JP2018080901A - ループ型ヒートパイプ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】蒸気管及び凝縮器において結露の促進を抑制することが可能なループ型ヒートパイプを提供する。
【解決手段】本ループ型ヒートパイプは、作動流体を気化させる蒸発器と、前記作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループを形成する蒸気管と、を有し、前記凝縮器及び前記蒸気管は、両外側に位置する最外金属層と、前記最外金属層の間に設けられ、前記最外金属層の一部を露出する開口と、前記開口を挟んで離間した壁部と、前記最外金属層及び前記壁部により画定され、前記開口により形成される流路を有する中間金属層と、を備え、前記中間金属層の前記壁部には、前記流路から離間して設けられた排水管、及び前記排水管と前記流路とを繋ぐ誘い込み管、が設けられている。
【選択図】図３

Description

本発明は、ループ型ヒートパイプ及びその製造方法に関する。

電子機器に搭載されるＣＰＵ（Central Processing Unit）等の発熱部品を冷却するデバイスとして、ヒートパイプが知られている。ヒートパイプは、作動流体の相変化を利用して熱を輸送するデバイスである。

ヒートパイプの一例として、発熱部品の熱により作動流体を気化させる蒸発器と、気化した作動流体を冷却して液化する凝縮器とを備え、蒸発器と凝縮器とがループ状の流路を形成する液管と蒸気管で接続されたループ型ヒートパイプが挙げられる。ループ型ヒートパイプでは、作動流体はループ状の流路を一方向に流れる。

又、ループ型ヒートパイプの液管内には、多孔質体が設けられており、多孔質体に生じる毛細管力で液管内の作動流体を蒸発器に誘導し、蒸発器から液管に蒸気が逆流することを抑制している。多孔質体には多数の細孔が形成されている。各細孔は、貫通孔が形成された金属層同士を、貫通孔が部分的に重複するように積層することにより形成される（例えば、特許文献１参照）。

国際公開第２０１５／０８７４５１号

しかしながら、上記のループ型ヒートパイプにおいて、蒸発器で熱を受けた水は蒸気となり蒸気管を移動するが、蒸気の一部は熱源から離れるに従って結露して水滴となる。

結露した水滴は、熱を移動することができない。又、結露した水滴が蒸気管や凝縮器に存在すると、蒸気の移動を低下させるだけでなく蒸気が触れることで結露を促進してしまう問題がある。

本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、蒸気管及び凝縮器において結露の促進を抑制することが可能なループ型ヒートパイプを提供することを課題とする。

本ループ型ヒートパイプは、作動流体を気化させる蒸発器と、前記作動流体を液化する凝縮器と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループを形成する蒸気管と、を有し、前記凝縮器及び前記蒸気管は、両外側に位置する最外金属層と、前記最外金属層の間に設けられ、前記最外金属層の一部を露出する開口と、前記開口を挟んで離間した壁部と、前記最外金属層及び前記壁部により画定され、前記開口により形成される流路を有する中間金属層と、を備え、前記中間金属層の前記壁部には、前記流路から離間して設けられた排水管、及び前記排水管と前記流路とを繋ぐ誘い込み管、が設けられていることを要件とする。

開示の技術によれば、蒸気管及び凝縮器において結露の促進を抑制することが可能なループ型ヒートパイプを提供できる。

第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器及びその周囲の断面図である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸気管の構造を例示する断面図である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸気管の構造を例示する部分斜視図である。 比較例に係るループ型ヒートパイプの蒸気管の構造を例示する断面図である。 第１の実施の形態に係る蒸気管に誘い込み管及び排水管を設ける効果について説明する断面図である。 第１の実施の形態に係る蒸気管に誘い込み管及び排水管を設ける効果について説明する部分斜視図である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図（その１）である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図（その２）である。 第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図（その３）である。 第２の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸気管の構造を例示する断面図である。 第２の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸気管の構造を例示する部分斜視図である。 第２の実施の形態に係る蒸気管に誘い込み管及び排水管を設ける効果について説明する断面図である。 第３の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸気管の構造を例示する断面図（その１）である。 第３の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸気管の構造を例示する断面図（その２）である。

以下、図面を参照して発明を実施するための形態について説明する。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。

〈第１の実施の形態〉
［第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの構造］
まず、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの構造について説明する。図１は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプを例示する平面模式図である。

図１を参照するに、ループ型ヒートパイプ１は、蒸発器１０と、凝縮器２０と、蒸気管３０と、液管４０とを有する。ループ型ヒートパイプ１は、例えば、スマートフォンやタブレット端末等のモバイル型の電子機器２に収容することができる。

ループ型ヒートパイプ１において、蒸発器１０は、作動流体Ｃを気化させて蒸気Ｃｖを生成する機能を有する。凝縮器２０は、作動流体Ｃの蒸気Ｃｖを液化させる機能を有する。蒸発器１０と凝縮器２０は、蒸気管３０及び液管４０により接続されており、蒸気管３０及び液管４０によって作動流体Ｃ又は蒸気Ｃｖが流れるループである流路５０が形成されている。

図２は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸発器及びその周囲の断面図である。図１及び図２に示すように、蒸発器１０には、例えば４つの貫通孔１０ｘが形成されている。蒸発器１０に形成された各貫通孔１０ｘと回路基板１００に形成された各貫通孔１００ｘにボルト１５０を挿入し、回路基板１００の下面側からナット１６０で止めることにより、蒸発器１０と回路基板１００とが固定される。

回路基板１００には、例えば、ＣＰＵ等の発熱部品１２０がバンプ１１０により実装され、発熱部品１２０の上面が蒸発器１０の下面と密着する。蒸発器１０内の作動流体Ｃは、発熱部品１２０で発生した熱により気化し、蒸気Ｃｖが生成される。

図１に示すように、蒸発器１０に生成された蒸気Ｃｖは、蒸気管３０を通って凝縮器２０に導かれ、凝縮器２０において液化する。これにより、発熱部品１２０で発生した熱が凝縮器２０に移動し、発熱部品１２０の温度上昇が抑制される。凝縮器２０で液化した作動流体Ｃは、液管４０を通って蒸発器１０に導かれる。蒸気管３０の幅Ｗ_１は、例えば、８ｍｍ程度とすることができる。又、液管４０の幅Ｗ_２は、例えば、６ｍｍ程度とすることができる。

