JP2018205061A - 分注装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズル先端や液体収容容器に対して物理的損傷を与えることなく、微量の液体試料を正確に分注することができる分注装置を提供する。【解決手段】本発明に係る分注装置は、液体試料の液滴を撮影し、前記液滴の画像を用いて前記液体試料を分注する。【選択図】図３

Description

本発明は、液体試料を分注する分注装置に関する。

液体の生体サンプルを分析する際には、液体試料をノズル内に吸引した後、その液体試料を保持する部材に対してノズルから液体試料を吐出する。液体試料を保持する部材としては、スライドガラス基板、アレイ素子、液体収容容器、マイクロプレートなどが挙げられる。試料を正確に分析するためには、吐出する試料の液量を正確に制御することが求められる。

ＤＮＡマイクロアレイは、数百から数万種類の生体関連物質や化学物質を数平方センチメートルのスライドガラス基板上に高密度に整列・固定化させるものである。基板上の物質と相互作用する物質を探索し、相互作用する物質のシグナルパターンを特定することにより、試料を分析する。規定された所定量の試料を正確に分注することが、測定精度を高める上で重要である。

微量の液体試料を常に一定量供給するため、分注装置においては一般に、ノズル先端から極微量の試料を露出させてノズル先端に極小径の液滴を作り、この液滴を分注対象面に対して分注する。

下記特許文献１は、ノズル先端と基板の接触具合によって生じるスポットサイズのばらつきを防ぐ方法を記載している。同文献においては、ノズルと分注対象面との間の距離を位置決めピンにより一定に保ち、ノズル先端は分注対象面に対して接触させず、ノズル先端に保持されたタンパク質を含む微量液滴を分注対象面に接触させ、液滴の表面張力により非接触で分注する。

定量分析する検体が血液や尿などの生体サンプルである場合や、分析時に高価な試薬を使用する場合においては、測定に用いる検体量を数マイクロリットル程度に抑えて、使用する試薬量を少なくする方が好ましい。血液サンプルの場合は、サンプル量が多く取れないので、できるだけ少量のサンプルで多くの項目を分析できることが望ましい。１つの液体収容容器に対して分注される生体サンプルの量は、必然的に微量となる。現在、１分析当たりのサンプル量は１マイクロリットル以下となるケースもある。このような極微量のサンプルを液体収容容器に規定量だけ吐出することが必要になる。

下記特許文献２は、液体収容容器に対して吐出する液量に応じて吐出手順を制御する方法を記載している。同文献においては、吐出量が５マイクロリットル以下の場合は、分注ノズルの先端を液体収容容器の底に押し付けた上でサンプルを吐出することにより、サンプルの表面張力を利用してノズルから出た試料が液体収容容器にスムーズに移動できるようにする。吐出量が５マイクロリットルより多い場合は、吐出されたサンプルによってノズルの先端外周部が汚れるのを防止するため、ノズル先端を液体収容容器の底より数ミリメートル上方に位置づけた上で、サンプルを吐出する。

特開２００４−３２５３２９号公報 特許第３２４７４７１号公報

試料を押し出すプランジャは、比較的正確に制御することができる。しかしノズル先端と分注対象面との間の距離がばらつくと、同じ液量の試料を吐出したとしても、試料の表面張力などの要因により、保持部材に残される液滴量がばらついてしまう可能性がある。したがって試料を供給する量を正確に制御するためには、ノズル先端と分注対象面との間の相対距離を高精度に制御する必要がある。

この相対距離の精度が低い場合、（ａ）ノズル先端が分注面に対して接触し続けることにより分注面を傷つけてしまう、（ｂ）試料が供給されないまま（空打ち状態）で分析を開始してしまう、などの不具合が生じる恐れがある。特にディスポーザブルノズルを使用した場合には、ノズルの固定位置の精度が高くないことに加えて、基板や容器の設置位置の精度も高くない。これにより、試料を分注する位置において両者ともに位置ずれが生じ、分注毎に両者の位置関係が異なる可能性がある。したがって、ノズル先端と分注対象面との間の相対距離を高精度に制御するためには、両者間の相対距離を正確に測定する必要がある。この相対距離を測定する方法として以下のようなものが挙げられるが、それぞれ課題を有している。

