CN109839019B - 热管及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种具有注入工作流体的注入口的热管，所述注入口具有位于两个外侧的最外侧金属层、在所述最外侧金属层之间被层叠的中间金属层、由所述中间金属层的相对的壁部和所述最外侧金属层界定的注入通道、及设置在所述壁部上的多孔质体，所述多孔质体具有从所述中间金属层的一个表面侧凹陷的第1有底孔、从所述中间金属层的另一个表面侧凹陷的第2有底孔、及所述第1有底孔和所述第2有底孔进行部分连通而形成的细孔。

Description

热管及其制造方法
技术领域
本发明涉及热管及其制造方法。
背景技术
作为对安装在电子设备上的CPU(Central Processing Unit)等的发热部件进行冷却的装置，热管(Heat Pipe)是众所周知的。热管是一种利用工作流体的相变对热进行传输的装置。
工作流体经由设置在热管上的注入口被注入热管内，之后，注入口的端部被密封。
另外，就便携式电子设备而言，正在进行薄型化，与此相伴地，也需要对所安装的热管进行薄型化。热管的薄型化还会导致用于使工作流体注入的注入口变窄。
[专利文献1](日本)专利第6146484号
发明内容
然而，在现有的热管中，注入口仅是一种空间状态，并不具有对工作流体进行吸入的功能。为此，一旦注入口变窄，工作流体就难以被稳定地注入内部。
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种可使工作流体稳定地注入内部的热管。
本热管是一种具有使工作流体注入的注入口的热管，所述注入口具有：位于两个外侧的最外侧金属层；层叠在所述最外侧金属层之间的中间金属层；由所述中间金属层的相对的壁部和所述最外侧金属层界定的注入通道；及设置在所述壁部上的多孔质体。所述多孔质体具有：从所述中间金属层的一个表面侧凹陷的第1有底孔；从另一个表面侧凹陷的第2有底孔；及所述第1有底孔和所述第2有底孔进行部分连通而形成的细孔。
根据公开的技术，能够提供一种可使工作流体稳定地注入内部的热管。
附图说明
[图1]对第1实施方式的环路热管进行例示的平面示意图。
[图2]第1实施方式的环路热管的蒸发器及其周围的剖面图。
[图3]对第1实施方式的环路热管的注入口的结构进行例示的图。
[图4]对第1实施方式的环路热管的制造步骤进行例示的图(其1)。
[图5]对第1实施方式的环路热管的制造步骤进行例示的图(其2)。
[图6]对从注入口使工作流体注入的情形进行说明的图。
[图7]对第1实施方式的变形例1的环路热管的注入口的结构进行例示的图。
[图8]对第1实施方式的变形例2的环路热管的注入口的结构进行例示的图。
[图9]对第1实施方式的变形例3的环路热管的注入口的结构进行例示的图。
[图10]对第2实施方式的扁平热管进行例示的平面示意图。
其中，附图标记说明如下：
1 环路(Loop-type)热管
2 电子设备
5 扁平热管
10 蒸发器
20 凝缩器(冷凝器)
30 蒸气管
40 液管
50 流路(流道)
60、90 注入口
60a、90a 未密封部
60b、90b 密封部
61、66 最外侧金属层
61y、62x、62y、63x、63y、64x、64y、65x、65y、66x 有底孔
61z、62z、63z、64z、65z、66z、67z、68z、69z 细孔
62、63、64、65 中间金属层
62t、63t、64t、65t 贯穿孔
95 外框
96 芯部(Wick)
97 蒸气流路
600、601、602、603 多孔质体
621、622、631、632、641、642、651、652 壁部
680 注入通道
具体实施方式
以下，结合附图对用于实施发明的方式进行说明。需要说明的是，各附图中，存在对相同构成部分赋予相同符号，并省略重复说明的情况。
〈第1实施方式〉
第1实施方式中，示出了将本发明应用于环路热管的例子。
[第1实施方式的环路热管的结构]
首先，对第1实施方式的环路热管的结构进行说明。图1是对第1实施方式的环路热管进行例示的平面示意图。
参照图1，环路热管1具有蒸发器10、凝缩器20、蒸气管30、液管40及注入口60。环路热管1例如可收藏在智能手机、平板终端等的便携式电子设备2中。
环路热管1中，蒸发器10具有使工作流体C气化从而生成蒸气Cv的功能。凝缩器20具有使工作流体C的蒸气Cv液化的功能。蒸发器10和凝缩器20由蒸气管30和液管40连接，蒸气管30和液管40形成了使工作流体C或蒸气Cv流动的环路(环形通道)即流路50。