作動流体Ｃの種類は特に限定されないが、蒸発潜熱によって発熱部品１２０を効率的に冷却するために、蒸気圧が高く、かつ蒸発潜熱が大きい流体を使用することが好ましい。そのような流体としては、例えば、アンモニア、水、フロン、アルコール、及びアセトンを挙げることができる。

蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、及び液管４０は、例えば、金属層が複数積層された構造とすることができる。金属層は、例えば、熱伝導性に優れた銅層であって、固相接合等により互いに直接接合されている。金属層の各々の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。

なお、金属層は銅層には限定されず、ステンレス層やアルミニウム層、マグネシウム合金層等から形成してもよい。又、金属層の積層数は特に限定されない。

図３は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸気管の構造を例示する断面図であり、図３（ｂ）は図１のＡ−Ａ線に沿う断面を示している。又、図３（ａ）は、図３（ｂ）のＢ−Ｂ線に沿う断面を示している。図４は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸気管の構造を例示する部分斜視図であり、図４（ａ）は図３（ａ）の点線部分を矢印Ｃ方向から視た部分斜視図、図４（ｂ）は図３（ｂ）の点線部分を矢印Ｄ方向から視た部分斜視図である。なお、図３及び図４では、金属層３１〜３６の積層方向をＺ方向、蒸気管３０（流路５０）の蒸気Ｃｖが流れる方向をＸ方向、Ｘ方向及びＺ方向に垂直な方向をＹ方向としている（以降の図も同様）。

図３及び図４に示すように、蒸気管３０は、例えば、金属層３１、３２、３３、３４、３５、及び３６の６層が順次積層された構造とすることができる。但し、金属層の積層数は限定されず、最低３層以上の金属層を積層してあればよい。

金属層３１〜３６は、例えば、熱伝導性に優れた銅層であって、固相接合等により互いに直接接合されている。金属層３１〜３６の各々の厚さは、例えば、５０μｍ〜２００μｍ程度とすることができる。なお、金属層３１〜３６は銅層には限定されず、ステンレス層やアルミニウム層、マグネシウム合金層等から形成してもよい。

金属層３１及び３６は、金属層３１〜３６の積層体の両外側に位置する最外金属層であり、蒸気管３０の外壁の一部を構成している。又、金属層３１及び３６は、孔や溝が形成されていないベタ状とされている。金属層３２〜３５は、最外金属層である金属層３１及び３６に挟まれた中間金属層４５である。中間金属層４５は、最低１層以上あればよい。

金属層３２は、Ｙ方向において、所定の開口３２ｋを挟んで略平行に離間して形成された細長状の壁部３２ａ及び壁部３２ｂを有している。開口３２ｋは、例えば、金属層３１、３６の一部を開口内に露出するように形成されている。

金属層３３は、Ｙ方向において、所定の開口３３ｋを挟んで略平行に離間して形成された細長状の壁部３３ａ及び壁部３３ｂを有している。開口３３ｋは、例えば、開口３２ｋと連通し、金属層３１、３６の一部を開口内に露出するように形成されている。

金属層３４は、Ｙ方向において、所定の開口３４ｋを挟んで略平行に離間して形成された細長状の壁部３４ａ及び壁部３４ｂを有している。開口３４ｋは、例えば、開口３３ｋと連通し、金属層３１、３６の一部を開口内に露出するように形成されている。

金属層３５は、Ｙ方向において、所定の開口３５ｋを挟んで略平行に離間して形成された細長状の壁部３５ａ及び壁部３５ｂを有している。開口３５ｋは、例えば、開口３４ｋと連通し、金属層３１、３６の一部を開口内に露出するように形成されている。

金属層３２〜３５に設けられた各々の開口３２ｋ、３３ｋ、３４ｋ、３５ｋと金属層３１及び３６により、蒸気Ｃｖが流れる流路５０が形成されている。

金属層３２〜３５の壁部３２ａ〜３５ａ及び金属層３２〜３５の壁部３２ｂ〜３５ｂは、蒸気管３０の外壁の一部を構成している。

金属層３３の壁部３３ａ、３３ｂ及び金属層３４の壁部３４ａ、３４ｂには、流路５０に沿って略平行に排水管３３ｘ、３３ｙ、３４ｘ、及び３４ｙが設けられている。排水管３３ｘ、３３ｙ、３４ｘ、及び３４ｙは、流路５０には面しておらず、流路５０から離間（独立）している。

金属層３２の壁部３２ａ、３２ｂ及び金属層３５の壁部３５ａ、３５ｂには、排水管３３ｘ、３３ｙ、３４ｘ、及び３４ｙと流路５０とを繋ぐ誘い込み管３２ｘ、３２ｙ、３５ｘ、及び３５ｙが設けられている。

金属層３３の壁部３３ａには、流路５０のＸ方向に沿ってハーフエッチングされた凹状の排水管３３ｘが設けられている。排水管３３ｘは、凹状の側壁により、流路５０と離間している。又、金属層３３の壁部３３ｂには、流路５０のＸ方向に沿ってハーフエッチングされた凹状の排水管３３ｙが設けられている。排水管３３ｙは、凹状の側壁により、流路５０と離間している。

同様に、金属層３４の壁部３４ａには、流路５０のＸ方向に沿ってハーフエッチングされた凹状の排水管３４ｘが設けられている。排水管３４ｘは、凹状の側壁により、流路５０と離間している。又、金属層３４の壁部３４ｂには、流路５０のＸ方向に沿ってハーフエッチングされた凹状の排水管３４ｙが設けられている。排水管３４ｙは、凹状の側壁により、流路５０と離間している。金属層３４は、金属層３３と同様な構成であるため、図示を省略している。

金属層３２の壁部３２ａには、排水管３３ｘのＸ方向に沿って所定間隔毎にハーフエッチングされた凹状の誘い込み管３２ｘが設けられている。又、金属層３２の壁部３２ｂには、排水管３３ｙのＸ方向に沿って所定間隔毎にハーフエッチングされた凹状の誘い込み管３２ｙが設けられている。

