JP2018520893A - 基板貫通相互接続部及びmemsデバイスを備えた電子システム - Google Patents
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Abstract
Description
[0038] 本発明の諸実施形態は、結果として得られるTSV構造のコストを低減し、強度を改善するものである。諸実施形態では、1つ以上の固体部分を使用して絶縁構造の単一シーム部分を複数のセグメントに分割して、TSV構造の結果として得られる強度を強化する。また、諸実施形態では、MEMSデバイス製作プロセスとプロセスステップを共用してコストを更に低減することもでき、同じ基板内にTSV及びMEMSデバイスを形成するために追加のプロセスステップを必要としない可能性がある。
[0043] 金属線、トレース、ワイヤ、相互接続部、導体、信号経路、及び信号媒体という用語はすべて関連している。上記で列挙した関連用語は、一般に交換可能であり、特定のものから一般的なものへという順に示されている。この分野では、金属線は時にはトレース、ワイヤ、ライン、相互接続部、又は単純に金属と呼ばれる。アルミニウム(Al)、銅(Cu)、AlとCuの合金、Al、Cu、及びシリコン(Si)の合金、タングステン(W)、ニッケル(Ni)、窒化チタン(TiN)、及び窒化タンタル(TaN)などであって、これらに限定されない金属線は、電気回路を相互接続するための信号経路を提供する導体である。金属及び非金属のいずれでも、その他の導体はマイクロ電子デバイスで使用可能である。ドープ多結晶シリコン、ドープ単結晶シリコン(このようなドーピングが熱拡散又はイオン注入によって達成されたかどうかにかかわらず、単純に拡散と呼ばれる場合が多い)、チタン(Ti)、コバルト(Co)、モリブデン(Mo)、及び耐火金属シリサイドなどの材料はその他の導体の例である。
[0050] 図1Aは、一実施形態による電子システム100を示している。電子システム100はプリント配線板(PWB)101と電子コンポーネント102とを含む。図1Aに示されている電子システム100は、単純にするために1つのPWB101と1つの電子コンポーネント102のみを含む。しかしながら、本明細書の説明に基づいて当業者によって理解されるように、電子システム100は任意の数のPWBと任意の数の電子コンポーネントを含むことができる。電子コンポーネント102はPWB101に電気的に結合することができ、2つ以上の電子コンポーネントが存在する実施形態では、PWB101は1つのコンポーネントを他のコンポーネントに電気的に結合するために1組の相互接続部を更に含むことができる。
[0051] 図1Bは、一実施形態による電子コンポーネント102Aを示している。電子コンポーネント102Aは、マイクロチップ104を含み、パッケージ基板103を更に含むことができる。図1Bに示されている電子コンポーネント102Aは、1つのパッケージ基板103と1つのマイクロチップ104のみを含む。しかしながら、本明細書の説明に基づいて当業者によって理解されるように、電子コンポーネント102Aは任意の数のパッケージ基板と任意の数のマイクロチップを含むことができる。マイクロチップ104はパッケージ基板103の上に配置されるように図1Bに示されているが、代替実施形態では、マイクロチップ104は完全に又は部分的にパッケージ基板103内に存在することができる。
[0054] 図1Cは、一実施形態によるマイクロチップ104Aを示している。マイクロチップ104Aは、裏面106aを有する基板106と、基板貫通ビア(TSV)200と、を含み、マイクロチップ104Aは超微細加工デバイス(micro−fabricated device)105を更に含むことができる。TSV200は導電性構造と絶縁構造とを含む。絶縁構造は導電性構造から基板106を電気的に絶縁する。更に、TSV200は超微細加工デバイス105に電気的に結合することができ、TSV200は図1Bのパッケージ基板103又はマイクロチップ104Aの裏面106a上に存在する可能性のあるデバイスにも電気的に結合することができる。