注入口60是用于将工作流体C注入液管40内的入口，工作流体C注入后被进行了气密性密封。关于注入口60的细节将在后面进行叙述。然而，本实施方式中，尽管使注入口60与液管40进行了连接，但也可使注入口60与凝缩器20和/或蒸气管30进行连接。此情况下，被注入了凝缩器20和/或蒸气管30的工作流体C在流路50内流动并移动至液管40内。
图2是第1实施方式的环路热管的蒸发器及其周围的剖面图。如图1和图2所示，蒸发器10上形成了例如4个贯穿孔10x。形成在蒸发器10上的各贯穿孔10x和形成在电路基板100上的各贯穿孔100x内插入螺栓150，通过从电路基板100的下表面侧由螺母160进行固定，可对蒸发器10和电路基板100进行固定。
电路基板100上例如可通过凸点(bump)110实装CPU等的发热部件120，发热部件120的上表面可与蒸发器10的下表面进行密着。发热部件120产生的热量可使蒸发器10内的工作流体C气化，由此生成蒸气Cv。
如图1所示，蒸发器10中生成的蒸气Cv经过蒸气管30被导入凝缩器20，在凝缩器20中进行液化。据此，发热部件120产生的热量移动至凝缩器20，可抑制发热部件120的温度上升。在凝缩器20中进行了液化的工作流体C经过液管40再被导入蒸发器10。蒸气管30的宽度W1例如可为8mm左右。此外，液管40的宽度W2例如可为6mm左右。
对工作流体C的种类并无特别限定，但为了藉由蒸发潜热高效地使发热部件120冷却，优选使用蒸气压力较高且蒸发潜热较大的流体。作为这样的流体，例如可列举出氨(Ammonia)、水(Water)、含氯氟烴(Chlorofluorocarbon)、酒精(Alcohol)及丙酮(Acetone)。
蒸发器10、凝缩器20、蒸气管30、液管40及注入口60例如可为多个金属层进行了层叠的结构。金属层例如为热传导性较优的铜层，通过固相结合等，互相之间进行了直接结合。每个金属层的厚度例如可为50μm～200μm左右。
需要说明的是，金属层并不限定于铜层，还可由不锈钢层、铝层、镁合金层等形成。另外，对金属层的层叠数量也无特别限定。
图3A及图3B是对第1实施方式的环路热管的注入口的结构进行例示的图，图3A是沿图1的A-A线的剖面图。此外，图3B是对中间金属层62中的有底孔的配置进行例示的局部平面图，沿图3B的B-B线的剖面相当于图3A的中间金属层62的部分。
如图1和图3A及图3B所示，注入口60具有与液管40连接的未密封部60a和与未密封部60a连接的密封部60b(图1中为被挤扁后的状态)。液管40、未密封部60a、及密封部60b一体形成。
未密封部60a内，使工作流体C注入液管40内时的形状基本上被进行了保持。就密封部60b而言，使工作流体C注入液管40内时，是与未密封部60a同样的形状，使工作流体C注入液管40内后，是藉由挤压而被进行了扁平化后的形状。通过挤压密封部60b而对其进行扁平化，可进行气密性密封，以确保被注入液管40内的工作流体C不会泄露至外部。
注入口60例如可为最外侧金属层66、中间金属层65、中间金属层64、中间金属层63、中间金属层62及最外侧金属层61的6层依次进行了层叠的结构。需要说明的是，在不需要特别对最外侧金属层和中间金属层进行区分的情况下，作为两者的总称，有时仅称为金属层。
最外侧金属层61、66位于构成注入口60的金属层的层叠结构的两个外侧，中间金属层62～65被层叠在最外侧金属层61和最外侧金属层66之间。本实施方式中，最外侧金属层61、66为没有形成孔和/或沟的实体(solid)状，构成了注入口60的外壁的一部分。
然而，金属层的层叠数量并不限定于6层，只要进行最少3层以上的金属层的层叠即可。即，只要在2个最外侧金属层之间层叠1层以上的中间金属层即可。
最外侧金属层61、66和中间金属层62～65例如为热传导性较优的铜层，并通过固相结合等，互相之间进行了直接结合。最外侧金属层61、66和中间金属层62～65的各层的厚度例如可为50μm～200μm左右。需要说明的是，最外侧金属层61、66和中间金属层62～65并不限定于铜层，还可由不锈钢层、铝层、镁合金层等进行形成。
未密封部60a具有用于使工作流体C注入液管40的注入通道680。注入通道680的宽度W3例如可为2～6mm左右。注入通道680的高度H1例如可为0.2～0.6mm左右。
中间金属层62具有沿X方向隔开配置的相对的壁部621、622。中间金属层63具有沿X方向隔开配置的相对的壁部631、632。中间金属层64具有沿X方向隔开配置的相对的壁部641、642。中间金属层65具有沿X方向隔开配置的相对的壁部651、652。
