JP2019009661A - Rfidタグ用基板、rfidタグおよびrfidシステム - Google Patents

Rfidタグ用基板、rfidタグおよびrfidシステム Download PDF

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Abstract

【課題】 導電体に貼付するためのテープや接着剤などの絶縁物の厚さによって、RFIDタグの共振周波数のばらつきが大きくなる。【解決手段】 第1面10aと、第1面10aに対向する第2面10bとを有する誘電体基板10と、誘電体基板10の第1面10a上に配設された放射導体20と、誘電体基板10に埋設された接地導体21と、接地導体21と放射導体20とを電気的に接続する接続導体22と、誘電体基板10の第2面10b上に配設され、接地導体21と電気的に絶縁されている電界遮断導体29と、半導体素子30を載置するための半導体素子載置部10eと、を備えることによってRFIDタグ2の設置状態による共振周波数のばらつきを抑制して、安定した読み取りおよび書き込みができるRFIDタグ用基板1を提供することができる。【選択図】 図1

Description

本発明は、電波によって情報の送受を行なうRFID(Radio Frequency Identification)タグ用基板、RFIDタグおよびRFIDシステムに関する。
各種物品の情報を、物品に実装したRFIDタグで検知し、管理することが広く行なわれるようになってきている。この場合のRFIDタグとして、情報の送受をUHF(Ultra High Frequency)帯等の電波で行なうためのアンテナ導体およびIC(Integrated circuit)等の半導体素子を有するものが用いられるようになってきている。
RFIDタグのアンテナ導体と、電波の送受信機能を有するリーダライタ等の外部機器との間で情報の送受が行なわれる。送受される信号は、半導体素子で記憶または呼び出し等が行なわれる。この場合に、半導体素子は、アンテナ導体に対する給電部としても機能する(例えば特許文献1を参照)。
RFIDタグのうち、金属などの導電体に接触または近接して用いられるRFIDタグがある。このようなRFIDタグは、たとえば、導電体上に直接載置固定されたり、また、接着剤または両面テープによって導電体上に貼付されたりする場合がある。
特開2000−101335号公報
しかしながら、金属などの導電体と接触または近接して用いられるRFIDタグは、たとえば、導電体に貼付するためのテープや接着剤などの絶縁物の厚さによって、接地導体と導電体との距離が変化する。導電体と接地導体との距離の変化によるRFIDタグの共振周波数の変化が大きい場合には、共振周波数がリーダライタの送受信可能な帯域を外れてしまい、RFIDタグとリーダライタとの間の通信が困難になるおそれがある。
本発明の一つの態様のRFIDタグ用基板は、第1面と、第1面に対向する第2面とを有する誘電体基板と、前記誘電体基板の第1面上に配設された放射導体と、前記誘電体基板に埋設された接地導体と、前記接地導体と前記放射導体とを電気的に接続する接続導体と、前記誘電体基板の第2面上に配設され、前記接地導体と電気的に絶縁されている電界遮断導体と、半導体素子を載置するための半導体素子載置部と、を備えたことを特徴とする。
本発明の一つの態様のRFIDタグは、上記RFIDタグ用基板と、前記RFIDタグ用基板の前記半導体素子載置部に配設された半導体素子と、を備えたことを特徴とする。
本発明の一つの態様のRFIDシステムは、上記RFIDタグと、前記RFIDタグとの間で電波を送受するアンテナを備えたリーダライタと、を備えることを特徴とする。
本発明の一つの態様のRFIDタグ用基板によれば、RFIDタグの設置状態による共振周波数のばらつきを抑制して、安定した読み取りおよび書き込みができるRFIDタグを提供することができる。
本発明の一つの態様のRFIDタグによれば、RFIDタグの設置状態による共振周波数のばらつきを抑制して、RFIDタグに対する安定した読み取りおよび書き込みを実現し、RFIDタグの信頼性を向上させることができる。
