JP2018199174A - 超音波加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
実施形態に係る超音波加工装置10は、ベース12と、このベース12を基点として配置されたステージ14、および支柱16が備えられ、支柱16によって支持された超音波ユニット18が設けられている。ベース12は、ステージ14と支柱16を配置するための基礎である。ステージ14は、被加工部材を配置するための定盤としての役割を備え、必要に応じて平面方向の移動軸(例えばX軸とY軸)を備える構成とすれば良い。
このような基本構成を有する実施形態に係る超音波加工装置10では、図2に、図1におけるA−A、B−B断面(超音波ユニット部分のみ)を示すように、ホルダ20の保持部20aに備えたガイドローラ(第1ガイドローラ)22(22a〜22c)によって、超音波ユニット18を支持している。ガイドローラ22により超音波ユニット18を支持する事で、超音波ユニット18が軸線方向に微振動する際、これに追従して支持を成す事ができる。
また、実施形態に係る超音波加工装置10は、微振動に起因した超音波ユニット18の軸心O周りの回転(捻じれ)を防止するための回り止め手段28が備えられている。回り止め手段28は、図4に図1におけるC−C断面(超音波ユニット部分のみ)を示すように、ローラベース30とガイド32を備えている。ローラベース30は、超音波ユニット18に固定されるベースであり、ガイドローラ(第2ガイドローラ)34(34a,34b)を備えている。ガイドローラ34は、転動方向が、超音波ユニット18の軸線方向に沿うこととなるように配置されている。また、ガイドローラ34は、詳細を後述するガイド32の挟み込みが可能となるように、ローラ面を対向させて対を成すように配置されている。
このような構成の超音波加工装置10によれば、超音波による微振動に起因した、超音波ユニット18のブレや回転を抑制する事ができる。このため、被加工部材に対する微細加工の加工精度を向上させる事ができる。
上記実施形態では、超音波ユニット18を支持する構造について、ホルダ20の保持部20aに備えられるガイドローラ22を3つとし、そのうちの1つ(ガイドローラ22c)に、超音波ユニット18に対する付勢手段26を備える構成とする旨説明した。
ブレ防止構造をこのような構成とした場合であっても、上記実施形態と同様な効果を奏することができる。
Claims (4)
- ベースと、前記ベースを基点として配置された支柱と、前記支柱に沿った方向に微振動を生じさせる超音波ユニットと、前記超音波ユニットを前記支柱に沿った状態で支持するホルダとを有する超音波加工装置であって、
前記ホルダには、前記超音波ユニットが前記支柱の立設方向に沿って振動することをガイドする複数の第1ガイドローラが備えられ、
前記複数の第1ガイドローラのうちの少なくとも1つの第1ガイドローラには、前記超音波ユニットの軸心方向へ向けた付勢力を生じさせる付勢手段が付帯されていることを特徴とする超音波加工装置。 - 前記第1ガイドローラの配置数を偶数とする場合、各第1ガイドローラは、前記超音波ユニットの軸心を基点として放射状に均等配置し、
対向配置された第1ガイドローラのうちのいずれか一方に、前記付勢手段を付帯させることを特徴とする請求項1に記載の超音波加工装置。 - 前記ホルダには、前記超音波ユニットが微振動する際に生じる軸線周りの回転を抑制する回り止め手段を備えていることを特徴とする請求項1または2に記載の超音波加工装置。
- 前記回り止め手段は、前記ホルダまたは前記支柱に固定されたガイドと、
前記超音波ユニットに固定され、かつ前記ガイドに付勢される第2ガイドローラにより構成されていることを特徴とする請求項3に記載の超音波加工装置。
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