JP2019029985A - 固体撮像装置、及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
Description
2.本技術の実施の形態
(1)第1の実施の形態:2×1OCL構造
(2)第2の実施の形態:遮光画素の構造
(3)第3の実施の形態:CFの製造方法
(4)第4の実施の形態:他の構造の例
3.変形例
4.電子機器の構成
5.固体撮像装置の使用例
6.移動体への応用例
図1は、本開示に係る技術を適用した固体撮像装置の一実施の形態の構成例を示すブロック図である。
図2は、図1の画素アレイ部11に配列される複数の画素100の平面レイアウトを示す図である。
図4は、図2の画素アレイ部11に配列される複数の画素100の構造を示す断面図である。
次に、図5ないし図7を参照しながら、画素アレイ部11に配列された画素群200に含まれる画素100の読み出しの例を説明する。
次に、図8ないし図10を参照して、相関二重サンプリング(CDS)を用いたカラムAD方式の詳細について説明する。
ここで、図9を参照して、図8に示した第2の期間(時刻t12ないし時刻16)の画素100の駆動動作の詳細について説明する。
次に、図10を参照して、図8に示した第3の期間(時刻t16ないし時刻t19)の画素100の駆動動作の詳細について説明する。
次に、図11ないし図15を参照して、図8のタイミングチャートに示した駆動を行うための画素100のコンタクトの配置の例について説明する。
次に、図13ないし図15を参照して、本技術を適用したコンタクトCの配置の例の詳細を説明する。
図13は、駆動線が2本の場合のコンタクトCの配置例を示す図である。
図14は、駆動線が3本の場合のコンタクトCの配置例を示す図である。
図16は、図1の画素アレイ部11に配列される複数の画素100の平面レイアウトを示す図である。
図18は、図16の画素アレイ部11に配列される複数の画素100の構造を示す断面図である。
図21は、図1の画素アレイ部11に配列される複数の画素100の他の構造を示す図である。
図22は、図1の画素アレイ部11に配列される複数の画素100のさらに他の構造を示す図である。
次に、図23及び図24を参照しながら、図21に示した2×2OCL構造を採用した場合における画素100の読み出しの例を説明する。
上述した説明では、露光時間として、3露光、すなわち、T1, T2, T3の3段階での調整が行われ、長蓄の画素信号と、中蓄の画素信号と、短蓄の画素信号が得られる場合を説明したが、露光時間の調整の段数は、3段階に限らず、2段階以上であればよい。例えば、2露光、すなわち、T1, T3の2段階での調整が行われ、長蓄の画素信号と、短蓄の画素信号が得られるようにしてもよい。
上述した第1の実施の形態では、図2の画素アレイ部11において、2×1OCL構造として、位相差画素100Lと位相差画素100Rが、隣接するB画素群200とG画素群200に含まれる場合を例示したが、他の画素群200に含まれるようにしてもよい。例えば、位相差画素100Lと位相差画素100Rは、隣接するB画素群200とG画素群200の他に、隣接するR画素群200とG画素群200に含めることができる。
なお、上述した説明では、2×1OCL構造、2×2OCL構造、又は2×1OCL×2構造として、左右に隣接した画素群200にそれぞれ含まれる2×1の2画素である位相差画素100Lと、位相差画素100Rについて説明したが、位相差画素として構成される2画素は、行方向で左右に隣接した画素100の組み合わせに限定されるものではない。
また、上述した説明では、遮光画素として、左側の領域が遮光された画素である左遮光画素100Lと、右側の領域が遮光された画素である右遮光画素100Rについて説明したが、遮光画素は、同一の方向に遮光されていればよく、遮光領域が左右対称の遮光画素の組み合わせに限定されるものではない。例えば、遮光画素としては、遮光領域が上下対称の遮光画素として、上側の領域が遮光された画素である上遮光画素100Uと、下側の領域が遮光された画素である下遮光画素100Dとの組み合わせを採用することができる。
また、上述した実施の形態では、画素が2次元状に配列されてなるCMOSイメージセンサに適用した場合を例に挙げて説明したが、本技術はCMOSイメージセンサへの適用に限られるものではなく、例えば、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサなど、画素が2次元状に配列された固体撮像装置全般に対して適用可能である。
複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、
前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、
前記複数の画素のうち、1つのオンチップレンズに対して形成された複数の光電変換素子のいずれかを含んでいる位相差検出用の画素は、隣接した同色の画素であって、隣接した異なる画素群に含まれている
