JP2005175423A - 半導体パッケージ - Google Patents
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- H01L2924/351—Thermal stress
Abstract
【課題】 インターポーザ基板を用いた半導体パッケージにおいて小型化を図ることができる半導体パッケージを提供する。
【解決手段】 放熱板1の一方の面に、貫通孔4を有する第1のインターポーザ基板3の一方の面が固定されるとともに、第1のインターポーザ基板3の貫通孔4の内部において半導体チップ5の非能動面が放熱板1の一方の面に固定されている。半導体チップ5と第1のインターポーザ基板3とが金線10によって電気的に接続されている。第1のインターポーザ基板3の貫通孔4の内部において、半導体チップ5の能動面側に第2のインターポーザ基板7の一方の面側が固定され、半導体チップ5と第2のインターポーザ基板7とが金線13によって電気的に接続されている。
【選択図】 図1
【解決手段】 放熱板1の一方の面に、貫通孔4を有する第1のインターポーザ基板3の一方の面が固定されるとともに、第1のインターポーザ基板3の貫通孔4の内部において半導体チップ5の非能動面が放熱板1の一方の面に固定されている。半導体チップ5と第1のインターポーザ基板3とが金線10によって電気的に接続されている。第1のインターポーザ基板3の貫通孔4の内部において、半導体チップ5の能動面側に第2のインターポーザ基板7の一方の面側が固定され、半導体チップ5と第2のインターポーザ基板7とが金線13によって電気的に接続されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体チップとインターポーザ基板がワイヤーボンディングにより電気的に接続された半導体パッケージに関するものである。
インターポーザ基板を用いた半導体パッケージにおいて、放熱性が要求される場合、例えば図16に示す構成とする。図16において、放熱板100の一方の面には、貫通孔101aを有するインターポーザ基板101が接着されるとともに、インターポーザ基板101の貫通孔101aにおいて半導体チップ102が放熱板100に接着されている(インターポーザ基板101の貫通孔101a内に半導体チップ102が収納されている)。また、半導体チップ102とインターポーザ基板101とが金線103により電気的に接続されている。インターポーザ基板101には、金線のボンディング用電極104と、マザー基板107との接合を行うための電極(パッド105)が設けられ、電極(パッド105)には半田ボール106が設けられている。半導体チップ102を収納した貫通孔101a内は、金線103を保護するために樹脂108で封止される。
また、放熱板を用いるほどの発熱素子でない場合には、図17に示す形態もある。図17において、キャビティー部(凹部)110aを有するインターポーザ基板110が用いられ、キャビティー部(凹部)110aの底面部において半導体チップ111が接着され、半導体チップ111がキャビティー部(凹部)110aに収納されている。また、インターポーザ基板110の裏面(半導体チップ111の搭載面とは反対の面)に電子部品112が表面実装されている。このような構成とすることにより、製品基板全体の小型化が実現できる。
図16,17に示した半導体パッケージでは、いずれの場合も、マザー基板107との接続電極は、インターポーザ基板101,110上にしか形成することができない。そのため、半導体パッケージの下面の全てをマザー基板107との接合に使用することができず、効率的なパッケージの小型化ができない。チップサイズに比べて、外部出力端子の多いチップの場合、小型化の効率は更に悪くなる。
本発明はこのような背景の下になされたものであり、その目的は、インターポーザ基板を用いた半導体パッケージにおいて小型化を図ることができる半導体パッケージを提供することにある。
請求項1に記載の発明は、第1のインターポーザ基板の貫通孔の内部において、半導体チップの能動面側に第2のインターポーザ基板の一方の面側が固定され、半導体チップと第2のインターポーザ基板とが金線によって電気的に接続されてなることを特徴としている。請求項1に記載の発明によれば、マザー基板との電気的接続を行うための電極を半導体チップの能動面に設けられた第2のインターポーザ基板にも配置することができ、半導体パッケージを小型化することができる。
ここで、請求項2に記載のように、請求項1に記載の半導体パッケージにおいて、半導体チップは、複数のチップを積層したスタック構造をなし、かつ、当該スタック構造における各チップは一方のチップにおける能動面に他方のチップの非能動面が対向するように配置され、結線構造として、少なくとも、スタック構造における各チップのうちの1つのチップと第1のインターポーザ基板、および他の1つのチップと第2のインターポーザ基板とが金線によって電気的に接続されていると、複数のチップを積層したスタック構造とした場合において小型化を図るという観点から好ましいものになる。
請求項3に記載の発明は、第1のインターポーザ基板の凹部の内部において、半導体チップの能動面側に第2のインターポーザ基板の一方の面側が固定され、半導体チップと第2のインターポーザ基板とが金線によって電気的に接続されてなることを特徴としている。請求項3に記載の発明によれば、マザー基板との電気的接続を行うための電極を半導体チップの能動面に設けられた第2のインターポーザ基板にも配置することができ、半導体パッケージを小型化することができる。
ここで、請求項4に記載のように、請求項3に記載の半導体パッケージにおいて、半導体チップは、複数のチップを積層したスタック構造をなし、かつ、当該スタック構造における各チップは一方のチップにおける能動面に他方のチップの非能動面が対向するように配置され、結線構造として、少なくとも、スタック構造における各チップのうちの1つのチップと第1のインターポーザ基板、および他の1つのチップと第2のインターポーザ基板とが金線によって電気的に接続されていると、複数のチップを積層したスタック構造とした場合において小型化を図るという観点から好ましいものになる。
請求項5に記載のように、請求項3または4に記載の半導体パッケージにおいて第1のインターポーザ基板における半導体チップが配置された面とは反対の面に電子部品が実装されてなるものであると、マザー基板に実装していた電子部品を半導体パッケージの背面に実装することによって、マザー基板を小型化することができる。