同様に、金属層３５の壁部３５ａには、排水管３４ｘのＸ方向に沿って所定間隔毎にハーフエッチングされた凹状の誘い込み管３５ｘが設けられている。又、金属層３５の壁部３５ｂには、排水管３４ｙのＸ方向に沿って所定間隔毎にハーフエッチングされた凹状の誘い込み管３５ｙが設けられている。金属層３５は、金属層３２と同様な構成であるため、図示を省略している。

排水管３３ｘのＹ方向の長さＬ_１は、例えば、０．２〜０．４ｍｍ程度とすることができる。又、排水管３３ｘのＺ方向の長さＬ_２は、例えば、０．２〜０．４ｍｍ程度とすることができる。排水管３３ｙ、３４ｘ、及び３４ｙにおいて、排水管３３ｘのＬ_１及びＬ_２に対応する部分の長さは、排水管３３ｘのＬ_１及びＬ_２と同程度とすることができる。

誘い込み管３２ｘは、排水管３３ｘに対して傾斜して配置されており、誘い込み管３２ｘと排水管３３ｘとのなす角θａは、例えば、蒸気Ｃｖが流れる方向に向かって鋭角に４５°程度とすることができる。同様に、誘い込み管３２ｙは、排水管３３ｙに対して傾斜して配置されており、誘い込み管３２ｙと排水管３３ｙとのなす角θｂは、例えば、蒸気Ｃｖが流れる方向に向かって鋭角に４５°程度とすることができる。但し、角θａと角θｂとは、必ずしも同一の角度でなくても構わない。誘い込み管３５ｘと排水管３４ｘとのなす角、及び誘い込み管３５ｙと排水管３４ｙとのなす角についても、角θａ及びθｂと同程度とすることができる。

誘い込み管３２ｘの傾斜方向に垂直な方向の長さＬ_３は、例えば、０．２〜０．４ｍｍ程度とすることができる。又、誘い込み管３２ｘのＺ方向の長さＬ_４は、例えば、０．２〜０．４ｍｍ程度とすることができる。誘い込み管３２ｙ、３５ｘ、及び３５ｙにおいて、誘い込み管３２ｘのＬ_３及びＬ_４に対応する部分の長さは、誘い込み管３２ｘのＬ_３及びＬ_４と同程度とすることができる。

金属層３２と金属層３３とを積層することで、誘い込み管３２ｘの一端が排水管３３ｘと連通し、誘い込み管３２ｘの他端が流路５０と連通している。又、誘い込み管３２ｙの一端が排水管３３ｙと連通し、誘い込み管３２ｙの他端が流路５０と連通している。同様に、金属層３４と金属層３５とを積層することで、誘い込み管３５ｘの一端が排水管３４ｘと連通し、誘い込み管３５ｘの他端が流路５０と連通している。又、誘い込み管３５ｙの一端が排水管３４ｙと連通し、誘い込み管３５ｙの他端が流路５０と連通している。

このように、金属層３２〜３５からなる中間金属層４５は、少なくとも２つの金属層（例えば、金属層３２と金属層３３）が積層して構成される積層体を有している。言換えれば、中間金属層４５は、排水管が形成された金属層と、誘い込み管が形成された金属層が積層されてなる積層体を有している。図３（ｂ）及び図４（ｂ）では、２つ（金属層３２と金属層３３から構成される積層体と、金属層３４と金属層３５から構成される積層体）の積層体が積層されている。排水管及び誘い込み管を同一の金属層に設けると強度が低下するが、２つの金属層を用いて一方の金属層に排水管を形成し、他方の金属層に誘い込み管を形成することで、十分な強度を確保することができる。

なお、図３及び図４の構造は、蒸気管３０のみでなく凝縮器２０にも形成されている。すなわち、図３及び図４の構造は、図１の矢印Ｐで示す領域の流路５０部分に連続的に形成されている。

ここで、比較例を示しながら、図３及び図４に示す構造の奏する効果について説明する。図５は、比較例に係るループ型ヒートパイプの蒸気管の構造を例示する断面図であり、図３に対応する断面を示している。

図５に示す蒸気管３０Ｘでは、金属層３２〜３５の壁部３２ａ〜３５ａ、３２ｂ〜３５ｂに排水管及び誘い込み管が設けられていない点が、蒸気管３０（図３及び図４参照）と相違する。

図１において、蒸気管３０に代えて蒸気管３０Ｘが設けられており、蒸発器１０で発生した蒸気Ｃｖが蒸気管３０Ｘを図５の矢印方向（Ｘ方向）に移動して凝縮器２０及び液管４０に向かう場合を考える。この場合、蒸気管３０Ｘ内で蒸気Ｃｖが結露して水滴ＷＤとなり、水滴ＷＤが流路５０内に溜まる。水滴ＷＤは冷えて蒸気Ｃｖの更なる結露を助長し、蒸気管３０Ｘを狭くして蒸気Ｃｖの流れを悪化させる。これにより、蒸気Ｃｖが移動し難くなり、熱移動効率が低下する。

これに対して、図１において、蒸発器１０で発生した蒸気Ｃｖが蒸気管３０を図６の矢印方向（Ｘ方向）に移動して凝縮器２０及び液管４０に向かう場合を考える。ここで、図６は蒸気管に誘い込み管及び排水管を設ける効果について説明する断面図であり、図７は図６（ａ）の点線部分を矢印Ｃ方向から視た部分斜視図である。図６及び図７に示すように、蒸気管３０内で蒸気Ｃｖが結露して水滴ＷＤが発生したとしても、水滴ＷＤは、毛細管力により誘い込み管３２ｘ、３２ｙ、３５ｘ、及び３５ｙから、それぞれ排水管３３ｘ、３３ｙ、３４ｘ、及び３４ｙに吸い込まれる。そのため、蒸気管３０内には水滴ＷＤが溜まり難くなり、水滴ＷＤが巨大化することを防止できる。その結果、水滴ＷＤが蒸気Ｃｖの流れを妨げないため、蒸気Ｃｖが移動し易くなり熱移動効率を向上することが可能となり、発熱部品１２０に対する放熱効果を高めることができる。

排水管３３ｘ、３３ｙ、３４ｘ、及び３４ｙは、蒸気Ｃｖが結露して生じた水滴ＷＤを誘い込み管３２ｘ、３２ｙ、３５ｘ、及び３５ｙから吸い込んで液管４０に移動させる。すなわち、蒸気Ｃｖは図６の矢印方向（Ｘ方向）に流れており、排水管３３ｘ、３３ｙ、３４ｘ、及び３４ｙの毛細管力によって、排水管３３ｘ、３３ｙ、３４ｘ、及び３４ｙに吸い込まれた水滴ＷＤも矢印方向（Ｘ方向）に流れ、凝縮器２０→液管４０→蒸発器１０へと循環する。

なお、各々の誘い込み管と排水管とのなす角を蒸気Ｃｖが流れる方向に向かって鋭角にすることで、誘い込み管から排水管に合流する部分での水滴ＷＤの抵抗を低減することが可能となるため、水滴ＷＤを排水管に吸い込みやすくすることができる。但し、各々の誘い込み管と排水管とのなす角が直角であっても一定の効果を奏する。

又、各々の排水管を流路５０に面しないように形成することで、各々の排水管を流路５０に面して形成した場合よりも、排水管の毛細管力を向上することができる。

［第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法］
次に、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造方法について、蒸気管の排水管及び誘い込み管の製造工程を中心に説明する。図８〜図１０は、第１の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの製造工程を例示する図である。なお、図８（ａ）及び図８（ｂ）並びに図９（ａ）及び図９（ｂ）は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に対応する断面を示している。又、図１０は、図３（ｂ）に対応する断面を示している。

まず、図８に示す工程では、金属シートを準備し、金属シートを加工して、金属シートを厚さ方向（Ｚ方向）に貫通する開口３２ｋを形成する。開口３２ｋの形成により、開口３２ｋを挟んで略平行に離間して形成された細長状の壁部３２ａ及び壁部３２ｂを形成する。開口３２ｋは、流路５０の一部をなす部分となる。開口３２ｋは、例えば、プレス加工やエッチング加工により形成することができる。

開口３２ｋを形成後、壁部３２ａに凹状の誘い込み管３２ｘを、壁部３２ｂに凹状の誘い込み管３２ｙを形成することで、金属層３２が完成する。具体的には、誘い込み管３２ｘを形成する部分を露出する開口部を備えたレジスト層（感光性のドライフィルムレジスト等）を壁部３２ａ上に形成する。同様に、誘い込み管３２ｙを形成する部分を露出する開口部を備えたレジスト層を壁部３２ｂ上に形成する。そして、レジスト層をマスクとして開口部内に露出する壁部３２ａ及び壁部３２ｂをハーフエッチングし、壁部３２ａに凹状の誘い込み管３２ｘを、壁部３２ｂに凹状の誘い込み管３２ｙを形成する。その後、レジスト層を剥離液により剥離する。ハーフエッチングの量は、例えば、金属シートの厚さの半分程度とすることができる。金属シートの材料が銅である場合、ハーフエッチングには、例えば、塩化第二鉄溶液を用いることができる。

又、金属シートを準備し、上記金属層３２と同様に金属シートを加工して、金属シートを厚さ方向（Ｚ方向）に貫通する開口３５ｋを形成する。開口３５ｋの形成により、開口３５ｋを挟んで略平行に離間して形成された細長状の壁部３５ａ及び壁部３５ｂを形成する（図示なし）。そして、開口３５ｋを形成後、上記金属層３２と同様に壁部３５ａ及び壁部３５ｂを選択的にハーフエッチングして、壁部３５ａに凹状の誘い込み管３５ｘを、壁部３５ｂに凹状の誘い込み管３５ｙを形成することで、金属層３５が完成する（図示なし）。なお、各金属層の材料や厚さ、各誘い込み管の形状や寸法は、前述の通りである。

次に、図９に示す工程では、金属シートを準備し、金属シートを加工して、金属シートを厚さ方向（Ｚ方向）に貫通する開口３３ｋを形成する。開口３３ｋの形成により、開口３３ｋを挟んで略平行に離間して形成された細長状の壁部３３ａ及び壁部３３ｂを形成する。開口３３ｋは、流路５０の一部をなす部分となる。開口３３ｋは、金属層３２に開口３２ｋを形成する場合と同様にしてプレス加工やエッチング加工により形成することができる。

開口３３ｋを形成後、壁部３３ａに凹状の排水管３３ｘを、壁部３３ｂに凹状の排水管３３ｙを形成することで、金属層３３が完成する。具体的には、排水管３３ｘを形成する部分を露出する開口部を備えたレジスト層（感光性のドライフィルムレジスト等）を壁部３３ａ上に形成する。同様に、排水管３３ｙを形成する部分を露出する開口部を備えたレジスト層を壁部３３ｂ上に形成する。そして、レジスト層をマスクとして開口部内に露出する壁部３３ａ及び壁部３３ｂをハーフエッチングし、壁部３３ａに凹状の排水管３３ｘを、壁部３３ｂに凹状の排水管３３ｙを形成する。その後、レジスト層を剥離液により剥離する。ハーフエッチングの量は、例えば、金属シートの厚さの半分程度とすることができる。金属シートの材料が銅である場合、ハーフエッチングには、例えば、塩化第二鉄溶液を用いることができる。

又、金属シートを準備し、上記金属層３３と同様に金属シートを加工して、金属シートを厚さ方向（Ｚ方向）に貫通する開口３４ｋを形成する。開口３４ｋの形成により、開口３４ｋを挟んで略平行に離間して形成された細長状の壁部３４ａ及び壁部３４ｂを形成する（図示なし）。そして、開口３４ｋを形成後、上記金属層３３と同様に壁部３４ａ及び壁部３４ｂを選択的にハーフエッチングして、壁部３４ａに凹状の排水管３４ｘを、壁部３４ｂに凹状の排水管３４ｙを形成することで、金属層３４が完成する（図示なし）。なお、各金属層の材料や厚さ、各排水管の形状や寸法は、前述の通りである。