固体撮像装置。
(2)
前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
前記位相差検出用の画素は、前記画素群を構成する4画素のうちの1画素として構成される
前記(1)に記載の固体撮像装置。
(3)
前記位相差検出用の画素は、左右に隣接した画素群にそれぞれ含まれる2×1の2画素として、第1の位相差画素と第2の位相差画素から構成される
前記(2)に記載の固体撮像装置。
(4)
前記画素群に含まれる画素は、画素ごとに露光時間が調整され、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素とは、同一の露光時間に調整される
前記(3)に記載の固体撮像装置。
(5)
前記画素群は、近傍の画素で画素回路を共有した共有画素として構成され、浮遊拡散領域を共有している
前記(1)に記載の固体撮像装置。
(6)
前記画素アレイ部において、
前記複数の画素は、行列状に配列され、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、行方向と列方向に所定の画素間隔で、規則的に配列される
前記(4)又は(5)に記載の固体撮像装置。
(7)
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、前記画素群を構成する4画素のうち、同一の露光時間に調整された画素が複数存在する画素として構成される
前記(4)ないし(6)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(8)
前記画素群を構成する4画素は、第1の露光時間に調整された第1の画素と、前記第1の露光時間よりも短い第2の露光時間に調整された第2の画素と、前記第1の露光時間と前記第2の露光時間との間の第3の露光時間に調整された第3の画素を含み、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、前記第3の画素が複数存在する場合に、前記第3の画素として構成される
前記(7)に記載の固体撮像装置。
(9)
前記画素群を構成する4画素は、第1の露光時間に調整された第1の画素と、前記第1の露光時間よりも短い第2の露光時間に調整された第2の画素を含み、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、前記第1の画素が複数存在する場合に、前記第1の画素として構成される
前記(7)に記載の固体撮像装置。
(10)
前記位相差検出用の画素は、第1の位相差画素と第2の位相差画素から構成され、
前記第1の位相差画素の光電変換素子に蓄積された電荷と、前記第2の位相差画素の光電変換素子に蓄積された電荷は、同時に異なる浮遊拡散領域に転送される
前記(5)に記載の固体撮像装置。
(11)
前記第1の位相差画素のコンタクトと、前記第2の位相差画素のコンタクトとは、同一の駆動線に電気的に接続される
前記(10)に記載の固体撮像装置。
(12)
前記画素アレイ部において、
前記複数の画素は、行列状に配列され、
前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
前記画素群を構成する4画素のコンタクトは、行方向と列方向で、同一の接続形態となるように配置され、
前記第1の位相差画素を含む第1の画素群を構成する4画素のコンタクトは、同一の行の他の画素群を構成する4画素のコンタクトに対応して、各画素の露光時間ごとに同一の駆動線に接続されるように配置される
前記(10)又は(11)に記載の固体撮像装置。
(13)
前記画素アレイ部において、
前記複数の画素は、行列状に配列され、
前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
前記画素群を構成する4画素のコンタクトは、行方向と列方向で、同色の画素群と同一の接続形態で配置され、
前記第1の位相差画素を含む第1の画素群を構成する4画素のコンタクトは、同一の行の他の同色の画素群を構成する4画素のコンタクトに対応して、各画素の露光時間ごとに同一の駆動線に接続されるように配置される
前記(10)又は(11)に記載の固体撮像装置。
(14)
前記複数の画素は、赤(R)、緑(G)、及び青(B)のカラーフィルタに応じて、赤(R)の画素、緑(G)の画素、及び青(B)の画素を含み、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、赤(R)の画素、緑(G)の画素、又は青(B)の画素のいずれかの画素として構成される
前記(4)ないし(13)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(15)
前記配列パターンは、ベイヤー配列である
前記(14)に記載の固体撮像装置。
(16)