請求項6に記載のように、請求項3または4に記載の半導体パッケージにおいて第1のインターポーザ基板における半導体チップが配置された面とは反対の面に、別の半導体チップが実装されてなるものであると、マザー基板に実装していた半導体チップを半導体パッケージの背面に実装することによって、マザー基板を小型化することができる。
請求項7に記載のように、請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体パッケージにおいて第1と第2のインターポーザ基板における半導体チップの電極側の辺に段差部が設けられ、その段差部に金線をボンディングするための電極が配置されてなるものであると、金線を保護するために注入する樹脂の拡がりを段差部で抑えることによって、ボンディング電極とマザー基板との接合のための電極との距離を小さくすることができ、半導体パッケージの小型化ができる。また、樹脂の高さもインターポーザ基板の表面以下に抑えることができ、マザー基板との接合のために電極に半田ボールを備える必要がなく、コストが削減できる。
請求項8に記載のように、請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体パッケージにおいて半導体チップと第2のインターポーザ基板とがバンプを介してフリップチップ接合されてなるものであると、半導体チップの電極が半導体チップの周辺部のみでなく内部にも配置されている半導体チップにおいても、請求項1〜4と同様の小型化効果のある半導体パッケージを実現できる。
請求項9に記載のように、請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体パッケージにおいて第2のインターポーザ基板に配置されたマザー基板との接続のための電極のピッチが、第1のインターポーザ基板に配置されたマザー基板との接続のための電極のピッチと異なると、例えば、第2のインターポーザ基板での電極のピッチを小さくすることによって、第2のインターポーザ基板に配置できる電極の数を増やすことができ、その分、第1のインターポーザ基板での電極を減らすことができ、半導体パッケージを小型化できる。
請求項10に記載のように、請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体パッケージにおいて第2のインターポーザ基板におけるマザー基板との接続のための電極を配置した面の高さが、第1のインターポーザ基板におけるマザー基板との接続のための電極を配置した面の高さと異なると、例えば、第1および第2のインターポーザ基板の電極配置面は、マザー基板と半田や銀ペースト等の導電材料によって電気的・機械的に接続されるが、請求項9のように電極のピッチサイズが異なる場合、電極のサイズも異なる。電極サイズが異なれば、マザー基板との接続のために供給される導電材料の量も異なる。第1のインターポーザと第2のインターポーザ基板の高さを変えることで、導電材料の量に合わせた最適なギャップに制御することができる。
請求項11に記載のように、請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体パッケージにおいて第1と第2のインターポーザ基板の材質が異なると、マザー基板との接続には半田等の導電材料が用いられるが、マザー基板と半導体パッケージの線膨張係数の違いにより、温度変化によってその接続部に応力が加わり、繰り返しにより接続部が破断して不良となる。このような線膨張係数の違いによる熱応力は電極群の中心からの距離が遠いところの方が大きくなる。従って、周辺部の応力の発生を抑制するために、第1のインターポーザ基板は、マザー基板との線膨張係数に近い材料を使う。また、第2のインターポーザ基板は、半導体チップのサイズによってそのサイズは制約されるが、ここに多くの電極を配置することによって、半導体パッケージをさらに小型化できる。従って、第2のインターポーザ基板は、高密度な配線が可能な基板を使う。このように、基材の適材適所によりサイズとコストを両立した半導体パッケージを作ることができる。
(第1の実施の形態)
以下、本発明を具体化した第1の実施の形態を図面に従って説明する。
図1は、本実施の形態における半導体パッケージの縦断面図である。図2は、本実施の形態における半導体パッケージの下面図(図1のマザー基板16と対向する面の平面図)である。
以下、本発明を具体化した第1の実施の形態を図面に従って説明する。
図1は、本実施の形態における半導体パッケージの縦断面図である。図2は、本実施の形態における半導体パッケージの下面図(図1のマザー基板16と対向する面の平面図)である。
放熱板1は四角板状をなしている。放熱板1の一方の面(下面)に第1のインターポーザ基板3の一方の面が接着剤2によって固定されている。第1のインターポーザ基板3の中央部には貫通孔4が形成されている。第1のインターポーザ基板3の貫通孔4の内部において、半導体チップ5の非能動面が放熱板1の一方の面(下面)に接着剤2によって固定され、半導体チップ5が貫通孔4の内部において収納されている。さらに、第1のインターポーザ基板3の貫通孔4の内部において、半導体チップ5の能動面(下面)においてその中央部には第2のインターポーザ基板7の一方の面が接着剤6によって固定されている。広義には、半導体チップ5の能動面側に第2のインターポーザ基板7の一方の面側が固定されている。ここで、半導体チップ5よりも第2のインターポーザ基板7の方が小さく、半導体チップ5の能動面(下面)における第2のインターポーザ基板7の無い領域(周辺部)には多数のボンディングパッド(電極)9が形成されている。
第1のインターポーザ基板3の下面において貫通孔4に近い箇所には多数のボンディングパッド(電極)8aが形成されている。半導体チップ5のボンディングパッド9と第1のインターポーザ基板3のボンディングパッド8aとはボンディングワイヤとしての金線10によって電気的に接続されている。第1のインターポーザ基板3の下面においてマザー基板16との接続用のパッド(電極)8bが多数形成され、さらに、このパッド8bには半田ボール11が搭載されている。
第2のインターポーザ基板7の下面において貫通孔4の側壁面に近い箇所には多数のボンディングパッド(電極)12aが形成されている。半導体チップ5のボンディングパッド9と第2のインターポーザ基板7のボンディングパッド12aとはボンディングワイヤとしての金線13によって電気的に接続されている。第2のインターポーザ基板7の下面においてマザー基板16との接続用のパッド(電極)12bが多数形成され、さらに、このパッド12bには半田ボール14が搭載されている。