中间金属层62～65的壁部621、622、壁部631、632、壁部641、642及壁部651、652构成了注入口60的外壁的一部分。此外，注入通道680被壁部621、622、壁部631、632、壁部641、642、壁部651、652及最外侧金属层61、66进行了界定(define)。
在壁部621、622、壁部631、632、壁部641、642及壁部651、652的注入通道680侧，分别设置了多孔质体600。需要说明的是，图3A及图3B中尽管示出了未密封部60a，但通过挤压而被进行扁平化之前的密封部60b也为与图3A及图3B同样的结构。即，使工作流体C注入时，包含未密封部60a和密封部60b的注入口60整体具有图3A及图3B的结构。
如图3A及图3B所示，多孔质体600中，在中间金属层62的壁部621、622的注入通道680侧，分别形成了多个从上表面侧凹陷至厚度方向的大致略中央部的有底孔62x和从下表面侧凹陷至厚度方向的大致中央部的有底孔62y。
有底孔62x和有底孔62y在平面视图中沿X方向交互配置。另外，有底孔62x和有底孔62y在平面视图中沿Y方向交互配置。沿X方向交互配置了的有底孔62x和有底孔62y在平面视图中一部分进行了重叠(overlap)，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔62z。此外，沿Y方向交互配置了的有底孔62x和有底孔62y在平面视图中一部分进行了重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔62z。
有底孔62x、62y例如可为直径100～300μm左右的的圆形，但也可为椭圆形、多边形等的任意形状。有底孔62x、62y的深度例如可为中间金属层62的厚度的一半左右。相邻的有底孔62x的间隔L1例如可为100～400μm左右。相邻的有底孔62y的间隔L2例如可为100～400μm左右。
有底孔62x、62y的内壁可为从底面侧向开口侧逐渐增宽的锥形(Taper)形状。但是，并不限定于此，有底孔62x、62y的内壁也可垂直于底面。细孔62z的短方向的宽度W4例如可为10～50μm左右。此外，细孔62z的长方向的宽度W5例如可为50～150μm左右。
同样，在中间金属层63的壁部631、632的注入通道680侧，分别形成了从上表面侧凹陷至厚度方向的大致中央部的有底孔63x和从下表面侧凹陷至厚度方向的大致中央部的有底孔63y。
有底孔63x和有底孔63y在平面视图中沿X方向交互配置。此外，有底孔63x和有底孔63y在平面视图中沿Y方向交互配置。沿X方向交互配置了的有底孔63x和有底孔63y在平面视图中一部分进行了重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔63z。另外，沿Y方向交互配置了的有底孔63x和有底孔63y在平面视图中一部分进行了重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔63z。
此外，有底孔62y和有底孔63x在平面视图中一部分进行了重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔67z。
同样，在中间金属层64的壁部641、642的注入通道680侧，分别形成了多个从上表面侧凹陷至厚度方向的大致中央部分处的有底孔64x和从下表面侧凹陷至厚度方向的大致中央部的有底孔64y。
有底孔64x和有底孔64y在平面视图中沿X方向交互配置。另外，有底孔64x和有底孔64y在平面视图中沿Y方向交互配置。沿X方向交互配置了的有底孔64x和有底孔64y在平面视图中一部分进行了重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔64z。此外，沿Y方向交互配置了的有底孔64x和有底孔64y在平面视图中一部分进行了重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔64z。
此外，有底孔63y和有底孔64x在平面视图中一部分进行了重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔68z。
同样，在中间金属层65的壁部651、652的注入通道680侧，分别形成了从上表面侧凹陷至厚度方向的大致中央部的有底孔65x和从下表面侧凹陷至厚度方向的大致中央部的有底孔65y。
