JP2019019995A - ループ型ヒートパイプ及びその製造方法 - Google Patents

ループ型ヒートパイプ及びその製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】発熱部と放熱部が同一平面上に存在しない場合でも発熱部から放熱部に容易に熱を輸送することが可能なループ型ヒートパイプを提供する。【解決手段】本ループ型ヒートパイプは、第１の作動流体を気化させる第１の蒸発器１１０、前記第１の作動流体を液化する第１の凝縮器１２０、前記第１の蒸発器と前記第１の凝縮器とを接続する第１の液管１４０、及び前記第１の蒸発器と前記第１の凝縮器とを接続し、前記第１の液管と共に第１のループを形成する第１の蒸気管１３０、を有する第１のループ型ヒートパイプ１０と、前記第１のループと第２のループとは互いに独立した、第２のループ型ヒートパイプ２０を有し、前記第１の凝縮器と第２の蒸発器２１０とを連結する連結部３０と、を有し、前記第１のループ型ヒートパイプと前記第２のループ型ヒートパイプと前記連結部は、金属により一体に形成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、ループ型ヒートパイプ及びその製造方法に関する。
電子機器に搭載されるＣＰＵ（Central Processing Unit）等の発熱部品を冷却するデバイスとして、ヒートパイプが知られている。ヒートパイプは、作動流体の相変化を利用して熱を輸送するデバイスである。
ヒートパイプの一例として、発熱部品の熱により作動流体を気化させる蒸発器と、気化した作動流体を冷却して液化する凝縮器とを備え、蒸発器と凝縮器とがループ状の流路を形成する液管と蒸気管で接続されたループ型ヒートパイプが挙げられる。ループ型ヒートパイプでは、作動流体はループ状の流路を一方向に流れる。このループ型ヒートパイプでは、蒸発器と凝縮器が同じ平面上に形成されている（例えば、特許文献１参照）。
国際公開第２０１５／０８７４５１号
しかしながら、実際の製品では発熱部と放熱部が同じ基板上（同一平面上）に存在するとは限らない。発熱部と放熱部が同じ基板上に存在しない製品において、上記のループ型ヒートパイプを用い、蒸発器を発熱部に取り付け、凝縮器を放熱部に取り付けるためには、蒸気管や液管を曲げる必要がある。しかし、空洞の管を曲げると、管の内側は圧縮され、管の外側は引張られる。このため、曲げた部分の管の内部は閉ざされる方向になり、作動流体が動かなくなる場合があり、発熱部から放熱部に熱を輸送することが困難であった。
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、発熱部と放熱部が同一平面上に存在しない場合でも発熱部から放熱部に容易に熱を輸送することが可能なループ型ヒートパイプを提供することを課題とする。
本ループ型ヒートパイプは、第１の作動流体を気化させる第１の蒸発器、前記第１の作動流体を液化する第１の凝縮器、前記第１の蒸発器と前記第１の凝縮器とを接続する第１の液管、及び前記第１の蒸発器と前記第１の凝縮器とを接続し、前記第１の液管と共に第１のループを形成する第１の蒸気管、を有する第１のループ型ヒートパイプと、第２の作動流体を気化させる第２の蒸発器、前記第２の作動流体を液化する第２の凝縮器、前記第２の蒸発器と前記第２の凝縮器とを接続する第２の液管、及び前記第２の蒸発器と前記第２の凝縮器とを接続し、前記第２の液管と共に第２のループを形成する第２の蒸気管、を有する第２のループ型ヒートパイプと、前記第１の凝縮器と前記第２の蒸発器とを連結する連結部と、を有し、前記第１のループと前記第２のループとは互いに独立しており、前記第１のループ型ヒートパイプと前記第２のループ型ヒートパイプと前記連結部は、金属により一体に形成されていることを要件とする。
開示の技術によれば、発熱部と放熱部が同一平面上に存在しない場合でも発熱部から放熱部に容易に熱を輸送することが可能なループ型ヒートパイプを提供できる。
第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器及びその周囲の断面図である。 図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプを折り曲げて筐体等に取り付けた様子を例示する側面図である。 第１の実施の形態の変形例１に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。 第１の実施の形態の変形例２に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。 第１の実施の形態の変形例３に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。