また、第1のインターポーザ基板3と第2のインターポーザ基板7の隙間は金線10,13を保護するために樹脂15で封止されている。インターポーザ基板3,7の厚みは、半田ボール11,14の高さが同一面上になるように設計されるのが望ましい。
このように、従来のインターポーザ基板を半導体チップ周囲に配した構造(図16に示す構造)においては、マザー基板(回路基板)107との電気的接続を行うためのインターポーザ基板101上に設けられた電極は、半導体パッケージの周辺部にしか配置することができなかった。これに対し、本実施形態の半導体パッケージにおいては、第2のインターポーザ基板7を半導体チップ5の能動面上に設けることによって、マザー基板(回路基板)16との接続用のパッド12b(及び半田ボール14)を第2のインターポーザ基板7にも配置することができる。その結果、インターポーザ基板3上に配置すべきパッド(電極)8b及び半田ボール11の数を減らすことができ、半導体パッケージを小型化することができる。即ち、マザー基板16との電気的接続を行うための電極(12b)を半導体チップ5の能動面に設けられた第2のインターポーザ基板7にも配置することができ、半導体パッケージを小型化することができる。
(第2の実施の形態)
次に、第2の実施の形態を説明する。
(第2の実施の形態)
次に、第2の実施の形態を説明する。
図3は、本実施の形態における半導体パッケージの縦断面図である。
第1のインターポーザ基板20は四角板状をなしている。第1のインターポーザ基板20での一方の面(下面)の中央部には凹部(キャビティー)21が形成されている。第1のインターポーザ基板20での凹部21の内部において半導体チップ23の非能動面が凹部21の底面に接着剤22により固定され、凹部21の内部に半導体チップ23が収納されている。第1のインターポーザ基板20の凹部21の内部において半導体チップ23の能動面(下面)には第2のインターポーザ基板25の一方の面が接着剤24により固定されている。広義には、半導体チップ23の能動面側に第2のインターポーザ基板25の一方の面側が固定されている。ここで、半導体チップ23よりも第2のインターポーザ基板25の方が小さく、半導体チップ23の下面における第2のインターポーザ基板25の無い領域(周辺部)には多数のボンディングパッド(電極)27が形成されている。
第1のインターポーザ基板20は四角板状をなしている。第1のインターポーザ基板20での一方の面(下面)の中央部には凹部(キャビティー)21が形成されている。第1のインターポーザ基板20での凹部21の内部において半導体チップ23の非能動面が凹部21の底面に接着剤22により固定され、凹部21の内部に半導体チップ23が収納されている。第1のインターポーザ基板20の凹部21の内部において半導体チップ23の能動面(下面)には第2のインターポーザ基板25の一方の面が接着剤24により固定されている。広義には、半導体チップ23の能動面側に第2のインターポーザ基板25の一方の面側が固定されている。ここで、半導体チップ23よりも第2のインターポーザ基板25の方が小さく、半導体チップ23の下面における第2のインターポーザ基板25の無い領域(周辺部)には多数のボンディングパッド(電極)27が形成されている。
第1のインターポーザ基板20の下面において凹部21に近い箇所には多数のボンディングパッド(電極)26aが形成されている。半導体チップ23のボンディングパッド27と第1のインターポーザ基板20のボンディングパッド26aとはボンディングワイヤとしての金線28によって電気的に接続されている。第1のインターポーザ基板20の下面においてマザー基板36との接続用のパッド(電極)26bが多数形成され、さらに、このパッド26bには半田ボール29が搭載されている。
第2のインターポーザ基板25の下面において凹部21の側壁面に近い箇所には多数のボンディングパッド(電極)30aが形成されている。半導体チップ23のボンディングパッド27と第2のインターポーザ基板25のボンディングパッド30aとはボンディングワイヤとしての金線31によって電気的に接続されている。第2のインターポーザ基板25の下面においてマザー基板36との接続用のパッド(電極)30bが多数形成され、さらに、このパッド30bには半田ボール32が搭載されている。
また、凹部21の側壁面付近における第1のインターポーザ基板20と第2のインターポーザ基板25の隙間は金線28,31を保護するために樹脂33で封止されている。第1のインターポーザ基板20の厚みや凹部21の深さや第2のインターポーザ基板25の厚みは、半田ボール29,32の高さが同一面上になるように設計されるのが望ましい。
従来のインターポーザ基板を半導体チップ周囲に配した構造(図17に示す構造)においては、マザー基板(回路基板)107との電気的接続を行うためのインターポーザ基板110上に設けられた電極は、半導体パッケージの周辺部にしか配置することができなかった。これに対し、本実施形態の半導体パッケージにおいては、第2のインターポーザ基板25を半導体チップ23の能動面上に設けることによって、マザー基板(回路基板)36との接続用のパッド30b(及び半田ボール32)を第2のインターポーザ基板25にも配置することができる。その結果、インターポーザ基板20上に配置すべきパッド(電極)26b及び半田ボール29の数を減らすことができ、半導体パッケージを小型化することができる。即ち、マザー基板36との電気的接続を行うための電極(30b)を半導体チップ23の能動面に設けられた第2のインターポーザ基板25にも配置することができ、半導体パッケージを小型化することができる。
更に、第1のインターポーザ基板20における半導体チップ23が配置された面とは反対の面に電子部品34が半田や銀ペースト等の導電材料35によって実装されている。マザー基板36に実装していた電子部品34を半導体パッケージの背面に実装することによって、マザー基板36上に実装する電子部品点数が削減され、マザー基板36を小型化することができる。
インターポーザ基板20に実装される電子部品34は、抵抗、コンデンサ等の受動部品だけでなく、半導体チップ等の能動部品を実装する場合もある。その際の半導体チップの実装方法としては、ワイヤーボンディングやフリップチップ接続技術を用いる。具体的には、図4,5に示す構成とする。図4において、第1のインターポーザ基板20における半導体チップ23が配置された面とは反対の面に、別の半導体チップ61が実装されている。詳しくは、第1のインターポーザ基板20と半導体チップ61とが接着剤60にて固定されるとともに金線62にてボンディングされ(電気的に接続され)、さらに、半導体チップ61と金線62とが樹脂63にてモールドされている。