有底孔65x和有底孔65y在平面视图中沿X方向交互配置。另外，有底孔65x和有底孔65y在平面视图中沿Y方向交互配置。沿X方向交互配置了的有底孔65x和有底孔65y在平面视图中一部分进行了重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔65z。另外，沿Y方向交互配置了的有底孔65x和有底孔65y在平面视图中一部分进行了重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔65z。
此外，有底孔64y和有底孔65x在平面视图中一部分进行了重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔69z。
需要说明的是，图3B对中间金属层62中的有底孔的配置进行了例示，但就中间金属层63～65中的有底孔的配置而言，也可与中间金属层62的情况相同。另外，中间金属层63～65中，沿X方向相邻的有底孔的间隔、沿Y方向相邻的有底孔的间隔、有底孔的内壁的形状、细孔的长方向的宽度、及细孔的短方向的宽度也都可与中间金属层62的情况相同。
但是，上述记载仅为一例，中间金属层63～65中的有底孔的配置也可不与中间金属层62的情况相同。此时，中间金属层63～65中，只要上下的中间金属层的相邻的部分处所形成的有底孔在平面视图中具有重叠的区域并可形成细孔，可任意进行中间金属层63～65中的有底孔的配置。此外，中间金属层63～65中，沿X方向相邻的有底孔的间隔、沿Y方向相邻的有底孔的间隔、有底孔的内壁的形状、细孔的长方向的宽度、及细孔的短方向的宽度也可都为与中间金属层62不同的规格。
各中间金属层内所形成的细孔之间相互连通，相互连通了的细孔在多孔质体600内进行三维扩展。为此，工作流体C可藉由毛细管力可在相互连通的细孔内进行三维蔓延。
[第1实施方式的环路热管的制造方法]
接着，以多孔质体的制造步骤为中心对第1实施方式的环路热管的制造方法进行说明。图4A～图4D和图5A～图5B是对第1实施方式的环路热管的制造步骤进行例示的图，示出了与图3A对应的剖面。
首先，在图4A所示的步骤中，准备一个被形成为图1所示的平面形状的金属片620。然后，在金属片620的上表面形成光阻(resist)层310，并在金属片620的下表面形成光阻层320。金属片620是最终要变为中间金属层62的部件，例如，可由铜、不锈钢、铝、镁合金等形成。金属片620的厚度例如可为50μm～200μm左右。作为光阻层310、320，例如可使用感光性干膜光阻等。
接下来，在图4B所示的步骤中，对金属片620的要形成多孔质体600的区域(要成为注入口60的侧壁的区域)内的光阻层310进行曝光和显影，藉此形成使金属片620的上表面选择性露出(暴露)的开口部310x。另外，对光阻层320进行曝光和显影，由此形成使金属片620的下表面选择性露出的开口部320x。开口部310x、320x的形状和配置被形成为与图3B所示的有底孔62x、62y的形状和配置相对应。
然后，在图4C所示的步骤中，对开口部310x内露出的金属片620从金属片620的上表面侧进行半蚀刻(half etching)，并对开口部320x内露出的金属片620从金属片620的下表面侧进行半蚀刻。
据此，在金属片620的上表面侧可形成有底孔62x，在下表面侧可形成有底孔62y。另外，就表里都沿X方向和Y方向交互配置了的开口部310x和开口部320x而言，在平面视图中一部分进行了重叠，所以重叠了的部分进行连通，由此可形成细孔62z。此外，金属片620的X方向的中央部分进行了开口，并沿X方向分离地形成了壁部621、622。金属片620的半蚀刻例如可使用氯化铁溶液。
之后，在图4D所示的步骤中，使用剥离液对光阻层310、320进行剥离。据此，形成了中间金属层62。
接着，在图5A所示的步骤中，准备两个没有形成孔和/或沟的实体(solid)状的最外侧金属层61、66。另外，采用与中间金属层62同样的方法形成了中间金属层63、64、65。中间金属层63、64、65上所形成的有底孔和细孔的位置例如可与图3B相同。
然后，在图5B所示的步骤中，按照图5A所示的顺序对每个最外侧金属层和中间金属层进行层叠，并通过加压和加热进行固相结合。据此，相邻的金属层之间进行直接结合，由此可形成具有蒸发器10、凝缩器20、蒸气管30、液管40及注入口60的环路热管1，并可在注入口60的侧壁上形成多孔质体600。此外，藉由蒸气管30和液管40还形成了流路50。
这里，固相结合是指，不使结合对象熔融，在固相(固体)状态下进行加热以使其软化，再通过加压以使其塑性变形从而对其进行结合的方法。需要说明的是，为了通过固相结合使相邻的金属层之间进行良好的结合，最外侧金属层61、66和中间金属层62～65的材料优选为都相同。