（ａ）レーザ変位計のような高精度の距離センサは非常に高価であり、装置のコストが大きく上昇するので、ノズル先端と分注対象面との間の距離を測定するだけのために採用することは難しい。（ｂ）ノズル先端から空気を吐出させた状態で、ノズルを液体試料の液面に対して接近させ、ノズル先端が液面に接触して空気の流出が止まりノズル内の圧力が上昇したことを検知した時点で、ノズルの移動を停止させることにより、液体試料の液面を高精度に検出する方法がある。しかしこの方法は、ノズルを分注対象面に対して接触させることができない場合には用いることができない。（ｃ）カメラを用いてノズル先端と分注対象面との間の相対距離を撮影する方法がある。しかしこの方法はノズルを横から撮影するので、微量試料を収容する小容積の容器を用いる場合においては、分注対象面近傍を高精度に撮像することは難しい。さらに、多数の液滴をアレイ状に吐出する場合は、カメラが他の液滴と重なってしまうので撮影そのものが困難である。

本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものであり、ノズル先端や液体収容容器に対して物理的損傷を与えることなく、微量の液体試料を正確に分注することができる分注装置を提供することを目的とする。

本発明に係る分注装置は、液体試料の液滴を撮影し、前記液滴の画像を用いて前記液体試料を分注する。

本発明に係る分注装置によれば、液体試料の液滴の画像を用いてノズル先端と容器との間の距離を認識することにより、高価なセンサなどを用いることなく、微量の液体試料を正確に分注することができる。

実施形態１に係る分注装置１００の概略構成を示す模式図である。 ノズル１０４の先端から吐出された試料の液滴２０１を分注対象１０６に対して吐出することにより分注する動作を示す側面模式図である。 撮影部３０１が液滴２０１を撮影する様子を示す側面模式図である。 試料を分注する過程における液滴２０１のサイズｄと相対距離ｈの経時変化を例示するグラフである。 分注装置１００が相対距離ｈを求める手順を説明するフローチャートである。 分注装置１００が次の分注位置に対して試料を分注する動作を説明するフローチャートである。 液体試料の粘性の違いによるサイズｄの変化率の違いを示すグラフである。

＜実施の形態１＞
図１は、本発明の実施形態１に係る分注装置１００の概略構成を示す模式図である。分注装置１００は、剛体部材により形成されたベースステージ１０７を備えている。ベースステージ１０７上には、液体試料収容容器１０５が設けられている。試料を分注するためのノズル１０４がディスポーザブル（使い捨て）である場合は、ベースステージ１０７上においてさらに、使用前ディスポーザブルノズル格納容器１０８、使用済ディスポーザブルノズル格納容器１０９を設けてもよい。

液体試料収容容器１０５は、生体試料や試薬を収容する。液体試料収容容器１０５は、その内部に収容される液体の温度を調整する（例えば所定の温度に保つ）温度調節機能を備えてもよい。

使用前ディスポーザブルノズル格納容器１０８は、未使用の（ディスポーザブル）ノズル１０４を整列収容する容器である。使用済ディスポーザブルノズル格納容器１０９は、ノズル１０４内に残留した不要な液体と、分注処理に使用した（ディスポーザブル）ノズル１０４とを収容する容器である。

分注装置１００はさらに、分注処理のためのノズル１０４を取り付けた分注ヘッド、分注ヘッドをベースステージ１０７上の任意の位置に移動させるためのＸ軸方向駆動部１０１／Ｙ軸方向駆動部１０２／Ｚ軸方向駆動部１０３を備えている。分注ヘッドの下端部に設置されたノズル１０４によって液体試料収容容器１０５内の液体を吸引して、ガラス基板やマイクロプレート等の分注対象１０６に吐出することにより、分注処理がなされる。

分注対象１０６は、例えばスライドガラス基板、アレイ素子、液体収容容器などの部材であり、ステージ１１０の上に設置されている。ノズル１０４は試料を分注対象１０６に対して吐出することにより、試料を分注する。ステージ１１０の下には、後述する撮影部３０１が配置されている。

演算部１１１は、分注装置１００の動作を制御する。演算部１１１は、後述する手順によりノズル１０４を上下方向に移動させる量を求め、その量にしたがって各駆動部を制御することによりノズル１０４を移動させる。演算部１１１は、後述する記憶部１１２が格納するデータテーブル１１３の記述にしたがって、各駆動部を制御する。