図5において、第1のインターポーザ基板20における半導体チップ23が配置された面とは反対の面に、別の半導体チップ64が実装されている。詳しくは、第1のインターポーザ基板20に半導体チップ64がフリップチップ実装され(電気的に接続され)、さらに、半導体チップ64と第1のインターポーザ基板20との間には樹脂65が配置されている。
図4,5の場合、マザー基板36に実装していた半導体チップ61,64を半導体パッケージの背面に実装することによって、マザー基板36を小型化することができる。
(第3の実施の形態)
次に、第3の実施の形態を、第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
(第3の実施の形態)
次に、第3の実施の形態を、第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
図6は、本実施の形態における半導体パッケージの縦断面図である。
インターポーザ基板3,7に設けられた半導体チップ5との接続のためのボンディングパッド(電極)8a,12aの配置箇所に段差部40,41が形成されている。つまり、第1と第2のインターポーザ基板3,7における半導体チップ5のパッド(電極)9側の辺に段差部40,41が設けられ、その段差部40,41に金線10,13をボンディングするためのパッド(電極)8a,12aが配置されている。
インターポーザ基板3,7に設けられた半導体チップ5との接続のためのボンディングパッド(電極)8a,12aの配置箇所に段差部40,41が形成されている。つまり、第1と第2のインターポーザ基板3,7における半導体チップ5のパッド(電極)9側の辺に段差部40,41が設けられ、その段差部40,41に金線10,13をボンディングするためのパッド(電極)8a,12aが配置されている。
これにより、金線10,13を保護するために注入する樹脂15の拡がりを段差部40,41で抑えることによって、ボンディングパッド(電極)12aと、マザー基板16との接合のためのボンディングパッド(電極)12bとの距離を小さくすることができ、半導体パッケージの小型化ができる。また、樹脂15の高さもインターポーザ基板3,7の表面以下に抑えることができ、マザー基板16との接合のためにボンディングパッド(電極)12bに半田ボールを備える必要がなく、コストが削減できる。
これは、第2の実施の形態のようにインターポーザ基板20の凹部21内に半導体チップ23を配する場合において実施してもよい。
(第4の実施の形態)
次に、第4の実施の形態を、第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
(第4の実施の形態)
次に、第4の実施の形態を、第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
図7は、本実施の形態における半導体パッケージの縦断面図である。
半導体チップ5の能動面にはパッド(電極)50が形成されている。また、第2のインターポーザ基板7における上面にはパッド(電極)51が形成されている。そして、半導体チップ5と第2のインターポーザ基板7とがバンプ52を介してフリップチップ接続されている。このように、半導体チップ5のパッド(電極)50が半導体チップ5の周辺部のみでなく内部にも配置されている場合にも小型化効果のある半導体パッケージを実現できる。
半導体チップ5の能動面にはパッド(電極)50が形成されている。また、第2のインターポーザ基板7における上面にはパッド(電極)51が形成されている。そして、半導体チップ5と第2のインターポーザ基板7とがバンプ52を介してフリップチップ接続されている。このように、半導体チップ5のパッド(電極)50が半導体チップ5の周辺部のみでなく内部にも配置されている場合にも小型化効果のある半導体パッケージを実現できる。
これは、第2の実施の形態のようにインターポーザ基板20の凹部21内に半導体チップ23を配する場合において実施してもよい。
(第5の実施の形態)
次に、第5の実施の形態を、第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
(第5の実施の形態)
次に、第5の実施の形態を、第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
図8は、本実施の形態における半導体パッケージの縦断面図である。
第2のインターポーザ基板7に配置されたマザー基板16との接続のためのパッド(電極)12bのピッチP2が、第1のインターポーザ基板3に配置されたマザー基板16との接続のためのボンディングパッド(電極)8bのピッチP1とは異なり、ピッチP2はピッチP1よりも小さい(P2<P1)。
第2のインターポーザ基板7に配置されたマザー基板16との接続のためのパッド(電極)12bのピッチP2が、第1のインターポーザ基板3に配置されたマザー基板16との接続のためのボンディングパッド(電極)8bのピッチP1とは異なり、ピッチP2はピッチP1よりも小さい(P2<P1)。
このように、第2のインターポーザ基板7上の電極のピッチP2を小さくすることによって、第2のインターポーザ基板7に配置できる電極の数を増やすことができ、その分、第1のインターポーザ基板3上の電極を減らすことができ、半導体パッケージを小型化できる。
なお、ピッチP2をピッチP1よりも大きくする形態で実施することも可能である。
さらに、第2のインターポーザ基板7におけるマザー基板16との接続のためのパッド(電極)12bを配置した面の高さH2が、第1のインターポーザ基板3におけるマザー基板16との接続のためのパッド(電極)8bを配置した面の高さH1と異なっている。
さらに、第2のインターポーザ基板7におけるマザー基板16との接続のためのパッド(電極)12bを配置した面の高さH2が、第1のインターポーザ基板3におけるマザー基板16との接続のためのパッド(電極)8bを配置した面の高さH1と異なっている。
インターポーザ基板3,7の電極配置面(下面)は、マザー基板16と半田や銀ペースト等の導電材料によって電気的・機械的に接続されるが、電極のピッチサイズが異なる場合、電極のサイズも異なる。電極サイズが異なれば、マザー基板16との接続のために供給される導電材料の量も異なる。インターポーザ基板3,7の高さH1,H2を変えることで、導電材料の量に合わせた最適なギャップに制御することができる。