本発明の一つの態様のRFIDシステムによれば、RFIDタグの設置状態による共振周波数のばらつきを抑制して、リーダライタによる安定した読み取りおよび書き込みを実現し、RFIDシステムの信頼性を向上させることができる。
第1実施形態のRFIDタグの一例を示す断面図である。 第2実施形態のRFIDタグの一例を示す断面図である。 第3実施形態のRFIDタグの一例を示す断面図である。 第4実施形態のRFIDタグの一例を示す断面図である。 RFIDシステムの一例を示す模式図である。 RFIDタグのシミュレーションモデルを示す模式図である。
以下、本実施形態のRFIDタグ用基板、RFIDタグおよびRFIDシステムについて図面を用いて詳細に説明する。なお、以下の説明における上下の区別は説明上の便宜的なものであり、実際にRFIDタグおよびRFIDシステムが使用されるときの上下を限定するものではない。図1は、第1実施形態のRFIDタグの一例を示す断面図である。また、
第1実施形態のRFIDタグ用基板1は、たとえば、矩形状等の平板状であって、第1面10aと第1面10aに対向する第2面10bとを有する誘電体基板10と、誘電体基板10に配設された導体部分とを含むものである。RFIDタグ用基板1と、RFIDタグ用基板1の導体部分に接続された半導体素子30等によってRFIDタグ2が構成されている。
誘電体基板10の第1面10aに向かって平面視した形状は、たとえば、一辺の長さが2〜10mm程度の矩形状であり、厚さは、1〜2mm程度である。本実施例においては、誘電体基板10は、誘電体層11〜14を積層した構成となっている。誘電体基板10は、たとえば、酸化アルミニウム質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体またはガラスセラミック焼結体等のセラミック焼結体によって形成することができる。
誘電体基板10は、たとえば、酸化アルミニウム質焼結体からなる場合であれば、次のようにして作製することができる。まず酸化アルミニウムおよび酸化ケイ素等の原料粉末を適当な有機バインダおよび有機溶剤とともにシート状に成形して四角シート状の複数のセラミックグリーンシートを作製する。次に、これらのセラミックグリーンシートを積層して積層体を作製する。その後、この積層体を1300〜1600℃の温度で焼成することによって誘電体基板10を作製することができる。
このときに、一部のセラミックグリーンシートの中央部等を厚み方向に打ち抜いて枠状に加工しておき、枠状のセラミックグリーンシートを最上層または最下層において積層して焼成すれば、凹部10cを有する誘電体基板10を製作することができる。第1実施形態においては、誘電体基板10は、それぞれのセラミックグリーンシートが焼結してなる複数の誘電体層11〜14が順に積層された積層体になっており、誘電体層13,14に設けられた貫通孔によって、凹部10cが形成されている。なお、この焼結工程で誘電体基板10に配設される導体部分が形成される。誘電体基板10は、セラミック焼結体の他、樹脂などの誘電体によって構成することも可能である。
誘電体基板10の上面である第1面10aには、放射導体20が配置されている。放射導体20は、第1面10aのほぼ全面に設けられている。誘電体層14の上面には接地導体21が設けられている。接地導体21は、誘電体基板10に埋設されている。また、接地導体21は、誘電体層11〜13を挟んで放射導体20と対向するように設けられている。
誘電体基板10の下面である第2面10bには、凹部10cが設けられている。たとえば、凹部10cは第2面10bのほぼ中央に設けられている。凹部10cは、一辺が1〜3mmの矩形状の穴であり、誘電体層13,14を貫通して構成されている。凹部10cの底面10dは誘電体層12の下面で構成されている。
放射導体20と接地導体21とは接続導体22で電気的に接続されている。接続導体22は、誘電体層11〜13を貫く貫通導体とすることができる。また、接続導体22を、誘電体基板10の側面に設けて、放射導体20と接地導体21とを電気的に接続してもよい。