[0061] 図1Eは、他の実施形態による電子コンポーネント102Bを示している。電子コンポーネント102Bは、図1Bの電子コンポーネント102Aを含み、インターポーザ(interposer)107を更に含む。インターポーザ107は、TSV200を含み、パッケージ基板103とマイクロチップ104との間に配置することができる。パッケージ基板103及びマイクロチップ104はインターポーザ107のTSV200を通って電気的に結合することができる。インターポーザ107は、シリコン又はガラスで作ることができるが、これらに限定されない。
[0062] 図2Aは、一実施形態により基板207内に形成されたTSV200の上面図を示している。TSV200は、ビア201と、バルク領域202と、第1の幅206aを有する隔離構造(isolating structure)206と、を含む。隔離構造206は固体部分204とシーム部分205とを含む。シーム部分205は、外部絶縁体(outer insulator)205aと、シーム205bと、内部絶縁体(inner insulator)205cと、を含み、シーム205bは外部絶縁体205aと内部絶縁体205cとの間に位置決めされる。シーム部分205と固体部分204は共同でビア201を取り囲む閉じたループを形成する。
[0072] 図3Aは、単一の固体部分204によって分離されたシーム部分205を含む、図2A〜図2Eの絶縁構造206の隔離された図を示している。上記のように、シーム部分205は第1の端部205dと第2の端部205eとを有し、第1の端部205dと第2の端部205eはどちらもシーム205bに接触している。固体部分204は、シーム部分205とともに閉じたループを形成し、シーム部分205の第1の端部205d及び第2の端部205eと接触している。絶縁構造206は正方形の形状を有することができる。他の実施形態では、絶縁構造206は、長方形、円形、又は楕円形の形状を有することができる。
[0079] 図4は、他の実施形態によるTSV400の断面図を示している。TSV400は上記のTSV200と同様のものである。従って、TSV200と400との相違点のみについて本明細書で説明する。TSV400は、第1の表面401a及び第2の表面401bを有するビア401と、バルク領域402と、第1のワイヤ403と、幅404aを有するビアパッド404と、絶縁構造406と、絶縁領域408と、を含む。
[0085] 図6Aは、一実施形態によるマイクロチップ600の断面図を示している。マイクロチップ600はワイヤ603とTSV601とMEMSデバイス602とを含む。TSV601は上記のTSV500と同様のものである。従って、TSV601と500との相違点のみについて本明細書で説明する。TSV601の絶縁構造606は隔離接合部分(isolation joint portion)606aを更に含み、MEMSデバイス602は第1の部分602aと第2の部分602bとを含む。一例では、MEMSデバイス602は、第1の部分602aと第2の部分602bが互いに電気的に絶縁されていることを必要とする。絶縁構造606の隔離接合部分606aはこのような電気絶縁を提供する。
[0091] 図7A〜図7Cは、一実施形態により、基板207内に幅701aを有するトレンチ701を形成した後に部分的に製作されたTSV200を示している。トレンチ701と基板部分702は共同で内部領域703を取り囲む閉じたループを形成する。図7Aは上面図を示し、図7B及び図7Cはそれぞれ図7Aの線B’及びC’に沿って取られた断面図を示している。
[0103] TSV及びMEMSデバイスの両方を形成するための製作プロセスの他の例について説明する。
[0116] 概要及び要約書の項ではなく、詳細な説明の項は特許請求の範囲を解釈するために使用するためのものであることを認識されたい。概要及び要約書の項は、発明者(複数も可)によって企図された本発明の1つ以上の模範的な実施形態を明記している可能性があるが、すべての模範的な実施形態を明記しているわけではなく、従って、いずれの点でも本発明及び特許請求の範囲を制限するためのものではない。
Claims (20)
- 第1の表面と第2の表面とを有する基板内に形成された相互接続部であって、
バルク領域と、
前記第1の表面から前記第2の表面まで延びるビアと、
前記第1の表面を通って前記基板内に延び、前記ビアの周りの閉じたループを画定する絶縁構造であって、前記絶縁構造が少なくとも1つの固体部分によって分離されたシーム部分を含む、絶縁構造と、