具体的には、接続後のギャップの最適値を電極サイズ(パッドサイズ)の半径とした場合、第1のインターポーザ基板3の電極ピッチP1を0.8mm、電極サイズをφ0.45mm、第2のインターポーザ基板7の電極ピッチP2を0.5mm、電極サイズを0.25mmとすると、各最適ギャップは、第1のインターポーザ基板3では、0.225mm、第2のインターポーザ基板7では、0.125mmとなる。従って、第1のインターポーザ基板3の電極の配置高さH1と第2のインターポーザ基板7の電極の配置高さH2を、第2のインターポーザ基板7のマザー基板16とのギャップが0.1mm小さくなるように、両インターポーザ基板3,7を設計する。
つまり、両インターポーザ基板3,7の電極配置高さが同一の場合において、異なる電極サイズ(半田量)でマザー基板16と接合される場合、接合部のギャップは、インターポーザ基板の電極サイズ(半田量)の大きいものによって決定される。その結果、図8のように第1のインターポーザ基板3での電極サイズが大きい場合、第2のインターポーザ基板7の電極における接合後のマザー基板16とのギャップ(距離)は最適値よりも大きくなる。即ち、電極サイズと半田量から決まる最適なギャップからずれてしまい接続信頼性の低下を招く虞がある。両インターポーザ基板3,7の高さH1,H2を変えることで、これを回避することができる。
第1の実施の形態で説明したが、第2の実施の形態のようにインターポーザ基板20の凹部21内に半導体チップ23を配する場合において実施してもよい。
第1〜第5の実施形態において、第1と第2のインターポーザ基板の材質が異なるようにしてもよい。
第1〜第5の実施形態において、第1と第2のインターポーザ基板の材質が異なるようにしてもよい。
図7を用いて詳しく説明する。マザー基板16との接続には半田等の導電材料が用いられるが、マザー基板16と半導体パッケージの線膨張係数の違いにより、温度変化によってその接続部に応力が加わり、繰り返しにより接続部が破断して不良となる。このような線膨張係数の違いによる熱応力は電極群の中心からの距離が遠いところの方が大きくなる。従って、周辺部の応力の発生を抑制するために、第1のインターポーザ基板3は、マザー基板16との線膨張係数に近い基材を使う。また、第2のインターポーザ基板7は、半導体チップ5のサイズによってそのサイズは制約されるが、ここに多くの電極を配置することによって、半導体パッケージをさらに小型化できる。従って、第2のインターポーザ基板7は、高密度な配線が可能な基板を使う。このように、基材の適材適所によりサイズとコストを両立した半導体パッケージを作ることができる。
さらに、第2のインターポーザ基板7が半導体チップ5上にフリップチップ接続されている場合、フリップチップ接続の接続信頼性を向上させるために、第2のインターポーザ基板7は、半導体チップ5の線膨張係数(=3〜4ppm/℃)に近い基材を選択するとよい。
具体的には、マザー基板16がガラスエポキシ樹脂基板(線膨張係数=15ppm/℃)の場合、第1のインターポーザ基板3には、安価なマザー基板16と同じ材質のガラエポ基材を選択する。第2のインターポーザ基板7には、高密度でかつ、低線膨張係数(=7ppm/℃)であるセラミックス多層基板を選択する。このようにすることによって、マザー基板16との接続信頼性、半導体チップ5とのフリップチップ接続信頼性、第2のインターポーザ基板7の高密度化が実現できる。
(第6の実施の形態)
次に、第6の実施の形態を、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
(第6の実施の形態)
次に、第6の実施の形態を、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
図9は、図1に代わる本実施の形態における半導体パッケージの縦断面図である。図10は、図2に代わる本実施の形態における半導体パッケージの下面図(図9のマザー基板16と対向する面の平面図)である。
図1,2においては、第1のインターポーザ基板3の貫通孔4の内部において、半導体チップ5の非能動面が放熱板1の一方の面(下面)に接着剤2によって固定され、半導体チップ5が貫通孔4の内部において収納されていた。これに対し図9,10に示す本実施形態においては、半導体チップは、複数のチップ70,71を積層したスタック構造をなしている。また、スタック構造における各チップ70,71は一方のチップ70における能動面に他方のチップ71の非能動面が対向するように配置されている。詳しくは、貫通孔4の内部において放熱板1に対し半導体チップ70の非能動面が接着剤2にて接着されるとともに半導体チップ70に対し接着剤72により半導体チップ71が接着され、さらに、半導体チップ71の能動面に接着剤73により第2のインターポーザ基板7が接着されている。ここで、チップ70よりもチップ71の方が小さく、チップ70の能動面(下面)におけるチップ71の無い領域(周辺部)には多数のパッド(電極)77が形成されている。さらに、チップ71よりも第2のインターポーザ基板7の方が小さく、チップ71の能動面(下面)における第2のインターポーザ基板7の無い領域(周辺部)には多数のパッド(電極)78が形成されている。
また、第2のインターポーザ基板7における一方の面において外周部にパッド(電極)79aが、また、その内方においてマザー基板16との接続用のパッド(電極)79bが形成されている。
第1のインターポーザ基板3のパッド(電極)8aと半導体チップ70のパッド77とが金線(ボンディングワイヤ)74にて電気的に接続されている。半導体チップ70のパッド77と半導体チップ71のパッド78とが金線(ボンディングワイヤ)75にて電気的に接続されている。半導体チップ71のパッド78と第2のインターポーザ基板7のパッド79aとが金線(ボンディングワイヤ)76にて電気的に接続されている。なお、更に、半導体チップ70のパッド77と第2のインターポーザ基板7のパッド79aとを金線にて電気的に接続したり、半導体チップ71のパッド78と第1のインターポーザ基板3のパッド8aとを金線にて電気的に接続してもよい。要は、結線構造として、少なくとも、スタック構造における各チップ70,71のうちの1つのチップ70と第1のインターポーザ基板3、および他の1つのチップ71と第2のインターポーザ基板7とが金線74,76によって電気的に接続されていればよい。
また、金線74,75,76を含めたパッド(電極)8a,77,78,79aは樹脂15にて封止されている。これら以外の事項については第1の実施形態と同じである。そのため、図9,10において、図1,2での符号と同じ符号を付すことによりその説明は省略する。
図15は比較例であり、この図15および前述の図16と、図9の本実施形態とを比較する。
