JP2018195592A - 荷電粒子線装置及び走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
図1を参照して、本発明の第1の実施の形態であるSEMの概略構成を説明する。
[数2]光源の縮小直径Dg=M1・M2・M3・So=M・So [nm]
[数3]球面収差Ds=0.5Cs・α^3 [nm]
[数4]色収差Dc=0.5Cc・α・ΔV/Vi [nm]
[数5]回折収差:Dd=0.75×1.22×Lambda/α [nm]
ここで、電子源の大きさがSo、一段目コンデンサレンズ15aの縮小率がM1、二段目コンデンサレンズ15bの縮小率がM2、第1の対物レンズ18と第2の対物レンズ26とが作るレンズの縮小率がM3、全縮小率M=M1×M2×M3、球面収差係数がCs、色収差係数がCc、試料面での一次電子線12の開き角がα、照射電圧(一次電子が試料23に衝突するときのエネルギーに対応する電圧)がVi、一次電子線12のエネルギー広がりに対応する電圧がΔV、電子の波長がLambdaである。
(シミュレーションデータ1)
Dprobe=4.4nm、Dg=1.59、Ds=3.81、Dc=0.916、Dd=1.25、
Cs=54.5mm、Cc=10.6mm、α=5.19mrad、M3=0.0575となる。
(シミュレーションデータ2)
Dprobe=1.44nm、Dg=0.928、Ds=0.657、Dc=0.503、Dd=0.729、
Cs=1.87mm、Cc=3.391mm、α=8.89mrad、M3=0.0249となる。
結果を図6の(a)に示す。
Cs=1.87mm、Cc=3.39mm、α=8.89mrad、M3=0.0249である。
結果を図6の(b)に示す。
Cs=0.260mm、Cc=0.330mm、α=28.2mrad、M3=0.0247である。
結果を図6の(c)に示す。
Cs=0.312mm、Cc=0.357mm、α=16.3mrad、M3=0.0430である。
Dprobe=1.31nm、Dg=0.904、Ds=0.493、Dc=0.389、Dd=0.710、
Cs=1.29mm、Cc=2.56mm、α=9.13mrad、M3=0.0244である。
図8を参照して、第1の対物レンズ18のない簡易的な装置構成を説明する。
第3の実施の形態では、電子源11に電界放出型のものを用いる。電界放出型は、熱電子放出型と比べて輝度が高く、光源の大きさは小さく、一次電子線12のΔVも小さく、色収差の面でも有利である。第3の実施の形態では第1の実施の形態との比較のために、第1の実施の形態の二段目コンデンサレンズ15bから下を第1の実施の形態と同じものとし、電子源部を電界放出型にし、一段目コンデンサレンズ15aをなくしている。一次電子線12のΔVを0.5eVとし、電子源の大きさSo=0.1μmとする。Z=−4mmとし、加速電圧Vaccを−30kV、第1の対物レンズ18はOFFとした性能を計算すると、以下のようになる。
Dprobe=0.974nm、Dg=0.071、Ds=0.591、Dc=0.248、Dd=0.730、
Cs=1.69mm、Cc=3.36mm、α=8.88mrad、M3=0.0249
電界放出型電子源は熱電子放出型と比べて輝度が高い。さらにコンデンサレンズ15が一段になっているので、プローブ電流は熱電子放出型のときと比べて多くなっている。それにもかかわらず、プローブ径が小さくなっていることがわかる。Ddが一番大きな値を示している。
Dprobe=8.48nm、Dg=0.071、Ds=0.591、Dc=7.45、Dd=4.00、
Cs=1.68mm、Cc=3.36mm、α=8.88mrad、M3=0.0249
以上のように、熱電子放出型(シミュレーションデータ3)では、Dprobe=15.6nmなので、電界放出型電子源の方がよいことがわかる。
Dprobe=3.92nm、Dg=0.071、Ds=2.90、Dc=2.32、Dd=1.26、
Cs=0.260mm、Cc=0.330mm、α=28.1mrad、M3=0.0248
収差の中でDsが一番大きな値になっている。これは、試料23に近くほど電子の速さが遅くなり磁場の影響を受けやすくなることと、磁束密度が試料23に近いほど大きな値であることから試料23に近いほど強いレンズになっているため、αが大きくなりすぎたこととによる。Dsは、αの3乗に比例することから、大きくなっている。第1の対物レンズ18を使うことで改善するのがよい。
Dprobe=2.68nm、Dg=0.103、Ds=1.03、Dc=1.68、Dd=1.82、
Cs=0.279mm、Cc=0.344mm、α=19.5mrad、M3=0.0358
収差係数だけを見ると悪化しているが、プローブ径はαを調節したことにより、さらに改善している。
次に、第4の実施の形態におけるSEM(荷電粒子装置の一例)の装置構成について説明する。以下の説明において、上述の実施の形態と同様の構成(各構成の変形例も含む)については、上述と同じ符号を付し、それらの構成についての詳細な説明については省略する。
次に、第5の実施の形態におけるSEM(荷電粒子装置の一例)の装置構成について説明する。以下の説明において、上述の実施の形態と同様の構成(各構成の変形例も含む)については、上述と同じ符号を付し、それらの構成についての詳細な説明については省略する。