以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
〈第１の実施の形態〉
［第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの構造］
まず、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの構造について説明する。図１は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。
図１を参照するに、ループ型ヒートパイプ１は、第１のループ型ヒートパイプ１０と、第２のループ型ヒートパイプ２０と、連結部３０とを有する。
第１のループ型ヒートパイプ１０は、蒸発器１１０と、凝縮器１２０と、蒸気管１３０と、液管１４０とを有する。第１のループ型ヒートパイプ１０において、蒸発器１１０は、作動流体Ｃ１を気化させて蒸気Ｃｖ１を生成する機能を有する。蒸発器１１０の内部には、例えば、ウィック（図示せず）が収容されている。ウィックは、例えば、多孔質性の焼結金属や焼結樹脂であって、液管１４０寄りのウィックに液相の作動流体Ｃ１が浸透していることが好ましい。これにより、液相の作動流体Ｃ１にウィックから毛細管力が作用し、その毛細管力が作動流体Ｃ１の蒸気Ｃｖ１に対抗するので、液相の作動流体Ｃ１は蒸気Ｃｖ１が蒸気管１３０から液管１４０に逆流することを防止する逆止弁として機能することができる。
凝縮器１２０は、作動流体Ｃ１の蒸気Ｃｖ１を液化させる機能を有する。蒸発器１１０と凝縮器１２０は、蒸気管１３０及び液管１４０により接続されており、蒸気管１３０及び液管１４０によって作動流体Ｃ１又は蒸気Ｃｖ１が流れるループである流路１５０が形成されている。蒸気管１３０の幅Ｗ１は、例えば、８ｍｍ程度とすることができる。又、液管１４０の幅Ｗ２は、例えば、６ｍｍ程度とすることができる。
図２は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器及びその周囲の断面図である。図１及び図２に示すように、蒸発器１１０には、例えば４つの貫通孔１１０ｘが形成されている。蒸発器１１０に形成された各貫通孔１１０ｘと回路基板５００に形成された各貫通孔５００ｘにボルト５５０を挿入し、回路基板５００の下面側からナット５６０で止めることにより、蒸発器１１０と回路基板５００とが固定される。
回路基板５００には、例えば、ＣＰＵ等の発熱部品５２０がバンプ５１０により実装され、発熱部品５２０の上面が蒸発器１１０の下面と密着する。蒸発器１１０内の作動流体Ｃ１は、発熱部品５２０で発生した熱により気化し、蒸気Ｃｖ１が生成される。
図１に戻り、第２のループ型ヒートパイプ２０は、蒸発器２１０と、凝縮器２２０と、蒸気管２３０と、液管２４０とを有する。第２のループ型ヒートパイプ２０において、蒸発器２１０は、作動流体Ｃ２を気化させて蒸気Ｃｖ２を生成する機能を有する。蒸発器２１０の内部には、例えば、ウィック（図示せず）が収容されている。ウィックは、例えば、多孔質性の焼結金属や焼結樹脂であって、液管２４０寄りのウィックに液相の作動流体Ｃ２が浸透していることが好ましい。これにより、液相の作動流体Ｃ２にウィックから毛細管力が作用し、その毛細管力が作動流体Ｃ２の蒸気Ｃｖ２に対抗するので、液相の作動流体Ｃ２は蒸気Ｃｖ２が蒸気管２３０から液管２４０に逆流することを防止する逆止弁として機能することができる。
凝縮器２２０は、作動流体Ｃ２の蒸気Ｃｖ２を液化させる機能を有する。蒸発器２１０と凝縮器２２０は、蒸気管２３０及び液管２４０により接続されており、蒸気管２３０及び液管２４０によって作動流体Ｃ２又は蒸気Ｃｖ２が流れるループである流路２５０が形成されている。蒸気管２３０の幅Ｗ３は、例えば、８ｍｍ程度とすることができる。又、液管２４０の幅Ｗ４は、例えば、６ｍｍ程度とすることができる。
但し、第１のループ型ヒートパイプ１０と第２のループ型ヒートパイプ２０とは、同一の形状である必要はない。