図15の比較例において、複数のチップ201,202を1つのパッケージに収容すべく、インターポーザ基板200に第1の半導体チップ201が搭載され、第1の半導体チップ201の能動面上に第2の半導体チップ202が搭載されている。また、インターポーザ基板200と各半導体チップ201,202が金線(ボンディングワイヤ)203,204,205によって相互に電気的に接続されている。さらに、インターポーザ基板200の下面(裏面)において電極207とバンプ208を介してマザー基板209と接続される。さらに、インターポーザ基板200の上面において樹脂206にて金線203,204,205および半導体チップ201,202の能動面が保護されている(樹脂封止されている)。図15に示した構造では、半導体チップ201,202は樹脂206で封止されているために放熱性が悪い。また、図16のように、放熱板100を用いる場合には、放熱性を向上できるが、小型化に関しては問題がある。
図15の比較例において、複数のチップ201,202を1つのパッケージに収容すべく、インターポーザ基板200に第1の半導体チップ201が搭載され、第1の半導体チップ201の能動面上に第2の半導体チップ202が搭載されている。また、インターポーザ基板200と各半導体チップ201,202が金線(ボンディングワイヤ)203,204,205によって相互に電気的に接続されている。さらに、インターポーザ基板200の下面(裏面)において電極207とバンプ208を介してマザー基板209と接続される。さらに、インターポーザ基板200の上面において樹脂206にて金線203,204,205および半導体チップ201,202の能動面が保護されている(樹脂封止されている)。図15に示した構造では、半導体チップ201,202は樹脂206で封止されているために放熱性が悪い。また、図16のように、放熱板100を用いる場合には、放熱性を向上できるが、小型化に関しては問題がある。
これに対し図9に示す構造においては、複数のチップ70,71を積層したスタック構造とした場合において図15に比べ放熱板1を用いているので放熱性に優れるとともに、図16に比べ小型化を図るという観点から好ましいものになる。
このような複数のチップを積層したスタック構造とした場合の構成として、以下のように実施してもよい。
第2の実施形態における図3に代わる構成として、図11に示すようにする。図11において、半導体チップは、複数のチップ80,81を積層したスタック構造をなし、かつ、当該スタック構造における各チップ80,81は一方のチップ80における能動面に他方のチップ81の非能動面が対向するように配置されている。より詳しくは、第1のインターポーザ基板20の凹部21内において凹部21の底面に半導体チップ80の非能動面が接着剤22にて接着されるとともに半導体チップ80に対し接着剤82により半導体チップ81が接着され、さらに、半導体チップ81の能動面に接着剤83により第2のインターポーザ基板25が接着されている。ここで、チップ80よりもチップ81の方が小さく、チップ80の能動面(下面)におけるチップ81の無い領域(周辺部)には多数のパッド(電極)87が形成されている。さらに、チップ81よりも第2のインターポーザ基板25の方が小さく、チップ81の能動面(下面)における第2のインターポーザ基板25の無い領域(周辺部)には多数のパッド(電極)88が形成されている。
第2の実施形態における図3に代わる構成として、図11に示すようにする。図11において、半導体チップは、複数のチップ80,81を積層したスタック構造をなし、かつ、当該スタック構造における各チップ80,81は一方のチップ80における能動面に他方のチップ81の非能動面が対向するように配置されている。より詳しくは、第1のインターポーザ基板20の凹部21内において凹部21の底面に半導体チップ80の非能動面が接着剤22にて接着されるとともに半導体チップ80に対し接着剤82により半導体チップ81が接着され、さらに、半導体チップ81の能動面に接着剤83により第2のインターポーザ基板25が接着されている。ここで、チップ80よりもチップ81の方が小さく、チップ80の能動面(下面)におけるチップ81の無い領域(周辺部)には多数のパッド(電極)87が形成されている。さらに、チップ81よりも第2のインターポーザ基板25の方が小さく、チップ81の能動面(下面)における第2のインターポーザ基板25の無い領域(周辺部)には多数のパッド(電極)88が形成されている。
半導体チップ80のパッド87と第1のインターポーザ基板20のパッド(電極)26aとが金線84にて電気的に接続されている。半導体チップ80のパッド87と半導体チップ81のパッド88とが金線85にて電気的に接続されている。半導体チップ81のパッド88と第2のインターポーザ基板25のパッド(電極)89aとが金線86にて電気的に接続されている。なお、更に、半導体チップ80のパッド87と2のインターポーザ基板25のパッド89aとを金線にて電気的に接続したり、半導体チップ81のパッド88と第1のインターポーザ基板20のパッド26aとを金線にて電気的に接続してもよい。要は、結線構造として、少なくとも、スタック構造における各チップ80,81のうちの1つのチップ80と第1のインターポーザ基板20、および他の1つのチップ81と第2のインターポーザ基板25とが金線84,86によって電気的に接続されていればよい。
また、第2のインターポーザ基板25におけるパッド89aの形成面においてパッド89aの形成部よりも内方においてマザー基板36との接続用のパッド(電極)89bが形成されている。さらに、金線84,85,86およびパッド(電極)26a,87,88,89aは樹脂33にて封止されている。また、第1のインターポーザ基板20における半導体チップ(80,81)が配置された面とは反対の面に電子部品34が半田や銀ペースト等の導電材料35によって実装されている。電子部品34は抵抗やコンデンサ等の受動部品である。これに代わり、図4,5に示したように、第1のインターポーザ基板20における半導体チップ(80,81)が配置された面とは反対の面に、別の半導体チップ(61,64)、即ち、能動部品を実装してもよい。このときの実装方法としてはワイヤボンディングやフリップチップ接続技術を用いる。
以上のごとく、図11の構成においても、複数のチップ80,81を積層したスタック構造とした場合において小型化を図るという観点から好ましいものになる。
なお、これら以外の事項については第2の実施形態と同じである。そのため、図11において、図3での符号と同じ符号を付すことによりその説明は省略する。
なお、これら以外の事項については第2の実施形態と同じである。そのため、図11において、図3での符号と同じ符号を付すことによりその説明は省略する。
図9に示した構成の変形例として、図12に示すようにしてもよい(図6に代わる構成)。
図12において、第1と第2のインターポーザ基板3,7におけるチップ70,71のパッド(電極)77,78側の辺に段差部40,41が設けられ、その段差部40,41に金線74,76をボンディングするためのパッド(電極)8a,79aが配置されている。金線74,75,76を保護するために注入する樹脂15の拡がりを段差部40,41で抑えることによって、ボンディングパッド(電極)79aと、マザー基板16との接合のためのパッド(電極)79bとの距離を小さくすることができ、半導体パッケージの小型化ができる。また、樹脂15の高さも各インターポーザ基板3,7の表面以下に抑えることができ、マザー基板16との接合のためにパッド(電極)79bに半田ボールを備える必要がなく、コストが削減できる。図12で説明した段差部40,41は図11の構成において設けてもよい。
図12において、第1と第2のインターポーザ基板3,7におけるチップ70,71のパッド(電極)77,78側の辺に段差部40,41が設けられ、その段差部40,41に金線74,76をボンディングするためのパッド(電極)8a,79aが配置されている。金線74,75,76を保護するために注入する樹脂15の拡がりを段差部40,41で抑えることによって、ボンディングパッド(電極)79aと、マザー基板16との接合のためのパッド(電極)79bとの距離を小さくすることができ、半導体パッケージの小型化ができる。また、樹脂15の高さも各インターポーザ基板3,7の表面以下に抑えることができ、マザー基板16との接合のためにパッド(電極)79bに半田ボールを備える必要がなく、コストが削減できる。図12で説明した段差部40,41は図11の構成において設けてもよい。
図12に示した構成の変形例として、図13に示すようにしてもよい(図7に代わる構成)。
図13において、第2のインターポーザ基板7には、チップ71との電気的接続のためのパッド(電極)51が、マザー基板16との接続のためのパッド79bを配した面とは反対面に設けられている。また、チップ71の能動面に第2のインターポーザ基板7と接続するためのパッド(電極)50が形成されている。そして、パッド51とパッド50とがバンプ52を介して接続されている。つまり、チップ71と第2のインターポーザ基板7とがバンプ52を介してフリップチップ接合されている。図13で説明したチップと第2のインターポーザ基板をバンプで接続する構成は図9や図11の構成において実施してもよい。さらに、図13において、バンプ52による接続に加えて、第2のインターポーザ基板7とチップ70,71とを金線によって電気的に接続してもよい。また、図9や図11や図12の場合において更にチップと第2のインターポーザ基板とをバンプを介して接続してもよい。
図13において、第2のインターポーザ基板7には、チップ71との電気的接続のためのパッド(電極)51が、マザー基板16との接続のためのパッド79bを配した面とは反対面に設けられている。また、チップ71の能動面に第2のインターポーザ基板7と接続するためのパッド(電極)50が形成されている。そして、パッド51とパッド50とがバンプ52を介して接続されている。つまり、チップ71と第2のインターポーザ基板7とがバンプ52を介してフリップチップ接合されている。図13で説明したチップと第2のインターポーザ基板をバンプで接続する構成は図9や図11の構成において実施してもよい。さらに、図13において、バンプ52による接続に加えて、第2のインターポーザ基板7とチップ70,71とを金線によって電気的に接続してもよい。また、図9や図11や図12の場合において更にチップと第2のインターポーザ基板とをバンプを介して接続してもよい。
図12に示した構成の変形例として、図14に示すようにしてもよい(図8に代わる構成)。
図14において、第2のインターポーザ基板7に配置されたマザー基板16との接続のためのパッド(電極)79bのピッチP2が、第1のインターポーザ基板3に配置されたマザー基板16との接続のためのパッド(電極)8bのピッチP1よりも小さい(広義には、ピッチP2がピッチP1と異なっている)。第2のインターポーザ基板7上のパッド79bのピッチP2を小さくすることによって、第2のインターポーザ基板7に配置できるパッド79bの数を増やすことができ、その分第1のインターポーザ基板3上のパッド8bを減らすことができ、半導体パッケージを小型化できる。各インターポーザ基板3,7のマザー基板16との接続のためのパッド(電極)8b,79bには半田ボール11,14が設けられており、第2のインターポーザ基板7に設けられた半田ボール14は、第1のインターポーザ基板3に設けられた半田ボール11よりも径が小さい。半田ボールの高さを合わせるために、第1のインターポーザ基板3の下面と第2のインターポーザ基板7の下面の高さは異なる(H2>H1)。つまり、第2のインターポーザ基板7におけるマザー基板16との接続のためのパッド(電極)79bを配置した面の高さH2が、第1のインターポーザ基板3におけるマザー基板16との接続のためのパッド(電極)8bを配置した面の高さH1と異なる。図14で説明したピッチP2とピッチP1を異ならせる構成、及び、高さH2と高さH1を異ならせる構成は、図11の構成において実施してもよい。
図14において、第2のインターポーザ基板7に配置されたマザー基板16との接続のためのパッド(電極)79bのピッチP2が、第1のインターポーザ基板3に配置されたマザー基板16との接続のためのパッド(電極)8bのピッチP1よりも小さい(広義には、ピッチP2がピッチP1と異なっている)。第2のインターポーザ基板7上のパッド79bのピッチP2を小さくすることによって、第2のインターポーザ基板7に配置できるパッド79bの数を増やすことができ、その分第1のインターポーザ基板3上のパッド8bを減らすことができ、半導体パッケージを小型化できる。各インターポーザ基板3,7のマザー基板16との接続のためのパッド(電極)8b,79bには半田ボール11,14が設けられており、第2のインターポーザ基板7に設けられた半田ボール14は、第1のインターポーザ基板3に設けられた半田ボール11よりも径が小さい。半田ボールの高さを合わせるために、第1のインターポーザ基板3の下面と第2のインターポーザ基板7の下面の高さは異なる(H2>H1)。つまり、第2のインターポーザ基板7におけるマザー基板16との接続のためのパッド(電極)79bを配置した面の高さH2が、第1のインターポーザ基板3におけるマザー基板16との接続のためのパッド(電極)8bを配置した面の高さH1と異なる。図14で説明したピッチP2とピッチP1を異ならせる構成、及び、高さH2と高さH1を異ならせる構成は、図11の構成において実施してもよい。
