JP2018191395A - 振動子、振動子の製造方法、および電子機器 - Google Patents
振動子、振動子の製造方法、および電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018191395A JP2018191395A JP2017090411A JP2017090411A JP2018191395A JP 2018191395 A JP2018191395 A JP 2018191395A JP 2017090411 A JP2017090411 A JP 2017090411A JP 2017090411 A JP2017090411 A JP 2017090411A JP 2018191395 A JP2018191395 A JP 2018191395A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- vibrator
- diaphragm
- resin
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 196
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 196
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 105
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 30
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 28
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 11
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 2
- 230000003534 oscillatory effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 50
- 230000008569 process Effects 0.000 description 39
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 22
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 17
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 13
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 13
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 11
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 9
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 8
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 7
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 7
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 6
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 5
- FQNGWRSKYZLJDK-UHFFFAOYSA-N [Ca].[Ba] Chemical compound [Ca].[Ba] FQNGWRSKYZLJDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007088 Archimedes method Methods 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 2
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YPQJHZKJHIBJAP-UHFFFAOYSA-N [K].[Bi] Chemical compound [K].[Bi] YPQJHZKJHIBJAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003916 acid precipitation Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 229910021523 barium zirconate Inorganic materials 0.000 description 2
- DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N barium(2+);dioxido(oxo)zirconium Chemical compound [Ba+2].[O-][Zr]([O-])=O DQBAOWPVHRWLJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FSAJRXGMUISOIW-UHFFFAOYSA-N bismuth sodium Chemical compound [Na].[Bi] FSAJRXGMUISOIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JXDXDSKXFRTAPA-UHFFFAOYSA-N calcium;barium(2+);oxygen(2-);titanium(4+) Chemical compound [O-2].[Ca+2].[Ti+4].[Ba+2] JXDXDSKXFRTAPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- UYLYBEXRJGPQSH-UHFFFAOYSA-N sodium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [Na+].[O-][Nb](=O)=O UYLYBEXRJGPQSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000004876 x-ray fluorescence Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 230000002999 depolarising effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
- G02B7/08—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification adapted to co-operate with a remote control mechanism
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/0015—Driving devices, e.g. vibrators using only bending modes
