である
前記(14)に記載の固体撮像装置。
(16)
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、緑(G)の画素として構成され、
前記第1の位相差画素は、青(B)の画素群に含まれ、前記第2の位相差画素は、緑(G)の画素群に含まれ、
製造時に、前記緑(G)のカラーフィルタ、前記赤(R)のカラーフィルタ、前記青(B)のカラーフィルタの順に形成されている
前記(15)に記載の固体撮像装置。
(17)
複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、
前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、
前記画素群に含まれる画素は、画素ごとに露光時間が調整され、
前記配列パターンに配列される複数の画素群のうち、特定の画素群は、位相差検出用の画素として、光の入射側の一部を遮光した遮光画素を含んでいる
固体撮像装置。
(18)
前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
前記特定の画素群は、同一の露光時間に調整された同一の対角線上の2画素が、光の入射側から見た場合に、左側の領域が遮光された画素である第1の遮光画素、又は右側の領域が遮光された画素である第2の遮光画素として構成される
前記(17)に記載の固体撮像装置。
(19)
前記画素アレイ部において、
前記複数の画素は、行列状に配列され、
前記第1の遮光画素を含む第1の画素群は、行方向に所定の画素間隔で、規則的に配列され、
前記第2の遮光画素を含む第2の画素群は、行方向に所定の画素間隔で、規則的に配列され、
前記第1の画素群と前記第2の画素群とは、列方向に所定の画素間隔で、規則的に配列される
前記(18)に記載の固体撮像装置。
(20)
複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、
前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、
前記複数の画素のうち、1つのオンチップレンズに対して形成された複数の光電変換素子のいずれかを含んでいる位相差検出用の画素は、隣接した同色の画素であって、隣接した異なる画素群に含まれている
固体撮像装置を含む撮像部と、
前記位相差検出用の画素の出力から得られる位相差検出の結果に基づいて、オートフォーカス制御を行う制御部と
を備える電子機器。
10 CMOSイメージセンサ, 11 画素アレイ部, 12 垂直駆動回路, 21 画素駆動線, 22 垂直信号線, 100 画素, 100L,100R 位相差画素, 100L 左遮光画素, 100R 右遮光画素, 111 オンチップレンズ, 112 フォトダイオード, 113 カラーフィルタ, 114 遮光部, 200 画素群, 210 比較器, 220 DAC, 1000 電子機器, 1012 撮像部, 1014 制御部, 1020 駆動部, 12031 撮像部

Claims (20)

  1. 複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、
    前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、
    前記複数の画素のうち、1つのオンチップレンズに対して形成された複数の光電変換素子のいずれかを含んでいる位相差検出用の画素は、隣接した同色の画素であって、隣接した異なる画素群に含まれている
    固体撮像装置。
  2. 前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
    前記位相差検出用の画素は、前記画素群を構成する4画素のうちの1画素として構成される
    請求項1に記載の固体撮像装置。
  3. 前記位相差検出用の画素は、左右に隣接した画素群にそれぞれ含まれる2×1の2画素として、第1の位相差画素と第2の位相差画素から構成される
    請求項2に記載の固体撮像装置。
  4. 前記画素群に含まれる画素は、画素ごとに露光時間が調整され、
    前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素とは、同一の露光時間に調整される
    請求項3に記載の固体撮像装置。
  5. 前記画素群は、近傍の画素で画素回路を共有した共有画素として構成され、浮遊拡散領域を共有している
    請求項1に記載の固体撮像装置。
  6. 前記画素アレイ部において、
    前記複数の画素は、行列状に配列され、
    前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、行方向と列方向に所定の画素間隔で、規則的に配列される
    請求項4に記載の固体撮像装置。
  7. 前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、前記画素群を構成する4画素のうち、同一の露光時間に調整された画素が複数存在する画素として構成される
    請求項4に記載の固体撮像装置。
  8. 前記画素群を構成する4画素は、第1の露光時間に調整された第1の画素と、前記第1の露光時間よりも短い第2の露光時間に調整された第2の画素と、前記第1の露光時間と前記第2の露光時間との間の第3の露光時間に調整された第3の画素を含み、
    前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、前記第3の画素が複数存在する場合に、前記第3の画素として構成される
