JP2018527754A - キャビティ構造を使用するウェハレベルパッケージ(wlp)ボール支持体 - Google Patents
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Abstract
Description
104 誘電体層、誘電体
106 第1の面
108 第2の面
110a キャビティ
110b キャビティ
110c キャビティ
112a 導電性パッド
112b 導電性パッド
112c 導電性パッド
114a 導電性ビア、導電性パッド
114b 導電性ビア、導電性パッド
114c 導電性ビア、導電性パッド
116a 導電性パッド
116b 導電性パッド
116c 導電性パッド
120a 導体
120b 導体
120c 導体
122 接着剤
302a 分割線
302b 分割線
304a 導体
304b 導体
304c 導体
304d 導体
304e 導体
304f 導体
Claims (20)
- パッケージと、
第1の面および第2の面を有する誘電体層であって、前記誘電体層の前記第1の面が前記パッケージ上に設けられ、前記誘電体層の前記第2の面からくぼんでいる複数のキャビティを有する誘電体層と、
前記複数のキャビティ内の複数の導電性パッドと、
前記導電性パッド上の複数の導体であって、それぞれ、前記キャビティによって少なくとも部分的に前記誘電体層から分離される導体と、
前記キャビティ中の接着剤と
を備えるデバイス。 - 前記導電性パッドが前記接着剤と接触する側壁を備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記導電性パッドが前記誘電体層と接触する側壁を備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記キャビティがドーナツ型のキャビティを備える、請求項3に記載のデバイス。
- 前記キャビティが、前記導電性パッドを囲繞する円形および多角形からなるグループから選択される形状のキャビティを備える、請求項3に記載のデバイス。
- 前記誘電体層がパッシベーション層を備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記導電性パッドが再分配層(RDL)を備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記導体が、ボールグリッドアレイ(BGA)のボールおよびピラーからなるグループから選択される導体を備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記接着剤が、樹脂、シリコーン、エポキシ、室温加硫(RTV)材料、および熱可塑材からなるグループから選択される接着剤を含む、請求項1に記載のデバイス。
- 前記複数の導体が、前記パッケージ上に複数の行および複数の列で配置される、請求項1に記載のデバイス。
- パッケージと、
第1の面および第2の面を有する誘電体層であって、前記誘電体層の前記第1の面が前記パッケージ上に配設され、前記誘電体層の前記第2の面からくぼんでいる複数のキャビティを有する誘電体層と、
前記誘電体層内に配設される複数の導電性パッドであって、複数の積み重ねられた再分配層(RDL)を備える、パッドと、
前記導電性パッド上に配設される複数の導体であって、それぞれ、前記キャビティによって少なくとも部分的に前記誘電体層から分離される導体と、
前記キャビティ中に配設される接着剤と
を備えるデバイス。 - 前記導電性パッドが前記接着剤と直接接触する側壁を有する、請求項11に記載のデバイス。
- 前記導電性パッドが前記誘電体層と直接接触する側壁を有する、請求項11に記載のデバイス。
- 前記キャビティがドーナツ型のキャビティを備える、請求項13に記載のデバイス。
- 前記導体がボールグリッドアレイ(BGA)のボールを備える、請求項11に記載のデバイス。
- 前記複数の導体が、前記パッケージ上に複数の行および複数の列で配置される、請求項11に記載のデバイス。
- 集積回路デバイスを作る方法であって、
パッケージを設けるステップと、
誘電体層を形成するステップであって、前記パッケージ上に前記誘電体層の第1の面を形成すること、および前記第1の面と反対の前記誘電体の第2の面を形成することを含む、ステップと、
前記誘電体層の前記第2の面において複数のキャビティを形成するステップと、
前記キャビティ内に複数の導電性パッドを形成するステップと、
前記導電性パッド上に複数の導体を形成するステップと、
前記キャビティ中に接着剤を設けるステップと
を含む、方法。 - 前記誘電体層内に前記複数の導電性パッドを形成するステップが、アンダーバンプメタライゼーション(UBM)によって前記導電性パッドを形成するステップを含む、請求項17に記載の方法。
- 前記接着剤を設けるステップが、前記導電性パッドに接触する前記接着剤を設けるステップを含む、請求項17に記載の方法。
- 前記複数の導電性パッドを形成するステップが、前記誘電体層と接触する側壁を有する前記導電性パッドを形成するステップを含む、請求項17に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/859,323 US10074625B2 (en) | 2015-09-20 | 2015-09-20 | Wafer level package (WLP) ball support using cavity structure |
US14/859,323 | 2015-09-20 | ||
PCT/US2016/052631 WO2017049324A1 (en) | 2015-09-20 | 2016-09-20 | Wafer level package (wlp) ball support using cavity structure |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018527754A true JP2018527754A (ja) | 2018-09-20 |
JP2018527754A5 JP2018527754A5 (ja) | 2018-11-29 |
JP6549790B2 JP6549790B2 (ja) | 2019-07-24 |
Family
ID=57018210
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018513651A Active JP6549790B2 (ja) | 2015-09-20 | 2016-09-20 | キャビティ構造を使用するウェハレベルパッケージ(wlp)ボール支持体 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10074625B2 (ja) |
EP (1) | EP3350831A1 (ja) |
JP (1) | JP6549790B2 (ja) |
KR (1) | KR102006115B1 (ja) |
CN (1) | CN108028243B (ja) |
BR (1) | BR112018005532B1 (ja) |
CA (1) | CA2995621A1 (ja) |
WO (1) | WO2017049324A1 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10303204A (ja) * | 1997-04-28 | 1998-11-13 | Nec Corp | 突起電極を有する半導体装置、半導体装置の実装方法およびその実装構造 |
JP2013080805A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 補強部材の製造方法 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3019851B1 (ja) * | 1998-12-22 | 2000-03-13 | 日本電気株式会社 | 半導体装置実装構造 |
GB2389460A (en) | 1998-12-22 | 2003-12-10 | Nec Corp | Mounting semiconductor packages on substrates |
JP3446825B2 (ja) * | 1999-04-06 | 2003-09-16 | 沖電気工業株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2002050716A (ja) * | 2000-08-02 | 2002-02-15 | Dainippon Printing Co Ltd | 半導体装置及びその作製方法 |
JP3842548B2 (ja) * | 2000-12-12 | 2006-11-08 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