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0055—Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
前記圧電素子は直方体状の非鉛系の圧電セラミックスと電極を備え、
前記圧電素子の側面の一部と前記振動板の一部が樹脂で被覆されていることを特徴とする。
前記圧電素子は直方体状の非鉛系の圧電セラミックスと電極を備え、
前記圧電素子の側面の一部と前記振動板の一部が樹脂で被覆されていることを特徴とする。本発明により、振動子を構成する圧電素子と振動板との間の剥離の発生を抑え、かつ環境問題にも対応した振動子を提供することができる。
本発明の振動子の製造方法は特に限定されないが、以下に代表的な製造方法を説明する。
本発明の振動波駆動装置は、前述した振動子と、給電部材を有することを特徴とする。このような構成を採ることにより、圧電素子と振動板との間に剥離が生じる確率が小さい振動波駆動装置を提供できる。
本発明の振動波モータは、前記振動波駆動波装置と、前記振動板に接した移動体とを有すること特徴とする。このような構成を採ることにより、圧電素子と振動板との間に剥離が生じる確率が小さい振動波モータを提供できる。
本発明の光学機器は、前述した振動波モータと、前記移動体と力学的に接続された光学部材とを有することを特徴とする。本発明において「力学的な接続」とは、一方の部材の座標変動、体積変化、形状変化によって生じた力が他方の部材に伝わるように直接的に接触している状態、または、第三の部材を介して接触している状態を指す。前述した振動波モータと、前記移動体と光学部材とを力学的に接続することにより、圧電素子と振動板との間に剥離が生じる確率が小さい光学機器を提供できる。
まず、金属酸化物粉末を焼成して圧電セラミックスを得た。圧電セラミックスの組成を蛍光X線分析(XRF)で測定したところ、100重量部の(Ba0.85Ca0.15)(Ti0.93Zr0.07)O3に対してMnが金属換算で0.16重量部含まれており、鉛の含有量は1000ppm未満であった。続いて、圧電セラミックスの結晶構造をX線回折測定(XRD)で解析したところ、ペロブスカイト構造であることが分かった。すなわち圧電セラミックスは、チタン酸バリウム置換体よりなるペロブスカイト型金属酸化物を含有していた。
樹脂層を硬化させる前に、圧電素子の長辺方向にはみ出した樹脂層を除去した点以外は、実施例1と同様の工程で振動子Bを得た。
樹脂層を硬化させる前に、圧電素子の短辺方向にはみ出した樹脂層を除去した点以外は、実施例1と同様の工程で振動子Cを得た。
樹脂層を硬化させる前に、圧電素子の短辺方向にはみ出した樹脂層を除去した点以外は、実施例1と同様の工程で振動子Dを得た。
圧電素子と振動板との加圧接触させる時間を5分間にした点以外は、実施例1と同様の工程で振動子Eを得た。
圧電素子と振動板との加圧接触させる時間を1分間にした点以外は、実施例1と同様の工程で振動子Fを得た。
圧電素子と振動板との加圧接触させる際の樹脂前駆体の量を20%減らした点以外は、実施例6と同様の工程で振動子Gを得た。
圧電セラミックスの組成を100重量部の(Ba0.85Ca0.15)(Ti0.93Zr0.07)O3に対してMnが金属換算で0.16重量部、さらにBiが金属換算で0.03重量部となるようにした点以外は、実施例1と同様の工程で振動子Hを得た。
圧電セラミックスの組成を100重量部の(Ba0.85Ca0.15)TiO3に対してBiが金属換算で0.03重量部となるようにした点以外は、実施例1と同様の工程で振動子Iを得た。
圧電セラミックスの組成をPb(Zr0.52Ti0.48)O3となるようにした点、圧電セラミックスを厚み0.42mmに研削、研磨加工した点、圧電セラミックスの分極処理に際し、温度を150℃、電界強度2.0kV/mmにした点以外は、実施例1と同様の工程で振動子Jを得た。
まず、金属酸化物粉末を焼成して圧電セラミックスを得た。圧電セラミックスの組成を蛍光X線分析(XRF)で測定したところ、100重量部の(Ba0.85Ca0.15)(Ti0.93Zr0.07)O3に対してMnが金属換算で0.16重量部含まれており、鉛の含有量は1000ppm未満であった。続いて、圧電セラミックスの結晶構造をX線回折測定(XRD)で解析したところ、ペロブスカイト構造であることが分かった。すなわち圧電セラミックスは、チタン酸バリウム置換体よりなるペロブスカイト型金属酸化物を含有していた。
次に、実施例1から10で作製した振動子Aから振動子Jの振動板を被駆動体(スライダ)に接するように設け、図9のような振動波モータを作製した(実施例11から20)。作製した振動波モータに対し、駆動相電極を通じて、交番電圧V1およびV2(振幅はいずれも100Vpp)を印加した。このときV1とV2の位相差θは90°→−90°→90°→−90°と100回繰り返し、振動子を図8の矢印方向に100回往復駆動させた。その後、圧電素子と振動板との間に剥離が生じているか否かを確認するため、超音波映像装置(日立建機製、商品名:FS300)により、写真画像を得た。駆動前の面樹脂層の接着領域における面積被覆率と同様の手法で、駆動後の面積被覆率を計測した。その結果を表4に示す。
比較例1で作製した振動子Kを用いて、実施例11から実施例20と同様の工程で図8のような振動波モータを作製、駆動、評価した(比較例2)。
実施例11で作製した振動波モータと移動体と光学部材とを力学的に接続した図10のような光学機器を作製した(実施例21)。また、比較例2で作製した振動波モータと移動体と光学部材とを力学的に接続した図10のような光学機器を作製した(比較例3)。どちらの光学機器も交番電圧の印加に応じたオートフォーカス動作が確認できたが、比較例3の光学機器は、100回のオートフォーカス動作後に圧電素子と振動板との間に剥離が生じ、30%以上の面積被覆率の低下が確認された。
101 圧電素子
1011 振動子
2 第一の電極
21 グラウンド電極
3 第二の電極
31 駆動相電極
4 樹脂層
41 接着領域
5 振動板
51 突起部
6 支持部
7 給電部材
71 電気配線
8 被駆動体(スライダ)
9 電圧入力手段
11 保持部材
12 移動筐体
13 ビス
14 ガイド部材
15 レンズ保持部材
16 レンズ
17 連結部材
18 センサ
19 スケール
前記圧電素子は直方体状の非鉛系の圧電セラミックスと電極を備え、
前記圧電素子の側面の一部と前記振動板の一部が樹脂で被覆されていることを特徴とする。
本発明の振動波モータは、前記振動波駆動装置と、前記振動板に接した移動体とを有することを特徴とする。このような構成を採ることにより、圧電素子と振動板との間に剥離が生じる確率が小さい振動波モータを提供できる。
次に、実施例1から10で作製した振動子Aから振動子Jの振動板を被駆動体(スライダ)に接するように設け、図9のような振動波モータを作製した(実施例11から20)。作製した振動波モータに対し、駆動相電極を通じて、交番電圧V1およびV2(振幅はいずれも100Vpp)を印加した。このときV1とV2の位相差θは90°→−90°→90°→−90°と100回繰り返し、被駆動体(スライダ)を図9の矢印方向に100回往復駆動させた。その後、圧電素子と振動板との間に剥離が生じているか否かを確認するため、超音波映像装置(日立建機製、商品名:FS300)により、写真画像を得た。駆動前の樹脂層の接着領域における面積被覆率と同様の手法で、駆動後の面積被覆率を計測した。その結果を表4に示す。