第１のループ型ヒートパイプ１０の凝縮器１２０と、第２のループ型ヒートパイプ２０の少なくとも蒸発器２１０は、連結部３０により連結されている。図１の例では、蒸発器２１０、蒸気管２３０の一部、及び液管２４０の一部と、凝縮器１２０とが、連結部３０により連結されている。
第１のループ型ヒートパイプ１０と第２のループ型ヒートパイプ２０と連結部３０は、金属により一体に形成されている。一体形成のため、第１のループ型ヒートパイプ１０の凝縮器１２０と連結部３０との境界、及び連結部３０と第２のループ型ヒートパイプ２０の蒸発器２１０との境界を明確に区分する必要はない。
第１のループ型ヒートパイプ１０において、作動流体Ｃ１の種類は特に限定されないが、蒸発潜熱によって発熱部品５２０を効率的に冷却するために、蒸気圧が高く、かつ蒸発潜熱が大きい流体を使用することが好ましい。そのような流体としては、例えば、アンモニア、水、フロン、アルコール、及びアセトンを挙げることができる。
蒸発器１１０に生成された蒸気Ｃｖは、蒸気管１３０を通って凝縮器１２０に導かれ、凝縮器１２０において液化する。これにより、発熱部品５２０で発生した熱が凝縮器１２０に移動し、発熱部品５２０の温度上昇が抑制される。凝縮器１２０で液化した作動流体Ｃ１は、液管１４０を通って蒸発器１１０に導かれる。
第２のループ型ヒートパイプ２０において、作動流体Ｃ２は、例えば、作動流体Ｃ１よりも飽和蒸気圧の低い液体が選定されている。作動流体Ｃ２の種類は特に限定されないが、例えば、作動流体Ｃ１が水であれば、水よりも飽和蒸気圧の低いエタノールを作動流体Ｃ２として用いることができる。
第１のループ型ヒートパイプ１０の凝縮器１２０に移動した熱は、連結部３０を経由して、第２のループ型ヒートパイプ２０の蒸発器２１０に伝わる。蒸発器２１０に伝わった熱により、蒸発器２１０内の作動流体Ｃ２から蒸気Ｃｖ２が生成され、蒸気Ｃｖ２は蒸気管２３０を通って凝縮器２２０に導かれ、凝縮器２２０において液化する。蒸発器１１０、凝縮器１２０、蒸発器２１０、及び凝縮器２２０の温度については、蒸発器１１０＞凝縮器１２０＞蒸発器２１０＞凝縮器２２０となる。
なお、以上の例では、第２のループ型ヒートパイプ２０を作動させるために、作動流体Ｃ２として作動流体Ｃ１よりも飽和蒸気圧の低い液体を選定した。しかし、これには限定されず、第２のループ型ヒートパイプ２０を作動させるために、他の方法を用いてもよい。例えば、作動流体Ｃ１と作動流体Ｃ２として同一種類の液体を用い、第２のループ型ヒートパイプ２０の流路２５０内の減圧値を、第１のループ型ヒートパイプ１０の流路１５０内の減圧値より小さくしてもよい。この場合も、第２のループ型ヒートパイプ２０を作動させることができる。
図３は、図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。図３に示すように、第１のループ型ヒートパイプ１０の蒸発器１１０、凝縮器１２０、蒸気管１３０、及び液管１４０、第２のループ型ヒートパイプ２０の蒸発器２１０、凝縮器２２０、蒸気管２３０、及び液管２４０、並びに連結部３０は、例えば、金属層１１、１２、１３、１４、１５、及び１６の６層が順次積層された一体構造とすることができる。但し、金属層の積層数は限定されず、最低３層以上の金属層を積層してあればよい。
金属層１１〜１６は、例えば、熱伝導性に優れた銅層であって、固相接合等により互いに直接接合されている。金属層１１〜１６の各々の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。なお、金属層１１〜１６は銅層には限定されず、ステンレス層やアルミニウム層、マグネシウム合金層等から形成してもよい。
金属層１１及び１６は、金属層１１〜１６の積層体の両外側に位置する最外金属層であり、流路１５０及び２５０の外壁の一部を構成している。又、金属層１１及び１６には、孔や溝は形成されていない。金属層１２〜１５は、最外金属層である金属層１１及び１６に挟まれた中間金属層である。中間金属層は、最低１層以上あればよい。
なお、第１のループ型ヒートパイプ１０の流路１５０と、第２のループ型ヒートパイプ２０の流路２５０とは互いに独立しており、連結はされていない。すなわち、連結部３０には、流路等となる空洞部分は形成されていない。
［第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法］
