JP2019029487A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019029487A5 JP2019029487A5 JP2017146802A JP2017146802A JP2019029487A5 JP 2019029487 A5 JP2019029487 A5 JP 2019029487A5 JP 2017146802 A JP2017146802 A JP 2017146802A JP 2017146802 A JP2017146802 A JP 2017146802A JP 2019029487 A5 JP2019029487 A5 JP 2019029487A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- imprint apparatus
- mold
- imprint
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 46
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 2
- 230000008030 elimination Effects 0.000 claims 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017146802A JP7089348B2 (ja) | 2017-07-28 | 2017-07-28 | インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 |
| US16/044,864 US10859912B2 (en) | 2017-07-28 | 2018-07-25 | Imprint apparatus, imprint method, and article manufacturing method |
| KR1020180087717A KR102380121B1 (ko) | 2017-07-28 | 2018-07-27 | 임프린트 장치, 임프린트 방법, 및 물품 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017146802A JP7089348B2 (ja) | 2017-07-28 | 2017-07-28 | インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019029487A JP2019029487A (ja) | 2019-02-21 |
| JP2019029487A5 true JP2019029487A5 (enExample) | 2020-08-27 |
| JP7089348B2 JP7089348B2 (ja) | 2022-06-22 |
Family
ID=65037798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017146802A Active JP7089348B2 (ja) | 2017-07-28 | 2017-07-28 | インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10859912B2 (enExample) |
| JP (1) | JP7089348B2 (enExample) |
| KR (1) | KR102380121B1 (enExample) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102666843B1 (ko) * | 2018-08-31 | 2024-05-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 나노 임프린트용 스탬프 및 이의 제조 방법 |
| TWI771623B (zh) * | 2018-11-08 | 2022-07-21 | 日商佳能股份有限公司 | 壓印裝置和產品製造方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07297119A (ja) * | 1994-04-27 | 1995-11-10 | Nikon Corp | 位置検出方法 |
| JP4579376B2 (ja) * | 2000-06-19 | 2010-11-10 | キヤノン株式会社 | 露光装置およびデバイス製造方法 |
| JP2007501430A (ja) * | 2003-08-04 | 2007-01-25 | マイクロニック レーザー システムズ アクチボラゲット | Psm位置調整方法及び装置 |
| JP2009238777A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-15 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
| JP5235506B2 (ja) * | 2008-06-02 | 2013-07-10 | キヤノン株式会社 | パターン転写装置及びデバイス製造方法 |
| JP2010080630A (ja) * | 2008-09-25 | 2010-04-08 | Canon Inc | 押印装置および物品の製造方法 |
| JP5451450B2 (ja) | 2010-02-24 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及びそのテンプレート並びに物品の製造方法 |
| JP5936373B2 (ja) | 2012-01-31 | 2016-06-22 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント装置の制御方法、及びデバイス製造方法 |
| JP6097704B2 (ja) | 2014-01-06 | 2017-03-15 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
| JP5932859B2 (ja) * | 2014-02-18 | 2016-06-08 | キヤノン株式会社 | 検出装置、インプリント装置、および物品の製造方法 |
| JP5954644B2 (ja) | 2014-10-01 | 2016-07-20 | 大日本印刷株式会社 | インプリント装置、インプリント方法およびインプリント装置の制御方法 |
| JP6604793B2 (ja) * | 2015-09-17 | 2019-11-13 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
| CN109690418B (zh) * | 2016-09-08 | 2021-10-01 | Asml控股股份有限公司 | 包括对装置标记的原位印刷的测量方法以及对应装置 |
-
2017
- 2017-07-28 JP JP2017146802A patent/JP7089348B2/ja active Active
-
2018
- 2018-07-25 US US16/044,864 patent/US10859912B2/en active Active
- 2018-07-27 KR KR1020180087717A patent/KR102380121B1/ko active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9155365B2 (en) | Method for sublimating an image onto a substrate | |
| JP2012164832A5 (enExample) | ||
| JP2007103924A5 (enExample) | ||
| US20100103138A1 (en) | Curved capacitive touch panel and manufacture method thereof | |
| JP2013004744A5 (enExample) | ||
| JP2016213458A5 (enExample) | ||
| WO2014187088A1 (zh) | 显示面板、应用其的显示装置及显示面板的制造方法 | |
| JP2013004537A (ja) | インプリント方法、インプリント装置及び物品の製造方法 | |
| JP2008537804A5 (enExample) | ||
| US20150202653A1 (en) | Magnetic printing apparatus and magnetic printing method | |
| JP2019029487A5 (enExample) | ||
| KR20120080801A (ko) | 패턴화 리타더의 제조방법 | |
| JP2012056093A5 (enExample) | ||
| JP2015115370A5 (enExample) | ||
| JP2011102001A5 (enExample) | ||
| CN104338712B (zh) | 从膜层叠体去除异物的异物去除方法、膜层叠体的制造方法及制造装置 | |
| TW200630760A (en) | Method of forming film pattern, device, method of manufacturing device, electro-optical device, and electronic apparatus | |
| KR101704587B1 (ko) | 복합패턴의 구현방법 및 그 복합패턴이 구현된 시트 | |
| US9753365B2 (en) | Mask plate | |
| ES2595303T3 (es) | Forma de impresión de fotopolímero con tiempo de procesado reducido | |
| KR20180099507A (ko) | 전사 방법, 전사 장치, 및 몰드 | |
| KR102380121B1 (ko) | 임프린트 장치, 임프린트 방법, 및 물품 제조 방법 | |
| KR101394754B1 (ko) | 액정표시장치의 러빙포 에이징 장치 및 이를 이용한 에이징 방법 | |
| KR101474251B1 (ko) | 터치패널 및 이의 제조장치와, 이의 제조방법. | |
| TW201609355A (zh) | 壓印用模具及壓印方法以及線柵偏光元件及其製造方法 |