図２は、ノズル１０４の先端から吐出された試料の液滴２０１を分注対象１０６に対して吐出することにより分注する動作を示す側面模式図である。ノズル１０４の先端は角度が付いていてもよい。液滴２０１の一部がノズル１０４の先端から若干露出した状態で、ノズル１０４が分注対象１０６に向かって下降することにより、液滴２０１が分注対象１０６に対して着滴する。次にノズル１０４が上昇することにより、液滴２０１が分注対象面上に静置される。分注対象１０６のうち少なくとも液滴２０１を分注する部位（およびステージ１１０の対応する部位）は、下方から液滴２０１を撮影するため、光学的に透明に構成されている。

図３は、撮影部３０１が液滴２０１を撮影する様子を示す側面模式図である。撮影部３０１はステージ１１０の下に配置されており、ノズル１０４から吐出された液滴２０１が分注対象１０６に対して分注される様子を撮影する。撮影部３０１から見た液滴２０１の平面サイズ（直径）をｄ、ノズル１０４の先端と分注対象面との間の相対距離をｈとする。図３右図に示すように、液滴２０１の表面張力により、分注対象面の下方から液滴２０１を観察すると、液滴２０１は円形状を有している。

図４は、試料を分注する過程における液滴２０１のサイズｄと相対距離ｈの経時変化を例示するグラフである。液滴２０１が分注対象１０６に対して着滴した後、ノズル１０４が上昇する際に、液滴２０１の表面張力によって液滴２０１が引っ張られ、サイズｄが次第に小さくなる。ノズル１０４が液滴２０１から離れる瞬間において、サイズｄが最も小さくなる。このときのサイズｄ＝ｄｍｉｎとする。

液量が一定であれば、液滴２０１の形状も一定となる。すなわち、ノズル１０４が液滴２０１から離れるときのサイズｄｍｉｎと相対距離ｈとの間の関係は一義的に定まる。そこでｄｍｉｎとｈとの間の関係をあらかじめデータテーブル１１３として記述しておき、撮影部３０１が撮影した液滴２０１の画像に基づきｄｍｉｎを取得することにより、対応するｈを取得することができる。取得したｈにしたがってノズル１０４を上下方向に移動させることにより、他の分注対象１０６に対して同様の動作を実施することができる。すなわちノズル１０４の先端や分注対象１０６に対して物理的損傷を与えることなく、微量の液滴２０１を正確に分注することができる。

液滴２０１の形状は、液量以外のパラメータによって影響を受ける場合もある。そこで以下のパラメータの組み合わせごとにｄｍｉｎとｈとの間の関係をデータテーブル１１３として記憶部１１２内にあらかじめ格納しておき、演算部１１１はこれらパラメータに対応する値をデータテーブル１１３から取得することにより、さらに正確にｈを求めることができる。

（パラメータ１）試料の種別：試料の種別によって粘性などが異なるので、液滴２０１の形状に影響を与える可能性がある。そこで試料の種別ごとにｄｍｉｎとｈの対応関係を記述しておくことが望ましい。
（パラメータ２）試料の分注量：試料を分注する量に応じて液滴２０１の形状が異なるので、分注量ごとにｄｍｉｎとｈの対応関係を記述しておくことが望ましい。
（パラメータ３）ノズル内径：ノズル１０４の内径に応じて液滴２０１の形状が異なるので、内径の値ごとにｄｍｉｎとｈの対応関係を記述しておくことが望ましい。
（パラメータ４）ノズル肉厚：ノズル１０４の肉厚が厚いと、液滴２０１の表面張力により液滴２０１がその肉厚部分に張り付くようにして変形するので、液滴２０１の形状に対して影響を与える。したがってノズル１０４の肉厚の値ごとにｄｍｉｎとｈの対応関係を記述しておくことが望ましい。
（パラメータ５）分注対象１０６の材質に応じて、試料が分注対象面に対して貼り付く強さが異なる。したがって分注対象１０６の材質ごとにｄｍｉｎとｈの対応関係を記述しておくことが望ましい。
（パラメータ６）ｄｍｉｎ
（パラメータ７）ｈ

ｄｍｉｎとｈとの間の対応関係が一定であることを検証するため、ある液体試料について、分注量を１００ｎＬとして、肉厚２０μｍ（例１）と８０μｍ（例２）の２つのノズル１０４を用いてｄｍｉｎとｈの関係を実測した。下記実測結果に示すように、相対距離ｈのばらつきは約０．０４０ｍｍであり、画像測定精度と同程度の精度で距離ｈを測定できていることが分かる。