US6818545B2 (en) * | 2001-03-05 | 2004-11-16 | Megic Corporation | Low fabrication cost, fine pitch and high reliability solder bump |
JP2003198068A (ja) | 2001-12-27 | 2003-07-11 | Nec Corp | プリント基板、半導体装置、およびプリント基板と部品との電気的接続構造 |
US6854633B1 (en) * | 2002-02-05 | 2005-02-15 | Micron Technology, Inc. | System with polymer masking flux for fabricating external contacts on semiconductor components |
JP2004103928A (ja) * | 2002-09-11 | 2004-04-02 | Fujitsu Ltd | 基板及びハンダボールの形成方法及びその実装構造 |
US7043830B2 (en) | 2003-02-20 | 2006-05-16 | Micron Technology, Inc. | Method of forming conductive bumps |
US8193092B2 (en) * | 2007-07-31 | 2012-06-05 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor devices including a through-substrate conductive member with an exposed end and methods of manufacturing such semiconductor devices |
WO2009104506A1 (ja) * | 2008-02-19 | 2009-08-27 | 日本電気株式会社 | プリント配線板、電子装置及びその製造方法 |
JP2012221998A (ja) * | 2011-04-04 | 2012-11-12 | Toshiba Corp | 半導体装置ならびにその製造方法 |
JP5682496B2 (ja) * | 2011-07-28 | 2015-03-11 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置、マルチチップ半導体装置、デバイス、及び半導体装置の製造方法 |
KR101840447B1 (ko) * | 2011-08-09 | 2018-03-20 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 패키지 및 이를 갖는 적층 반도체 패키지 |
JP2013074054A (ja) * | 2011-09-27 | 2013-04-22 | Renesas Electronics Corp | 電子装置、配線基板、及び、電子装置の製造方法 |
US9129973B2 (en) * | 2011-12-07 | 2015-09-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Circuit probing structures and methods for probing the same |
US20130154112A1 (en) * | 2011-12-16 | 2013-06-20 | Katholieke Universiteit Leuven, K.U. Leuven R&D | Method for Forming Isolation Trenches in Micro-Bump Interconnect Structures and Devices Obtained Thereof |
US8963336B2 (en) * | 2012-08-03 | 2015-02-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor packages, methods of manufacturing the same, and semiconductor package structures including the same |
US8963335B2 (en) | 2012-09-13 | 2015-02-24 | Invensas Corporation | Tunable composite interposer |
US9343419B2 (en) * | 2012-12-14 | 2016-05-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Bump structures for semiconductor package |
EP2747132B1 (en) * | 2012-12-18 | 2018-11-21 | IMEC vzw | A method for transferring a graphene sheet to metal contact bumps of a substrate for use in semiconductor device package |
US10163828B2 (en) * | 2013-11-18 | 2018-12-25 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Semiconductor device and fabricating method thereof |
US9484318B2 (en) * | 2014-02-17 | 2016-11-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
US20150237732A1 (en) | 2014-02-18 | 2015-08-20 | Qualcomm Incorporated | Low-profile package with passive device |
-
2015
- 2015-09-20 US US14/859,323 patent/US10074625B2/en active Active
-
2016
- 2016-09-20 KR KR1020187010749A patent/KR102006115B1/ko active IP Right Grant
- 2016-09-20 CA CA2995621A patent/CA2995621A1/en not_active Abandoned
- 2016-09-20 CN CN201680053950.8A patent/CN108028243B/zh active Active
- 2016-09-20 EP EP16774603.1A patent/EP3350831A1/en not_active Withdrawn
- 2016-09-20 BR BR112018005532-8A patent/BR112018005532B1/pt active IP Right Grant
- 2016-09-20 WO PCT/US2016/052631 patent/WO2017049324A1/en active Application Filing
- 2016-09-20 JP JP2018513651A patent/JP6549790B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10303204A (ja) * | 1997-04-28 | 1998-11-13 | Nec Corp | 突起電極を有する半導体装置、半導体装置の実装方法およびその実装構造 |
JP2013080805A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 補強部材の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
BR112018005532A2 (ja) | 2018-10-02 |
JP6549790B2 (ja) | 2019-07-24 |
KR20180056686A (ko) | 2018-05-29 |
EP3350831A1 (en) | 2018-07-25 |
CA2995621A1 (en) | 2017-03-23 |
US10074625B2 (en) | 2018-09-11 |
BR112018005532B1 (pt) | 2023-03-07 |
CN108028243A (zh) | 2018-05-11 |
CN108028243B (zh) | 2021-05-14 |
WO2017049324A1 (en) | 2017-03-23 |
US20170084565A1 (en) | 2017-03-23 |
KR102006115B1 (ko) | 2019-07-31 |
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