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、緑(G)の画素として構成され、
前記第1の位相差画素は、青(B)の画素群に含まれ、前記第2の位相差画素は、緑(G)の画素群に含まれ、
製造時に、前記緑(G)のカラーフィルタ、前記赤(R)のカラーフィルタ、前記青(B)のカラーフィルタの順に形成されている
前記(15)に記載の固体撮像装置。
(17)
複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、
前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、
前記画素群に含まれる画素は、画素ごとに露光時間が調整され、
前記配列パターンに配列される複数の画素群のうち、特定の画素群は、位相差検出用の画素として、光の入射側の一部を遮光した遮光画素を含んでいる
固体撮像装置。
(18)
前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
前記特定の画素群は、同一の露光時間に調整された同一の対角線上の2画素が、光の入射側から見た場合に、左側の領域が遮光された画素である第1の遮光画素、又は右側の領域が遮光された画素である第2の遮光画素として構成される
前記(17)に記載の固体撮像装置。
(19)
前記画素アレイ部において、
前記複数の画素は、行列状に配列され、
前記第1の遮光画素を含む第1の画素群は、行方向に所定の画素間隔で、規則的に配列され、
前記第2の遮光画素を含む第2の画素群は、行方向に所定の画素間隔で、規則的に配列され、
前記第1の画素群と前記第2の画素群とは、列方向に所定の画素間隔で、規則的に配列される
前記(18)に記載の固体撮像装置。
(20)
複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、
前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、
前記複数の画素のうち、1つのオンチップレンズに対して形成された複数の光電変換素子のいずれかを含んでいる位相差検出用の画素は、隣接した同色の画素であって、隣接した異なる画素群に含まれている
固体撮像装置を含む撮像部と、
前記位相差検出用の画素の出力から得られる位相差検出の結果に基づいて、オートフォーカス制御を行う制御部と
を備える電子機器。
Claims (20)
- 複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、
前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、
前記複数の画素のうち、1つのオンチップレンズに対して形成された複数の光電変換素子のいずれかを含んでいる位相差検出用の画素は、隣接した同色の画素であって、隣接した異なる画素群に含まれている
固体撮像装置。 - 前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
前記位相差検出用の画素は、前記画素群を構成する4画素のうちの1画素として構成される
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記位相差検出用の画素は、左右に隣接した画素群にそれぞれ含まれる2×1の2画素として、第1の位相差画素と第2の位相差画素から構成される
請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記画素群に含まれる画素は、画素ごとに露光時間が調整され、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素とは、同一の露光時間に調整される
請求項3に記載の固体撮像装置。 - 前記画素群は、近傍の画素で画素回路を共有した共有画素として構成され、浮遊拡散領域を共有している
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記画素アレイ部において、
前記複数の画素は、行列状に配列され、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、行方向と列方向に所定の画素間隔で、規則的に配列される
請求項4に記載の固体撮像装置。 - 前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、前記画素群を構成する4画素のうち、同一の露光時間に調整された画素が複数存在する画素として構成される
請求項4に記載の固体撮像装置。 - 前記画素群を構成する4画素は、第1の露光時間に調整された第1の画素と、前記第1の露光時間よりも短い第2の露光時間に調整された第2の画素と、前記第1の露光時間と前記第2の露光時間との間の第3の露光時間に調整された第3の画素を含み、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、前記第3の画素が複数存在する場合に、前記第3の画素として構成される