例１：ｄｍｉｎ＝０．５３９±０．０２８（ｍｍ），ｈ＝０．８２４±０．０３６（ｍｍ）
例２：ｄｍｉｎ＝０．４４７±０．０３３（ｍｍ），ｈ＝０．８３０±０．０４０（ｍｍ）

図５は、分注装置１００が相対距離ｈを求める手順を説明するフローチャートである。分注装置１００は、試料の液滴２０１の一部がノズル１０４の先端から露出している状態で本フローチャートを開始する。以下図５の各ステップについて説明する。

（図５：ステップＳ５０１）
演算部１１１は、ノズル１０４を最小移動単位分だけ下降させる。例えばＺ軸方向駆動部１０３がステッピングモータによって駆動される場合は、ノズル１０４を１ステップ分だけ下降させる。以下では説明の便宜上、ステッピングモータによりノズル１０４を駆動制御することを前提とし、最小移動単位＝１ステップとする。

（図５：ステップＳ５０２）
演算部１１１は、撮影部３０１が撮影した画像に基づき、液滴２０１が分注対象１０６に対して着滴しているか否かをチェックする。液滴２０１が着滴するとサイズｄが急激に変化するので、これに基づき着滴を検出することができる。着滴していない場合はステップＳ５０１に戻って同様の処理を繰り返し、着滴した場合はステップＳ５０３へ進む。

（図５：ステップＳ５０３）
演算部１１１は、あらかじめ定められた特定ステップ数だけノズル１０４を下降させる。この特定ステップ数は、確実に液滴２０１が分注対象１０６に対して着滴するように定められるものであり、分注量と吐出量にしたがって理論的に計算することができる。

（図５：ステップＳ５０４）
演算部１１１は、撮影部３０１が撮影した液滴２０１の画像に基づき、液滴２０１の平面サイズ（直径）ｄを測定する。

（図５：ステップＳ５０５〜Ｓ５０７）
演算部１１１は、ノズル１０４を１ステップ分だけ上昇させる（Ｓ５０５）。演算部１１１は、液滴２０１のサイズｄを改めて測定する（Ｓ５０６）。演算部１１１は、ステップＳ５０４とＳ５０６それぞれにおける液滴２０１のサイズを比較することにより、サイズｄの変化量を求める（Ｓ５０７）。

（図５：ステップＳ５０８）
演算部１１１は、ステップＳ５０７において求めた変化量が正値であるか否かを判定する。変化量が負値であれば、図２中央図のようにノズル１０４の先端と分注対象１０６との間が液滴２０１によって接続されていることになるので、ステップＳ５０５に戻ってノズル１０４をさらに上昇させる。変化量が正値になれば、図２中央図の状態から図２右図の状態に移行した（液滴２０１を分注完了した）ことになるので、ステップＳ５０９へ進む。

（図５：ステップＳ５０９）
演算部１１１は、液滴２０１のサイズｄｍｉｎを用いてデータテーブル１１３を参照することにより、対応する相対距離ｈを取得する。先に説明したパラメータ１〜パラメータ５を用いる場合は、これらパラメータを併せて指定した上で対応する相対距離ｈを取得する。

図６は、分注装置１００が次の分注位置に対して試料を分注する動作を説明するフローチャートである。分注装置１００は、最初の分注位置について図５のフローチャートを実施した後、本フローチャートを実施する。以下図６の各ステップについて説明する。

（図６：ステップＳ６０１）
演算部１１１は、試料を分注対象１０６に対して吐出した後、ノズル１０４をｈ＋数ステップ程度上昇させる。図５のフローチャートによれば、ノズル１０４が液滴２０１から離れるときにおける分注対象面とノズル１０４先端との間の距離はｈであるので、ノズル１０４をｈだけ上昇させれば、原則的にはノズル１０４が液滴２０１から離れるはずである。本ステップにおいてはノズル１０４を液滴２０１からより確実に引き離すため、ノズル１０４をさらに数ステップ程度上昇させることとした。図５のフローチャートに続いて本フローチャートを実施する場合は、本ステップにおいてノズル１０４を数ステップ上昇させればよい。ステップＳ５０９においてノズル１０４は既にｈだけ上昇しているからである。

