JP2019027944A5 - - Google Patents
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Description
第２プレート１８ｂの周縁部上には、フォーカスリングＦＲが設けられている。このフォーカスリングＦＲは、被加工物Ｗのエッジ及び静電チャックＥＳＣを囲むように設けられている。フォーカスリングＦＲは、第１部分Ｐ１及び第２部分Ｐ２を有している（図３参照）。第１部分Ｐ１及び第２部分Ｐ２は環状板形状を有している。第２部分Ｐ２は、第１部分Ｐ１上に設けられている。第２部分Ｐ２の内縁Ｐ２ｉは第１部分Ｐ１の内縁Ｐ１ｉの直径よりも大きい直径を有している。被加工物Ｗは、そのエッジ領域が、フォーカスリングＦＲの第１部分Ｐ１上に位置するように、静電チャックＥＳＣ上に載置される。このフォーカスリングＦＲは、シリコン、炭化ケイ素、酸化シリコンといった種々の材料のうち何れかから形成され得る。
続いて、ケース３００内を真空引きする（ステップＳＴ６）。ステップＳＴ６では、まず蓋体３４０によってケース３００内が密閉される。そして、排気ポートを介さえた真空ポンプによってケース３００内を真空引きする。
続いて、傾き補正を行う（ステップＳＴ７）。ステップＳＴ７において、センサ電極１４３が内周面に対面し、センサ電極１６１が上面に対面するように、測定器１００が配置されている。この状態では、第１センサ１０４と内周面との間の距離は１ｍｍである。そのため、距離が１ｍｍのときの計算値による静電容量（第１の所定値）（図１５参照）となるように、第１センサ１０４の測定値（第１の測定値）が補正される。また、測定器１００（第２センサ１０５）のエッジと底板３１１の周縁との間の距離は０ｍｍである。そのため、距離が０ｍｍのときの計算値による静電容量（第１の所定値）（図１６参照）となるように、第２センサ１０５による測定値（第１の測定値）が補正される。
また、一実施形態では、規制部３３０によって規制された測定器１００を回転させることで、容易にセンサ電極１４３，１６１に対面する基準面を変更することができる。
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