JP2018507327A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 処理チャンバのためのチャンバ部品であって
   一体型のモノリシック構造を有し、テクスチャ加工面を有する構成部品本体
   を備えるチャンバ部品であり、前記テクスチャ加工面が、
   前記テクスチャ加工面から延在する、前記構成部品本体と一体的に形成されたマクロ特徴本体を含む、複数の独立した工学加工されたマクロ特徴、を備え、前記工学加工されたマクロ特徴は、視線面が、前記テクスチャ加工面にわたり前記工学加工されたマクロ特徴間で形成されないようにするパターンで配置される、
   チャンバ部品。
2. 前記工学加工されたマクロ特徴が、
   前記工学加工されたマクロ特徴上に形成された複数の工学加工されたミクロ特徴
   をさらに備える、請求項１に記載のチャンバ部品。
3. 前記ミクロ特徴が前記ミクロ特徴上に形成されたサブ特徴をさらに含む、請求項２に記載のチャンバ部品。
4. 前記マクロ特徴本体が、
   アンダーカット
   を備える、請求項１に記載のチャンバ部品。
5. 前記マクロ特徴本体が、
   内部ボイド
   を備える、請求項１に記載のチャンバ部品。
6. 前記マクロ特徴本体が螺旋形の形状を有する、請求項１に記載のチャンバ部品。
7. 前記マクロ特徴本体が、
   もう１つの孔
   を備える、請求項１に記載のチャンバ部品。
8. 前記マクロ特徴本体が、
   前記構成部品本体にコンタクトして配置された第１の材料と、
   前記第１の材料上に配置された第２の材料と、
   を含む、請求項１に記載のチャンバ部品。
9. 前記工学加工されたマクロ特徴が、
   前記工学加工されたマクロ特徴上に形成された複数の工学加工されていないミクロ特徴をさらに備える、請求項１に記載のチャンバ部品。
10. 前記マクロ特徴本体が、
    前記構成部品本体に面する表面
    を備える、請求項１に記載のチャンバ部品。
11. 前記マクロ特徴本体が、
    隣接するマクロ特徴本体に面する前記マクロ特徴本体の表面上に形成された、工学加工されたミクロ特徴
    を備える、請求項１に記載のチャンバ部品。
12. 前記構成部品本体がチャンバライナー、プロセスキットリング、シールド、またはコイルスペーサを含む、請求項１に記載のチャンバ部品。
13. 前記マクロ特徴本体が、
    熱チョーク
    を備える、請求項１に記載のチャンバ部品。
14. 前記構成部品本体が、
    複数の熱伝達フィンを有する内側表面と、
    前記工学加工されたマクロ特徴が形成された外側表面と、
    をさらに備える、請求項１に記載のチャンバ部品。
15. 外側表面と、
    頂部部分と、
    底部部分と、
    前記頂部部分に配置され、前記底部部分に向かって延在する開口部と、
    前記開口部に隣接して配置された内側表面と、
    前記頂部部分に近接し、前記外側表面と前記内側表面との間に配置された上部リップと、
    前記外側表面上に形成された複数のマクロレベルの表面特徴と、
    を備える、一体型のモノリシック構造を有する本体
    を備え、前記マクロレベルの表面特徴は、視線面が、前記外側表面にわたり前記マクロレベルの表面特徴間で形成されないようにするパターンで配置される、処理チャンバのためのコイルスペーサのカップ。