JP2015208214A - 振動波駆動装置および光学機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 駆動相および検知相を有する電気−機械エネルギー変換素子、振動板、ローターからなる振動波駆動手段を有し、前記電気−機械エネルギー変換素子の振動板表面に進行波を発生させてローターを駆動し、前記ローターの駆動速度を位相差検出手段の信号をもとに制御する振動波駆動装置において、少なくとも2つの抵抗器を有する抵抗分圧回路からなる検知相電圧降下手段および駆動相電圧降下手段を備え、前記検知相電圧降下手段の抵抗分圧回路における分圧比が1/1より小さく1/20より大きい振動波駆動装置。
【選択図】 図1
Description
本発明の振動波駆動装置は、少なくとも2つの駆動相および検知相を有する電気−機械エネルギー変換素子、振動板、ローターからなる振動波駆動手段、駆動相電圧降下手段、検知相電圧降下手段、駆動相ノイズカット手段、を備えている。さらには、検知相ノイズカット手段、位相差検出手段、制御手段、駆動相電力出力手段、駆動相電圧上昇手段を有している。そのような構成をとると、前記電気−機械エネルギー変換素子の前記2つの駆動相に互に位相の異なる交番電圧を印加することで前記振動板表面に進行波を発生させることができる。前記進行波にて前記ローターを駆動し、前記ローターの駆動速度を少なくとも前記位相差検出手段の信号をもとに前記制御手段により制御する振動波駆動装置が構成されている。前記検知相電圧降下手段および前記駆動相電圧降下手段はそれぞれ少なくとも2つの抵抗器を有する抵抗分圧回路からなり、前記検知相電圧降下手段の抵抗分圧回路における分圧比が1/1より小さく1/20より大きいことを特徴とする。
図6は、本発明の振動波駆動手段の電気−機械エネルギー変換素子(以下圧電素子とする)20の一実施形態を示す概略図である。図6(a)は本発明の圧電素子20の一方の面の概略平面図、図6(b)は図6(a)中のA−A線の位置の圧電素子20の断面図、図6(c)は本発明の圧電素子の図6(a)と圧電材料1を挟んでもう一方の面の概略平面図である。
本発明の振動波駆動装置に用いられる圧電素子20は以下の構成を備えている。すなわち、一片の圧電材料1と、前記圧電材料1を挟んで前記圧電材料1の第一の面に設けられた共通電極2と、前記圧電材料1の第二の面に設けられた複数の電極を有している。前記一片の圧電材料1の脱分極温度Tdが80℃以上160℃以下であることが好ましい。
本発明の振動波駆動装置に用いられる圧電素子20は、前記第二の面に設けられた複数の電極が少なくとも複数の駆動相電極、検知相電極8、および非駆動相電極5を有している。以下の2つの部分の圧電定数に注目する。複数の駆動相電極と共通電極2に挟まれた部分の圧電材料(1)の圧電定数の絶対値d(1)(以降、d(1)とも記す。)と、検知相電極8と共通電極2に挟まれた部分の圧電材料(2)の圧電定数の絶対値d(2)(以降、d(2)とも記す。)である。その関係が、d(1)>d(2)を満たすことが好ましい。
本発明の振動波駆動装置に用いられる圧電素子20の圧電材料1は特に限定されず、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)やチタン酸バリウム、チタン酸バリウムカルシウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸カリウムナトリウム、鉄酸ビスマスなどの圧電セラミックスや、これらを主成分とした圧電セラミックス等を用いることが出来る。
(Ba1−xCax)b(Ti1−yZry)O3 (1)(1.00<b≦1.02、0.020≦x≦0.300、0.020≦y≦0.095)
で表わされるペロブスカイト型金属酸化物を主成分とし、前記金属酸化物にMnが含有されている。前記Mnの含有量が前記金属酸化物100重量部に対して金属換算で0.02重量部以上0.40重量部以下であることで表わされるペロブスカイト型金属酸化物を主成分とすることが好ましい。
次に、本発明の光学機器について説明する。本発明の光学機器は、前記振動波駆動装置を備えたことを特徴とする。
圧電材料1としては市販のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を用いて図11(a)に示す円環形状の圧電材料1を作製した。チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)のキュリー温度は310℃である。
駆動相電圧降下手段における分圧比を1/9とした事以外は実施例1と同様に振動波駆動装置を作製した。
圧電材料1として、以下の材料を用いて図11(a)に示す円環形状の圧電材料1を作製した。
検知相電圧降下手段における分圧比を13/123とした事以外は実施例3と同様に振動波駆動装置を作製した。