請求項7に記載の固体撮像装置。 - 前記画素群を構成する4画素は、第1の露光時間に調整された第1の画素と、前記第1の露光時間よりも短い第2の露光時間に調整された第2の画素を含み、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、前記第1の画素が複数存在する場合に、前記第1の画素として構成される
請求項7に記載の固体撮像装置。 - 前記位相差検出用の画素は、第1の位相差画素と第2の位相差画素から構成され、
前記第1の位相差画素の光電変換素子に蓄積された電荷と、前記第2の位相差画素の光電変換素子に蓄積された電荷は、同時に異なる浮遊拡散領域に転送される
請求項5に記載の固体撮像装置。 - 前記第1の位相差画素のコンタクトと、前記第2の位相差画素のコンタクトとは、同一の駆動線に電気的に接続される
請求項10に記載の固体撮像装置。 - 前記画素アレイ部において、
前記複数の画素は、行列状に配列され、
前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
前記画素群を構成する4画素のコンタクトは、行方向と列方向で、同一の接続形態となるように配置され、
前記第1の位相差画素を含む第1の画素群を構成する4画素のコンタクトは、同一の行の他の画素群を構成する4画素のコンタクトに対応して、各画素の露光時間ごとに同一の駆動線に接続されるように配置される
請求項11に記載の固体撮像装置。 - 前記画素アレイ部において、
前記複数の画素は、行列状に配列され、
前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
前記画素群を構成する4画素のコンタクトは、行方向と列方向で、同色の画素群と同一の接続形態で配置され、
前記第1の位相差画素を含む第1の画素群を構成する4画素のコンタクトは、同一の行の他の同色の画素群を構成する4画素のコンタクトに対応して、各画素の露光時間ごとに同一の駆動線に接続されるように配置される
請求項11に記載の固体撮像装置。 - 前記複数の画素は、赤(R)、緑(G)、及び青(B)のカラーフィルタに応じて、赤(R)の画素、緑(G)の画素、及び青(B)の画素を含み、
前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、赤(R)の画素、緑(G)の画素、又は青(B)の画素のいずれかの画素として構成される
請求項4に記載の固体撮像装置。 - 前記配列パターンは、ベイヤー配列である
請求項14に記載の固体撮像装置。 - 前記第1の位相差画素と前記第2の位相差画素は、緑(G)の画素として構成され、
前記第1の位相差画素は、青(B)の画素群に含まれ、前記第2の位相差画素は、緑(G)の画素群に含まれ、
製造時に、前記緑(G)のカラーフィルタ、前記赤(R)のカラーフィルタ、前記青(B)のカラーフィルタの順に形成されている
請求項15に記載の固体撮像装置。 - 複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、
前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、
前記画素群に含まれる画素は、画素ごとに露光時間が調整され、
前記配列パターンに配列される複数の画素群のうち、特定の画素群は、位相差検出用の画素として、光の入射側の一部を遮光した遮光画素を含んでいる
固体撮像装置。 - 前記画素群は、2×2の4画素から構成され、
前記特定の画素群は、同一の露光時間に調整された同一の対角線上の2画素が、光の入射側から見た場合に、左側の領域が遮光された画素である第1の遮光画素、又は右側の領域が遮光された画素である第2の遮光画素として構成される
請求項17に記載の固体撮像装置。 - 前記画素アレイ部において、
前記複数の画素は、行列状に配列され、
前記第1の遮光画素を含む第1の画素群は、行方向に所定の画素間隔で、規則的に配列され、
前記第2の遮光画素を含む第2の画素群は、行方向に所定の画素間隔で、規則的に配列され、
前記第1の画素群と前記第2の画素群とは、列方向に所定の画素間隔で、規則的に配列される
請求項18に記載の固体撮像装置。 - 複数の画素が2次元状に配列された画素アレイ部を備え、
前記画素アレイ部は、近傍の同色の画素を含んで構成される画素群が規則的に配列された配列パターンを有し、
前記複数の画素のうち、1つのオンチップレンズに対して形成された複数の光電変換素子のいずれかを含んでいる位相差検出用の画素は、隣接した同色の画素であって、隣接した異なる画素群に含まれている
固体撮像装置を含む撮像部と、
前記位相差検出用の画素の出力から得られる位相差検出の結果に基づいて、オートフォーカス制御を行う制御部と
を備える電子機器。
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