本発明は上記実施形態によって記載したが、この開示の記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。例えば荷電粒子源から試料23までの荷電粒子線の軌道を図では直線に描いてある。しかし、エネルギーフィルタなどを入れると軌道が曲げられる。荷電粒子線の軌道が曲がっている場合もある。このような場合も特許請求の範囲に記載された技術的範囲内に含まれる。また、第2の検出器110(又は、210、310、410、510、610、820)を使う場合、第1の検出器20を第1の対物レンズ18の内部に配置したり、第1の対物レンズ18よりも電子源11に近い位置に配置することも可能である。また、イオンビーム顕微鏡では負イオンの荷電粒子の場合、電子と同様の考え方ができ、第1の実施の形態、第4の実施の形態、又は第5の実施の形態と同様に適用できることがわかる。イオンの場合、電子と比べて質量が重いので、コンデンサレンズ15を静電レンズに、偏向コイル17を静電偏向に、第1の対物レンズ18を静電レンズにしてもよい。また、対物レンズ26は磁気レンズを用いる。
12 荷電粒子線(一次電子線)
13 ウェーネルト電極
14 加速電源
15 コンデンサレンズ
15a 一段目コンデンサレンズ
15b 二段目コンデンサレンズ
16 対物レンズ絞り
17 二段偏向コイル
17a 上段偏向コイル
17b 下段偏向コイル
18 第1の対物レンズ
18a 内側磁極
18b 外側磁極
18c 孔部
19 第1の検出器(二次電子検出器)
20 第1の検出器(半導体検出器、ロビンソン検出器又はMCP検出器)
21 信号電子
21a 二次電子
21b 反射電子
22、422 電位板
23 試料
24 試料台
25 絶縁板
26 第2の対物レンズ
26a 中心磁極
26b 上部磁極
26c 側面磁極
26d 下部磁極
26e コイル部
26f シール部
27 リターディング電源
28 電位板電源
29 試料台ステージ板
30 円筒放電防止電極
31 絶縁材
41 第1の対物レンズ電源
42 第2の対物レンズ電源
43 上段偏向電源
44 下段偏向電源
45 制御装置
51 上部装置
52 下部装置
61 XYZステージ
110、210、310、410、510、610、820 第2の検出器
113 腕部
114 板状部
121 特性X線(電磁波の一例)
320 楕円鏡(光学素子の一例)
321 カソードルミネッセンス(CL;電磁波の一例)
420 放物面鏡(光学素子の一例)
520 反射ミラー(光学素子の一例)
521 放出光(電磁波の一例)
617 ポリキャピラリ(光学素子の一例)
620 分光結晶
621 X線(電磁波の一例)
720 電位板部にある第1の検出器(半導体検出器、ロビンソン検出器又はMCP検出器)
α1 X線の取り出し角
Claims (8)
- 荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、
前記荷電粒子源に接続され、前記荷電粒子源から放出された前記荷電粒子線を加速する加速電源と、
前記荷電粒子線を試料に集束させる対物レンズと、
前記荷電粒子線を前記試料上に走査させる偏向コイルと、
前記荷電粒子線の焦点を光軸方向に移動させ、各焦点において、前記荷電粒子線の入射に伴い前記試料から放出された電磁波を検出する検出器と
を備え、
前記各焦点において検出された電磁波を用いた複数の画像から3次元データを構築し、表示装置を用いて3次元画像を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - (i)前記焦点ごとに、前記荷電粒子線の入射に伴い前記試料から放出された反射電子又は二次電子信号を用いた第1画像及び前記電磁波を用いた第2画像を撮影し、
(ii)前記焦点ごとに撮影された、各第1画像において焦点の合った第1部分、及び当該第1部分に対応する、各第2画像の第2部分を、各第1画像及び各第2画像から、それぞれ抽出し、
(iii)抽出された、複数の第1部分及び複数の第2部分をそれぞれ合成し、前記複数の第1部分が合成された画像及び前記複数の第2部分が合成された画像を表示装置に表示させる制御装置をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線装置。 - 前記制御装置は、前記第1部分と前記第2部分とを合成し、当該合成された画像を前記表示装置に表示させることを特徴とする請求項2に記載の荷電粒子線装置。
- 前記制御装置は、前記第1部分、前記第2部分、及び前記第1部分の位置を含む3次元データから3次元画像を前記表示装置に再現させることを特徴とする請求項2又は3に記載の荷電粒子線装置。
- 前記検出器は、前記荷電粒子線の入射に伴い前記試料から放出されたX線を検出する、請求項1から4のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。
- 前記検出器は、カソードルミネッセンスを検出する、請求項1から4のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。
- 前記試料に負電位を与える、前記荷電粒子線を減速するためのリターディング電源をさらに備える、請求項1から6のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置を備える、走査電子顕微鏡。
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