駆動相電圧降下手段におけるR1の抵抗器の抵抗値Rdと駆動相ノイズカット手段におけるコンデンサの容量Cdおよび、検知相電圧降下手段におけるR1の抵抗器の抵抗値Rsと駆動相ノイズカット手段におけるコンデンサの容量Csに注目する。図4に示すように仕様値でCdRd/CsRs=1となるようにしたこと以外は実施例4と同様に振動波駆動装置を作製した。
圧電素子20に異方性導電ペースト(ACP)を用いてフレキシブルプリント基板9のうち検知相電極の温度が105℃以上にならないように熱圧着し給電部材付き圧電素子30を作製した。検知相電圧降下手段における分圧比を1/2とした事以外は実施例5と同様に振動波駆動装置を作製した。
検知相電圧降下手段および駆動相電圧降下手段に用いる各々2つの抵抗器の部品誤差が10%のものを用いた事以外は実施例6と同様に振動波駆動装置を作製した。
検知相電圧降下手段における分圧比を1/28とした事以外は実施例1と同様に振動波駆動装置を作製した。
圧電素子20に異方性導電ペースト(ACP)を用いてフレキシブルプリント基板9を140℃にて熱圧着し、給電部材付き圧電素子30を作製した事以外は比較例1と同様に振動波駆動装置を作製した。
検知相電圧降下手段および駆動相電圧降下手段に用いる各々2つの抵抗器の部品誤差が10%のものを用いた事以外は比較例2と同様に振動波駆動装置を作製した。
PZT=Pb(Zr,Ti)O3
BCTZ−Mn=(Ba0.84Ca0.16)(Ti0.94Zr0.06)O3 (100重量部+Mn(0.26重量部))
(Ba1−xCax)b(Ti1−yZry)O3 (1)(1.00<b≦1.02、0.020≦x≦0.300、0.020≦y≦0.095)
で表わされるペロブスカイト型金属酸化物を主成分とする。前記圧電材料にMnが含有されており、前記Mnの含有量が前記金属酸化物100重量部に対して金属換算で0.02重量部以上0.40重量部以下で表わされる圧電材料を用いる。その限りにおいては、実施例3〜7と同等の駆動性能が得られ、回転初期におけるフィードバック制御が可能であることを確認した。
実施例3と同様のチタン酸バリウム、チタン酸カルシウム、ジルコン酸カルシウムをモル比で86.0対8.0対6.0になるように秤量した。さらに、これらの秤量粉100重量部に対してBi重量が金属換算で0.18重量部となるように酸化ビスマス((株)高純度化学社製、純度99.9%以上)を秤量し、これらの秤量粉を、ボールミルを用いて24時間の乾式混合によって混合して混合粉を得た。得られた混合粉を造粒するために、混合粉100重量部に対してMn重量が金属換算で0.14重量部となる酢酸マンガン(II)と混合粉に対して3重量部となるPVAバインダーを、それぞれスプレードライヤー装置を用いて、混合粉表面に付着させた。
検知相電圧降下手段における分圧比を13/123とした事以外は実施例8と同様に振動波駆動装置を作製した。
図4に示す駆動相電圧降下手段におけるR1の抵抗器の抵抗値Rdと駆動相ノイズカット手段におけるコンデンサの容量Cdおよび、検知相電圧降下手段におけるR1の抵抗器の抵抗値Rsと駆動相ノイズカット手段におけるコンデンサの容量Csに注目する。仕様値でCdRd/CsRs=1となるようにしたこと以外は実施例8と同様に振動波駆動装置を作製した。
圧電素子20に異方性導電ペースト(ACP)を用いてフレキシブルプリント基板9のうち検知相電極の温度が103℃以上にならないように熱圧着し給電部材付き圧電素子30を作製した。検知相電圧降下手段における分圧比を2/5とした事以外は実施例8と同様に振動波駆動装置を作製した。
圧電素子20に異方性導電ペースト(ACP)を用いてフレキシブルプリント基板9のうち検知相電極の温度が103℃以上にならないように熱圧着し給電部材付き圧電素子30を作製した。検知相電圧降下手段における分圧比を1/2とした事以外は実施例10と同様に振動波駆動装置を作製した。
検知相電圧降下手段および駆動相電圧降下手段に用いる各々2つの抵抗器の部品誤差が10%のものを用いた事以外は実施例12と同様に振動波駆動装置を作製した。
BCTZBi−Mn=(Ba0.86Ca0.14)(Ti0.94Zr0.06)O3 (100重量部+Bi(0.18重量部)、Mn(0.14重量部))
(Ba1−xCax)b(Ti1−yZry)O3 (1)(1.00<b≦1.02、0.020≦x≦0.300、0.020≦y≦0.095)
で表わされるペロブスカイト型金属酸化物を主成分とする。前記金属酸化物にMnが含有されており、前記Mnの含有量が前記金属酸化物100重量部に対して金属換算で0.02重量部以上0.40重量部以下で表わされる。さらに一般式(1)に示す金属酸化物100重量部に対して、Biを金属換算で0.042重量部以上0.850重量部以下で表わされる圧電材料を用いる。その限りにおいては、実施例8〜13と同等の駆動性能が得られ、回転初期におけるフィードバック制御が可能であることを確認した。