次に、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法について説明する。図４は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図である。なお、図４は、図３に対応する断面を示している。
まず、図４（ａ）に示す工程では、６枚の金属シートを準備する。そして、２枚の金属シートを図１の外形形状に加工して、金属層１１及び１６を作製する。又、４枚の金属シートを図１の外形形状に加工すると共に、流路１５０や２５０等になる孔を形成し、金属層１２〜１５を作製する。金属シートの加工は、例えば、プレス加工やエッチング加工により行うことができる。金属シートの材料が銅である場合、エッチングには、例えば、塩化第二鉄溶液を用いることができる。
次に、図４（ｂ）に示す工程では、金属層１１〜１６を積層する。具体的には、金属層１１及び１６を最外層とする。そして、最外層の金属層１１及び１６の間に金属層１２〜１５を積層する。そして、金属層１１及び１６の間に金属層１２〜１５が積層された構造体を、加圧及び加熱して固相接合を行う。これにより、隣接する金属層同士が直接接合され、第１のループ型ヒートパイプ１０と、第２のループ型ヒートパイプ２０と、連結部３０とを有するループ型ヒートパイプ１が完成する。その後、真空ポンプ等を用いて液管１４０内及び液管２４０内を排気した後、図示しない注入口から液管１４０内に作動流体Ｃ１を注入し、図示しない注入口から液管２４０内に作動流体Ｃ２を注入し、各々の注入口を封止する。
ここで、固相接合とは、接合対象物同士を溶融させることなく固相（固体）状態のまま加熱して軟化させ、更に加圧して塑性変形を与えて接合する方法である。なお、固相接合によって隣接する金属層同士を良好に接合できるように、金属層１１〜１６の全ての材料を同一にすることが好ましい。
以上は、ループ型ヒートパイプ１を折り曲げる前の構造及び製造方法についての説明であるが、ループ型ヒートパイプ１は、機械的な力を加えることにより、連結部３０の部分で任意の角度で折り曲げることができる。すなわち、蒸発器１１０と凝縮器２２０とが同一平面上に位置しないように、第１のループ型ヒートパイプ１０と第２のループ型ヒートパイプ２０とを連結部３０の部分で折り曲げることができる。折り曲げるタイミングは、図１に示す平面形状のループ型ヒートパイプ１を作製した直後であってもよいが、使用するまでの（発熱部品や筐体等に取り付ける前の）任意のタイミングで折り曲げることができる。
図５は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプを折り曲げて筐体等に取り付けた様子を例示する側面図であり、細部は省略して大略的に描いている。図５（ａ）は、ループ型ヒートパイプ１を連結部３０の部分で略９０度折り曲げた例である。図５（ａ）では、第１のループ型ヒートパイプ１０の蒸発器１１０が回路基板５００に実装された発熱部品５２０に取り付けられ、第２のループ型ヒートパイプ２０の凝縮器２２０が回路基板５００を保持する筐体５９０（金属等からなる放熱部）に取り付けられている。
図５（ｂ）は、ループ型ヒートパイプ１を連結部３０の部分で略１８０度折り曲げた例である。図５（ｂ）では、図５（ａ）と同様に、第１のループ型ヒートパイプ１０の蒸発器１１０が回路基板５００に実装された発熱部品５２０に取り付けられ、第２のループ型ヒートパイプ２０の凝縮器２２０が回路基板５００を保持する筐体５９０に取り付けられている。
このように、ループ型ヒートパイプ１では、発熱部となる電子部品や放熱部となる筐体の配置に合わせて、第１のループ型ヒートパイプ１０と第２のループ型ヒートパイプ２０を連結部３０の部分で適宜な角度で折り曲げることができる。これにより、例えば図５に示すような、発熱部と放熱部が同一平面上に存在しない製品において、発熱部から放熱部に容易に熱を輸送することが可能となる。
又、連結部３０は流路等となる空洞部分を有していないため、折り曲げたことにより熱の輸送が妨げられることはない。なお、連結部３０の幅（図１のＸ方向の長さ）は、折り曲げる角度に応じて任意に設定することができる。例えば、図５（ａ）のように略９０度折り曲げる場合には、連結部３０の幅は比較的狭くてよく、図５（ｂ）のように略１８０度折り曲げる場合には、２カ所で折り曲げるため、連結部３０の幅は比較的広くする必要がある。又、図５（ｂ）のように略１８０度折り曲げる場合には、第１のループ型ヒートパイプ１０と第２のループ型ヒートパイプ２０とが対向する部分の間隔に応じて、連結部３０の幅を変える必要がある。