次に、図１０に示す工程では、孔や溝が形成されていないベタ状の金属層３１及び３６を準備する。そして、図１０に示すように金属層３１〜３６を積層する。具体的には、金属層３１及び金属層を最外層とする。そして、最外層の金属層３１及び金属層３６の間に、金属層３２〜３５を積層する。金属層３２〜３５は、誘い込み管の一端と排水管が少なくとも一部で重なり、連通するように積層される。図１０では、金属層３２の誘い込み管３２ｘ、３２ｙと金属層３３の排水管３３ｘ、３３ｙが向い合い、誘い込み管３２ｘ、３２ｙの一端と排水管３３ｘ、３３ｙが少なくとも一部で重なるように積層される。又、金属層３５の誘い込み管３５ｘ、３５ｙと金属層３４の排水管３４ｘ、３４ｙが向い合い、誘い込み管３５ｘ、３５ｙの一端と排水管３４ｘ、３４ｙが少なくとも一部で重なるように積層される。

次に、最外層の金属層３１及び金属層３６の間に、金属層３２〜３５が積層された構造体を加圧及び加熱により固相接合を行う。これにより、隣接する金属層同士が直接接合され、蒸発器１０、凝縮器２０、蒸気管３０、及び液管４０を有するループ型ヒートパイプ１が完成する。この際、凝縮器２０及び蒸気管３０には、中間金属層４５（金属層３２〜３５）に設けられた開口３２ｋ、３３ｋ、３４ｋ、３５ｋと、開口３２ｋ、３３ｋ、３４ｋ、３５ｋを挟んで離間された中間金属層４５の壁部と、２つの最外金属層（金属層３１及び３６）により流路５０が形成される。そして、中間金属層４５において所定の排水管と所定の誘い込み管とが連通する。その後、真空ポンプ等を用いて液管４０内を排気した後、図示しない注入口から液管４０内に作動流体Ｃを注入し、その後注入口を封止する。

ここで、固相接合とは、接合対象物同士を溶融させることなく固相（固体）状態のまま加熱して軟化させ、更に加圧して塑性変形を与えて接合する方法である。なお、固相接合によって隣接する金属層同士を良好に接合できるように、金属層３１〜３６の全ての材料を同一にすることが好ましい。

又、中間金属層４５を構成する金属層３２〜３５の積層は、排水管と誘い込み管の一端が少なくとも一部で重なり、連通するように積層されていればよく、金属層３２〜３５の積層の順番は特に限定されない。

〈第２の実施の形態〉
第２の実施の形態では、中間金属層に仕切り部を設け、排水管や誘い込み管の数を増やす例を示す。なお、第２の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。

図１１は、第２の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸気管の構造を例示する断面図であり、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は図３（ａ）及び図３（ｂ）に対応する断面を示している。図１２は、第２の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸気管の構造を例示する部分斜視図であり、図１１（ａ）の点線部分を矢印Ｅ向から視た部分斜視図である。

図１１及び図１２を参照するに、蒸気管３０Ａにおいて、金属層３２のＹ方向における壁部３２ａと壁部３２ｂとの間には、仕切り部３２ｃが設けられている。仕切り部３２ｃは、壁部３２ａ及び壁部３２ｂと所定の開口３２ｋ−１及び開口３２ｋ−２を挟んで略平行に離間して形成されている。開口３２ｋ−１及び開口３２ｋ−２は、例えば、金属層３１、３６の一部を開口内に露出するように形成されている。

金属層３３のＹ方向において、壁部３３ａと壁部３３ｂとの間には、仕切り部３３ｃが設けられている。仕切り部３３ｃは、壁部３３ａ及び壁部３３ｂと所定の開口３３ｋ−１及び開口３３ｋ−２を挟んで略平行に離間して形成されている。開口３３ｋ−１及び開口３３ｋ−２は、例えば、開口３２ｋ−１及び開口３２ｋ−２と連通し、金属層３１、３６の一部を開口内に露出するように形成されている。

金属層３４のＹ方向において、壁部３４ａと壁部３４ｂとの間には、仕切り部３４ｃが設けられている。仕切り部３４ｃは、壁部３４ａ及び壁部３４ｂと所定の開口３４ｋ−１及び開口３４ｋ−２を挟んで略平行に離間して形成されている。開口３４ｋ−１及び開口３４ｋ−２は、例えば、開口３３ｋ−１及び開口３３ｋ−２と連通し、金属層３１、３６の一部を開口内に露出するように形成されている。

金属層３５のＹ方向において、壁部３５ａと壁部３５ｂとの間には、仕切り部３５ｃが設けられている。仕切り部３５ｃは、壁部３５ａ及び壁部３５ｂと所定の開口３５ｋ−１及び開口３５ｋ−２を挟んで略平行に離間して形成されている。開口３５ｋ−１及び開口３５ｋ−２は、例えば、開口３４ｋ−１及び開口３４ｋ−２と連通し、金属層３１、３６の一部を開口内に露出するように形成されている。

金属層３２〜３５に設けられた各々の開口３２ｋ−１〜３５ｋ−１及び開口３２ｋ−２〜３５ｋ−２と金属層３１及び３６により、蒸気Ｃｖが流れる複数の流路５０ａ、５０ｂが形成されている。具体的には、金属層３２〜３５の壁部３２ａ、３３ａ、３４ａ、及び３５ａと、仕切り部３２ｃ、３３ｃ、３４ｃ、及び３５ｃとに挟まれた各々の開口３２ｋ−１〜３５ｋ−１を金属層３１及び３６により両側から挟むことで流路５０ａが形成されている。又、金属層３２〜３５の壁部３２ｂ、３３ｂ、３４ｂ、及び３５ｂと、仕切り部３２ｃ、３３ｃ、３４ｃ、及び３５ｃとに挟まれた各々の開口３２ｋ−２〜３５ｋ−２を金属層３１及び３６により両側から挟むことで流路５０ｂが形成されている。

又、仕切り部３２ｃ、３３ｃ、３４ｃ、及び３５ｃは、金属層３１や金属層３６を支える支柱とすることができる。金属層３３の仕切り部３３ｃ及び金属層３４の仕切り部３４ｃには、流路５０に沿って略平行に排水管３３ｚ及び３４ｚが設けられている。排水管３３ｚ及び３４ｚは、流路５０には面しておらず、流路５０から離間（独立）している。金属層３２の仕切り部３２ｃ及び金属層３５の仕切り部３５ｃには、排水管３３ｚ及び３４ｚと流路５０とを繋ぐ誘い込み管３２ｚ及び３５ｚが設けられている。