実施例1から13と同じ振動波駆動装置を用いて、図9(a)に示される光学機器を作製した。交番電圧の印加に応じたオートフォーカス動作が確認された。
2 共通電極
3 駆動相電極(A相電極)
4 駆動相電極(B相電極)
5 非駆動相電極(グランド電極)
8 検知相電極
9 給電部材(フレキシブルプリント基板)
9a 電気配線
9b 絶縁体(ベースフィルム)
10 短絡配線
13 振動板
19a 接続電極
19b 接続電極
20 圧電素子
30 給電部材付き圧電素子
33 分極用電極
40 振動波モーター用ステーター
701 前群レンズ
702 後群レンズ(フォーカスレンズ)
711 着脱マウント
712 固定筒
713 直進案内筒
714 前群鏡筒
715 カム環
716 後群鏡筒
717 カムローラ
718 軸ビス
719 ローラ
720 回転伝達環
722 コロ
724 マニュアルフォーカス環
725 超音波モーター
726 波ワッシャ
727 ボールレース
728 フォーカスキー
729 接合部材
732 ワッシャ
733 低摩擦シート
Claims (8)
- 少なくとも2つの駆動相および検知相を有する電気−機械エネルギー変換素子、振動板、ローターからなる振動波駆動手段、駆動相電圧降下手段、検知相電圧降下手段、駆動相ノイズカット手段、検知相ノイズカット手段、位相差検出手段、制御手段、駆動相電力出力手段、駆動相電圧上昇手段を有し、前記電気−機械エネルギー変換素子の前記2つの駆動相に互に位相の異なる交番電圧を印加することで前記振動板表面に進行波を発生させ、前記進行波にて前記ローターを駆動し、前記ローターの駆動速度を少なくとも前記位相差検出手段の信号をもとに前記制御手段により制御する振動波駆動装置において、前記検知相電圧降下手段および前記駆動相電圧降下手段はそれぞれ少なくとも2つの抵抗器を有する抵抗分圧回路からなり、前記検知相電圧降下手段の抵抗分圧回路における分圧比が1/1より小さく1/20より大きいことを特徴とする振動波駆動装置。
- 前記駆動相ノイズカット手段として前記駆動相電圧降下手段と前記位相差検出手段の間に容量Cdのコンデンサが直列に配置されており、前記検知相ノイズカット手段として前記検知相電圧降下手段と前記位相差検出手段の間に容量Csのコンデンサが直列に配置されており、前記駆動相電圧降下手段の一部として抵抗値Rdの抵抗器が前記容量Cdのコンデンサと直列に配置されており、前記検知相電圧降下手段の一部として抵抗値Rsの抵抗器が前記容量Csのコンデンサと直列に配置されており、0.90≦CdRd/CsRs≦1.10であることを特徴とする請求項1に記載の振動波駆動装置。
- 前記検知相電圧降下手段の抵抗器のうち、前記検知相ノイズカット手段と直列に配置されている抵抗値Rsの抵抗器と前記検知相ノイズカット手段と並列に配置されている抵抗値Rs’の抵抗器とが0.90≦Rs’/Rs≦1.10であることを特徴とする請求項1または2に記載の振動波駆動装置。
- 前記電気−機械エネルギー変換素子が、一片の圧電材料と、前記圧電材料を挟んで前記圧電材料の第一の面に設けられた共通電極と、圧電材料の第二の面に設けられた複数の電極を有しており、前記一片の圧電材料の脱分極温度Tdが80℃以上160℃以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の振動波駆動装置。
- 前記一片の圧電材料の第二の面に設けられた複数の電極が少なくとも複数の駆動相電極、検知相電極、および非駆動相電極を有しており、前記複数の駆動相電極と前記共通電極に挟まれた部分の前記圧電材料(1)の圧電定数の絶対値d(1)と、前記検知相電極と前記共通電極に挟まれた部分の前記圧電材料(2)の圧電定数の絶対値d(2)との関係が、d(1)>d(2)を満たすことを特徴とする請求項4に記載の振動波駆動装置。
- 前記圧電材料(1)の圧電定数の絶対値d(1)と、前記圧電材料(2)の圧電定数の絶対値d(2)と、前記非駆動相電極と前記共通電極に挟まれた部分の前記圧電材料(3)の圧電定数の絶対値d(3)との関係が、d(1)>d(3)≧d(2)を満たすことを特徴とする請求項5に記載の振動波駆動装置。
- 前記一片の圧電材料が、下記一般式(1)
(Ba1−xCax)b(Ti1−yZry)O3 (1)(1.00<b≦1.02、0.020≦x≦0.300、0.020≦y≦0.095)
で表わされるペロブスカイト型金属酸化物を主成分とし、前記金属酸化物にMnが含有されており、前記Mnの含有量が前記金属酸化物100重量部に対して金属換算で0.02重量部以上0.40重量部以下であることを特徴とする請求項4乃至6のいずれかに記載の振動波駆動装置。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の振動波駆動装置を備えたことを特徴とする光学機器。
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