（図６：ステップＳ６０２〜Ｓ６０４）
演算部１１１は、Ｘ軸方向駆動部１０１／Ｙ軸方向駆動部１０２によって、ノズル１０４を次の分注位置に移動させる（Ｓ６０２）。演算部１１１は、ノズル１０４をｈ＋数ステップ（Ｓ６０１と同じステップ数）だけ下降させる（Ｓ６０３）。演算部１１１は、試料を吐出させる（Ｓ６０４）。

＜実施の形態１：まとめ＞
本実施形態１に係る分注装置１００は、試料を分注する動作時における液滴２０１のサイズｄを撮影部３０１によって撮影し、その撮影画像に基づきｄｍｉｎとこれに対応するｈの値を取得する。取得したｈを用いてノズル１０４を上下移動することにより、ノズル１０４の先端や分注対象面に対して物理的損傷を与えることなく、分注量を正確に保つことができる。すなわち、分注を実施するごとの分注量のばらつきを所定範囲内に収めることができる。

本実施形態１に係る分注装置１００は、液滴２０１のサイズｄを撮影部３０１によって取得し、これを用いてデータテーブル１１３を参照することにより、相対距離ｈを取得する。したがって、レーザ距離センサなどの高価な測定機器を用いることなく、分注量を正確に保つことができる。撮影部３０１としては、サイズｄをある程度の精度で計測できれば足りるので、例えばＣＣＤカメラなどの比較的安価な機器を用いることができる。

＜実施の形態２＞
図７は、液体試料の粘性の違いによるサイズｄの変化率の違いを示すグラフである。比較のため、図４で説明したｄの時間変化率を示すグラフを併記した。図７に示すように、粘性が高いときの極性７０２は、粘性が低いときの曲線７０１と比較して、ｄの時間変化率が緩やかであることを示している。そこで演算部１１１は、ｄの時間変化率に基づき試料の粘性を表すパラメータを求めることができる。

必ずしも試料の粘性そのものを求める必要はなく、標準試料と比較してどの程度の粘性を有するかを表すパラメータを取得できればよい。例えば標準試料におけるｄの時間変化率と比較して、液滴２０１が分注対象１０６に対して着滴してからｄｍｉｎに至るまで１．２倍の時間を要する、などのパラメータを求めることができる。

試料の粘性が高いとｄが変化しにくいので、液滴２０１がノズル１０４から離れる瞬間を確実に捕捉するためには、ノズル１０４を緩やかに引き上げる必要がある。そこでデータテーブル１１３内に、試料の粘性（または粘性を表す何らかのパラメータ）とノズル１０４を引き上げる速度との間の対応関係をあらかじめ記述しておき、演算部１１１はその対応関係にしたがってノズル１０４を引き上げる速度を調整することができる。これにより相対距離ｈを正確かつ確実に求めることができる。

＜本発明の変形例について＞
本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、上記した実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。また、各実施例の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。

以上の実施形態において、液滴２０１のサイズｄとして平面サイズ（液滴２０１の直径）を例示したが、その他同様のパラメータを用いることもできる。例えば液滴２０１の平面面積を用いることもできる。

ステップＳ５０３において、液滴２０１を確実に着滴させるため、ノズル１０４の先端を分注対象面に対して接触させた上で試料を吐出してもよい。この場合、分注対象１０６の下にクッション機構を設けることが望ましい。これにより、ノズル１０４の先端を分注対象面に対して接触した際に、ノズル１０４がたわまないようにすることができる。

以上の実施形態において、各駆動部をステッピングモータにより駆動制御することを例示したが、その他の駆動手段を用いる場合は、その駆動精度に応じて最小移動単位を適宜定めればよい。

演算部１１１は、その機能を実装した回路デバイスなどのハードウェアを用いて構成することもできるし、その機能を実装したソフトウェアをＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）などのような演算装置が実行することにより構成することもできる。

１００：分注装置
１０１：Ｘ軸方向駆動部
１０２：Ｙ軸方向駆動部
１０３：Ｚ軸方向駆動部
１０４：ノズル
１０５：液体試料収容容器
１０６：分注対象
１０７：ベースステージ
１０８：使用前ディスポーザブルノズル格納容器
１０９：使用済ディスポーザブルノズル格納容器
１１０：ステージ
２０１：液滴
３０１：撮影部

Claims (12)