    請求項7に記載の固体撮像装置。
  9. 前記画素群を構成する4画素は、第1の露光時間に調整された第1の画素と、前記第1の露光時間よりも短い第2の露光時間に調整された第2の画素を含み、
    前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、前記第1の画素が複数存在する場合に、前記第1の画素として構成される
    請求項7に記載の固体撮像装置。
  10. 前記位相差検出用の画素は、第1の位相差画素と第2の位相差画素から構成され、
    前記第1の位相差画素の光電変換素子に蓄積された電荷と、前記第2の位相差画素の光電変換素子に蓄積された電荷は、同時に異なる浮遊拡散領域に転送される
    請求項5に記載の固体撮像装置。
  11. 前記第1の位相差画素のコンタクトと、前記第2の位相差画素のコンタクトとは、同一の駆動線に電気的に接続される
    請求項10に記載の固体撮像装置。
  12. 前記画素アレイ部において、
    前記複数の画素は、行列状に配列され、
    前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
    前記画素群を構成する4画素のコンタクトは、行方向と列方向で、同一の接続形態となるように配置され、
    前記第1の位相差画素を含む第1の画素群を構成する4画素のコンタクトは、同一の行の他の画素群を構成する4画素のコンタクトに対応して、各画素の露光時間ごとに同一の駆動線に接続されるように配置される
    請求項11に記載の固体撮像装置。
  13. 前記画素アレイ部において、
    前記複数の画素は、行列状に配列され、
    前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
    前記画素群を構成する4画素のコンタクトは、行方向と列方向で、同色の画素群と同一の接続形態で配置され、
    前記第1の位相差画素を含む第1の画素群を構成する4画素のコンタクトは、同一の行の他の同色の画素群を構成する4画素のコンタクトに対応して、各画素の露光時間ごとに同一の駆動線に接続されるように配置される
    請求項11に記載の固体撮像装置。
  14. 前記複数の画素は、赤(R)、緑(G)、及び青(B)のカラーフィルタに応じて、赤(R)の画素、緑(G)の画素、及び青(B)の画素を含み、
    前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、赤(R)の画素、緑(G)の画素、又は青(B)の画素のいずれかの画素として構成される
    請求項4に記載の固体撮像装置。
  15. 前記配列パターンは、ベイヤー配列である
    請求項14に記載の固体撮像装置。
  16. 前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、緑(G)の画素として構成され、
    前記第1の位相差画素は、青(B)の画素群に含まれ、前記第2の位相差画素は、緑(G)の画素群に含まれ、
    製造時に、前記緑(G)のカラーフィルタ、前記赤(R)のカラーフィルタ、前記青(B)のカラーフィルタの順に形成されている
    請求項15に記載の固体撮像装置。
  17. 複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、
    前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、
    前記画素群に含まれる画素は、画素ごとに露光時間が調整され、
    前記配列パターンに配列される複数の画素群のうち、特定の画素群は、位相差検出用の画素として、光の入射側の一部を遮光した遮光画素を含んでいる
    固体撮像装置。
  18. 前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
    前記特定の画素群は、同一の露光時間に調整された同一の対角線上の2画素が、光の入射側から見た場合に、左側の領域が遮光された画素である第1の遮光画素、又は右側の領域が遮光された画素である第2の遮光画素として構成される
    請求項17に記載の固体撮像装置。
  19. 前記画素アレイ部において、
    前記複数の画素は、行列状に配列され、
    前記第1の遮光画素を含む第1の画素群は、行方向に所定の画素間隔で、規則的に配列され、
    前記第2の遮光画素を含む第2の画素群は、行方向に所定の画素間隔で、規則的に配列され、
    前記第1の画素群と前記第2の画素群とは、列方向に所定の画素間隔で、規則的に配列される
    請求項18に記載の固体撮像装置。
  20. 複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、
    前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、
    前記複数の画素のうち、1つのオンチップレンズに対して形成された複数の光電変換素子のいずれかを含んでいる位相差検出用の画素は、隣接した同色の画素であって、隣接した異なる画素群に含まれている
    固体撮像装置を含む撮像部と、
    前記位相差検出用の画素の出力から得られる位相差検出の結果に基づいて、オートフォーカス制御を行う制御部と
    を備える電子機器。
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