第2面10b上に設けられた電界遮断導体29は、凹部10cを取り囲むように環状に配設されている。電界遮断導体29は、第2面10bに沿って第2面10bのほぼ全体を覆っており、放射導体20および接地導体21と対向するように配設されている。また、電界遮断導体29は、RFIDタグ2を金属などの導体の対象物に取付けた場合に導体と直接、または両面テープ等の非導電性接合材、非導電性接着剤あるいは導電性接着剤などを介して接続する部分である。電界遮断導体29は、第2面10bの一部を被覆していてもよい。たとえば、送受信時の電界強度が強くなる部分である、凹部10cを挟んで接続導体22が接続された側とは反対側の接地導体21の部分に対向するように電界遮断導体29を設けてもよい。また、電界遮断導体29を凹部10cの開口部上まで延設して、開口部を覆うよう配設してもよい。
凹部10cの底面10dにICチップなどの半導体素子30を配設するための半導体素子載置部10eが設けられている。半導体素子載置部10eは、接地側電極24と放射側電極25とを有している。また、接地側電極24と放射側電極25とは、半導体素子30を挟むように配置されている。また、第1実施形態においては、接地側電極24と放射側電極25は底面10d内に配設されているが、底面10d内から誘電体層12の下面に沿って凹部10cの外側に延びるように配設することも可能である。
誘電体層12の上面に、容量導体28が配設されている。容量導体28は、誘電体基板10内部にあって、放射導体20と接地導体21との間に埋設されている。容量導体28は、誘電体層11を介して放射導体20と対向するように設けられ、容量部を形成している。容量導体28と、接地導体21とは第1容量部接続導体26aによって電気的に接続されている。第1容量部接続導体26aは、誘電体層12,13を貫通する貫通導体である。第1容量部接続導体26aは、凹部10cを挟んで接続導体22の反対側に配設されている。
接地側電極24は、誘電体層12を貫通する第1接地側接続導体23aによって、容量導体28に電気的に接続している。また、放射側電極25は、半導体素子30を挟んで接地側電極24の反対側にあり、誘電体層11,12を貫通する放射側接続導体27によって、放射導体20に接続されている。
上述の放射導体20、接地導体21、接続導体22、第1接地側接続導体23a、接地側電極24、放射側電極25、第1容量部接続導体26a、放射側接続導体27、容量導体28、および電界遮断導体29といった導体部分は、例えば、タングステン、モリブデン、マンガン、銅、銀、パラジウム、金、白金、ニッケルまたはコバルト等の金属材料によって形成されている。また、これらの導体部分は上記の金属材料を含む合金材料等によって形成されているものでもよい。このような金属材料等は、メタライズ層等の金属層として誘電体基板10の表面および内部に設けられている。
上記の導体部分は、たとえば、タングステンのメタライズ層である場合には、タングステンの粉末を有機溶剤および有機バインダと混合して作製した金属ペーストを誘電体基板10となるセラミックグリーンシートの所定位置にスクリーン印刷法等の方法で印刷した後に、これらを同時焼成する方法で形成することができる。
半導体素子30は、半導体素子載置部10eに載置されている。半導体素子30は、たとえば、金−シリコンろう材等の低融点ろう材、ガラス複合材料または樹脂接着剤等の接合材を介した接合法で半導体素子載置部10eに固定することができる。また、半導体素子30は、電極31,32が設けられており、電極31は、ワイヤ33を介して凹部10c内の接地側電極24に電気的に接続され、電極32は、ワイヤ34を介して凹部10c内の放射側電極25に電気的に接続している。本実施形態においては、ワイヤ33,34で結線したが、半導体素子載置部10eを接地側電極24および放射側電極25上に電極パッドを設けた構成とし、半導体素子の電極を電極パッド上に載置してはんだ等で固定するフリップチップ実装としてもよい。凹部10c内の半導体素子載置部10eに半導体素子30を載置することによって、半導体素子30を保護することができる。