前記絶縁構造から前記第2の表面に向かって延びる絶縁領域であって、前記絶縁領域が前記バルク領域から前記ビアを分離する、絶縁領域と、を含み、
前記絶縁構造と前記絶縁領域が共同で、前記ビアと前記バルク領域との間の電気的隔離を提供する、相互接続部。 - 前記シーム部分が、少なくとも1つのシームと少なくとも1つのボイドとを含む、請求項1に記載の相互接続部。
- 前記シーム部分が、複数の固体部分によって分離される、請求項1に記載の相互接続部。
- 前記第1の表面に沿った前記絶縁構造の断面が、長方形である、請求項1に記載の相互接続部。
- 前記第1の表面に沿った前記絶縁構造の断面が、楕円である、請求項1に記載の相互接続部。
- 前記シーム部分が、第1の端部と第2の端部とを有し、
前記第1及び第2の端部が、前記ビアに向かって内側に屈曲している、請求項1に記載の相互接続部。 - 前記絶縁領域が、気体材料を含む、請求項1に記載の相互接続部。
- 前記固体部分が、二酸化ケイ素を含む、請求項1に記載の相互接続部。
- 前記絶縁領域が、前記絶縁構造に隣接する上部部分と、前記第2の表面及び前記上部部分に隣接する下部部分と、を含む、請求項1に記載の相互接続部。
- 前記下部部分が、固体材料を含む、請求項9に記載の相互接続部。
- パッド領域を更に含み、
前記下部部分が、前記バルク領域の上に延び、
前記パッド領域が、前記ビア領域及び前記下部部分の一部分の上に配置される、請求項10に記載の相互接続部。 - 前記ビアが、ドープシリコンを含む、請求項1に記載の相互接続部。
- 前記第2の表面に沿った前記パッド領域の第1の断面積が、前記第2の表面に沿った前記ビアの第2の断面積より大きい、請求項11に記載の相互接続部。
- 電子コンポーネントであって、
第1の表面と第2の表面とを有する基板を含み、
前記基板が、前記基板内に形成された相互接続部を含み、
前記相互接続部が、
バルク領域と、
前記第1の表面から前記第2の表面まで延びるビアと、
前記第1の表面を通って前記基板内に延び、前記ビアの周りの閉じたループを画定する絶縁構造であって、前記絶縁構造が少なくとも1つの固体部分によって分離されたシーム部分を含む、絶縁構造と、
前記絶縁構造から第2の表面に向かって延びる絶縁領域であって、前記絶縁領域が前記バルク領域から前記ビアを分離する、絶縁領域と、を含み、
前記絶縁構造と前記絶縁領域が共同で、前記ビアと前記バルク領域との間の電気的隔離を提供する、電子コンポーネント。 - 前記基板が、微小電気機械デバイスを更に含み、
前記微小電気機械デバイスの第1の部分が、前記ビアに電気的に結合される、請求項14の電子コンポーネント。 - 前記相互接続部の前記絶縁構造が、前記微小電気機械デバイスの第2の部分を前記相互接続部から電気的に隔離する、請求項15に記載の電子コンポーネント。
- パッケージ基板とチップとを更に含み、
前記基板が、前記パッケージ基板上にあり、
前記チップが、前記基板上にあり、
前記基板の前記相互接続部が、前記チップを前記パッケージ基板に電気的に結合する、請求項14に記載の電子コンポーネント。 - 第1の表面と第2の表面とを有する基板内に相互接続部を形成する方法であって、
前記第1の表面に隣接し、前記基板内のビアの周りの閉じたループを画定する絶縁構造を形成することを含み、
前記絶縁構造の形成が、
前記第1の表面から始めて前記基板をエッチングしてトレンチを形成することと、
前記トレンチを充填してシーム部分を形成することと、
前記基板の一部分を固体部分に変換して前記閉じたループを形成することと、
前記絶縁領域が前記絶縁構造に接触し、前記基板のバルク領域から前記ビアを分離するように、前記第2の表面に隣接する絶縁領域を形成することと、
を含む、方法。 - 前記絶縁領域の下部部分内及び前記第2の表面上の前記バルク領域の第1の部分の上に絶縁材料を配置することと、
前記下部部分、前記第1の部分、及び前記ビアの第3の部分の上に導電材料を配置してパッド領域を形成することと、
を更に含む、請求項18に記載の方法。 - 前記パッド領域が、前記第2の表面に沿った前記ビアの断面積より大きい、請求項19に記載の方法。
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