金属層３３の仕切り部３３ｃには、流路５０ａ及び５０ｂのＸ方向に沿ってハーフエッチングされた凹状の排水管３３ｚが設けられている。排水管３３ｚは、凹状の側壁により、流路５０ａ及び５０ｂと離間している。

金属層３４の仕切り部３４ｃには、流路５０ａ及び５０ｂのＸ方向に沿ってハーフエッチングされた凹状の排水管３４ｚが設けられている。排水管３４ｚは、凹状の側壁により、流路５０ａ及び５０ｂと離間している。排水管３３ｚ及び３４ｚの形状や寸法は、排水管３３ｘ等と同程度とすることができる。金属層３４は、金属層３３と同様な構成であるため、図示を省略している。

金属層３２の仕切り部３２ｃには、Ｙ方向において、所定間隔毎にハーフエッチングされた凹状の誘い込み管３２ｚ−１及び誘い込み管３２ｚ−２が設けられている。又、金属層３２の誘い込み管３２ｚ−１及び誘い込み管３２ｚ−２は、排水管３３ｚのＸ方向に沿って、交互に配置されている。

金属層３５の仕切り部３５ｃには、排水管３４ｚのＹ方向において、所定間隔毎にハーフエッチングされた誘い込み管３５ｚ−１及び誘い込み管３５ｚ−２が設けられている。又、金属層３５の誘い込み管３５ｚ−１及び誘い込み管３５ｚ−２は、排水管３４ｚのＸ方向に沿って、交互に配置されている。金属層３５は、金属層３２と同様な構成であるため、図示を省略している。

仕切り部３２ｃに設けられた誘い込み管３２ｚ−１及び誘い込み管３２ｚ−２は、排水管３３ｚに対して傾斜して配置されている。そして、誘い込み管３２ｚ−１と排水管３３ｚとのなす角θｃ及び誘い込み管３２ｚ−２と排水管３３ｚとのなす角θｄは、例えば、蒸気Ｃｖが流れる方向に向かって鋭角に４５°程度とすることができる。但し、角θｃと角θｄとは、必ずしも同一の角度でなくても構わない。

同様に、仕切り部３５ｃに設けられた誘い込み管３５ｚ−１及び誘い込み管３５ｚ−２は、排水管３４ｚに対して傾斜して配置されている。そして、上側の誘い込み管３５ｚ−１と排水管３４ｚとのなす角及び下側の誘い込み管３５ｚ−２と排水管３４ｚとのなす角についても、角θｃ及びθｄと同程度とすることができる。排水管３３ｚの上下に設けられた誘い込み管３２ｚ−１及び誘い込み管３２ｚ−２、排水管３４ｚの上下に設けられた誘い込み管３５ｚ−１及び誘い込み管３５ｚ−２の形状や寸法は、誘い込み管３２ｘ等と同程度とすることができる。

金属層３２と金属層３３とを積層することで、誘い込み管３２ｚ−１の排水管３３ｚの側の一端が排水管３３ｚと連通し、誘い込み管３２ｚ−１の排水管３３ｚとは反対側の他端が流路５０ａと連通している。更に、誘い込み管３２ｚ−２の排水管３３ｚの側の一端が排水管３３ｚと連通し、誘い込み管３２ｚ−２の排水管３３ｚとは反対側の他端が流路５０ｂと連通している。

同様に、金属層３４と金属層３５とを積層することで、誘い込み管３５ｚ−１の排水管３４ｚの側の一端が排水管３４ｚと連通し、誘い込み管３５ｚ−１の排水管３４ｚとは反対側の他端が流路５０ａと連通している。更に、誘い込み管３５ｚ−２の排水管３４ｚの側の一端が排水管３４ｚと連通し、誘い込み管３５ｚ−２の排水管３４ｚとは反対側の他端が流路５０ｂと連通している。

図１において、蒸発器１０で発生した蒸気Ｃｖが蒸気管３０Ａを図１３の矢印方向（Ｘ方向）に移動して凝縮器２０及び液管４０に向かう場合を考える。この場合、蒸気管３０Ａ内で蒸気Ｃｖが結露して水滴ＷＤが発生したとしても、水滴ＷＤは、毛細管力により誘い込み管３２ｘ、３２ｙ、３２ｚ−１、３２ｚ−２、３５ｘ、３５ｙ、３５ｚ−１、及び３５ｚ−２から、それぞれ排水管３３ｘ、３３ｙ、３３ｚ、３４ｘ、３４ｙ、及び３４ｚに吸い込まれる。

蒸気管３０Ａでは、蒸気管３０と比べて、排水管３３ｚ、３４ｚ、及び誘い込み管３２ｚ−１、３２ｚ−２、３５ｚ−１、３５ｚ−２が追加で形成されているため、排水管による毛細管力が向上し、蒸気管３０Ａ内の水滴ＷＤをいっそう吸い込みやすくすることが可能となる。これにより、蒸気管３０Ａ内には水滴ＷＤが溜まり難くなり、水滴ＷＤが巨大化することをいっそう防止できる。その結果、水滴ＷＤが蒸気Ｃｖの流れを妨げないため、蒸気Ｃｖが移動し易くなり熱移動効率をいっそう向上することができる。

〈第３の実施の形態〉
第３の実施の形態では、第１の実施の形態とは排水管の形状が異なる例を示す。なお、第３の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。

図１４は、第３の実施の形態に係るループ型ヒートパイプの蒸気管の構造を例示する断面図であり、図１４（ｂ）は図１のＡ−Ａ線に沿う断面を示している。又、図１４（ａ）は、図１４（ｂ）のＣ−Ｃ線に沿う断面を示している。又、図１５は、図１４（ｂ）のＤ−Ｄ線に沿う断面を示している。

図１４及び図１５を参照するに、蒸気管３０Ｂにおいて、中間金属層４５Ｂは、金属層３２、３３、及び３５の３層から形成されている。金属層３１、３２、３５、及び３６の構造については、蒸気管３０と同様とすることができる。

金属層３３の壁部３３ａ、３３ｂには、流路５０に沿って略平行に排水管３３Ｂｘ、３３Ｂｙが設けられている。排水管３３Ｂｘ及び３３Ｂｙは、流路５０には面しておらず、流路５０から離間（独立）している。