半導体素子30は、凹部10cに封止樹脂35を充填することによって封止されている。封止樹脂35に用いられる樹脂材料としては、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂およびシリコーン樹脂等が挙げられる。また、これらの樹脂材料にシリカ粒子またはガラス粒子等のフィラー粒子が添加されていてもよい。フィラー粒子を添加することによって封止樹脂35の機械的な強度、耐湿性または電気特性等の各種の特性を調整することができる。封止樹脂35は、このような各種の樹脂材料から、RFIDタグ2の生産時の作業性(生産性)および経済性等の条件に応じて適宜選択して用いることができる。
上記構成のRFIDタグ用基板1に半導体素子30を実装したRFIDタグ2は、誘電体基板10に上記構成の導体部分を有することから、放射導体20を逆Fアンテナとして機能させることができる。また、誘電体基板10の第2面10b上に配設され、前記接地導体と電気的に絶縁されている電界遮断導体29を備えているので、RFIDタグ2と、RFIDタグ2を張り付けている金属などの導体の物品との間隔がばらついても、接地導体21と物品との間の容量変化のばらつきが小さくなり、RFIDタグ2の共振周波数のばらつきが比較的小さくなるので、RFIDタグ2に対する安定した読み取りおよび書き込みを実現し、信頼性を向上させることができる。
また、接地側電極24と容量導体28とを電気的に接続する第1接地側接続導体23aを備えることから、接地側電極24と、放射側電極25の間の導体経路が容量導体28を経由するために長くなるので、広帯域のRFIDタグを実現することができる。
図2は、第2実施形態のRFIDタグを示す断面図である。第1実施形態のRFIDタグに比べて接地側電極24および、接地側接続導体の形態が異なっている。接地側電極24は、底面10d内から誘電体層12の下面に沿って凹部10cの外側に延びるように配設されている。接地側電極24と接地導体21とは、誘電体層13を貫通する第2接地側接続導体23bによって電気的に接続されている。このように、接地側電極24を第2接地側接続導体23bによって接地導体21に接続することによって、接地側電極24と放射側電極25と間の導体経路が短くなるので、高利得のRFIDタグを得ることができる。
図3は、第3の実施形態のRFIDタグを示す断面図である。図1に比べて、第1面に凹部を設け、容量導体を接地導体側に設けた点が異なっている。誘電体基板10の上面である第1面10aには、凹部10cが設けられている。たとえば、凹部10cは第1面10aのほぼ中央に設けられている。凹部10cは、一辺が1〜3mmの矩形状の穴であり、誘電体層11を貫通して構成されている。凹部10cの底面10dは誘電体層12の上面で構成されている。
誘電体基板10の上面である第1面10aには、放射導体20が配置されている。放射導体20は、凹部10cの開口部を除く第1面10aのほぼ全面に設けられている。誘電体層14の上面には接地導体21が設けられている。接地導体21は、誘電体基板10に埋設されている。また、接地導体21は、誘電体層11〜13を挟んで放射導体20と対向するように設けられている。
放射導体20と接地導体21とは接続導体22で電気的に接続されている。接続導体22は、誘電体層11〜13を貫く貫通導体とすることができる。また、接続導体22を、誘電体基板10の側面に設けて、放射導体20と接地導体21とを電気的に接続してもよい。
誘電体基板10の下面である第2面10b上に設けられた電界遮断導体29は、第2面10bに沿って延び第2面10bのほぼ全体を覆っており、放射導体20および接地導体21と対向するように配設されている。また、電界遮断導体29は、RFIDタグ2を金属などの導体の対象物に取付けた場合に導体と直接、または両面テープ等の非導電性接合材、非導電性接着剤あるいは導電性接着剤などを介して接続する部分である。電界遮断導体29は、第2面10bの一部を被覆していてもよい。たとえば、送受信時の電界強度が強くなる部分である、接続導体22が接続された側とは反対側の接地導体21の部分に対向するように電界遮断導体29を設けてもよい。
