JP2018517308A5 - - Google Patents

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ウエハ搬送システムの動作工程は、ウエハを搬送するために要求される時間を短縮するための実用的なニーズに基づいて設計することができる。表１は、ウエハ搬送システムの各々の工程をまとめ、デュアルアームロボット１００、ウエハ搬入リニアロボット２００及びウエハ搬出リニアロボット３００によって各々の工程を実行するために要求される時間をリスト化したものである。
Figure 2018517308
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