金属層３３の壁部３３ａには、金属層３２側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔３３ｄと、金属層３５側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔３３ｅとが、それぞれ複数個形成されている。有底孔３３ｄ及び３３ｅは、金属層３３の壁部３３ａを上下面側から、ハーフエッチングすることで形成できる。

有底孔３３ｄと有底孔３３ｅとは、平面視で（Ｚ方向から視て、以降同様）Ｘ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔３３ｄと有底孔３３ｅとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔３３ｈを形成している。隣接する有底孔３３ｄと有底孔３３ｅとが細孔３３ｈを介して連続的に接続されて排水管３３Ｂｘが形成されている。排水管３３Ｂｘは、有底孔３３ｄと有底孔３３ｅの側壁により、流路５０と離間している。

同様に、金属層３３の壁部３３ｂには、金属層３２側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔３３ｆと、金属層３５側から厚さ方向の略中央部にかけて窪む有底孔３３ｇとが、それぞれ複数個形成されている。有底孔３３ｆ及び３３ｇは、金属層３３の壁部３３ｂを上下面側から、ハーフエッチングすることで形成できる。

有底孔３３ｆと有底孔３３ｇとは、平面視でＸ方向に交互に配置されている。Ｘ方向に交互に配置された有底孔３３ｆと有底孔３３ｇとは、平面視で部分的に重複しており、重複する部分は連通して細孔３３ｉを形成している。隣接する有底孔３３ｆと有底孔３３ｇとが細孔３３ｉを介して連続的に接続されて排水管３３Ｂｙが形成されている。排水管３３Ｂｙは、有底孔３３ｆと有底孔３３ｇの側壁により、流路５０と離間している。

誘い込み管３２ｘの一端が有底孔３３ｄと連通し、誘い込み管３２ｘの他端が流路５０と連通している。又、誘い込み管３２ｙの一端が有底孔３３ｆと連通し、誘い込み管３２ｙの他端が流路５０と連通している。同様に、誘い込み管３５ｘの一端が有底孔３３ｅと連通し、誘い込み管３５ｘの他端が流路５０と連通している。又、誘い込み管３５ｙの一端が有底孔３３ｇと連通し、誘い込み管３５ｙの他端が流路５０と連通している。

有底孔３３ｄ及び３３ｅは、例えば、直径が１００〜３００μｍ程度の円形とすることができるが、楕円形や多角形等の任意の形状として構わない。有底孔３３ｄ及び３３ｅの深さは、例えば、金属層３３の厚さの半分程度とすることができる。隣接する有底孔３３ｄの間隔は、例えば、１００〜４００μｍ程度とすることができる。隣接する有底孔３３ｅの間隔は、例えば、１００〜４００μｍ程度とすることができる。

有底孔３３ｄ及び３３ｅの内壁は、底面側から開口側に向かって拡幅するテーパ形状とすることができる。しかし、これに限らず、有底孔３３ｄ及び３３ｅの内壁は、底面に対して垂直であっても構わない。細孔３３ｈのＸ方向の幅Ｗ_３は、例えば、１０〜５０μｍ程度とすることができる。又、細孔３３ｈのＹ方向の幅Ｗ_４は、例えば、５０〜１５０μｍ程度とすることができる。

有底孔３３ｆ及び３３ｇの形状や大きさ、間隔等は、有底孔３３ｄ及び３３ｅと同程度とすることができる。又、細孔３３ｉの大きさは、細孔３３ｈと同程度とすることができる。

誘い込み管３２ｘ及び３２ｙの傾斜方向に垂直な方向の長さＬ_３は、有底孔３３ｄの直径と同程度であってもよいし、有底孔３３ｄの直径よりも小さくしてもよい。又、誘い込み管３２ｘ及び３２ｙと有底孔３３ｄ及び３３ｆとの連通部は、図１４（ｂ）のようにずれていてもよいし、揃えていてもよい。誘い込み管３５ｘ及び３５ｙと有底孔３３ｅ及び３３ｇとの関係についても同様である。

このように、排水管３３Ｂｘに有底孔３３ｄと有底孔３３ｅが連通した細孔３３ｈを設けることで、排水管３３Ｂｘの毛細管力が向上するため、蒸気管３０Ｂ内で発生した水滴を排水管３３Ｂｘ内に吸い込みやすくすることができる。同様に、排水管３３Ｂｙに有底孔３３ｆと有底孔３３ｇが連通した細孔３３ｉを設けることで、排水管３３Ｂｙの毛細管力が向上するため、蒸気管３０Ｂ内で発生した水滴を排水管３３Ｂｙ内に吸い込みやすくすることができる。

又、誘い込み管３２ｘ及び３５ｘの幅を有底孔３３ｄ及び３３ｅの直径よりも小さくし、かつ、誘い込み管３２ｘ及び３５ｘと有底孔３３ｄ及び３３ｅとの連通部をずらすことにより、毛細管力が更に向上する。そのため、蒸気管３０Ｂ内で発生した水滴を排水管３３Ｂｘ内に吸い込みやすくすることができる。同様に、誘い込み管３２ｙ及び３５ｙの幅を有底孔３３ｆ及び３３ｇの直径よりも小さくし、かつ、誘い込み管３２ｙ及び３５ｙと有底孔３３ｆ及び３３ｇとの連通部をずらすことにより、毛細管力が更に向上する。そのため、蒸気管３０Ｂ内で発生した水滴を排水管３３Ｂｙ内に吸い込みやすくすることができる。

なお、中間金属層４５Ｂに第２の実施の形態と同様の仕切り部を設け、仕切り部に排水管３３Ｂｘ及び３３Ｂｙと同様の排水管を設け、毛細管力を更に向上せてもよい。又、中間金属層４５Ｂを構成する金属層の積層数を増やし、排水管３３Ｂｘ及び３３Ｂｙと同様の排水管の数を増加させ、毛細管力を更に向上せてもよい。

以上、好ましい実施の形態について詳説したが、上述した実施の形態に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態に種々の変形及び置換を加えることができる。

例えば、図３では、金属層３２〜３５の壁部３２ａ〜３５ａ及び壁部３２ｂ〜３５ｂの両方に排水管及び誘い込み管が設けられている例を示したが、金属層３２〜３５の壁部の一方の側のみに排水管及び誘い込み管が設けられていてもよい。又、図３では、中間金属層において、排水管が形成された金属層と誘い込み管が形成された金属層が積層されてなる積層体が複数積層された例を示したが、積層体は最低１つあればよい。