凹部10cの底面10dにICチップなどの半導体素子30を配設するための半導体素子載置部10eが設けられている。半導体素子載置部10eは、接地側電極24と放射側電極25と有している。また、接地側電極24と放射側電極25とは、半導体素子30を挟むように配置されている。また、第3実施形態においては、接地側電極24および放射側電極25は、底面10d内に配設されているが、底面10d内から誘電体層12の上面に沿って凹部10cの外側に延びるように配設することも可能である。凹部10c内の半導体素子載置部10eに半導体素子30を載置することによって、半導体素子30を保護することができる。
誘電体層12の下面に、容量導体28が配設されている。容量導体28は、誘電体基板10内部にあって、放射導体20と接地導体21との間に埋設されている。容量導体28は、誘電体層13を介して接地導体21と対向するように設けられ、容量部を形成している。容量導体28と、放射導体20とは第2容量部接続導体26bによって電気的に接続されている。第2容量部接続導体26bは、誘電体層11,12を貫通する貫通導体とすることができる。第2容量部接続導体26bは、凹部10cを挟んで接続導体22の反対側に配設されている。
接地側電極24は、誘電体層12,13を貫通する接地側接続導体23によって、接地導体21に電気的に接続している。また、放射側電極25は、半導体素子30を挟んで接地側電極24の反対側にあり、誘電体層12を貫通する第1放射側接続導体27aによって、容量導体28に接続されている。半導体素子載置部10eに載置される半導体素子30の態様は、第1実施形態と同様である。
上記第3実施形態の構成のRFIDタグ用基板1に半導体素子30を実装したRFIDタグ2は、誘電体基板10に上記構成の導体部分を有することから、放射導体20を逆Fアンテナとして機能させることができる。また、誘電体基板10の第2面10b上に配設され、前記接地導体と電気的に絶縁されている電界遮断導体29を備えているので、RFIDタグ2と、RFIDタグ2を張り付けている対象物との間隔がばらついても、接地導体21と物品との間の容量変化のばらつきが小さくなり、RFIDタグ2の共振周波数のばらつきが比較的小さくなるので、RFIDタグ2に対する安定した読み取りおよび書き込みを実現し、信頼性を向上させることができる。第1面10aに凹部10cを設けるとともに、半導体素子30を設けたので、電界遮断導体29をRFIDタグ用基板1の広い範囲に設けることが可能になり、接地導体21と物品との間の容量変化のばらつきがさらに小さくなり、共振周波数の変化がさらに起こりにくくすることができる。
また、放射側電極25と容量導体28とを電気的に接続する第1放射側接続導体27aを備えることから、接地側電極24と、放射側電極25の間の導体経路が容量導体28を経由するために長くなるので、広帯域のRFIDタグを実現することができる。
図4は、第4実施形態のRFIDタグを示す断面図である。第3実施形態のRFIDタグに比べて放射側電極25および、放射側接続導体の形態が異なっている。放射側電極25は、底面10d内から誘電体層12の上面に沿って凹部10cの外側に延びるように配設されている。放射側電極25と放射導体20とは、誘電体層11を貫通する第2放射側接続導体27bによって電気的に接続されている。このように、放射側電極25を第2放射側接続導体27bによって放射導体20に接続することによって、接地側電極24と放射側電極25と間の導体経路が短くなるので、高利得のRFIDタグを得ることができる。
図5は、第1実施形態に示されるRFIDタグを含むRFIDシステムの一例を示す模式図である。上記構成のRFIDタグ2を含んで、図5に示すような実施形態のRFIDシステム3が構成されている。本実施形態のRFIDシステム3は、上記構成のRFIDタグ2と、RFIDタグ2の放射導体20との間で電波を送受するアンテナ41を有するリーダライタ40とを有している。リーダライタ40は、たとえば、電気絶縁材料からなる基体42に矩形状などの形状のアンテナ41が設けられて形成されている。
たとえば、RFIDタグ2は、各種の物品51に両面テープや接着剤などの接合部材52を介して貼着されて用いられ、物品51に関する各種の情報が半導体素子30に書きこまれている。この情報は、RFIDタグ2を含むRFIDシステム3においてリーダライタ40とRFIDタグ2との間で送受される情報に応じて、随時書き換えが可能になっている。これによって、物品51に関する各種の情報が随時更新される。物品51は、金属などの導電性のものであって、接地導体21が物品51に近接して取り付けられることによって、物品51の金属部がRFIDタグ2のアンテナの接地導体として作用し、アンテナの利得が向上するのでRFIDタグ2とリーダライタ40との通信性能が向上する。
リーダライタ40を使用する場合は、RFIDタグ2と、リーダライタ40とを近づける。たとえば、リーダライタ40のアンテナ41から放射された電波高周波信号(例えば、UHF周波数帯)がRFIDタグ2の放射導体20で受信され、受信信号として上記導体部分を介して半導体素子30に伝送される。そして、この受信信号のエネルギーを駆動源として半導体素子30に記憶されている情報を放射導体20からリーダライタ40に送信して通信が行われる。
接合部材52の厚さがばらついたとしても、RFIDタグ2は、電界遮断導体29を備えているので、RFIDタグ2の共振周波数の変化が起こりにくくなるので、リーダライタ40によるRFIDタグ2に対する安定した読み取りおよび書き込みを実現し、RFIDシステム3の信頼性を向上させることができる。
図6は、RFIDタグ2の電界遮断導体29の被覆部分を変化させて、電界遮断効果を確認するためのRFIDタグのシミュレーションモデルを示す模式図である。図6(a)〜(d)において、RFIDタグ2の電界遮断導体29をのぞく導体部分は、第1実施例と同様である。図6(a)のRFIDタグ2の寸法は、幅6mm奥行3mm高さ1.7mmの直方体である。接地導体21は露出している。図6(b)は、図6(a)のRFIDタグ2に電界遮断導体29を設けたものである。電界遮断導体29は、端部から0.3mmの部分から、接地導体21を覆うように、幅方向の長さ0.6mmの部分を金属の電界遮断導体29としたものである。また、図6(c)は、図6(b)の電界遮断導体29の幅方向の長さを長くしたものであり、端部から0.3mmの部分から、凹部10c上を覆うように、幅方向の長さ3.65mmの部分を電界遮断導体29としたものである(端部〜凹部)。図6(d)は、図6(b)の電界遮断導体29の幅方向の長さを長くしたものであり、電界遮断導体29は、端部から0.3mmの部分から、下面である第2面10b上をほぼ覆うように、幅方向の長さ5.4mmの部分を電界遮断導体29としたものである。
シミュレーションは、RFIDタグの下面と金属板との間隔を0.3mm、0.1mmとし、RFIDタグの共振周波数を求め、それぞれの共振周波数の差を算出した。なお、シミュレーションソフトはANSYS社のHFSSを用い、金属板のサイズは20mm角とした。
表1に示されるように、電界遮断導体29を設けたモデル図6(b)〜(d)は、電界遮断導体29を設けないモデル(a)に比べて、RFIDタグ2の下面と金属板50との間隔の変化による共振周波数の差が小さくなっており、共振周波数がRFIDタグ2と金属板50との間隔のばらつきによる影響を受けにくくなっていることが確認できる。
RFIDタグが、送受信を行う、いわゆるアンテナ共振状態では、接続導体22側においては電界強度が弱く、容量導体28などが配置される接続導体22側と反対側おいては電界強度が強くなる。また、金属板50と接地導体21との間の電界強度も、接続導体22側においては電界強度が弱く、接続導体22側と反対側おいては電界強度が強くなる。金属板50と接地導体21と間の電界強度が強い部分があると、金属板50と接地導体21との間隔の変化による電界の分布の変化が大きくなり、金属板50と接地導体21との間隔によって共振周波数がばらつく要因となる。