之后，使用真空泵等对液管40内进行排气后，从注入口60向液管40内注入工作流体C。接下来，对注入口60的端部进行挤压，以进行扁平化，由此可形成密封部60b，并可进行气密性密封，以保证被注入了液管40内的工作流体C不会泄露至外部。
环路热管1中，注入口60的侧壁上形成的多孔质体600会产生毛细管力。为此，如图6A所示，从注入口60注入工作流体C后，如图6B所示，工作流体C先流到注入口60的两个侧壁的多孔质体600并被引入其内。然后，追随被吸入了注入口60的两个侧壁内的工作流体C，工作流体C在注入口60的两个侧壁之间形成弯月面(Meniscus)并被吸入。
这样，通过多孔质体600的毛细管力，可容易地将工作流体C吸入环路热管1的内部。为此，即使在环路热管1被进行了薄型化，同时用于使工作流体C注入的注入口60变窄了的情况下，也可将微量的工作流体C稳定地吸入内部。另外，由于可将微量的工作流体C稳定地吸入内部，所以可提高工作流体C的注入量的控制性，并可容易地注入预定量的工作流体C。
另外，多孔质体600被形成为，通过使从各金属层的两个表面侧所形成的有底孔进行部分连通而在各金属层内设置了细孔的结构。据此，如形成了贯穿孔的金属层以贯穿孔进行部分重叠的方式而被层叠了的情况那样，不会产生金属层被层叠时的位置偏移、和/或、多个金属层被层叠时的加热处理时的金属层的膨胀和收缩所引起的位置偏移。为此，可在金属层内形成一定尺寸(size)的细孔。据此，可防止细孔的尺寸偏差(不均)所导致的、基于细孔的毛细管力的降低，并可稳定地将微量的工作流体C吸入内部。
〈第1实施方式的变形例1〉
第1实施方式的变形例1中，示出了多孔质体内的有底孔的不同配置的例子。需要说明的是，第1实施方式的变形例1中，存在对与已经说明了的实施方式相同的构成部件的说明进行省略的情况。
图7是对第1实施方式的变形例1的环路热管的注入口的结构进行例示的图，示出了相当于图3A的剖面。
就图7所示的多孔质体601而言，中间金属层62～65内，中间金属层的相邻部分处所形成的有底孔在平面视图中配置于重叠位置处并相互连通，这点与多孔质体600(参照图3A)不同。
具体而言，中间金属层62的有底孔62y和中间金属层63的有底孔63x、中间金属层63的有底孔63y和中间金属层64的有底孔64x、及中间金属层64的有底孔64y和中间金属层65的有底孔65x在平面视图中配置在重叠位置处并相互连通。
这样，在中间金属层被层叠的部分处，通过使相邻的有底孔为整体重叠的结构，可增大中间金属层之间相接的面积，为此可获得强固的结合。关于其他效果，都与第1实施方式相同。
〈第1实施方式的变形例2〉
第1实施方式的变形例2中，示出了在第1实施方式的变形例1中的多孔质体的最外层上也形成有底孔的例子。需要说明的是，第1实施方式的变形例2中，存在对与已经说明了的实施方式相同的构成部件的说明进行省略的情况。
图8是对第1实施方式的变形例2的环路热管的注入口的结构进行例示的图，示出了相当于图3A的剖面。
就图8所示的多孔质体602而言，最外侧金属层61、66上也形成了有底孔，这点与多孔质体601(参照图7)不同。
具体而言，在最外侧金属层61上形成了从下表面侧凹陷至厚度方向的大致中央部的有底孔61y。有底孔61y例如在平面视图中可形成于与有底孔62y重叠的位置。有底孔61y和有底孔62x在平面视图中一部分重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔61z。
另外，在最外侧金属层66上形成了从上表面侧凹陷至厚度方向的大致中央部的有底孔66x。有底孔66x例如在平面视图中可形成于与有底孔65x重叠的位置。有底孔66x和有底孔65y在平面视图中一部分重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔66z。
这样，多孔质体602中，在作为一个最外层的最外侧金属层61的与中间金属层62相接的一侧形成有底孔61y，并使其与中间金属层62上所形成的有底孔62x进行部分连通，由此设置了细孔61z。此外，在作为另一个最外层的最外侧金属层66的与中间金属层65相接的一侧形成有底孔66x，并使其与中间金属层65上所形成的有底孔65y进行部分连通，由此设置了细孔66z。
据此，可使多孔质体602的细孔数量多于多孔质体601的细孔数量，从而可进一步提高基于细孔的毛细管力。其结果为，即使在环路热管1被进行了薄型化，同时用于使工作流体C注入的注入口60变窄了的情况下，也可使微量的工作流体C更稳定地被吸入内部。