すなわち、図３において、排水管３３ｘ及び誘い込み管３２ｘ、排水管３３ｙ及び誘い込み管３２ｙ、排水管３４ｘ及び誘い込み管３５ｘ、並びに排水管３４ｙ及び誘い込み管３５ｙを全て設ける必要はなく、最低１組以上の排水管及び誘い込み管を設ける構造とすればよい。図１１についても同様である。

又、図３において、金属層３１、３２、３３、及び３６の４層を積層した構造や、金属層３１、３４、３５、及び３６の４層を積層した構造としてもよい。この場合も、最低１組以上の排水管及び誘い込み管を設ける構造とすればよい。図１１についても同様である。

又、一枚の金属シートをハーフエッチングして、排水管及び誘い込み管を有する金属層を設ける構造としてもよい。この場合には、この金属層の両側に金属層３１及び３６を積層することで、３層構造の蒸気管を実現できる。但し、前述のように、排水管及び誘い込み管を同一の金属層に設けると、強度が低下するため、十分な強度が求められる仕様の場合には、図３や図１１のように排水管及び誘い込み管を別々の金属層に設けることが好ましい。

１ ループ型ヒートパイプ
１０ 蒸発器
１０ｘ 貫通孔
２０ 凝縮器
３０、３０Ａ、３０Ｂ 蒸気管
３１〜３６ 金属層
３２ａ、３２ｂ、３３ａ、３３ｂ、３４ａ、３４ｂ、３５ａ、３５ｂ 壁部
３２ｃ、３３ｃ、３４ｃ、３５ｃ 仕切り部
３３ｄ、３３ｅ、３３ｆ、３３ｇ 有底孔
３３ｈ、３３ｉ 細孔
３２ｋ〜３５ｋ、３２ｋ−１〜３５ｋ−１、３２ｋ−２〜３５ｋ−２ 開口
３２ｘ、３２ｙ、３２ｚ、３２ｚ−１、３２ｚ−２、３５ｘ、３５ｙ、３５ｚ、３５ｚ−１、３５ｚ−２、 誘い込み管
３３ｘ、３３ｙ、３３ｚ、３４ｘ、３４ｙ、３４ｚ、３３Ｂｘ、３３Ｂｙ 排水管
４０ 液管
４５、４５Ｂ 中間金属層
５０、５０ａ、５０ｂ 流路

Claims (8)

1. 作動流体を気化させる蒸発器と、
   前記作動流体を液化する凝縮器と、
   前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、
   前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループを形成する蒸気管と、を有し、
   前記凝縮器及び前記蒸気管は、両外側に位置する最外金属層と、前記最外金属層の間に設けられ、前記最外金属層の一部を露出する開口と、前記開口を挟んで離間した壁部と、前記最外金属層及び前記壁部により画定され、前記開口により形成される流路を有する中間金属層と、を備え、
   前記中間金属層の前記壁部には、前記流路から離間して設けられた排水管、及び前記排水管と前記流路とを繋ぐ誘い込み管、が設けられているループ型ヒートパイプ。
2. 前記中間金属層は、前記排水管のみが形成された金属層と、前記誘い込み管のみが形成された積層体からなり、前記誘い込み管の一端が前記排水管と連通し、前記誘い込み管の他端が前記流路と連通している請求項１に記載のループ型ヒートパイプ。
3. 前記積層体が複数積層された請求項２に記載のループ型ヒートパイプ。
4. 前記中間金属層の前記壁部は、第１壁部と、前記開口を挟んで前記第１壁部の反対側にある第２壁部からなり、
   前記排水管は、前記第１壁部に形成された第１排水管と、前記第２壁部に形成された第２排水管からなり、
   前記誘い込み管は、前記第１壁部に形成された第１誘い込み管と、前記第２壁部に形成された第２誘い込み管からなる請求項１乃至３の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
5. 前記中間金属層は、前記第１壁部及び前記第２壁部の間に仕切り部と、
   前記最外金属層及び前記第１壁部、前記仕切り部により画定される第１流路と、前記最外金属層及び前記第２壁部、前記仕切り部により画定される第２流路と、を更に有し、
   前記仕切り部には、前記第１流路及び前記第２流路から離間して設けられた第３排水管、及び前記第３排水管と前記第１流路及び前記第２流路とを繋ぐ第３誘い込み管、が設けられている請求項４に記載のループ型ヒートパイプ。
6. 前記壁部は、一方の前記最外金属層側から窪む複数の第１の有底孔と、他方の前記最外金属層側から窪む第２の有底孔と、隣接する前記第１の有底孔と前記第２の有底孔とが部分的に連通して形成された細孔と、を備え、
   複数の前記第１の有底孔と、複数の前記第２の有底孔と、前記細孔とにより前記排水管が形成されている請求項１乃至５の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
7. 前記誘い込み管と前記排水管とのなす角は、前記流路に蒸気が流れる方向に向かって鋭角とされている請求項１乃至６の何れか一項に記載のループ型ヒートパイプ。
8. 作動流体を気化させる蒸発器と、
   前記作動流体を液化する凝縮器と、
   前記蒸発器と前記凝縮器とを接続する液管と、
   前記蒸発器と前記凝縮器とを接続し、前記液管と共にループを形成する蒸気管と、を有し、
   前記凝縮器及び前記蒸気管は、両外側に位置する最外金属層と、前記最外金属層の間に設けられ、
   前記最外金属層の一部を露出する開口と、前記開口を挟んで離間した壁部と、前記最外金属層及び前記壁部により画定され、前記開口により形成される流路を有する中間金属層と、を備えたループ型ヒートパイプの製造方法であって、
   前記中間金属層を形成する工程は、
   金属シートを加工して、前記金属シートに開口及び前記開口を挟んで離間した壁部を形成する工程と、
   前記金属シートをハーフエッチングして、前記壁部に前記開口から離間して設けられた排水管、及び前記排水管と前記開口とを繋ぐ誘い込み管、を形成する工程と、を含むループ型ヒートパイプの製造方法。