そこで、図6(b)〜(d)のように、電界遮断導体29を設けることによって、金属板50と接地導体21との間隔の変化による電界の分布の変化を軽減し、共振周波数がばらつきを軽減することができる。また、金属板50と接地導体21との間の電界強度が強い部分は、容量導体28に対向する接地導体部分および第1容量部接続導体26a直下の接地導体部分であるので、接続導体22側と反対側の接地導体部分に対向するように電界遮断導体29を設けることによって、共振周波数のばらつきを軽減することができる。
以上、本発明について詳細に説明したが、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、改良等が可能である。
1 RFIDタグ用基板
2 RFIDタグ
3 RFIDシステム
10 誘電体基板
10a 第1面
10b 第2面
10c 凹部
10d 底面
10e 半導体素子載置部
11,12,13,14 誘電体層
20 放射導体
21 接地導体
22 接続導体
23 接地側接続導体
23a 第1接地側接続導体
23b 第2接地側接続導体
24 接地側電極
25 放射側電極
26a 第1容量部接続導体
26b 第2容量部接続導体
27 放射側接続導体
27a 第1放射側接続導体
27b 第2放射側接続導体
28 容量導体
30 半導体素子
40 リーダライタ

Claims (10)

  1. 第1面と、第1面に対向する第2面とを有する誘電体基板と、
    前記誘電体基板の第1面上に配設された放射導体と、
    前記誘電体基板に埋設された接地導体と、
    前記接地導体と前記放射導体とを電気的に接続する接続導体と、
    前記誘電体基板の第2面上に配設され、前記接地導体と電気的に絶縁されている電界遮断導体と、
    半導体素子を載置するための半導体素子載置部と、を備えたことを特徴とするRFIDタグ用基板。
  2. 前記誘電体基板の第1面または第2面に凹部が設けられ、
    前記凹部に前記半導体素子載置部を備えたことを特徴とする請求項1に記載のRFIDタグ用基板。
  3. 前記誘電体基板の内部にあって、前記放射導体と前記接地導体との間に埋設された容量導体と、
    前記容量導体と前記接地導体とを電気的に接続する第1容量部接続導体とを備えたことを特徴とする請求項2に記載のRFIDタグ用基板。
  4. 前記半導体素子載置部は、接地側電極と放射側電極とを有し、
    前記接地側電極と前記容量導体とを電気的に接続する第1接地側接続導体を備えたことを特徴とする請求項3に記載のRFIDタグ用基板。
  5. 前記半導体素子載置部は、接地側電極と放射側電極とを有し、
    前記接地側電極と前記接地導体とを電気的に接続する第2接地側接続導体を備えたことを特徴とする請求項3に記載のRFIDタグ用基板。
  6. 前記誘電体基板の内部にあって、前記放射導体と前記接地導体との間に埋設された容量導体と、
    前記容量導体と前記放射導体とを電気的に接続する第2容量部接続導体とを備えたことを特徴とする請求項2に記載のRFIDタグ用基板。
  7. 前記半導体素子載置部は、接地側電極と放射側電極とを有し、
    前記放射側電極と前記容量導体とを電気的に接続する第1放射側接続導体を備えたことを特徴とする請求項6に記載のRFIDタグ用基板。
  8. 前記半導体素子載置部は、接地側電極と放射側電極とを有し、
    前記放射側電極と前記放射導体とを電気的に接続する第2放射側接続導体を備えたことを特徴とする請求項6に記載のRFIDタグ用基板。
  9. 請求項1〜8のいずれか1つに記載のRFIDタグ用基板と、
    前記RFIDタグ用基板の前記半導体素子載置部に配設された半導体素子と、を備えたことを特徴とするRFIDタグ。
  10. 請求項9に記載のRFIDタグと、
    前記RFIDタグとの間で電波を送受するアンテナを備えたリーダライタと、を備えることを特徴とするRFIDシステム。
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