比較例1で作製した振動子Kを用いて、実施例11から実施例20と同様の工程で図9のような振動波モータを作製、駆動、評価した(比較例2)。
Claims (17)
- 圧電素子と振動板を有する振動子であって、
前記圧電素子は直方体状の圧電セラミックスと電極を備え、
前記圧電素子の側面の一部と前記振動板の一部が樹脂で被覆されていることを特徴とする振動子。 - 前記樹脂は、前記圧電素子の対向する一対の側面を被覆している請求項1に記載の振動子。
- 前記振動板と前記圧電素子と対向する領域に樹脂が設けられており、前記領域の面積に対する前記領域に設けられた樹脂の面積の割合である面積被覆率が60%以上である、請求項1または2に記載の振動子。
- 前記圧電素子の側面部の高さに対する前記圧電素子の側面の一部に設けられた樹脂の最大高さの割合が5%以上70%以下である請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動子。
- 前記振動板と前記圧電素子と対向する領域に設けられた前記樹脂の最大厚みが0.5μm以上10μm以下である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動子。
- 前記樹脂は前記圧電素子と対向する前記振動板の平面にのみ設けられている請求項1乃至5のいずれか1項に記載の振動子。
- 前記樹脂はエポキシ系樹脂よりなる請求項1乃至6のいずれか1項に記載の振動子。
- 前記圧電素子の前記側面に沿った高さ方向の前記圧電セラミックスの厚みが0.28mm以上2.0mm以下である、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動子。
- 前記振動板に生じる、互いに交差しない2本の節線を生じる振動モードAの節線と、互いに交差しない3本の節線を生じる振動モードBの節線は、交差するよう構成されており、前記樹脂は前記振動モードAの腹線と前記振動モードBの腹線の少なくとも一方が生じる部位を被覆している請求項1乃至8のいずれかに記載の振動子。
- 前記振動板は板部と支持部を備えており、前記板部と前記支持部は一体に形成されている請求項1乃至9のいずれか1項に記載の振動子。
- 前記圧電セラミックスの鉛の含有量が1000ppm未満である請求項1乃至10のいずれか1項に記載の振動子。
- 前記圧電セラミックスは、チタン酸バリウム又はその置換体よりなるペロブスカイト型金属酸化物である請求項1乃至11のいずれか1項に記載の振動子。
- 請求項1乃至12のいずれか1項に記載の振動子の製造方法であって、
前記圧電素子と前記振動板と樹脂前駆体を用いて前記圧電素子の側面の一部と前記振動板の一部が前記樹脂前駆体で被覆されるように貼り合わせ、
前記圧電素子と前記振動板を加圧接触した状態で前記樹脂前駆体を硬化させることを特徴とする振動子の製造方法。 - 請求項1乃至12のいずれか1項に記載の振動子と、給電部材を有することを特徴とする振動波駆動装置。
- 請求項14に記載の振動波駆動波装置と、前記振動板に接した移動体とを有すること特徴とする振動波モータ
- 請求項15に記載の振動波モータと、前記振動波モータによって移動可能に設けられた光学部材を有することを特徴とする光学機器
- 電子部品と請求項1乃至12のいずれか1項に記載の振動子を備えた電子機器。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017090411A JP7000036B2 (ja) | 2017-04-28 | 2017-04-28 | 振動子、振動子の製造方法、および電子機器 |
PCT/JP2018/016825 WO2018199170A1 (en) | 2017-04-28 | 2018-04-25 | Vibrator, method for manufacturing the same, vibration wave driving device, vibration wave motor, optical device, and electronic device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017090411A JP7000036B2 (ja) | 2017-04-28 | 2017-04-28 | 振動子、振動子の製造方法、および電子機器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018191395A true JP2018191395A (ja) | 2018-11-29 |
JP2018191395A5 JP2018191395A5 (ja) | 2020-05-14 |
JP7000036B2 JP7000036B2 (ja) | 2022-01-19 |
Family
ID=62223169
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017090411A Active JP7000036B2 (ja) | 2017-04-28 | 2017-04-28 | 振動子、振動子の製造方法、および電子機器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7000036B2 (ja) |
WO (1) | WO2018199170A1 (ja) |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1361657A1 (en) * | 2001-02-06 | 2003-11-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device, its manufacturing method, and electronic circuit device |
JP2004320846A (ja) * | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Canon Inc | 振動型駆動装置 |
WO2011007646A1 (ja) * | 2009-07-17 | 2011-01-20 | 株式会社村田製作所 | 金属板と圧電体との接着構造及び接着方法 |
JP2011172339A (ja) * | 2010-02-17 | 2011-09-01 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエーターの制御装置、圧電アクチュエーター装置及び印刷装置 |
WO2012144370A1 (ja) * | 2011-04-19 | 2012-10-26 | 京セラ株式会社 | 電子部品および弾性波装置 |
WO2013039149A1 (ja) * | 2011-09-15 | 2013-03-21 | 京セラ株式会社 | 電子装置 |
JP2014018057A (ja) * | 2012-06-14 | 2014-01-30 | Canon Inc | 振動体とその製造方法及び振動型駆動装置 |