需要说明的是，多孔质体600(参照图3A)中，与多孔质体602同样地，也可在作为一个最外层的最外侧金属层61的与中间金属层62相接的一侧形成有底孔61y，并在作为另一个最外层的最外侧金属层66的与中间金属层65相接的一侧形成有底孔66x。此情况下也可获得与上述相同的效果。
〈第1实施方式的变形例3〉
第1实施方式的变形例3中，示出了采用贯穿孔来取代有底孔的例子。需要说明的是，第1实施方式的变形例3中，存在对与已经说明了的实施方式相同的构成部件的说明进行省略的情况。
图9是对第1实施方式的变形例3的环路热管的注入口的结构进行例示的图，示出了相当于图3A的剖面。
就图9所示的多孔质体603而言，在中间金属层62～65内，取代有底孔而设置贯穿孔，并使相邻的中间金属层的贯穿孔进行部分连通以设置细孔，这点与多孔质体600(参照图3A)不同。
具体而言，在中间金属层62的壁部621、622的注入通道680侧，形成了沿厚度方向贯穿的多个贯穿孔62t。在中间金属层63的壁部631、632的注入通道680侧，形成了沿厚度方向贯穿的多个贯穿孔63t。在中间金属层64的壁部641、642的注入通道680侧，形成了沿厚度方向贯穿的多个贯穿孔64t。在中间金属层65的壁部651、652的注入通道680侧，形成了沿厚度方向贯穿的多个贯穿孔65t。就平面视图中的各贯穿孔的配置和/或形状而言，可与多孔质体600的各有底孔相同。
贯穿孔62t和贯穿孔63t在平面视图中一部分重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔67z。此外，贯穿孔63t和贯穿孔64t在平面视图中一部分重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔68z。贯穿孔64t和贯穿孔65t在平面视图中一部分重叠，重叠了的部分进行连通，由此形成了细孔69z。
为了形成各贯穿孔，在图4B所示的步骤中，将开口部310x、320x形成于平面视图中重叠的位置处，在图4C所示的步骤中，只要对开口部310x内露出的金属片620和开口部320x内露出的金属片620进行蚀刻即可。
这样，可设置贯穿孔以取代有底孔，并使相邻的中间金属层的贯穿孔进行部分连通，藉此设置细孔。此情况下，也具有与第1实施方式相同的效果。然而，如前所述，从不会发生中间金属层被层叠时的位置偏移、和/或、多个中间金属层被层叠时的加热处理时的中间金属层的膨胀和收缩所引起的位置偏移这点来看，多孔质体600～602为优选。
〈第2实施方式〉
第2实施方式中示出了扁平热管的例子。需要说明的是，第2实施方式中，存在对与已经说明了的实施方式相同的构成部件的说明进行省略的情况。
图10是对第2实施方式的扁平热管进行例示的平面示意图。
如图10所示，扁平热管5例如可为在外框95的内壁设置了芯部96的结构。芯部96的内侧形成了蒸气流路97。芯部96具有用于使在散热部中进行了凝缩的工作流体回流至蒸发部的毛细管力。蒸发部内变成了蒸气的工作流体可经由蒸气流路97移动至散热部。
扁平热管5中，外框95的配置了半导体装置等的发热部件的位置为蒸发部(发热部)，远离蒸发部的位置为散热部，两者之间为绝热部。例如，如果在图10所示的外框95的右端部附近设置发热部件，则该处为蒸发部。另外，外框95的左端部附近为凝缩部，并且外框95的中央部附近为绝热部。
外框95上设置了注入口90，其具有使工作流体注入芯部96的未密封部90a和密封部90b(图10中为挤扁后的状态)。未密封部90a和扁平化之前的密封部90b具有与图3A及图3B相同结构的多孔质体600。
这样，在扁平热管5中，通过设置与注入口60相同结构的注入口90，也可藉由多孔质体600获得与第1实施方式同样的效果。需要说明的是，在注入口90内，也可设置多孔质体601、602或603以取代多孔质体600。
以上对较佳实施方式进行了详述，但并不限定于上述实施方式，在权利要求书记载的范围内，还可对上述实施方式进行各种各样的变形和置换。
例如，上述的各实施方式和变形例中，在各中间金属层的相对的两个壁部上都设置了多孔质体，但也可仅在各中间金属层的相对的两个壁部中的一个上设置多孔质体。
另外，也可不在所有的中间金属层上都设置多孔质体，例如，可在中间金属层62、65上不设置多孔质体，而仅在中间金属层63、64的相对的两个壁部中的一个或两个上设置孔质体。
此外，多孔质体也不必与中间金属层一体形成，还可将与中间金属层分开形成的多孔质体插入注入口并设置在中间金属层的壁部上。
基于上述，提供一种热管，包括：注入口，用于使工作流体注入所述热管。所述注入口具有：第1最外侧金属层；第2最外侧金属层；第1中间金属层，层叠在所述第1最外侧金属层和所述第2最外侧金属层之间；注入通道，由所述第1中间金属层的相对的壁部、所述第1最外侧金属层、及所述第2最外侧金属层界定；及多孔质体，设置在所述相对的壁部中的一个或两个上。所述多孔质体具有：从所述第1中间金属层的一个表面凹陷的第1有底孔；从所述第1中间金属层的另一个表面凹陷的第2有底孔；及由所述第1中间金属层的所述第1有底孔与所述第1中间金属层的所述第2有底孔部分连通而形成的细孔。
其中，所述注入口还具有与所述第1中间金属层相邻的第2中间金属层。所述多孔质体还具有：从所述第2中间金属层的一个表面凹陷的第1有底孔；从所述第2中间金属层的另一个表面凹陷的第2有底孔；及由所述第2中间金属层的所述第1有底孔与所述第2中间金属层的所述第2有底孔部分连通而形成的细孔。所述第1中间金属层的所述第2有底孔和所述第2中间金属层的所述第1有底孔部分连通从而形成多个细孔。另外，就所述第1中间金属层的所述第2有底孔和所述第2中间金属层的所述第1有底孔而言，在平面视图中形成于重叠位置处。
其中，所述第1最外侧金属层包括从与所述第1中间金属层的所述一个表面相接的所述第1最外侧金属层的表面凹陷的第3有底孔，所述第3有底孔和所述第1中间金属层的所述第1有底孔部分连通从而形成细孔。
其中，所述第2最外侧金属层包括从与所述第1中间金属层的所述另一个表面相接的所述第2最外侧金属层的表面凹陷的第4有底孔，所述第4有底孔和所述第1中间金属层的所述第2有底孔部分连通从而形成细孔。
所述热管还包括：蒸发器，使所述工作流体气化并生成蒸气；凝缩器，使所述工作流体的所述蒸气液化；液管，连接所述蒸发器和所述凝缩器；及蒸气管，连接所述蒸发器和所述凝缩器，并与所述液管一起形成环形通道。其中，所述注入口与所述液管、所述凝缩器、及所述蒸气管中的一个连接。
此外还提供一种热管，包括：第1最外侧金属层；第2最外侧金属层；多个中间金属层，层叠在所述第1最外层金属层和所述第2最外侧金属层之间；注入通道，由所述多个中间金属层的相对的壁部、所述第1最外侧金属层、及所述第2最外侧金属层界定；及多孔质体，设置在所述相对的壁部中的一个或两个上。所述多孔质体具有：贯穿所述多个中间金属层中的第1中间金属层的第1贯穿孔；贯穿与所述第1中间金属层相接的、所述多个中间金属层中的第2中间金属层的第2贯穿孔；及由所述第1贯穿孔与所述第2贯穿孔部分连通而形成的细孔。所述第1最外侧金属层、所述第2最外侧金属层、所述多个中间金属层、所述注入通道、及所述多孔质体形成用于使工作流体注入所述热管的注入口。
所述热管还包括：蒸发器，使所述工作流体气化并生成蒸气；凝缩器，使所述工作流体的所述蒸气液化；液管，连接所述蒸发器和所述凝缩器；及蒸气管，连接所述蒸发器和所述凝缩器，并与所述液管一起形成环形通道。其中，所述注入口与所述液管、所述凝缩器、及蒸气管中的一个连接。
另外，还提供一种具有注入工作流体的注入口的热管的制造方法，其中，所述注入口具有：位于两个外侧的最外侧金属层；在所述最外侧金属层之间被层叠的中间金属层；由所述中间金属层的相对的壁部和所述最外侧金属层界定的注入通道；及设置在所述壁部上的多孔质体。所述制造方法包括形成用于构成所述多孔质体的所述中间金属层的步骤。形成所述中间金属层的步骤包括：对金属片从其一个表面进行半蚀刻从而形成第1有底孔的步骤；及对所述金属片从其另一个表面进行半蚀刻，形成与所述第1有底孔进行部分连通从而形成细孔的第2有底孔的步骤。
此外，还提供一种具有注入工作流体的注入口的热管的制造方法，其中，所述注入口具有：位于两个外侧的最外侧金属层；在所述最外侧金属层之间被层叠的多个中间金属层；由所述中间金属层的相对的壁部和所述最外侧金属层界定的注入通道；及设置在所述壁部上的多孔质体。所述制造方法包括形成用于构成所述多孔质体的多个中间金属层的步骤。形成所述多个中间金属层的步骤包括：对第1金属片进行蚀刻从而形成第1贯穿孔的步骤；对第2金属片进行蚀刻从而形成第2贯穿孔的步骤；及对所述第1金属片和所述第2金属片进行层叠，使所述第1贯穿孔和所述第2贯穿孔部分连通从而形成细孔的步骤。
以上对本发明的实施方式进行了说明，但是上述内容并不是对本发明的内容进行限定的内容。

Claims (10)

1.一种热管，包括：
注入口，用于使工作流体注入所述热管，
其中，
所述注入口具有
第1最外侧金属层；
第2最外侧金属层；
第1中间金属层，层叠在所述第1最外侧金属层和所述第2最外侧金属层之间；
注入通道，由所述第1中间金属层的相对的壁部、所述第1最外侧金属层、及所述第2最外侧金属层界定；及
多孔质体，设置在所述相对的壁部中的一个或两个上，
所述多孔质体具有
从所述第1中间金属层的一个表面凹陷的第1有底孔；
从所述第1中间金属层的另一个表面凹陷的第2有底孔；及
由所述第1中间金属层的所述第1有底孔与所述第1中间金属层的所述第2有底孔部分连通而形成的细孔。
2.如权利要求1所述的热管，其中，
所述注入口还具有与所述第1中间金属层相邻的第2中间金属层，
所述多孔质体还具有
从所述第2中间金属层的一个表面凹陷的第1有底孔；
从所述第2中间金属层的另一个表面凹陷的第2有底孔；及
由所述第2中间金属层的所述第1有底孔与所述第2中间金属层的所述第2有底孔部分连通而形成的细孔，
所述第1中间金属层的所述第2有底孔和所述第2中间金属层的所述第1有底孔部分连通从而形成多个细孔。
3.如权利要求1所述的热管，其中，
所述注入口还具有与所述第1中间金属层相邻的第2中间金属层，
所述多孔质体还具有
从所述第2中间金属层的一个表面凹陷的第1有底孔；
从所述第2中间金属层的另一个表面凹陷的第2有底孔；及
由所述第2中间金属层的所述第1有底孔与所述第2中间金属层的所述第2有底孔部分连通而形成的细孔，
所述第1中间金属层的所述第2有底孔和所述第2中间金属层的所述第1有底孔在平面视图中形成于重叠位置。
4.如权利要求1所述的热管，其中，
所述第1最外侧金属层包括从与所述第1中间金属层的所述一个表面相接的所述第1最外侧金属层的表面凹陷的第3有底孔，
所述第3有底孔和所述第1中间金属层的所述第1有底孔部分连通从而形成细孔。
5.如权利要求4所述的热管，其中，
所述第2最外侧金属层包括从与所述第1中间金属层的所述另一个表面相接的所述第2最外侧金属层的表面凹陷的第4有底孔，
所述第4有底孔和所述第1中间金属层的所述第2有底孔部分连通从而形成细孔。
6.如权利要求1所述的热管，还包括：
蒸发器，使所述工作流体气化并生成蒸气；
凝缩器，使所述工作流体的所述蒸气液化；
液管，连接所述蒸发器和所述凝缩器；及
蒸气管，连接所述蒸发器和所述凝缩器，并与所述液管一起形成环形通道。
7.一种热管，包括：
第1最外侧金属层；
第2最外侧金属层；
多个中间金属层，层叠在所述第1最外层金属层和所述第2最外侧金属层之间；
注入通道，由所述多个中间金属层的相对的壁部、所述第1最外侧金属层、及所述第2最外侧金属层界定；及
多孔质体，设置在所述相对的壁部中的一个或两个上，
其中，
所述多孔质体具有
贯穿所述多个中间金属层中的第1中间金属层的第1贯穿孔；
贯穿与所述第1中间金属层相接的、所述多个中间金属层中的第2中间金属层的第2贯穿孔；及
由所述第1贯穿孔与所述第2贯穿孔部分连通而形成的细孔，
所述第1最外侧金属层、所述第2最外侧金属层、所述多个中间金属层、所述注入通道、及所述多孔质体形成用于使工作流体注入所述热管的注入口。
8.如权利要求7所述的热管，还包括：
蒸发器，使所述工作流体气化并生成蒸气；
凝缩器，使所述工作流体的所述蒸气液化；
液管，连接所述蒸发器和所述凝缩器；及
蒸气管，连接所述蒸发器和所述凝缩器，并与所述液管一起形成环形通道。
9.一种具有注入工作流体的注入口的热管的制造方法，其中，
所述注入口具有
位于两个外侧的最外侧金属层；
在所述最外侧金属层之间被层叠的中间金属层；
由所述中间金属层的相对的壁部和所述最外侧金属层界定的注入通道；及
设置在所述壁部上的多孔质体，
所述制造方法包括形成用于构成所述多孔质体的所述中间金属层的步骤，
形成所述中间金属层的步骤包括
对金属片从其一个表面进行半蚀刻从而形成第1有底孔的步骤；及
对所述金属片从其另一个表面进行半蚀刻，形成与所述第1有底孔进行部分连通从而形成细孔的第2有底孔的步骤。
10.一种具有注入工作流体的注入口的热管的制造方法，其中，
所述注入口具有
位于两个外侧的最外侧金属层；
在所述最外侧金属层之间被层叠的多个中间金属层；
由所述中间金属层的相对的壁部和所述最外侧金属层界定的注入通道；及
设置在所述壁部上的多孔质体，
所述制造方法包括形成用于构成所述多孔质体的多个中间金属层的步骤，
形成所述多个中间金属层的步骤包括
对第1金属片进行蚀刻从而形成第1贯穿孔的步骤；
对第2金属片进行蚀刻从而形成第2贯穿孔的步骤；及
对所述第1金属片和所述第2金属片进行层叠，使所述第1贯穿孔和所述第2贯穿孔部分连通从而形成细孔的步骤。
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