JP7197698B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
Claims (15)
- 磁場レンズとブースタ電極を有する荷電粒子線装置であって、
前記磁場レンズと前記ブースタ電極の間に絶縁体を配置し、
前記絶縁体の先端部は前記磁場レンズの一方の磁路の先端よりも、他方の磁路の先端側に突出している、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置であって、
前記絶縁体の先端の位置を、前記磁場レンズの前記一方の磁路の先端と、前記他方の磁路の先端との間に配置する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置であって、
前記絶縁体の表面に、帯電を防止するための静電気防止膜を形成する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置であって、
前記磁場レンズの前記一方の磁路の先端と、前記他方の磁路の先端との間に、非磁性体の金属電極を配置する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置であって、
前記絶縁体と前記磁場レンズの間に配置された放電用電極と、
前記放電用電極に放電対策用電圧を印加する放電対策用電源と、を備える、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置であって、
試料を前記荷電粒子線装置の内部に導入する際に、前記荷電粒子線装置の真空排気時の圧力変化をモニタし、モニタ結果に基づき、前記ブースタ電極へのブースタ電圧の印加シーケンスを制御する制御部を備える、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6記載の荷電粒子線装置であって、
表示部と、前記荷電粒子線装置の真空排気時の真空度を計測する真空ゲージを備える、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7記載の荷電粒子線装置であって、
前記制御部は、前記真空ゲージの計測値に基づき、排気開始から所定時間経過後に前記真空度が基準値を超えない時、前記ブースタ電圧の出力をオフし、前記表示部に警告表示するよう制御する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7記載の荷電粒子線装置であって、
前記制御部は、前記真空ゲージの計測値に基づき、排気開始から所定時間経過後に前記真空度が基準値を超えた時、前記ブースタ電圧の出力をオンするよう制御する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7記載の荷電粒子線装置であって、
前記制御部は、前記真空ゲージの計測値に基づき、前記真空度が試料ロード許容値に到達した時、前記試料を真空チャンバにロードするよう制御する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置であって、
荷電粒子線を発生する荷電粒子線源と、
前記荷電粒子線源の下流側に設置され、前記荷電粒子線を照射する照射レンズと、
前記照射レンズの下流側に設置され、前記荷電粒子線からマルチビームを形成するマルチビーム形成部と、
前記マルチビーム形成部の下流に設置されたビームセパレータと、
前記ビームセパレータの下流に設置された集束レンズと、
前記ビームセパレータで分離される二次荷電粒子を検出するマルチ検出器と、を備え、
前記磁場レンズと前記ブースタ電極と前記絶縁体は、前記集束レンズの下流に設置される、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11記載の荷電粒子線装置であって、
前記絶縁体の先端の位置を、前記磁場レンズの前記一方の磁路の先端と、前記他方の磁路の先端との間に配置する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11記載の荷電粒子線装置であって、
前記絶縁体の表面に、帯電を防止するための静電気防止膜を形成する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11記載の荷電粒子線装置であって、
前記磁場レンズの前記一方の磁路の先端と、前記他方の磁路の先端との間に非磁性体の金属電極を配置する、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項11記載の荷電粒子線装置であって、
前記絶縁体と前記磁場レンズの間に配置された放電用電極と、
前記放電用電極に放電対策用電圧を印加する放電対策用電源と、を備える、
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001243904A (ja) | 1995-10-19 | 2001-09-07 | Hitachi Ltd | 走査形電子顕微鏡 |
JP2005317558A (ja) | 2005-07-28 | 2005-11-10 | Hitachi Ltd | 電子銃 |
JP2007311117A (ja) | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子レンズ及びそれを用いた荷電粒子線装置 |
JP2013058314A (ja) | 2011-09-07 | 2013-03-28 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡 |
WO2014069271A1 (ja) | 2012-10-29 | 2014-05-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2775071B2 (ja) * | 1989-02-22 | 1998-07-09 | 日本電信電話株式会社 | 荷電粒子ビーム発生装置 |
EP0769799B1 (en) * | 1995-10-19 | 2010-02-17 | Hitachi, Ltd. | Scanning electron microscope |
EP2629317B1 (en) * | 2012-02-20 | 2015-01-28 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Charged particle beam device with dynamic focus and method of operating thereof |
JP5544439B2 (ja) | 2013-03-13 | 2014-07-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
EP2801997B1 (en) * | 2013-05-06 | 2016-03-09 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Electron beam wafer inspection system and method for operation thereof |
JP6242745B2 (ja) * | 2014-05-13 | 2017-12-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び当該装置を用いる検査方法 |
US10056228B2 (en) * | 2014-07-29 | 2018-08-21 | Applied Materials Israel Ltd. | Charged particle beam specimen inspection system and method for operation thereof |
EP3385977B1 (en) * | 2015-12-03 | 2021-07-28 | Matsusada Precision, Inc. | Charged particle beam device and scanning electron microscope |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001243904A (ja) | 1995-10-19 | 2001-09-07 | Hitachi Ltd | 走査形電子顕微鏡 |
JP2005317558A (ja) | 2005-07-28 | 2005-11-10 | Hitachi Ltd | 電子銃 |
JP2007311117A (ja) | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子レンズ及びそれを用いた荷電粒子線装置 |
JP2013058314A (ja) | 2011-09-07 | 2013-03-28 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡 |
WO2014069271A1 (ja) | 2012-10-29 | 2014-05-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Also Published As
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