JP2015208214A (ja) * | 2014-04-07 | 2015-11-19 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置および光学機器 |
JP2017060342A (ja) * | 2015-09-18 | 2017-03-23 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
JP2017072398A (ja) * | 2015-10-05 | 2017-04-13 | アズビル株式会社 | 超音波センサ |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004297910A (ja) | 2003-03-27 | 2004-10-21 | Canon Inc | 振動型駆動装置 |
-
2017
- 2017-04-28 JP JP2017090411A patent/JP7000036B2/ja active Active
-
2018
- 2018-04-25 WO PCT/JP2018/016825 patent/WO2018199170A1/en active Application Filing
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1361657A1 (en) * | 2001-02-06 | 2003-11-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device, its manufacturing method, and electronic circuit device |
JP2004320846A (ja) * | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Canon Inc | 振動型駆動装置 |
WO2011007646A1 (ja) * | 2009-07-17 | 2011-01-20 | 株式会社村田製作所 | 金属板と圧電体との接着構造及び接着方法 |
JP2011172339A (ja) * | 2010-02-17 | 2011-09-01 | Seiko Epson Corp | 圧電アクチュエーターの制御装置、圧電アクチュエーター装置及び印刷装置 |
WO2012144370A1 (ja) * | 2011-04-19 | 2012-10-26 | 京セラ株式会社 | 電子部品および弾性波装置 |
WO2013039149A1 (ja) * | 2011-09-15 | 2013-03-21 | 京セラ株式会社 | 電子装置 |
JP2014018057A (ja) * | 2012-06-14 | 2014-01-30 | Canon Inc | 振動体とその製造方法及び振動型駆動装置 |
JP2015208214A (ja) * | 2014-04-07 | 2015-11-19 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置および光学機器 |
JP2017060342A (ja) * | 2015-09-18 | 2017-03-23 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
JP2017072398A (ja) * | 2015-10-05 | 2017-04-13 | アズビル株式会社 | 超音波センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2018199170A1 (en) | 2018-11-01 |
JP7000036B2 (ja) | 2022-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6901886B2 (ja) | 振動子の製造方法、振動波駆動装置の製造方法および光学機器の製造方法 | |
JP7302059B2 (ja) | 振動子、振動波駆動装置、振動波モータおよび電子機器 | |
JP5693081B2 (ja) | 振動発生装置、その駆動方法、異物除去装置および光学装置 | |
US20170153531A1 (en) | Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator | |
JP2022078111A (ja) | 超音波モータ、駆動制御システム、光学機器および振動子 | |
US20170153410A1 (en) | Ultrasonic motor, drive control system, optical apparatus, and vibrator | |
JP7000036B2 (ja) | 振動子、振動子の製造方法、および電子機器 | |
US11038440B2 (en) | Vibrator with low power consumption, vibration type actuator, and electronic apparatus | |
JP7130416B2 (ja) | 振動子、振動型アクチュエータ及び電子機器 | |
WO2022230712A1 (ja) | 振動型アクチュエータ、光学機器および電子機器 | |
WO2024090171A1 (ja) | 振動型アクチュエータ、光学機器および電子機器 | |
WO2022230713A1 (ja) | 振動型アクチュエータ、電子機器および光学機器 | |
US20140159543A1 (en) | Vibrator and production method thereof, and vibration wave driving device | |
JP2001102651A (ja) | 圧電素子・圧電素子の製造方法および超音波発振器 | |
JP6580099B2 (ja) | 振動子、超音波モーターおよび光学機器 | |
JP2023170944A (ja) | 振動型アクチュエータ、電子機器、光学機器 | |
Ito et al. | 3J2-4 Development of a Metal Bonded Langevin Transducer Using LiNbO_3 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180501 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200402 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200402 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210511 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210709 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211223 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7000036 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |