JP5180385B1 - ベーパチャンバ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】互いの間に確保した気相空間Aに冷媒を封入した状態で相互に対向配置された一対の表面層部材10を備え、表面層部材10には、液相冷媒を面方向に沿って流通させる液相空間Bを形成するとともに、液相空間Bと気相空間Aとの間を連通する連通孔123を形成し、かつ一対の表面層部材10の間の気相空間Aには、表面層部材10の液相空間Bを互いに連絡する連絡通路21を設け、一方の表面層部材10に設けた液相空間Bの気相冷媒を一方の表面層部材10の連通孔123から気相空間Aを経て拡散させるとともに、他方の表面層部材10に設けた液相空間Bの液相冷媒を連絡通路21から一方の表面層部材10の液相空間Bに移動させるようにしたベーパチャンバにおいて、一対の表面層部材10の間に複数の柱状部材20を介在させ、柱状部材20に連絡通路21を設けた。
【選択図】図3
Description
また、液相空間で気相となった冷媒は気相空間の形状により流れる方向が決まってしまうため、最適な性能を維持するためには、被冷却体の接触する位置により個別の設計が必要になる。例えば、被冷却体が中央にある場合は、液相空間を中央部から放射状に広げるように形成する必要があるが、被冷却体を端部に移動した場合には、気相冷媒は被冷却体に最も近い気相空間を通って中央部まで移動するだけで、それ以外の気相空間は被冷却体により発生した気相冷媒の輸送に寄与することができない状態となる。その結果、ベーパチャンバの熱輸送量が低下し、空間全体を熱輸送に有効に使用することができなくなる。
さらに、被冷却体を任意の位置に取り付けても、気相冷媒の拡散、移動が妨げられることがなく、性能差が生じない汎用性の高いベーパチャンバを提供することを目的とする。
さらに、気相空間がベーパチャンバ全体にわたって貫通・解放されているため、気相冷媒の拡散、移動が妨げられることがなく、被冷却体の取り付け位置による性能差が生じない。
20 柱状部材
21 連絡通路
21a 細径円孔
22 連結部
110 外層板
111,121,122 溝状凹部
120 内層板
123 連通孔
A 気相空間
B 液相空間
Claims (7)
- 互いの間に確保した気相空間に冷媒を封入した状態で相互に対向配置された一対の表面層部材を備え、
それぞれの表面層部材には、液相冷媒を面方向に沿って流通させる液相空間を形成するとともに、一対の表面層部材の間の気相空間には、それぞれの表面層部材の液相空間を互いに連絡する連絡通路を設け、
一方の表面層部材に設けた液相空間の気相冷媒を、前記気相空間を経て拡散させるとともに、他方の表面層部材に設けた液相空間の液相冷媒を前記連絡通路から一方の表面層部材の液相空間に移動させるようにしたベーパチャンバにおいて、
前記一対の表面層部材の間に複数の柱状部材を介在させ、各柱状部材の内部に前記連絡通路を複数設けるとともに、前記一対の表面層部材において前記気相空間に対向する面に前記液相空間に連通する複数の溝状凹部をそれぞれ形成し、前記溝状凹部を介して前記気相空間と前記液相空間との間を連通させたことを特徴とするベーパチャンバ。 - 個々の表面層部材には、前記液相空間と前記溝状凹部との間を連通する連通孔を形成したことを特徴とする請求項1に記載のベーパチャンバ。
- 隣接する柱状部材の周面間には互いの間を連結する連結部を設け、
前記連結部は、前記柱状部材に対して軸方向に沿った寸法を小さく形成したものであり、一方の表面層部材において気相空間に臨む内表面に当接した第1連結部と、他方の表面層部材において気相空間に臨む内表面に当接した第2連結部を有し、かつこれら第1連結部及び第2連結部を互いに重ならない位置に配置することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のベーパチャンバ。 - 前記柱状部材に形成する連絡通路は、複数の細径孔を結合した横断面形状を有することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一つに記載のベーパチャンバ。
- 前記柱状部材は、外周面に開口する連絡通路を有したことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一つに記載のベーパチャンバ。
- それぞれの表面層部材は、
平板状を成し、一方の面に前記複数の溝状凹部が形成された外層板と、
平板状を成し、両面に互いに交差する方向に沿って複数の第1内層凹部及び第2内層凹部が形成されるとともに、これら第1内層凹部及び第2内層凹部の交差部に貫通孔が開口する内層板と
を備え、前記外層板の前記溝状凹部を前記内層板の前記第1内層凹部に対向させて前記外層板と前記内層板とを積層し、前記内層板の前記第2内層凹部を前記気相空間に向けて配置することにより、前記第1内層凹部及び前記第2内層凹部の交差部に開口する前記内層板の前記貫通孔を前記連通孔として機能させることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか一つに記載のベーパチャンバ。 - 前記外層板の前記溝状凹部は、対向する前記内層板において同一方向に延在する前記第2内層凹部に対して互いに開口の位置をずらした状態で重ね合わせることを特徴とする請求項6に記載のベーパチャンバ。
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