なお、これら以外の事項については第5の実施形態と同じである。そのため、図14において、図8での符号と同じ符号を付すことによりその説明は省略する。
チップをスタック構造にした場合において、各インターポーザ基板の材質を異ならせてもよい。詳細(基板の材質等)については前述の第5の実施形態において説明した通りでありその説明は省略する。
チップをスタック構造にした場合において、各インターポーザ基板の材質を異ならせてもよい。詳細(基板の材質等)については前述の第5の実施形態において説明した通りでありその説明は省略する。
チップをスタック構造にする場合において、図9,11等においてはチップを2つ積層しているが、3つ以上積層してもよい。積層するチップ数が増えれば小型化するという観点からより好ましい。
1…放熱板、3…第1のインターポーザ基板、4…貫通孔、5…半導体チップ、7…第2のインターポーザ基板、8a,8b…電極、10…金線、12a…パッド、13…金線、16…マザー基板、20…第1のインターポーザ基板、21…凹部、23…半導体チップ、25…第2のインターポーザ基板、28…金線、31…金線、34…電子部品、40,41…段差部、50,51…パッド、52…バンプ、61,64…半導体チップ、70…チップ、71…チップ、74…金線、76…金線、80…チップ、81…チップ、84…金線、86…金線。
Claims (11)
- 放熱板(1)の一方の面に、貫通孔(4)を有する第1のインターポーザ基板(3)の一方の面が固定されるとともに、第1のインターポーザ基板(3)の貫通孔(4)の内部において半導体チップ(5)の非能動面が前記放熱板(1)の一方の面に固定され、半導体チップ(5)と第1のインターポーザ基板(3)とが金線(10)によって電気的に接続された半導体パッケージであって、
前記第1のインターポーザ基板(3)の貫通孔(4)の内部において、半導体チップ(5)の能動面側に第2のインターポーザ基板(7)の一方の面側が固定され、半導体チップ(5)と第2のインターポーザ基板(7)とが金線(13)によって電気的に接続されてなることを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記半導体チップは、複数のチップ(70,71)を積層したスタック構造をなし、かつ、当該スタック構造における各チップ(70,71)は一方のチップ(70)における能動面に他方のチップ(71)の非能動面が対向するように配置され、結線構造として、少なくとも、スタック構造における各チップ(70,71)のうちの1つのチップ(70)と第1のインターポーザ基板(3)、および他の1つのチップ(71)と第2のインターポーザ基板(7)とが金線(74,76)によって電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 凹部(21)を有する第1のインターポーザ基板(20)での前記凹部(21)の内部において半導体チップ(23)の非能動面が凹部(21)の底面に固定され、半導体チップ(23)と第1のインターポーザ基板(20)とが金線(28)によって電気的に接続された半導体パッケージであって、
前記第1のインターポーザ基板(20)の凹部(21)の内部において、半導体チップ(23)の能動面側に第2のインターポーザ基板(25)の一方の面側が固定され、半導体チップ(23)と第2のインターポーザ基板(25)とが金線(31)によって電気的に接続されてなることを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記半導体チップは、複数のチップ(80,81)を積層したスタック構造をなし、かつ、当該スタック構造における各チップ(80,81)は一方のチップ(80)における能動面に他方のチップ(81)の非能動面が対向するように配置され、結線構造として、少なくとも、スタック構造における各チップ(80,81)のうちの1つのチップ(80)と第1のインターポーザ基板(20)、および他の1つのチップ(81)と第2のインターポーザ基板(25)とが金線(84,86)によって電気的に接続されていることを特徴とする請求項3に記載の半導体パッケージ。
- 前記第1のインターポーザ基板(20)における半導体チップ(23)が配置された面とは反対の面に電子部品(34)が実装されてなることを特徴とする請求項3または4に記載の半導体パッケージ。
- 前記第1のインターポーザ基板(20)における半導体チップ(23)が配置された面とは反対の面に、別の半導体チップ(61,64)が実装されてなることを特徴とする請求項3または4に記載の半導体パッケージ。
- 前記第1と第2のインターポーザ基板(3,7)における半導体チップ(5)の電極(9)側の辺に段差部(40,41)が設けられ、その段差部(40,41)に金線(10,13)をボンディングするための電極(8a,12a)が配置されてなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記半導体チップ(5)と第2のインターポーザ基板(7)とがバンプ(52)を介してフリップチップ接合されてなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記第2のインターポーザ基板(7)に配置されたマザー基板(16)との接続のための電極(12b)のピッチ(P2)が、前記第1のインターポーザ基板(3)に配置されたマザー基板(16)との接続のための電極(8b)のピッチ(P1)と異なることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記第2のインターポーザ基板(7)におけるマザー基板(16)との接続のための電極(12b)を配置した面の高さ(H2)が、前記第1のインターポーザ基板(3)におけるマザー基板(16)との接続のための電極(8b)を配置した面の高さ(H1)と異なることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記第1と第2のインターポーザ基板(3,7)の材質が異なることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
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