なお、ループ型ヒートパイプ１を図５（ａ）及び図５（ｂ）に例示した以外の形状に折り曲げてもよい。
〈第１の実施の形態の変形例１〜３〉
第１の実施の形態の変形例１〜３では、連結部の形状が第１の実施の形態と異なる例を示す。なお、第１の実施の形態の変形例１〜３において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
図６は、第１の実施の形態の変形例１に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。図６を参照するに、ループ型ヒートパイプ１Ａは、連結部３０が連結部３０Ａに置換された点が、ループ型ヒートパイプ１（図１参照）と相違する。
連結部３０は、第１のループ型ヒートパイプ１０及び第２のループ型ヒートパイプ２０とＹ方向の長さが略同一であった（図１参照）。これに対し、連結部３０Ａは、第１のループ型ヒートパイプ１０及び第２のループ型ヒートパイプ２０よりもＹ方向の長さが短い。そして、連結部３０Ａは、第１のループ型ヒートパイプ１０の凝縮器１２０のＹ方向の中央部近傍と、第２のループ型ヒートパイプ２０の蒸発器２１０とを連結している。
このように、連結部は、第１のループ型ヒートパイプ１０の凝縮器１２０の一部と、第２のループ型ヒートパイプ２０の蒸発器２１０とを少なくとも連結していればよい。そして、連結部のＹ方向の長さは、ループ型ヒートパイプ全体の強度や折り曲げ易さ等を考慮して適宜決定することができる。
図７は、第１の実施の形態の変形例２に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。図７を参照するに、ループ型ヒートパイプ１Ｂは、断熱部材４０が追加された点が、ループ型ヒートパイプ１Ａ（図６参照）と相違する。
断熱部材４０は、連結部３０Ａの表面（上面、下面、及びＹ方向の１対の側面）を被覆している。断熱部材４０は、例えば、連結部３０Ａの表面に接着されている。断熱部材４０は、連結部３０Ａからの放熱を抑制することが可能な適宜な材料により形成することができる。例えば、断熱部材４０として、アルミニウム等の金属系の材料を用いることができる。又、断熱部材４０として、ウレタンやポリスチレン等の発泡系の材料を用いてもよい。又、断熱部材４０として、グラスウールやロックウール等の繊維系の材料を用いてもよい。
このように、連結部の表面を断熱部材で被覆することで、連結部からの輻射による放熱を防止することが可能となり、第１のループ型ヒートパイプ１０から第２のループ型ヒートパイプ２０へ熱を輸送する機能の低下を抑制できる。
但し、断熱部材は、連結部以外の部分に設けてもよい。例えば、蒸発器１１０及び２１０、並びに凝縮器１２０及び２２０を除いた、第１のループ型ヒートパイプ１０及び第２のループ型ヒートパイプ２０の表面の全体を被覆するように、断熱部材を設けてもよい。
図８は、第１の実施の形態の変形例３に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。図８を参照するに、ループ型ヒートパイプ１Ｃは、スリット５０が追加された点が、ループ型ヒートパイプ１（図１参照）と相違する。
スリット５０は、連結部３０のＹ方向の中央部（蒸発器２１０と接する部分）を除く部分に離散的に設けられている。スリット５０の平面形状は、矩形、円形、楕円形、多角形等の任意の形状として構わない。
このように、連結部の所定位置にスリットを設けることで、連結部のＹ方向の長さを長くして強度を確保すると共に、連結部からの輻射による放熱を防止することが可能となる。その結果、第１のループ型ヒートパイプ１０から第２のループ型ヒートパイプ２０へ熱を輸送する機能の低下を抑制できる。
以上、好ましい実施の形態について詳説したが、上述した実施の形態に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態に種々の変形及び置換を加えることができる。
例えば、各実施の形態及び変形例は適宜組み合わせることができる。例えば、図１に示すループ型ヒートパイプ１や図８に示すループ型ヒートパイプ１Ｃの連結部３０の表面を断熱部材４０で被覆してもよい。
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ ループ型ヒートパイプ
１０ 第１のループ型ヒートパイプ
１１、１２、１３、１４、１５、１６ 金属層
２０ 第２のループ型ヒートパイプ
３０、３０Ａ 連結部
４０ 断熱部材
５０ スリット
１１０、２１０ 蒸発器
１１０ｘ 貫通孔
１２０、２２０ 凝縮器
１３０、２３０ 蒸気管
１４０、２４０ 液管
１５０、２５０ 流路

Claims (9)

  1. 第１の作動流体を気化させる第１の蒸発器、前記第１の作動流体を液化する第１の凝縮器、前記第１の蒸発器と前記第１の凝縮器とを接続する第１の液管、及び前記第１の蒸発器と前記第１の凝縮器とを接続し、前記第１の液管と共に第１のループを形成する第１の蒸気管、を有する第１のループ型ヒートパイプと、
    第２の作動流体を気化させる第２の蒸発器、前記第２の作動流体を液化する第２の凝縮器、前記第２の蒸発器と前記第２の凝縮器とを接続する第２の液管、及び前記第２の蒸発器と前記第２の凝縮器とを接続し、前記第２の液管と共に第２のループを形成する第２の蒸気管、を有する第２のループ型ヒートパイプと、
    前記第１の凝縮器と前記第２の蒸発器とを連結する連結部と、を有し、
    前記第１のループと前記第２のループとは互いに独立しており、
    前記第１のループ型ヒートパイプと前記第２のループ型ヒートパイプと前記連結部は、金属により一体に形成されているループ型ヒートパイプ。
  2. 前記第１のループ型ヒートパイプと前記第２のループ型ヒートパイプと前記連結部は、複数の金属層を積層してなる請求項１に記載のループ型ヒートパイプ。
  3. 前記第２の作動流体は、前記第１の作動流体よりも飽和蒸気圧の低い液体である請求項１又は２に記載のループ型ヒートパイプ。
  4. 前記第１の作動流体と前記第２の作動流体は同一種類の液体であり、
    前記第２のループ内の減圧値は、前記第１のループ内の減圧値よりも小さい請求項１又は２に記載のループ型ヒートパイプ。
  5. 前記第１の蒸発器と前記第２の凝縮器とが同一平面上に位置しないように、前記第１のループ型ヒートパイプと前記第２のループ型ヒートパイプとが前記連結部の部分で折り曲げられている請求項１乃至４の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
  6. 前記連結部の表面を被覆する断熱部材を有する請求項１乃至５の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
  7. 前記連結部にスリットが形成されている請求項１乃至６の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
  8. 第１の作動流体を気化させる第１の蒸発器、前記第１の作動流体を液化する第１の凝縮器、前記第１の蒸発器と前記第１の凝縮器とを接続する第１の液管、及び前記第１の蒸発器と前記第１の凝縮器とを接続し、前記第１の液管と共に第１のループを形成する第１の蒸気管、を有する第１のループ型ヒートパイプと、
    第２の作動流体を気化させる第２の蒸発器、前記第２の作動流体を液化する第２の凝縮器、前記第２の蒸発器と前記第２の凝縮器とを接続する第２の液管、及び前記第２の蒸発器と前記第２の凝縮器とを接続し、前記第２の液管と共に第２のループを形成する第２の蒸気管、を有する第２のループ型ヒートパイプと、
    前記第１の凝縮器と前記第２の蒸発器とを連結する連結部と、を有し、
    前記第１のループと前記第２のループとは互いに独立しており、
    前記第１のループ型ヒートパイプと前記第２のループ型ヒートパイプと前記連結部は、金属により一体に形成されているループ型ヒートパイプの製造方法であって、
    前記第１のループ型ヒートパイプと前記第２のループ型ヒートパイプと前記連結部は、複数の金属層を積層してなり、
    前記金属層を積層する工程は、
    複数の金属シートを各々所定形状に加工して金属層を形成する工程と、
    所定形状に加工された各々の前記金属層を固相接合により互いに直接接合する工程と、を含むループ型ヒートパイプの製造方法。
  9. 前記第１の蒸発器と前記第２の凝縮器とが同一平面上に位置しないように、前記第１のループ型ヒートパイプと前記第２のループ型ヒートパイプとを前記連結部の部分で折り曲げる工程を有する請求項８に記載のループ型ヒートパイプの製造方法。
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