1. 液体の試料を保持する部材に対して前記試料を分注する分注装置であって、
   前記試料を吐出するノズル、
   前記部材に対して吐出された前記試料の液滴を撮影する撮影部、
   前記撮影部が撮影した前記液滴の画像を用いて前記試料を分注する分注機構、
   を備えることを特徴とする分注装置。
2. 前記分注装置はさらに、前記分注装置の動作を制御する演算部を備え、
   前記演算部は、前記撮影部が撮影した前記液滴の画像を用いて前記液滴のサイズを計測し、
   前記演算部は、前記液滴が前記ノズルの先端から離れるときにおける、前記ノズルの先端と前記液滴を分注する分注対象面との間の第１距離を、前記液滴のサイズを用いて算出する
   ことを特徴とする請求項１記載の分注装置。
3. 前記分注機構は、前記演算部からの指示にしたがって前記ノズルを水平方向と上下方向に移動させる機構を備えており、
   前記演算部は、前記ノズルを水平方向に移動させるとともに、前記第１距離を用いて前記ノズルを上下移動させた上で前記試料を吐出させることにより、前記ノズルが前記試料を前記部材に対して分注する液量の誤差を所定範囲内に収める
   ことを特徴とする請求項２記載の分注装置。
4. 前記分注装置はさらに、前記液滴が前記ノズルの先端から離れるときにおける前記液滴のサイズと、前記第１距離との間の対応関係を記述したデータを記憶する記憶部を備え、
   前記演算部は、前記液滴のサイズを用いて前記データを参照することにより、前記液滴のサイズに対応する前記第１距離を取得し、
   前記演算部は、前記取得した前記第１距離を用いて前記ノズルを上下移動させる
   ことを特徴とする請求項３記載の分注装置。
5. 前記演算部は、前記ノズルが前記試料を吐出した後、前記第１距離に対して所定の微小距離を加算した第２距離だけ前記ノズルを引き上げ、
   前記演算部は、前記第２距離だけ引き上げた前記ノズルを、次の分注位置に向かって水平方向に移動させ、
   前記演算部は、前記次の分注位置において前記ノズルを前記第２距離だけ引き下げた上で前記試料を前記ノズルから吐出させる
   ことを特徴とする請求項３記載の分注装置。
6. 前記データは、前記試料の種別、前記ノズルが前記試料を吐出する液量、前記ノズルの内径、および前記ノズルの肉厚の組み合わせごとに、前記対応関係を記述しており、
   前記演算部は、前記試料の種別、前記ノズルが前記試料を吐出する液量、前記ノズルの内径、および前記ノズルの肉厚を用いて前記データを参照することにより、前記組み合わせに対応する前記第１距離を取得する
   ことを特徴とする請求項４記載の分注装置。
7. 前記撮影部は、前記ノズルが前記試料を吐出している間における前記液滴のサイズの変化を撮影し、
   前記演算部は、前記撮影部が撮影した前記液滴のサイズの時間変化率に基づき、前記試料の粘性の強さを表す粘性パラメータを求める
   ことを特徴とする請求項２記載の分注装置。
8. 前記演算部は、前記試料の粘性が大きいほど、前記試料を吐出した後に前記ノズルを引き上げる速度を遅くする
   ことを特徴とする請求項７記載の分注装置。
9. 前記分注装置はさらに、前記粘性パラメータと前記ノズルを引き上げる速度との間の対応関係を記述したデータテーブルを記憶する記憶部を備え、
   前記演算部は、前記液滴のサイズの変化率を用いて前記データテーブルを参照することにより、対応する前記速度を取得し、その速度で前記ノズルを引き上げる
   ことを特徴とする請求項８記載の分注装置。
10. 前記演算部は、前記撮影部が撮影した前記液滴のサイズに基づき、前記試料が前記部材に対して接触したか否かを判定し、
    前記演算部は、前記試料が前記部材に対して接触していない場合は、前記ノズルを所定量だけ引き下げる
    ことを特徴とする請求項２記載の分注装置。
11. 前記データは、前記部材の材質ごとに前記対応関係を記述しており、
    前記演算部は、前記部材の材質を指定して前記データを参照することにより、前記部材の材質に対応する前記第１距離を取得する
    ことを特徴とする請求項４記載の分注装置。
12. 前記ノズルと前記撮影部は、前記部材を挟むように配置されており、
    前記ノズルは、前記部材の片面に対して接触するように前記試料を分注し、
    前記撮影部は、前記部材の他面側から前記試料を撮影する
    ことを特徴とする請求項１記載の分注装置。

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